JPH087382Y2 - オートフォーカス装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、画像処理装置を用い、かつ、複数のピント
位置を有する試料に対するオートフォーカス装置に関す
る。

〔従来の技術〕

試料の画像を画像入力装置を通じて取り込み、取り込
まれた画像信号から、例えばコントラスト法によってピ
ント位置を検出するオートフォーカス装置が知られてい
る。コントラスト法とは、画像入力装置からの画像信号
は、像の明部と暗部との差、すなわちコントラストが合
焦点において最大となることを利用して焦点位置を検出
するものである。いま、画像入力装置のレンズを光軸方
向に相対移動させながらオートフォーカス装置の出力電
圧の変化をとると、第10図に示すよすに山形の曲線にな
る。この曲線のピーク位置が焦合点となる。

〔考案が解決しようとする問題点〕 上記コントラスト法によって試料に対する合焦点を検
出することができる。しかしながら、試料によっては画
像入力装置の光軸方向の複数のピント位置を有するもの
がある。例えば、回転ドラムに微小な磁気ヘッドを取り
付けてなるDAT用回転シリンダヘッドの自動組み立て工
程では、磁気ヘッドの像を干渉対物レンズを有する顕微
鏡光学系を介して画像処理装置に入力し、この入力され
た画像信号に基づいて磁気ヘッドの突出量や姿勢などを
測定する。この測定装置において、画像入力装置の顕微
鏡を光軸方向に相対移動させることによりオートフォー
カス装置の出力信号は第11図に示すように複数のピーク
を持った信号となる。複数のピークのうち曲線状のピー
クは試料の像によるピークであり、鋸歯形のピークは干
渉縞によるピークである。試料の像によるピークと干渉
縞によるピークとの間には光学系の構成によって決まる
一定の間隔Ｄがある。このような複数のピーク位置を有
する試料の場合、従来のオートフォーカス装置ではいず
れのピークに合焦するのか不定であり、使用目的に沿わ
ない場合があった。

本考案は、かかる従来技術の問題点を解消するために
なされたもので、複数のピント位置を有する試料であっ
ても、いずれのピント位置に合焦しているかを判断する
ことができ、もって、所定のピント位置に合焦すること
ができるようにしたオートフォーカス装置を提供するこ
とを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本考案は、画像入力装置に用い、かつ、画像入力装置
の光軸方向に、試料に合焦したピント位置と干渉縞の発
生によるピント位置の複数のピント位置を有し、これら
ピント位置が一定の位置関係を有している試料に対する
オートフォーカス装置であって、前記複数のピント位置
に対応して表れる出力のピーク値及びそのときの位置を
検出し、各ピーク値と基準出力とを前記一定の位置関係
に基づいて比較することにより前記各ピーク値の、何れ
が試料に合焦したピント位置に対応するピーク値である
かを識別し、所定のピント位置に合焦することを特徴と
する。

〔作用〕

ピーク値が表れる位置の間隔があらかじめわかってい
れば、一つのピーク値と基準値との比較において条件を
満たしているときはその位置を所定の合焦位置と判断
し、上記条件を満たしていないときは、そのピーク位置
周辺のデータを０にし、再度ピーク位置を検出し、この
ピーク位置を所定の合焦位置と判断する。

〔実施例〕

以下、図面を参照しながら本考案にかかるオートフォ
ーカス装置の実施例について説明する。

図示の実施例では、DAT用に用いられる回転ドラムに
おける磁気ヘッドの位置計測及び姿勢計測装置として構
成されているので、実施例の説明の前にDATにおける磁
気ヘッドの位置計測及び姿勢計測の概略について説明し
ておく。

第８図は、画像入力装置から入力される磁気ヘッド27
の入力画像を示す。磁気ヘッド27は、ヘッドギャップ25
を挟んで配置されたセンダスト23,23と、各センダスト2
3,23の各一側に配置されたフェライトコア22,22と、ヘ
ッドギャップ25の各一端を一つの頂点としてセンダスト
23とフェライトコア22で囲まれた三角形の空間に配置さ
れたガラス24,24とを有してなる。画像入力装置からの
上記磁気ヘッドの画像信号は画像処理装置に入力され、
ヘッドギャップ25の位置が一定の点を基準としてＸ−Ｘ
座標上の位置として計測される。

DATの回転ドラムには、２個の磁気ヘッドがドラムの
外周部に180度の間隔で取り付けられている。従って、
ドラムが180度回転したとき、２個の磁気ヘッドの位置
がそれぞれ正しい位置にあり、相互に合致していなけれ
ばならない。２個の磁気ヘッドの位置がそれぞれ正しい
位置にあるかどうか、かつ、相互に合致しているかどう
かは、一つの磁気ヘッドの画像信号を画像入力装置によ
り入力して位置計測を行った後、ドラムを180度回転し
て他方の磁気ヘッドの画像信号を画像入力装置より入力
して位置計測を行うことにより判断することができる。
また、２個の磁気ヘッドのテープとの摺接面は、テープ
との良好な摺接関係を得るために、ドラムの外周面から
適宜の量だけ突出させる必要があり、かつ、２個の磁気
ヘッドの突出量が一致していなければならない。さら
に、ギャップ25をテープに正しく摺接させるためには、
磁気ヘッド27が正しい姿勢になっていて、ギャップ25の
位置がドラム面から最も突出した位置になければならな
い。

いま、画像入力装置の撮像光学系に干渉対物レンズを
有する顕微鏡を用いてこれを試料としての磁気ヘッドに
対して光軸方向に移動させると、前述のように磁気ヘッ
ドの画像が表れ、また、その位置から一定距離光軸方向
に移動した位置で干渉縞が表れる。第１図は磁気ヘッド
27が正しい姿勢で取り付けられている場合に画像入力装
置で得られる画像信号の例を示すもので、磁気ヘッドの
ギャップ25の像が表れる位置と干渉縞17が表れる位置と
が画像信号上において一致している。

なお、本実施例では、磁気ヘッドのギャップ25の像が
表れる位置と干渉縞17の中心位置とを一致させている
が、一致させずに、所定の間隔をずらして磁気ヘッドを
取り付けている場合もある。第２図は磁気ヘッド27の姿
勢が不適当な場合で、磁気ヘッドのギャップ25が表れる
位置と干渉縞17が表れる位置が規定以上にずれている。
この磁気ヘッド27の姿勢の計測は、画像入力装置のオー
トフォーカス装置を利用することができる。第３図ない
し第６図は、磁気ヘッド27の姿勢計測に適用可能なオー
トフォーカス装置の例を示す。

試料としての磁気ヘッドに対し画像入力装置のレンズ
を光軸方向に相対移動させることにより、第３図に示す
ように出力電圧に二つのピークa,bが表れる。ピークａ
は磁気ヘッドに合焦したときのピークであり、ピークｂ
は干渉縞の発生によるピークであるが、オートフォーカ
ス装置では、いずれが磁気ヘッドに合焦したときのピー
クかはわからない。各ピークa,b間には光学系の構成に
よって決まる一定の距離Ｄがある。試料としての磁気ヘ
ッドがドラムに挿入されるときのばらつきはあらかじめ
わかっており、これをレンジＷとする。合焦のためのス
キャン幅ＳはレンジＷよりも大きい。ピークａにおける
出力電圧Vaとピークｂにおける出力電圧Vbはどちらが大
きいか不定であるが、第３図の例ではVa＞Vbとなってい
る。そこで、６図にも示すように、まず、画像入力装置
を取り付けたステージをスキャン幅Ｓの近点側の範囲外
である基準点Ｃまで移動し、この基準点Ｃにおける出力
電圧Vcにαを付加してなる電圧Vfを基準電圧としてメモ
リする。次に、ステージをスキャン幅Ｓの遠点側まで移
動させ、その間に表れるピークの最大値とその位置を求
め、最大値の位置（第３図の例ではピークａの位置）ま
でステージを移動させる。次に、この位置から距離Ｄだ
け遠点の方に離れた位置にステージを移動し、この移動
後の出力Veをメモリから取り出す。第３図の場合はVe＝
Vbである。そこで、VeとVfを比較する。第３図ではVe＞
Vfのため、ステージを最大値の位置、すなわちピークａ
の位置まで移動させて停止させ、この位置を目的の合焦
位置とする。第３図においては上記ステージの移
動を示す。

ところで、場合によっては第４図に示すように干渉縞
のピークｂの出力電圧Vbが磁気ヘッドに合焦したときの
ピークａの出力電圧Vaよりも大きい場合がある。この場
合、第６図のVeとVfの比較においてVe＜Vfとなって電圧
Vbの位置は磁気ヘッドに対する焦点位置ではなく、干渉
縞に対する焦点位置であることがわかるため、第５図に
鎖線の枠で示すように、Vb周辺のあらかじめ設定された
範囲、すなわち干渉縞によるピークが表れる前後の範囲
のデータを０として再び最大値及び最大値の位置を求め
るステップに進む。この最大値及び最大値の位置を求め
るステップでは、磁気ヘッドに合焦することによって表
れるピークａの位置が求める合焦位置となり、この位置
でステージが停止する。

こうして、磁気ヘッドに合焦した位置と干渉縞が発生
する位置とを検出することができ、それぞれの合焦位置
において表れる画像を処理することによって磁気ヘッド
のギャップが回転ドラム面から最も突出した位置にある
かどうか、すなわち磁気ヘッドが正しい姿勢で取り付け
られているかどうす計測することができる。

ここで、基準点Ｃの電圧Vcの値とａ又はｂ点の電圧と
を比較するようにしたのはヘッド面の状態によって出力
電圧が異なるため、初めからVcを一定にしておくとａ又
はｂ点の電圧がVcよりも低くなる場合が生じて合焦点を
検出することができない場合があるからである。従っ
て、その都度基準点Ｃの電圧Vcを求めて比較するように
している。また、Vc＋α＝Vfとしたのは、Vcだけでは電
圧が低く、Veがあまり高くなくてもVe＞Vcが成立して合
焦位置を間違うことがであるからである。上記αは予じ
め実験により求めた最適値である。

次に、上記オートフォーカス装置を利用したDAT用磁
気ヘッドの自動組み立て装置の例について説明する。

第７図において、DATの回転ドラム３の外周部には180
度間隔で磁気ヘッド1,2がねじ止めされている。ドラム
３は、モータ14によって回転駆動される治具12に磁気ヘ
ッド1,2側を上にして取り付けられている。ドラム３は
テープレコーダに組み込まれる場合は磁気ヘッド1,2側
を下にして固定ドラムに対して回転可能に取付けられ
る。

治具12上のドラム３の上記磁気ヘッドの一つに対向さ
せて顕微鏡４が配置されている。顕微鏡４はその干渉対
物レンズ41の光軸42が上記磁気ヘッドの略中心部に位置
するように精密なステージ６に取り付けられている。顕
微鏡４で拡大して見る試料は磁気ヘッド1,2であり、サ
ブミクロンオーダーの精度で計測することができる。ス
テージ６にはまた顕微鏡４の結像位置に画像入力装置と
してのテレビカメラ５が取り付けられている。ステージ
６はモータ13により前記光軸42方向に駆動される。

テレビカメラ５によって得られる磁気ヘッドの画像信
号は、モニタ８に入力されて磁気ヘッドの画像が映しだ
されると共に、オートフォーカス装置７に入力される。
オートフォーカス装置７は、テレビカメラ５からの画像
信号を効率よく、かつ、他からの干渉を受けることなく
画像処理装置９に送るためのバッファ77と、撮像画面中
の合焦させたい部分、即ち本実施例ではヘッド面のデー
タだけを取り出すために必要な部分を設定する検出域及
び走査線設定部73と、この検出及び走査線設定部73で設
定された範囲の画像信号のみを通すためのゲート72と、
このゲート72からの画像信号の中から高周波成分を取り
出すためのハイパスフィルター74と、このハイパスフィ
ルター74からの出力信号を図示しないA/D変換器によ
り、アナログ信号よりデジタル信号に変換させ、このデ
ジタル信号のデータを記憶させるメモリ75と、このメモ
リ75の記憶データから合焦点を求め、ステージ６を移動
させるための信号を出力させるオートフォーカス用制御
部76とを有してなる。オートフォーカス装置７による合
焦方式はコントラスト法である。

前記オートフォーカス用制御部76は、ステージ６上の
顕微鏡４及びテレビカメラ５の移動と共に各カメラ位置
でのデータをメモリ75から取り込む。このデータは第３
図又は第４図に示すように変化するため、この出力電圧
特性から合焦点を検出し、この検出信号を用いて、モー
タ13を駆動してステージ６を対物レンズ41の光軸42方向
に移動させる。ステージ６には顕微鏡４とテレビカメラ
５が取り付けられているため、ステージ６の移動と共に
合焦位置が変わる。オートフォーカス用制御部76は顕微
鏡４が磁気ヘッドへの合焦点に達するまでモータ13を駆
動してスージ６を移動させることができる。

前記画像処理装置９は、第８図に示すような画像信号
から、フェライトコア22、ガラス24及びセンダスト23と
交差するヘッドギャップ25の一方の交点の位置を計測す
る。この計測は、例えば、画面枠20の左隅を原点Ｏとし
て横軸をＸ、縦軸をＹとしたとき、このＸ−Ｙ座標上で
上記ヘッドギャップの交点位置を計測することによって
行うことができる。また、画像処理装置９は、一方の磁
気ヘッド１のギャップ位置データをX₁，Y₁で、他方の磁
気ヘッド２のギャップ位置データをX₂，Y₂で表し、これ
を次に説明するシステム制御部10の中に設けられたメモ
リに記憶させる。

システム制御部10は、治具12やオートフォーカス装置
７や画像処理装置９等を含む磁気ヘッド組み立て装置全
体の制御を行うもので、２個の磁気ヘッド1,2のギャッ
プ位置X₁，Y₁とX₂，Y₂、ドラム３からの突出量t₁，t₂及
びドラム３に対する磁気ヘッド1,2の姿勢を計測し、こ
れらが許容範囲内にあるかどうかを判断する。具体的に
は、まず、ドラム３を少し回転させ、このドラム３の外
周面までの距離Z_D1，Z_D2（図示せず）を求め、次に、磁
気ヘッド１に合焦したときのステージ６の位置Z₁と、磁
気ヘッド２に合焦したときのステージ６の位置Z₂を求
め、磁気ヘッド１の突出量t₁をt₁＝（Z_D1−Z₁）により
求める。同様にして、磁気ヘッド２の突出量t₂をt₂＝
（Z_D2−Z₂）により求める。または、磁気ヘッド1,2を取
り付けたドラム３に代えてマスターワークを取り付け、
マスターワークの磁気ヘッドに該当する部分に合焦した
ときのステージ６の位置Z,Z_Oから上記磁気ヘッドに該当
する部分の突出量t,t_Oを求めると共に、マスターワーク
の上記磁気ヘッドに該当する部分のヘッドギャップ位置
X,Y,X_O，Y_Oを求める。そして、ワークとしてのドラム３
上の磁気ヘッド1,2の上記各データと、マスターワーク
の各データとをそれぞれ比較し、それぞれの差、すなわ
ち、（t₁−ｔ），（t₂−t_O），（X₁−Ｘ），（X₂−
X_O），（Y₁−Ｙ），（Y₂−Y_O）を求める。さらに、オー
トフォーカス装置７によって磁気ヘッド面と干渉縞発生
位置とに合焦したときの画像の磁気ヘッドのギャップ位
置と干渉縞の中心位置との位置ずれから磁気ヘッドのド
ラム３に対する姿勢を計測する。このようにして求めら
れた値が、予め設定された許容範囲内にあるときは、治
具12からドラム３を取外し、次の試料となるドラムを治
具12に取り付ける。もし、求められた値が上記の許容範
囲から外れているときは、ヘッド位置補正装置11に信号
を送る。システム制御10はまた、一つの磁気ヘッドの計
測が終了したとき、他方の磁気ヘッドの計測を行うため
に、モータ14を駆動して治具12を180度回転させる。

ヘッド位置補正装置11は、システム制御部10から信号
を受けて磁気ヘッド１又は磁気ヘッド２の取付けねじを
弛めて調整の対象となる磁気ヘッドの位置を調整し、ま
た上記取り付けねじを締め付けてドラム３に上記磁気ヘ
ッドを再び取り付ける装置である。このヘッド位置補正
装置11は本考案には直接的な関係はないので詳細な説明
は省略する。

次に、上記自動組み立て装置の動作を第９図のフロー
チャートを参照しながら説明する。

まず、手作業又は図示されないドラム移動用アーム等
を用いて、マスターワークとしてのドラムを治具12上に
設置する。マスターワークの磁気ヘッド面は干渉対物レ
ンズ41の光軸42上に位置し、マスターワークの磁気ヘッ
ドの画像がモニタ８に映し出される。ただし、顕微鏡４
の焦点が磁気ヘッドに合っていない場合が普通であるか
ら、モニタ８に映し出される画像はぼけているのが普通
である。

ここで、マスターワークの２個の磁気ヘッド及びドラ
ム３の２個の磁気ヘッドの一方をＲチャンネルヘッド、
他方をＬチャンネルヘッドとする。そこでまず、上記マ
スターワークのＲチャンネルヘッドの面に合焦させる。
そのためにまずマスターワークとしてのドラムが設置さ
れたことを図示されないセンサにより感知し、この感知
信号に基づいてシステム制御部10からオートフォーカス
装置７に信号を送る。オートフォーカス装置７はモータ
13を駆動してステージ６をその移動ストロークの全範囲
にわたって移動させ、この移動に伴う上記磁気ヘッドの
画像のコントラストの変化のデータをメモリ75に記憶さ
せる。この記憶データは第３図、第４図に示すようなデ
ータである。オートフォーカス装置７はまた、メモリ75
に記憶されたデータからヘッド面への合焦位置及び干渉
縞発生位置を検出し、モータ13を駆動して、検出された
上記合焦位置と、干渉縞発生位置までステージ６及びこ
れと一体の顕微鏡４、テレビカメラ５を移動させる。

上記オートフォーカス装置７の動作をより具体的に説
明すると、顕微鏡４で拡大されテレビカメラ５から出力
される試料としての磁気ヘッドの画像信号は、ゲート72
において、検出域及び走査線設定部73からの信号により
画像信号の中から特定の走査線部分を選び、ハイパスフ
ィルター74でその高周波成分を取り出し、図示しないA/
D変換器によりアナログ信号をデジタル信号に変換し、
このデジタル信号をメモリ75に記憶させる。この記憶デ
ータはオートフォーカス用制御部76に入力される。オー
トフォーカス用制御部76は、まずモータ13を駆動してス
テージ６及びこれに取り付けられた顕微鏡４とテレビカ
メラ５をその移動ストロークの全範囲にわたり移動さ
せ、このときのハイパスフィルター74からの出力信号で
あるオートフォーカス信号の変化をメモリ75に記憶させ
る。次に、オートフォーカス用制御部76は、上記メモリ
75の記憶データに基づいてモータ13を制御し、ステージ
６を移動させてテレビカメラ５の撮影面に磁気ヘッド面
が結像するように、また、干渉縞が発生するようにピン
ト合わせを行う。上記メモリ75に記憶されているデータ
は、第３図、第４図に示すような特性をもったグラフで
あり、この出力特性の中から第６図について説明したよ
うに、磁気ヘッド面への合焦点までステージ６が移動す
るようにモータ13を駆動する。合焦位置においてモニタ
８に映し出される磁気ヘッドの画像は第８図のような画
像となる。

第９図に戻って、合焦動作が終了したら、この合焦し
たときの磁気ヘッド面からステージ６までの距離をステ
ージ６の位置Ｚとしてこれを計測する。マスターワーク
の磁気ヘッドの突出量ｔは予め一定の量、例えば20μｍ
に設定してあるので、これらの値を基準として、計測し
たデータをシステム制御部10の中のメモリに記憶させ
る。上記ステージ６の位置Ｚの計測は、例えばモータ13
をパルスモータとし、同モータの原点からの駆動パルス
数を計測し、既知の１パルス分のステージ６の移動距離
を上記駆動パルス数に掛けることにより求めることがで
きる。

次に、第８図に示すような画像信号から、ヘッドギャ
ップ25の、フェライトコア22、ガラス24及びセンダスト
23との交点のうちの一方の位置を画像処理により計測
し、磁気ヘッドのギャップ位置を求める。これは、例え
ば第８図に示すような画像の左隅を原点Ｏ、横軸をＸ、
縦軸をＹとし、磁気ヘッドのギャップ位置をＸ、Ｙ座標
上で計測することによって求めることができる。求めら
れたギャップ位置データはシステム制御部10内のメモリ
に記憶される。

さらに、前に詳細に説明した手順にわりヘッドの姿勢
を計測してメモリに記憶する。

次に、システム制御部10からの信号によりモニタ14の
駆動のもとに治具12を180度回転させる。これにより治
具12に取り付けられているマスターワークも一体回転
し、マスターワークに取り付けられているＬチャンネル
の磁気ヘッドが顕微鏡４の光軸42上にもたらされる。こ
のマスターワークのＬチャンネル磁気ヘッドについて
も、前述のＲチャンネル磁気ヘッドの場合と同様にし
て、ヘッド面に合焦させたときのステージ６の位置Z_Oを
計測する。Ｌチャンネル磁気ヘッドの突出量も基準値t_O
として設定してあり、この基準値t_Oに対する上記ステー
ジ６の位置Z_Oを基準値としてメモリに記憶させておく。
さらに、画像処理によりＬチャンネルの磁気ヘッドのギ
ャップ位置をX,Yの値で計測し、その計測データX_O，Y_O
をメモリに記憶させておく。また、Ｌチャンネルヘッド
の姿勢も計測してメモリに記憶させる。

次に、マスターワークを治具12から取り外し、代りに
試料のドラム３を治具12に取り付ける。そして、マスタ
ーワークについての計測と同様に、そのときのステージ
６の位置Z₁を計測し、この計測値から試料のＲチャンネ
ル磁気ヘッドの突出量t₁を計算してメモリに記憶させ
る。また、前述のマスターワークの場合と同様に、試料
のＲチャネル磁気ヘッドのギャップの位置をX,Y座標上
で求め、その計測値X₁，Y₁をメモリに記憶させる。さら
に、上記磁気ヘッドの姿勢を計測してメモリに記憶させ
る。

次に、システム制御部10内にメモリされた基準値とし
ての突出量ｔと計測値である試料の突出量t₁とを比較し
て両者の差をとる。また、ギャップの位置についても同
様にして基準値X,Yと計測値X₁，Y₁とを比較し、両者の
差をとる。さらに、磁気ヘッドの姿勢についても、マス
ターワークのＲチャンネルの値との差をとる。これらの
差が許容範囲内であればＬチャンネル磁気ヘッドの計測
ステップに進むが、許容範囲を越えているときは、シス
テム制御部10からヘッド位置補正装置11に指令信号が送
られ、Ｒチャンネル磁気ヘッドの位置調整が行われ、再
び計測が行われる。計測の結果、許容範囲内に入ってい
れば次のＬチャンネル磁気ヘッドの計測に進む。

Ｌチャンネル磁気ヘッドの計測は、まず、治具12を18
0度回転させて顕微鏡４の光軸上に試料のＬチャンネル
磁気ヘッドを位置させ、前述の場合と同様にヘッド面に
合焦させてそのときのステージ６の位置を計測し、その
計測結果から磁気ヘッドの突出量t₂を計算する。また、
X,Y座標上でのギャップの位置X₂，Y₂を計測し、これら
の値をメモリする。磁気ヘッドの姿勢についても計測
し、その値をメモリする。そして、これらの計測値をマ
スターワークのＬチャンネルヘッドの計測値である基準
値と比較して差を求め、この差が許容値内にあるかどう
すを判断し、許容値を越えているものについては前述の
ように位置調整を行う。許容値内にある場合は試料を治
具12から取り外し、次の試料について同様に計測する。

以上述べた実施例によれば、画像入力装置の光軸方向
に複数のピント位置を有する試料の各ピント位置に対し
て合焦することができると共に、複数のピント位置の中
から所定のピント位置を検出してこれに合焦することが
できる。従って、図示の応用例のように、磁気ヘッド面
の画像と磁気ヘッドの最も突出した位置における干渉縞
発生位置とにそれぞれ合焦し、双方の画像のずれから磁
気ヘッドの姿勢を計測することができる。また、画像処
理装置が有しているオートフォーカス装置を利用してい
るため、装置の構成の複雑化を回避できるという効果も
ある。さらに、顕微鏡４を用いることにより、サブミク
ロンオーダーの精度で高精度の計測が可能であり、DAT
ヘッドのような極めて小さな対象物についても精度よく
計測することができる。

なお、本考案にかかる位置計測装置は、磁気ヘッドの
自動組み付け機のみでなく、これ以外の各種の機器に適
用可能である。

また、計測基準として必ずしもマスターワークを用い
る必要はなく、例えば、回転ドラムヘッドの場合は、ド
ラムの面にピントを合わせてこれを基準とし、次にヘッ
ド面にピントを合わせ、このときの移動量から突出し量
を計測するようにしてもよい。

〔考案の効果〕

本考案によれば、画像入力装置の光軸方向に複数のピ
ント位置を有する試料の各ピント位置に対して合焦する
ことができると共に、複数のピント位置の中から所定の
ピント位置を検出してこれに合焦することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案にかかるオートフォーカス装置を適用可
能な磁気ヘッドの姿勢計測の概略を示す説明図、第２図
は磁気ヘッドの異なる姿勢での上記姿勢計測の様子を示
す説明図、第３図は本考案にかかるオートフォーカス装
置の出力電圧特性の例を示す線図、第４図は同上出力特
性の異なる例を示す線図、第５図は同上出力特性の一部
のデータを０にすることを示す線図、第６図は本考案に
かかるオートフォーカス装置の動作例を示すフローチャ
ート、第７図は本考案の応用例である磁気ヘッド自動組
み立て装置の例を示すブロック図、第８図は画像入力装
置によって得られる画像の例を示す正面図、第９図は上
記磁気ヘッド自動組み立て装置の動作を示すフローチャ
ート、第10図はオートフォーカス装置によって得られる
信号の例を示す波形図、第11図は複数のピント位置を有
する試料に対するオートフォーカス装置の出力特性の例
を示す線図である。 1,2……試料としての磁気ヘッド、５……画像入力装置
としてのテレビカメラ、a,b……ピント位置、Ｃ……基
準点、Va,Vb……ピーク値。

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０３Ｂ 3/00 Ａ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】画像入力装置に用い、かつ、画像入力装置
   の光軸方向に、試料に合焦したピント位置と干渉縞の発
   生によるピント位置の複数のピント位置を有し、これら
   ピント位置が一定の位置関係を有している試料に対する
   オートフォーカス装置であって、 前記複数のピント位置にそれぞれ対応して表れる出力の
   ピーク値及びそのときの位置を検出し、各ピーク値と基
   準出力とを前記一定の位置関係に基づいて比較すること
   により前記各ピーク値の、何れが試料に合焦したピント
   位置に対応するピーク値であるかを識別し、所定のピン
   ト位置に合焦することを特徴とするオートフォーカス装
   置。