JPH0873205A - 過酸化水素水の精製方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 金属系不純物、特にＡｌ、Ｆｅ、Ｃｒが２ｐ
ｐｂ以下、さらには１ｐｐｂ以下の低濃度にまで除去さ
れた高純度過酸化水素水を得る精製法を提供する。 【構成】 過酸化水素水を精製せるにあたり、水中２５
℃における酸解離指数ｐＫａが５以下の酸を、過酸化水
素水１リットルに対して０．００５〜５ミリ当量添加し
た後、スルホン酸基を有するＨ型の強酸性カチオン交換
樹脂、またはスルホン酸基を有するＨ型の強酸性カチオ
ン交換樹脂と強塩基アニオン交換樹脂との混合床に接触
させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は不純物、特に無機不純物
を含有する過酸化水素水を安全に精製し、極めて高純度
な過酸化水素水を製造する方法である。本発明により精
製された過酸化水素水は特に半導体製造分野で使用する
のに好適である。

【０００２】

【従来の技術】現在、過酸化水素は主に自動酸化法によ
り製造されているが、この方法によって製造された過酸
化水素水中には装置材質等に起因するＡｌをはじめとし
て各種無機不純物が混入しており、実用的な使用濃度の
１０〜７０重量％の過酸化水素水中には数百μｇ／リッ
トルの無機不純物が含まれているのが普通である。しか
しながら、半導体製造分野で使用される高純度過酸化水
素水に要求される無機不純物の標準的な基準は数μｇ／
リットルまたはそれ以下であり、より高純度に精製する
必要がある。

【０００３】従来、過酸化水素水に含まれるこれらの無
機不純物を除去、精製する方法として、強酸性カチオン
交換樹脂に過酸化水素水を接触させることでカチオン性
の金属系不純物を除去することが提案されているが、単
に強酸性カチオン交換樹脂に過酸化水素水を接触させる
だけではＮａなどの易溶な強カチオン性金属系不純物は
除去されるものの、完全には溶解しなかったり、あるい
は弱カチオン形態、弱アニオン形態、強アニオン形態を
一部形成する金属に由来する金属系不純物は除去されな
い。これらの例としてＡｌ，Ｆｅ，Ｃｒ等が挙げられ
る。 さらに、カチオン交換樹脂の過酸化水素水との接
触による劣化のため多量の硫酸根が生じてしまう問題点
がある。

【０００４】一方、カチオン交換樹脂に続き、４級アン
モニウム基およびその対イオンとして水酸化物イオンを
構造内に持つ水酸化物（ＯＨ）型強塩基性アニオン交換
樹脂に過酸化水素水を接触させることで強酸性カチオン
交換樹脂では除去できない無機不純物を除去する方法も
知られている。

【０００５】しかしながら、水酸化物型強塩基性アニオ
ン交換樹脂を用いる場合には次のような問題点がある。
その一つとして、過酸化水素水が水酸化物型強塩基性ア
ニオン交換樹脂と接触すると樹脂の塩基性のため過酸化
水素水の分解が促進されることが挙げられる。この分解
は過酸化水素水中にＦｅ、Ｃｒなどの金属系不純物が存
在しているとこれらの相乗作用によって更に促進されて
しまう。

【０００６】また、水酸化物型強塩基性アニオン交換樹
脂との接触でも、溶解していない金属系不純物、弱カチ
オン性金属系不純物、弱アニオン性金属系不純物は殆ど
除去されず、その結果最近の半導体製造分野で要求され
る高純度の過酸化水素水を得ることが困難である。

【０００７】ところで、過酸化水素水の分解を抑制する
方法として、たとえば、特公昭３５−１６６７７号公報
ではアニオン交換樹脂中の塩の形を水酸化物型から重炭
酸塩型、あるいは炭酸塩型に変え、塩基度を低下させる
ことによりアニオン交換樹脂の使用を可能にすることが
示されており、また特開平５−１７１０５号公報では過
酸化水素水をアニオン交換樹脂に接触させる際に酸を添
加することで過酸化水素水の分解を防止する方法が開示
されている。

【０００８】しかしながらこれらの場合でも溶解してい
ない金属系不純物、弱カチオン性金属系不純物、弱アニ
オン性金属系不純物は除去されずに残存し、高純度の過
酸化水素水を得ることはできない。更にこれら残存して
いる金属系不純物の影響のため、完全に過酸化水素の分
解を抑えることが難しく、その結果安全に過酸化水素水
を精製することは困難である。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、金属
系不純物、特にＡｌ、Ｆｅ、Ｃｒが２ｐｐｂ以下、更に
は１ｐｐｂ以下の低濃度にまで除去された高純度の過酸
化水素水を、過酸化水素の分解を充分に抑制し、安全
に、効率よく製造する方法を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記の課
題を解決するべく鋭意検討したところ、予め酸を添加し
た過酸化水素水を強酸性カチオン交換樹脂単独もしくは
強酸性カチオン交換樹脂と強塩基性アニオン交換樹脂の
樹脂混合床に接触させると、通常完全には除去が困難な
Ａｌ，Ｆｅ，Ｃｒが極めて低い濃度にまで除去されるこ
とを見いだし、本発明を完成した。

【００１１】すなわち、本発明は、過酸化水素水を精製
するに際し、過酸化水素水に水中２５℃での酸解離指数
ｐＫａが５以下の酸を過酸化水素水１リットルに対し
０．００５〜５ミリ当量添加した後、イオン交換樹脂と
してスルホン酸基を有するＨ型の強酸性カチオン交換樹
脂、またはイオン交換樹脂がスルホン酸基を有するＨ型
の強酸性カチオン交換樹脂と強塩基性アニオン交換樹脂
の混合床に接触させることを特徴とする過酸化水素水の
精製方法に係る。

【００１２】本発明によると、酸を添加することなく単
に過酸化水素水と強酸性カチオン交換樹脂単独、もしく
は強酸性カチオン交換樹脂と強塩基性アニオン交換樹脂
との混合床に接触させる従来の精製方法では充分に除去
できないところの過酸化水素水に溶解していない金属系
不純物、弱カチオン性金属系不純物、弱アニオン性金属
系不純物を除去することができる。

【００１３】過酸化水素水に添加する酸は、水中２５℃
における酸解離指数ｐＫａが５以下の無機または有機の
酸であり、過酸化水素と反応する酸は好ましくない。

【００１４】本発明で使用される酸の例としては硫酸、
硝酸、塩酸、亜塩素酸、ふっ酸、ホスフィン酸、ホスホ
ン酸、リン酸、二リン酸、トリポリリン酸等の無機酸、
さらに蟻酸、酢酸、クロロ酢酸、フルオロ酢酸、酒石
酸、安息香酸等のカルボン酸類、ホスホン酸類、スルホ
ン酸類等の有機酸が挙げられる。この中で好ましいもの
は無機酸であり、特に硫酸、硝酸、塩酸およびリン酸で
ある。最も好ましいものは硫酸または硝酸である。

【００１５】過酸化水素水に添加される酸の量は０．０
０５〜５ミリ当量／リットル−Ｈ₂Ｏ₂ が適当である
が、０．００５〜１ミリ当量／リットル−Ｈ₂ Ｏ₂ 、特
に０．０１〜０．５ミリ当量／リットル−Ｈ₂ Ｏ₂ が好
ましい。ここでミリ当量／リットル−Ｈ₂ Ｏ₂ とは過酸
化水素水１リットル中に添加される酸のミリ当量数を表
す。

【００１６】精製される過酸化水素水への酸の添加は、
強酸性カチオン交換樹脂単独あるいは強酸性カチオン交
換樹脂および強塩基性アニオン交換樹脂からなる樹脂混
合床に、被精製過酸化水素水が接触する時点で酸が添加
されていればよい。すなわち、接触前の過酸化水素水の
貯槽に予め酸を添加し混合しても良いし、あるいは強酸
性カチオン交換樹脂単独もしくは樹脂混合床への送液ラ
インに連続的に添加しても良い。

【００１７】接触時の過酸化水素水の温度に特に制限は
ないが、余りに高い温度では過酸化水素の分解が起こり
好ましくなく、また余りにも低い温度も好ましくない。
一般的には過酸化水素水の凝固点〜５０℃、より好まし
くは過酸化水素水の凝固点〜３０℃である。

【００１８】本発明の方法に用いられる過酸化水素水の
濃度は特には制限されないが、通常５〜６０重量％のも
のが使用される。また用いられる過酸化水素水のｐＨ
は、不純物の含有量にもよるが概ね２．０〜５．０（２
５℃）である。

【００１９】本発明の方法においては、過酸化水素水に
酸を添加した後、均一混合状態にて放置し熟成させるこ
とが好ましい。酸を添加した過酸化水素水を放置し熟成
させることにより、強酸性カチオン交換樹脂単独もしく
は強酸性カチオン交換樹脂および強塩基性アニオン交換
樹脂の樹脂混合床と接触させた場合、不純物の除去効果
が高められる利点がある。熟成時間は好ましくは６時間
以上、更に好ましくは１２時間以上、最も好ましくは２
４時間以上である。熟成温度には格別制限はないが、好
ましくは−１０〜５０℃、より好ましくは０〜３０℃で
ある。

【００２０】本発明に使用される強酸性カチオン交換樹
脂はＨ型の強酸性カチオン交換樹脂として使用される。
強酸性カチオン交換樹脂の種類としては、スルホン酸基
を有し、網目状分子構造からなる強酸性カチオン交換樹
脂が好ましい。 また、本発明に使用される強塩基性ア
ニオン交換樹脂とは、水酸化物イオン、炭酸イオンおよ
び重炭酸イオンからなる群から選ばれた少なくとも１種
のイオンを構造内に有し、網目状分子構造からなる強塩
基性アニオン交換樹脂である。

【００２１】本発明においては、これらのイオンを１種
のみ有する強塩基性アニオン交換樹脂を、それぞれ水酸
化物（ＯＨ）型、炭酸塩型、重炭酸塩型強塩基性アニオ
ン交換樹脂という。強塩基性アニオン交換樹脂の例とし
て４級アンモニウム基を有するアニオン交換樹脂が挙げ
られる。

【００２２】本発明の方法において、強酸性カチオン交
換樹脂および強塩基性アニオン交換樹脂の樹脂混合床を
用いる場合、樹脂混合床における強酸性カチオン交換樹
脂と強塩基性アニオン交換樹脂との混合比率は、純水中
での体積比で強酸性カチオン交換樹脂の割合が少なくと
も１０％以上、好ましくは２０％以上である。

【００２３】さらに、本発明の方法は連続方式の他、バ
ッチ方式でも実施できる。連続方法の一例としては、強
酸性カチオン交換樹脂単独もしくは強酸性カチオン交換
樹脂および強塩基性アニオン交換樹脂の樹脂混合床を充
填した塔に連続的に過酸化水素水を送液し接触させる方
法が挙げられる。この場合、空間速度（hr^-1）に格別制
限はないが、好ましくは強酸性カチオン交換樹脂もしく
は樹脂混合床中の強酸性カチオン交換樹脂に対し、１〜
１０００、より好ましくは１０〜６００とすることがよ
い。

【００２４】本発明の方法によると、Ａｌ、Ｆｅ、Ｃｒ
がＨ型強酸性カチオン交換樹脂もしくは強酸性カチオン
交換樹脂および強塩基性アニオン交換樹脂の樹脂混合床
に、酸が添加された過酸化水素水を接触処理することに
より容易にかつ極めて低い濃度にまで除去される。すな
わち、酸を添加しない従来の方法では、充分に除去でき
ない一部弱カチオン形態、弱アニオン形態を形成した
り、完全には溶解していないＡｌ、Ｆｅ、Ｃｒなどの金
属分をほぼ完全に近い状態にまで徹底的に除去すること
ができる。

【００２５】これは強酸性カチオン交換樹脂単独との接
触により精製された過酸化水素中には、極く微量の強ア
ニオン性金属系不純物を除き金属系不純物はほとんど存
在しなく、また強酸性カチオン交換樹脂および強塩基性
アニオン交換樹脂の樹脂混合床に接触させた場合は強ア
ニオン性金属系不純物さえもほとんど存在しないことを
意味する。

【００２６】本発明における過酸化水素水の強酸性カチ
オン交換樹脂単独への接触の後、引き続き強塩基性アニ
オン交換樹脂単独または強塩基性アニオン交換樹脂と強
酸性カチオン交換樹脂との混合床に接触せしめることに
より、添加した酸に由来するアニオンおよびその他アニ
オン性不純物を除去することができる。

【００２７】さらに本発明の方法は次に示すような利点
もある。従来の精製方法、すなわち酸を添加せず強酸性
カチオン交換樹脂と接触させて精製する方法によって得
られた過酸化水素水に比べ、酸を添加し強酸性カチオン
交換樹脂と接触させて得られた過酸化水素水中には過酸
化水素水の分解を促進させる金属系不純物はより少ない
ため、引き続きアニオン交換樹脂単独またはアニオン交
換樹脂とカチオン交換樹脂との混合床に接触せしめる場
合でも過酸化水素の分解は充分に抑制される。その結
果、アニオン交換樹脂単独もしくはカチオン交換樹脂と
アニオン交換樹脂との混合床による精製を安全に実施す
ることができる。

【００２８】同様に本発明における強酸性カチオン交換
樹脂および強塩基性アニオン交換樹脂との混合床へ過酸
化水素水を接触させた後、必要に応じて強酸性カチオン
交換樹脂単独、あるいは強塩基性アニオン交換樹脂単独
に接触させても良い。以上の一連の操作により従来の精
製方法に比べ、金属系不純物を徹底的にかつ安全に除去
することができる。

【００２９】

【実施例】以下に実施例を挙げて本発明を詳細に説明す
るが、本発明はこれらの実施例によりなんら限定される
ものでない。なお、金属系不純物の測定は、ＩＣＰ−Ｍ
Ｓ(Inductive coupling - Mass spectrometry)法によ
り、アニオン性不純物の測定はイオンクロマト法によっ
た。

【００３０】実施例１ オルガノ社製強酸性カチオン交換樹脂（アンバーライト
２０１Ｂ Ｈ型）を直径２．６ｃｍの弗化樹脂製カラム
に１００ml充填した。硫酸を０．４ミリ当量／リットル
−Ｈ₂ Ｏ₂ 添加し、１５〜２０℃で２４時間放置した３
１％過酸化水素水を空間速度 (hr^-1) ５００で強酸性カ
チオン交換樹脂カラムに通液し、精製過酸化水素水を得
た。なお精製前の金属不純物含有量は、Ａｌ：１５０ｐ
ｐｂ、Ｆｅ： 5ｐｐｂ、Ｃｒ：１０ｐｐｂであった。精
製後の金属不純物含有量を表１に示す。

【００３１】実施例２ 硝酸を０．４ミリ当量／リットル−Ｈ₂ Ｏ₂ 添加し、３
０時間放置した３１％過酸化水素水を使用した他は実施
例１と同様に精製し、精製過酸化水素水を得た。精製後
の金属不純物含有量を表１に示す。

【００３２】実施例３ 硝酸を０．４ミリ当量／リットル−Ｈ₂ Ｏ₂ 添加し、２
４時間放置した３１％過酸化水素水を使用した他は実施
例１と同様に精製し、精製過酸化水素水を得た。精製後
の金属不純物含有量を表１に示す。

【００３３】実施例４ 硝酸を０．４ミリ当量／リットル−Ｈ₂ Ｏ₂ 添加し、３
６時間放置した３１％過酸化水素水を使用し、空間速度
(hr^-1) ６００で通液した他は実施例１と同様に精製
し、精製過酸化水素水を得た。精製後の金属不純物含有
量を表１に示す。

【００３４】実施例５ 硫酸を添加した３１％過酸化水素水を１時間以内に使用
した他は実施例１と同様に精製し精製過酸化水素水を得
た。精製後の金属不純物含有量を表１に示す。

【００３５】実施例６ 硝酸を０．４ミリ当量／リットル−Ｈ₂ Ｏ₂ 添加し、６
時間放置した３１％過酸化水素水を使用した他は実施例
１と同様に精製し、精製過酸化水素水を得た。精製後の
金属不純物含有量を表１に示す。

【００３６】

【表１】

【００３７】実施例７ オルガノ社製強酸性カチオン交換樹脂（アンバーライト
２０１Ｂ Ｈ型）、同社製強塩基性アニオン交換樹脂
（アンバーライトＩＲＡ−９００ 重炭酸塩型）を体積
比１：１で充分混合した樹脂混合床を直径２．６ｃｍの
弗化樹脂製カラムに１００ｍｌ充填した。これに硫酸を
０．４ミリ当量／リットル−Ｈ₂ Ｏ₂ 添加し、１５〜２
０℃で２４時間放置した３１％過酸化水素水をカラムに
対して空間速度 (hr^-1) ２５０で樹脂混合床に通液し、
精製過酸化水素水を得た。精製前の不純物量はＡｌ：１
５０ｐｐｂ，Ｆｅ：５ｐｐｂ、Ｃｒ：１０ｐｐｂ、ＳＯ
₄ ：２０，０００ｐｐｂ、ＰＯ₄ ：２００ｐｐｂであっ
た。精製後の不純物含有量を表２に示す。

【００３８】実施例８ 硝酸を０．４ミリ当量／リットル−Ｈ₂ Ｏ₂ 添加し、２
４時間放置した３１％過酸化水素水を使用した他は実施
例７と同様に精製し、精製過酸化水素水を得た。精製前
の不純物量はＡｌ：１５０ｐｐｂ，Ｆｅ：５ｐｐｂ、Ｃ
ｒ：１０ｐｐｂ、ＮＯ₃ ：２５，０００ｐｐｂ、ＰＯ
₄ ：２００ｐｐｂであった。精製後の不純物含有量を表
２に示す。

【００３９】実施例９ 樹脂混合床における強酸性カチオン交換樹脂と強塩基性
アニオン交換樹脂の混合割合を１：９にし、空間速度
（hr^-1）を５０にした他は実施例８と同様に精製し、精
製過酸化水素水を得た。精製後の不純物含有量を表２に
示す。

【００４０】実施例１０ 強塩基性アニオン交換樹脂としてオルガノ社製強塩基性
アニオン交換樹脂（アンバーライトＩＲＡ−９００ 水
酸化物型）を使用した他は実施例８と同様に精製し、精
製過酸化水素水を得た。精製後の不純物含有量を表２に
示す。

【００４１】（以下余白）

【表２】

【００４２】実施例１１ オルガノ社製強塩基性アニオン交換樹脂（ＩＲＡ−９０
０ 重炭酸塩型）を直径２．６ｃｍの弗化樹脂製カラム
に１００ｍｌ充填した。カラムの流出側にはそのカラム
内で発生したガス量を定量できるように発生ガス定量器
をとりつけた。実施例１で得られた精製過酸化水素水を
空間速度 (hr^-1) ５００で強塩基性アニオン交換樹脂カ
ラムに通液し、精製過酸化水素水を得た。実施例１で得
られた精製過酸化水素水のアニオン不純物含有量は、Ｓ
Ｏ₄ ：２０，０００ｐｐｂ、ＰＯ₄ ：２００ｐｐｂであ
った。精製後の不純物含有量および精製時のアニオン交
換樹脂と過酸化水素水の接触による分解ガス発生量（通
液開始１時間後からの１時間に発生したガスのアニオン
交換樹脂１ml当たりの容量）を表３に示す。

【００４３】実施例１２ 実施例２で得られた精製過酸化水素水を使用して、実施
例１１と同様に精製し、精製過酸化水素を得た。実施例
２で得られた精製過酸化水素水のアニオン不純物含有量
は、ＮＯ₃ ：２５，０００ｐｐｂ、ＳＯ₄ ：５０ｐｐ
ｂ、ＰＯ₄ ：２００ｐｐｂであった。精製後の不純物含
有量および精製時の強塩基性アニオン交換樹脂と過酸化
水素水の接触による分解ガス発生量を表３に示す。

【００４４】実施例１３ オルガノ社製強酸性カチオン交換樹脂（２０１Ｂ Ｈ
型）と同社製強塩基性アニオン交換樹脂（ＩＲＡ−９０
０ 重炭酸塩型）を体積比１：１で混合した混合床を直
径２．６ｃｍの弗化樹脂製カラムに１００ｍｌ充填し
た。混合床カラムの流出側には実施例１１と同様にその
カラム内で発生したガス量を測定できるようにガス発生
定量器を取り付けた。実施例３で得られた精製過酸化水
素水を空間速度 (hr^-1) ２５０で混合床カラムに通液
し、精製過酸化水素水を得た。実施例３で得られた精製
過酸化水素水のアニオン不純物含有量は、ＮＯ₃ ：２
５，０００ｐｐｂ、ＳＯ₄ ：１０ｐｐｂ、ＰＯ₄ ：２０
０ｐｐｂであった。精製後の不純物含有量および精製時
の樹脂混合床中のアニオン交換樹脂と過酸化水素水の接
触による分解ガス発生量を表３に示す。

【００４５】実施例１４ アニオン交換樹脂として、オルガノ製強塩基性アニオン
交換樹脂（アンバーライトＩＲＡ−９００ 水酸化物
型）を使用し、実施例４で得られた精製過酸化水素水を
通液した他は実施例１１と同様に精製し、精製過酸化水
素水を得た。実施例４で得られた精製過酸化水素水のア
ニオン不純物含有量は、ＮＯ₃ ：２５，０００ｐｐｂ、
ＳＯ₄ ：１０ｐｐｂ、ＰＯ₄ ：２００ｐｐｂであった。
精製後の不純物含有量および精製時のアニオン交換樹脂
と過酸化水素水の接触による分解ガス発生量を表３に示
す。

【００４６】実施例１５ 実施例５で得られた精製過酸化水素水を使用した他は実
施例１１と同様に強塩基性アニオン交換樹脂カラムに通
液し、精製過酸化水素水を得た。 実施例５で得られた
精製過酸化水素水のアニオン不純物含有量は、ＳＯ₄ ：
２０，０００ｐｐｂ、ＰＯ₄ ：２００ｐｐｂであった。
精製後の不純物含有量および精製時のアニオン交換樹脂
と過酸化水素水の接触による分解ガス発生量を表３に示
す。

【００４７】

【表３】

【００４８】実施例１６ オルガノ社製強酸性カチオン交換樹脂（アンバーライト
２０１Ｂ Ｈ型）、同社製強塩基性アニオン交換樹脂
（アンバーライトＩＲＡ−９００ 重炭酸塩型）を体積
比１：１で充分混合した樹脂混合床、及び強塩基性アニ
オン交換樹脂（同重炭酸塩型）を直径 2.6ｃｍの弗化樹
脂製カラムにそれぞれ１００ｍｌ充填した。 これに硝
酸を０．４ミリ当量／リットル−Ｈ₂ Ｏ₂ 添加し、３６
時間放置した３１％過酸化水素水を樹脂混合床、強塩基
性アニオン交換樹脂の順に各カラムに対してそれぞれ空
間速度 (hr^-1) ２５０、５００で通液し、精製過酸化水
素水を得た。 精製前の不純物量はＡｌ：１５０ｐｐ
ｂ，Ｆｅ：５ｐｐｂ、Ｃｒ：１０ｐｐｂ、ＮＯ₃ ：２
５，０００ｐｐｂ、ＰＯ₄ ：２００ｐｐｂであった。精
製後の不純物含有量を表４に示す。

【００４９】実施例１７ オルガノ社製強酸性カチオン交換樹脂（アンバーライト
２０１Ｂ Ｈ型）、同社製強塩基性アニオン交換樹脂
（アンバーライトＩＲＡ−９００ 重炭酸塩型）を体積
比１：１で充分混合した樹脂混合床、及び同強酸性カチ
オン交換樹脂を直径２．６ｃｍの弗化樹脂製カラムにそ
れぞれ１００ｍｌ充填した。 これに硝酸を０．４ミリ
当量／リットル−Ｈ₂ Ｏ₂ 添加し、２４時間放置した３
１％過酸化水素水を樹脂混合床、強酸性カチオン交換樹
脂の順に各カラムに対してそれぞれ空間速度 (hr^-1) ２
５０、５００で通液し、精製過酸化水素水を得た。精製
前の不純物量はＡｌ：１５０ｐｐｂ，Ｆｅ：５ｐｐｂ、
Ｃｒ：１０ｐｐｂ、ＮＯ₃ ：２５，０００ｐｐｂ、ＰＯ
₄ ：２００ｐｐｂであった。精製後の不純物含有量を表
４に示す。

【００５０】比較例１ 酸を添加しない過酸化水素水を使用した他は実施例１と
同様に精製し、精製過酸化水素水を得た。精製後の金属
不純物含有量を表５に示す。

【００５１】比較例２ 酸を添加しない過酸化水素水を使用した他は実施例４と
同様に精製し、精製過酸化水素水を得た。精製後の金属
不純物含有量を表５に示す。

【００５２】（以下余白）

【表４】

【００５３】

【表５】

【００５４】比較例３ 酸を添加しない過酸化水素水を使用した他は実施例７と
同様に精製し、精製過酸化水素水を得た。精製前の不純
物量はＡｌ：１５０ｐｐｂ、Ｆｅ：５ｐｐｂ、Ｃｒ：１
０ｐｐｂ、ＰＯ₄ ：２００ｐｐｂであった。精製後の不
純物含有量を表６に示す。

【００５５】比較例４ 樹脂混合床における強酸性カチオン交換樹脂と強塩基性
アニオン交換樹脂の混合割合を１：１９にし、空間速度
（hr^-1）を２５にした他は実施例９と同様に精製し、精
製過酸化水素水を得た。精製後の不純物含有量を表６に
示す。

【００５６】比較例５ カチオン交換樹脂として、オルガノ社製弱酸性カチオン
交換樹脂（アンバーライトＩＲＣ−５０ Ｈ型）を使用
した他は実施例１と同様に精製し、精製過酸化水素水を
得た。精製後の金属不純物含有量を表６に示す。

【００５７】比較例６ 強酸性カチオン交換樹脂の代わりに、オルガノ社製強塩
基性アニオン交換樹脂（ＩＲＡ−９００ 水酸化物型）
を使用した他は実施例１と同様に精製し、精製過酸化水
素水を得た。精製後の金属不純物含有量を表６に示す。

【００５８】比較例７ 強塩基性アニオン交換樹脂（重炭酸塩型）のみからなる
カラムを使用し、空間速度（hr^-1）を５００とした他は
実施例７と同様に精製し、精製過酸化水素水を得た。精
製後の無機不純物含有量を表６に示す。

【００５９】

【表６】

【００６０】比較例８ 比較例１で得られた精製過酸化水素水を使用した他は実
施例１１と同様に精製し、精製過酸化水素水を得た。比
較例１で得られた精製過酸化水素水のアニオン不純物含
有量は、ＳＯ₄ ：１０ｐｐｂ、ＰＯ₄ ：２００ｐｐｂで
あった。精製後の不純物含有量および精製時のアニオン
交換樹脂と過酸化水素水の接触による分解ガス発生量を
表７に示す。

【００６１】比較例９ 比較例１で得られた精製過酸化水素水を使用した他は実
施例１３と同様に精製し、精製過酸化水素水を得た。精
製後の不純物含有量および精製時の樹脂混合床中のアニ
オン交換樹脂と過酸化水素水の接触による分解ガス発生
量を表７に示す。

【００６２】比較例１０ 比較例１で得られた精製過酸化水素水に硫酸を０．４ミ
リ当量／リットル−Ｈ ₂ Ｏ₂ 添加して強塩基性アニオン
交換樹脂カラムに通液した他は実施例１１と同様に精製
し、精製過酸化水素水を得た。比較例１で得られた精製
過酸化水素水に硫酸を添加した後のアニオン不純物含有
量は、ＳＯ₄ ：２０，０００ｐｐｂ、ＰＯ₄ ：２００ｐ
ｐｂであった。精製後の不純物含有量および精製時のア
ニオン交換樹脂と過酸化水素水の接触による分解ガス発
生量を表７に示す。

【００６３】比較例１１ 比較例２で得られた精製過酸化水素水を使用した他は実
施例１４と同様に精製し、精製過酸化水素水を得た。比
較例２で得られた精製過酸化水素水のアニオン不純物含
有量は、ＳＯ₄ ：１０ｐｐｂ、ＰＯ₄ ：２００ｐｐｂで
あった。精製後の不純物含有量および精製時のアニオン
交換樹脂と過酸化水素水の接触による分解ガス発生量を
表７に示す。

【００６４】比較例１２ 比較例５で得られた精製過酸化水素水を使用した他は実
施例１１と同様に精製し、精製過酸化水素水を得た。比
較例５で得られた精製過酸化水素水のアニオン不純物含
有量は、ＳＯ₄ ：２０，０００ｐｐｂ、ＰＯ₄ ：２００
ｐｐｂであった。精製後の不純物含有量および精製時の
アニオン交換樹脂と過酸化水素水の接触による分解ガス
発生量を表７に示す。

【００６５】

【表７】

【００６６】比較例１３ 酸を添加しない過酸化水素水を使用した他は実施例１６
と同様に精製し、精製過酸化水素水を得た。精製後の不
純物含有量を表８に示す。

【００６７】比較例１４ 酸を添加しない過酸化水素水を使用した他は実施例１７
と同様に精製し、精製過酸化水素水を得た。精製後の不
純物含有量を表８に示す。

【００６８】

【表８】

【００６９】

【発明の効果】本発明によれば、従来の方法では除去の
困難な過酸化水素中のＡｌ、Ｆｅ、Ｃｒなどの金属系不
純物を２ｐｐｂ以下さらには１ｐｐｂ以下の低濃度にま
で除去された高純度の過酸化水素水を、過酸化水素の分
解を充分に抑制し、安全に、効率よく製造することがで
きる。

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【手続補正書】

【提出日】平成７年６月２８日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項３

【補正方法】変更

【補正内容】

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】過酸化水素水を精製するに際し、過酸化水
   素水に水中２５℃における酸解離指数ｐＫａが５以下の
   酸を過酸化水素水１リットルに対し０．００５〜５ミリ
   当量添加した後、スルホン酸基を有するＨ型の強酸性カ
   チオン交換樹脂に接触させることを特徴とする過酸化水
   素水の精製方法。
2. 【請求項２】過酸化水素水を精製するに際し、過酸化水
   素水に水中２５℃における酸解離指数ｐＫａが５以下の
   酸を過酸化水素水１リットルに対し０．００５〜５ミリ
   当量添加した後、スルホン酸基を有するＨ型の強酸性カ
   チオン交換樹脂と強塩基性アニオン交換樹脂の混合床に
   接触させることを特徴とする過酸化水素水の精製方法。
3. 【請求項３】強塩基性アニオン交換樹脂が、水酸化物イ
   オン、炭酸イオンおよび重炭酸イオンからなる群から選
   ばれた少なくとも１種のイオンを構造内に有することを
   特徴とする請求項１および２記載の過酸化水素水の精製
   方法。
4. 【請求項４】混合床においてスルホン酸基を有するＨ型
   の強酸性カチオン交換樹脂の割合が純水中での体積比で
   １０％以上であることを特徴とする請求項２記載の過酸
   化水素水の精製方法。
5. 【請求項５】過酸化水素水に水中２５℃における酸解離
   指数ｐＫａが５以下の酸を添加した後、６時間以上放置
   して熟成させた過酸化水素水を、イオン交換樹脂に接触
   させることを特徴とする請求項１または２記載の過酸化
   水素水の精製方法。