JPH0875554A - 赤外線温度センサ - Google Patents

赤外線温度センサ

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JPH0875554A
JPH0875554A JP1808191A JP1808191A JPH0875554A JP H0875554 A JPH0875554 A JP H0875554A JP 1808191 A JP1808191 A JP 1808191A JP 1808191 A JP1808191 A JP 1808191A JP H0875554 A JPH0875554 A JP H0875554A
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temperature sensor
signal
infrared temperature
sensor according
infrared
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JP1808191A
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Alfred Boehm
ベーム アルフレッド
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Ultrakust Electronic GmbH
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
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    • G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
    • G01J5/12—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using thermoelectric elements, e.g. thermocouples

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  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】簡単な方法で異なる測定条件への適用が可能と
し、またセンサ素子出力信号を優れた温度安定性を以っ
て評価可能な赤外線温度センサ１０を提供する。 【構成】赤外線温度センサ１０はセンサ素子４０のアナ
ログ出力信号をデジタル信号に変換するための変換手段
を備えている。この変換手段は、直列接続された可調節
周波数カウンタである電圧−周波数変換器５０を含む。
これにより、測定範囲のみならず、赤外線温度センサ１
０の分解能または測定速度をも、個々の要求に適合させ
ることが出来る。また、測定信号はただちにデジタル化
処理されるので、アナログ成分の悪影響の介入を回避し
て測定精度を向上させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、デジタル信号へ変換さ
れ処理されるアナログ信号を発生するセンサ素子を備え
た赤外線温度センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】赤外線温度センサは放射高温計などで非
接触温度測定を行うために使用されており、特に多大な
労力と費用を要する接触温度計測法でしか求められない
ような超高温の測定に適している。これによれば、セン
サと非測定高温部品またはセンサと被測定部品の可腐食
性雰囲気との直接接触を回避できる。
【０００３】特願昭６１−３０７２８号（１９８６年６
月２６日 日本特許抄録 第１０巻Ｎｏ．１８３ Ｐ４
７２）にも、アナログ測定信号がデジタル信号に変換さ
れる赤外線温度測定装置が開示されている。この引例で
は、回転可能に支持された検出器の回転速度は検出器出
力信号の関数として制御されている。
【０００４】また、他の赤外線測定装置が特願昭６１−
１８６８２４（１９８７年１月１０日 日本特許抄録
第１１巻 Ｎｏ９ Ｐ５３４）に示されている。この引
例では、出力信号が測定信号の大きさの関数として異な
る増幅器へ供給され、該各増幅器が測定範囲を自動的に
設定させる。
【０００５】放射温度計における測定量のデジタル処理
については、特願昭６３−３２３１号（１９８８年６月
９日 日本特許抄録 第１２巻 Ｎｏ．１９９ Ｐ７１
４）より周知である。
【０００６】ＧＢ−Ａ−２ １３ ８７７には、ガスタ
ービンのロ−タブレード温度検出装置が開示されてい
る。この装置では、測定信号の線形化及び処理がデジタ
ル信号への変換後に行われている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、放射高温計
は、手動調整測定パラメータまたは固定測定パラメータ
の何れかにより操作されている。このため、高温計使用
面での柔軟性が制限されてしまう。
【０００８】また、上記従来の放射温度計における測定
量のデジタル処理装置では、測定信号の修正及び線形化
がデジタル信号への変換に先だって行われている。この
修正及び線形化に使用されるアナログ成分が、測定信号
に対して温度依存性の干渉作用を与えて測定精度に悪影
響を及ぼす。
【０００９】さらに、上記従来のガスタービンロ−タブ
レードの温度検出装置では、測定パラメータをその測定
の基準となるものにセットしなければならないので、装
置の使用分野が制限されるという不都合があった。
【００１０】本発明の目的は、簡単な方法で異なる測定
条件に適用可能とし、またセンサ素子出力信号を優れた
温度安定性を以って評価可能な赤外線温度センサを提供
することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、上記目
的は、センサ素子のアナログ出力信号をデジタル信号に
変換するための変換手段を備えた赤外線温度センサによ
り達成される。この変換手段は、直列接続された可調節
周波数カウンタである電圧−周波数変換器を含む。これ
により、測定範囲のみならず、赤外線温度センサの分解
能または測定速度をも、個々の要求に適合させることが
出来る。また、測定信号は直ちにデジタル化処理される
ので、アナログ成分の悪影響の介入を回避して測定精度
を向上させることができる。
【００１２】本発明の発展変更例は、各サブクレームの
主題として掲げた。
【００１３】
【作用】本発明に係る赤外線温度センサでは、センサ素
子のアナログ出力信号はその評価前及び線形化が行われ
る十分前にデジタル化される。また、変換手段を分解能
選択可能に構成したことにより、超高分解能と低測定速
度との間、または低分解能と高測定速度との間、で任意
の選択を行える。このようにして、本発明の赤外線温度
センサは、幅広く種々の測定機能に対して適切となり、
異なる測定場所で容易に使用することができる。他の利
点としては、出力信号の線形化及び評価をセンサ素子か
らの出力信号をデジタル化した後に行なうことである。
これにより、異なる環境温度下で赤外線温度センサを用
いた時にエラー源と成り得る複雑な線形化装置を介して
高価なアナログ回路や温度補償のための補償抵抗を使用
する必要が無くなる。また線形化の他、測定範囲の設定
についてもプログラム制御方式で実行可能である。
【００１４】本発明は、特に形の変化する物体または移
動物体の測定に適している。本発明の更に好適な発展例
においては、変換手段は電圧ー周波数変換器及び直列接
続された周波数カウンタを含む。こうして、センサ素子
で発生したアナログ出力信号はパルス列に変換され、該
パルス列の周波数は出力信号振幅に依存することにな
る。直列接続された可調節周波数カウンタにより、ゲー
ト時間は所望の分解能の関数として変化してデジタル信
号となり、これがデジタル信号処理手段による処理を受
ける。周波数カウンタの分解能は、信号処理手段を介し
てプログラム可能である。
【００１５】センサ素子への温度の影響を補償するた
め、温度センサはセンサ素子の直隣に配置されて温度依
存性基準接合信号を発生することが好適である。
【００１６】また、基準信号を発生させるための制御電
圧源が設けられこれが評価回路への温度影響をチェック
し補償することが望ましい。
【００１７】本発明の更に好適な発展例では、接触温度
センサのための接続手段が設けられ、これがエミッショ
ンファクターを決定する。
【００１８】本発明の更に好適な発展例によれば、前記
測定量及び基準量を可調節変換手段の入力及び／または
信号処理手段の数個の入力に対してプログラム制御され
るスイッチを介して交互に供給可能である。変換手段及
びスイッチの制御は制御ロジックにより行われ、該制御
ロジックは信号処理手段のマイクロプロセッサ内に配置
されている。
【００１９】デジタル信号処理手段には複数の入出力が
設けられていることが望ましい。こうすれば、数個のア
ナログ−デジタル変換器にはその入力としてアナログ信
号及び基準電圧が与えられる。デイスプレイの制御或は
測定パラメータの変更を目的としたキーボードの接続等
用として、信号処理手段と入力−出力機器とがその位置
で通信を行うための内部バス（Ｉ2 Ｃ−バス）が配設さ
れている。
【００２０】本発明の更に他の発展例によれば、赤外線
温度センサの信号処理手段は外部バスシステムに対する
入出力を行うための接続手段を有し、この接続手段によ
って信号処理手段は制御可能及びプログラム可能とな
る。このようにして中央制御ユニットは複数の温度セン
サ及び他の測定装置をセントラル方式で制御でき、また
この中央制御ユニットから、測定パラメータまたは線形
化データ等を再プログラムすることもできる。中央制御
ユニットは、パーソナルコンピュータなどで構成でき
る。バスシステムは２ワイヤライン方式が理想的であ
る。これによれば、低廉な技術的費用で複数の測定ステ
ーションを接続できる。該各ステーション及び中央制御
ユニットの信号は、マルチプレックス処理または他のコ
ード化処理等のデジタル認識により発生する。信号処理
手段は光カプラを介して外部バスシステムに接続される
ことが好適であり、これによってバスシステムとデジタ
ル信号処理手段との抵触影響が伝送されることを回避で
きる。エネルギー供給が２ワイヤラインを介して行われ
ないならば、信号処理手段への電圧印加もまたＤＣ−Ｄ
Ｃコンバータにより本体から分離される。
【００２１】本発明に係る赤外線温度センサには測定装
置が設けられており、これにより可変走査レートで非接
触温度測定が可能となる。コネクタブル接点温度計を介
してエミッションファクターを自動的に補正可能であ
る。この温度計はインターフェースに対するフィールド
ブッシングを受ける事が出来、また周辺の等レート／高
レート測定／データ処理手段と接続可能である。
【００２２】
【実施例】図１は赤外線センサ１０の長手方向断面を示
す。センサ１０は耐腐食性物質から成り電磁線からの保
護作用を果たす伸長した円柱ケース１２を有する。ケー
ス１２内には、センサ素子、赤外線温度センサの光学系
及び電子系等が収納されている。
【００２３】ケース１２の長手方向前端には、取り付け
支持部１４がネジ留め固定されている。この取り付け支
持部１４は、所望の赤外線に対する最高の透過率を持つ
物質から構成された固体物質デイスク１６を固定するた
めに用いられる。デイスク１６は、外部からの機械的衝
撃に対する保護作用と共に、不要放射物に対するフィル
タの役割をも果たしている。また、デイスク１６は、レ
ンズ状の光学的能動素子としても構成できる。
【００２４】測定物体からの赤外線は、固体物質デイス
ク１６を通過して反射ミラー１８に入射した後、検出器
２０上に集束する。検出器２０は、熱電対として構成さ
れたセンサ素子と温度センサとを含む。検出器２０には
また、検出対象である赤外線に適したフィルタウインド
ウが形成されている。検出器２０の上流側には円形シャ
ッタ２２が配設されており、これにより、測定結果を狂
わせる阻害線となる周辺光線を防止できる。検出器２０
は取り付け支持体２４により、集束反射ミラー１８の集
束部上方に保持されている。取り付け支持体２４はま
た、ケース１２から検出器２０を熱的及び電気的に絶縁
している。
【００２５】ケース１２の端面部と管状部との間にはシ
ールリング２６が装着されており、これによって内部の
電子系及び光学系を保護するための、抗飛散水密封構造
が構成される。
【００２６】ケース後部には、コンバータや評価／デー
タ伝送用電子系のための２枚のプレート２８、３０が配
設されており、これらについて以下に詳述する。ケース
１２の後部端面壁はプラスチックフィルムで被覆された
後部壁３２から成り、その中心には、赤外線センサを電
圧源及び信号データラインに接続するための多重極／防
水プラグ３４が取り付けられている。このプラグにはま
た、アナログ出力及び周辺ユニットに対する接続手段が
含まれている。
【００２７】後部壁３２は、また赤外線照射素子３６を
有する。この素子３６は、自身から赤外線センサを遠隔
操作するために使用される。これについては後述する。
【００２８】第３の接続手段として、後部壁３２は、自
動エミッションファクター決定を開始するために全体接
触する面温度センサ用結合プラグ手段３８を有する。こ
の温度センサについては、後に図４を参照しつつ詳述す
る。
【００２９】図２は、図１に係る赤外線温度センサのブ
ロック回路図である。図の左側には反射ミラー１８とし
て構成された光学集束部が見られ、ここから入射赤外線
が検出器２０に到達する。検出器２０は、熱電対として
形成されたセンサ素子４０とサーミスタとして形成され
た温度センサ４２とを有する。温度センサ４２は、セン
サ素子同様、アナログ出力信号を発生する。熱電対４０
とサーミスタ４２との接続手段は、赤外線温度センサの
自己較正のための基準電圧源出力と共に、被制御チャン
ネル部スイッチ５６上に配置されている。このスイッチ
５６により、熱電対４０の測定信号、サーミスタ４２の
基準接合信号、及び基準電圧源４４の基準信号は、標準
化増幅器として機能するプログラマブル増幅器４８へ供
給される。増幅器４８の出力は電圧−周波数変換器５０
に接続されており、該変換器５０は、増幅されたアナロ
グ信号からデジタル信号を発生する。このデジタル信号
の周波数は、アナログ信号の振幅に依存する。こうして
発生したデジタル周波数信号はマイクロプロセッサ５の
第１入力へ供給される。マイクロプロセッサ５２は、赤
外線温度センサの信号処理手段の心臓部を構成してい
る。マイクロプロセッサ５２の第１入力は、可変分解能
の計数モジュール５４により形成されており、特に８−
１６のビットを持つ。これにより、測定を超高分解能で
行うべきか、高速度且つ低分解能で行うべきか、を決定
できる。
【００３０】マイクロプロセッサ５２はまた、１０ビッ
トＡ／Ｄ変換器として構成された第２入力を持つ。この
Ａ／Ｄ変換器は、図４に詳細に示されたように、エミッ
ションファクターを決定するために接点温度計６０を介
して測定物５８の温度を測定する。Ａ／Ｄ変換器の第２
入力は、熱電対出力へ直接接続されているか、或はプロ
グラム制御スイッチ６２を介して異なるアナログ出力電
圧と可能基準電圧との間で切り替え可能に構成されてい
る。これによって平行Ａ／Ｄ変換が行われる結果、迅速
な赤外線温度測定または基準接合信号測定等を実行可能
となる。
【００３１】接点温度計６０への入力は、その内部の抵
抗温度計へ定電流を供給するための定電流源６３に接続
されている。接点温度計の出力信号は、入力増幅器６４
を経てＡ／Ｄ変換器５６に入る。これにより、未知の放
射源のエミッションファクターを決定することが可能と
なり、また自動エミッションファクター補正を実行する
ことができる。薄明りの放射源のエミッションファクタ
ーの決定には、しばしば困難が伴う。よく知られている
ものとしては、比較測定法がよく用いられる。これは、
まずエミッションファクターに変換される。または、赤
外線温度計により決定された温度が、そのエミッション
ファクターを調節することにより、接点温度計により測
定された温度と等しくなるように設定される。しかし、
周知の赤外線温度センサにおいては、エミッションファ
クターはこの目的のためにリセットしなければならな
い。ここではそれが不要となる。理由は、測定物の表面
接触測定の結果がエミッションファクターの自動決定に
際して加味されるからである。
【００３２】マイクロプロセッサ５２はまた、シリアル
バスとして構成された内部インターフェース（Ｉ2 Ｃバ
ス）を有し、これにより測定値を表示するためのアナロ
グ信号をその位置で出力することができる。入力キーボ
ード及び測定値または状態の表示器としてのシリアルキ
ーボード表示増設部７２が、内部バス７０に接続されて
いる。また、内部バス７０に対して、エミッションファ
クター設定器７４、減衰量設定器７６、切り替え出力部
７８、そしてＤ／Ａ変換器及び増幅器を含むアナログ出
力部８０の各々が接続されている。このアナログ出力部
８０は、センサ素子４０において発生したアナログ電圧
またはアナログ電流出力部として機能する。
【００３３】マイクロプロセッサ５２は、センサパラメ
ータ（例えばＥＥＰＲＯＭ）及び他の変動操作データを
記憶するための電気的に消去可能なメモリ８２に接続さ
れている。ここに記憶された値は、赤外線温度センサに
停電が生じたような場合でもそのまま保持されるから、
再入力する必要はない。マイクロプロセッサ５２はま
た、信号処理手段のプログラムメモリを構成するＥＰＲ
ＯＭ及び／またはＲＡＭ８４に接続されている。測定範
囲、制限値またはアナログ入出力を変更するために、後
述する外部バスシステムを介して前記メモリへ戻ること
も可能である。
【００３４】マイクロプロセッサ５２は、光カプラ８６
を介してシリアルインターフェースモジュール８８に接
続されている。このモジュール８８は、再度、２ワイヤ
ライン型外部バスシステム９０に接続されている。外部
バスシステム９０は、同時に振幅または周波数変調及び
対応する市販の分離モジュールを介してのエネルギー及
びデータ伝送用としても使用可能である。
【００３５】シリアルインターフェースモジュール８８
は、対称または非対称のデータを異なるボー比（ここで
は特に７６，８００ビット／秒）で伝送するためのイン
ターフェース送受信器として使用される。
【００３６】もし外部バスシステム９０が同時エネルギ
ー及びデータ伝送用の２ワイヤライン型式ではないなら
ば、センサユニットを本体から分離するガルバニ分離を
行うための直流電圧変換器９２が信号処理手段内に配設
される。
【００３７】マイクロプロセッサ５２は、第３図を参照
しつつ後に詳述する、センサ手段１０と外部読み出しま
たは伝送ユニットとの間で非接続状態＊ワイヤレスでデ
ータ交換を行うための送受信ダイオードを有する赤外線
伝送ユニット３６に接続されている。
【００３８】図３は、複数の赤外線温度センサ１０ａ、
ｂ、ｃ及びｄの可能な構成例を示す。これら各赤外線温
度センサは、２ワイヤバス９０を介して、マスターとし
て機能する制御ユニット９６に接続されている。この制
御ユニット９６は、例えばインテリジェント測定装置、
コンピュータ、または送信機等で構成可能である。デー
タ伝送報告は、周知の方法でランダムに行われる。
【００３９】デイスプレイを備えたキーボード９８は、
図２に示すキーボード表示拡張部７２を介して赤外線温
度センサ１０ａに接続されている。
【００４０】図１及び図２に示した赤外線照射ユニット
３６を介し、赤外線温度センサ１０ｂは更に外部制御ユ
ニット１００と照射接触している。この外部制御ユニッ
トもまた赤外線照射ユニットを有し、これにより中央位
置からセンサ１０ｂを制御及び監視することが出来る。
【００４１】図２に示した赤外線温度センサ１０ｃのア
ナログ出力８０は、調整及び制御機能用として使用され
るドライブ１０２に接続されている。制御作用は、電流
を媒体として行われる。
【００４２】赤外線温度センサ１０ｄには、線−放射測
定物５８の温度を測定する接点温度計６０が接続されて
いる。デジタルまたはアナログ測定値デイスプレイ１０
４もまた、赤外線温度センサ１０ｄに接続されている。
【００４３】図４には、フィーラとして構成されプロー
ブ１０６を有する接点温度計６０が示され、これによっ
てエミッションファクタが自動演算される。この値は、
ＥＥＰＲＯＭとして構成され電気的に消去可能なメモリ
８４内に順次格納され、以降の測定値を演算するために
用いられる。接点温度計を使用しないキャリブレーショ
ン処理が存在する場合には、内部に設定されたエミッシ
ョンファクタが使用される。エミッションファクタは、
当然また２ワイヤライン９０を介して中央制御ユニット
９６によりセットすることもでき、こうすれば赤外線セ
ンサをアクセス不能な場所に配設することが時に可能と
なる点で有利である。図２における温度センサは入力モ
ジュール７５を含む。この入力モジュール７５を介し
て、外部トリガ信号を援用することで測定サイクルを開
始することができる。
【００４４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、赤外線
に感応してアナログ出力信号を発生するセンサ素子を有
する赤外線温度センサにより可変速度及び可変分解能の
赤外線温度測定が実行可能となる。本発明にかかるセン
サは、アナログ信号をデジタル変換するための少なくと
も一の分解能可変変換手段、及びプログラム制御線形化
及びデジタル信号の評価を行うためのデジタル信号処理
手段、が配設されている。
【図面の簡単な説明】
【図１】光学系及び電子系が統合された赤外線温度セン
サの長手方向断面図。
【図２】信号処理手段を有する赤外線温度センサの回路
図。
【図３】複数の中央制御された赤外線温度センサが相互
接続されたブロック図。
【図４】エミッションファクタ決定用のマイクロスイッ
チを備えた接点温度計の長手方向断面図。
【符号の説明】
１０ 赤外線温度センサ １２ ケース １４ 取り付け支持体 １６ デイスク ２０ 検出器 ２２ 円形シャッタ ４０ センサ素子 ５０ 電圧−周波数変換器 ５２ マイクロプロセッサ ５８ 測定物 ６０ 接点温度計
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｖ 8/10

Claims (28)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】赤外線に感応してアナログ出力信号を発生
    するセンサ素子と、 電圧−周波数変換器及び直列接続型可変周波数カウンタ
    を有し、その分解能及び測定範囲を調節可能でありアナ
    ログ出力信号をデジタル信号に変換するための少なくと
    も一の変換手段と、 プログラム制御による線形化及びデジタル信号の評価を
    行うデジタル信号処理手段と、を備えたことを特徴とす
    る赤外線温度センサ。
  2. 【請求項２】請求項１に記載のセンサにおいて、前記周
    波数カウンタはプログラム可能であることを特徴とする
    赤外線温度センサ。
  3. 【請求項３】請求項１に記載のセンサにおいて、前記セ
    ンサ素子と熱接触して温度依存性基準接合信号を発生す
    る温度センサを含むことを特徴とする赤外線温度セン
    サ。
  4. 【請求項４】請求項１に記載のセンサにおいて、基準信
    号を発生するための制御電圧源が設けられていることを
    特徴とする赤外線温度センサ。
  5. 【請求項５】請求項１に記載のセンサにおいて、前記信
    号処理手段は、測定信号への付加入力としてＡ／Ｄ変換
    器を有することを特徴とする赤外線温度センサ。
  6. 【請求項６】請求項１に記載のセンサにおいて、前記信
    号処理手段は、演算／制御ロジック含むマイクロプロセ
    ッサを有することを特徴とする赤外線温度センサ。
  7. 【請求項７】請求項１に記載のセンサにおいて、前記信
    号処理手段は、測定信号に対して線形化データ及び修正
    データを与えるためのメモリを有することを特徴とする
    赤外線温度センサ。
  8. 【請求項８】請求項７に記載のセンサにおいて、前記メ
    モリはプログラム可能であることを特徴とする赤外線温
    度センサ。
  9. 【請求項９】請求項１に記載のセンサにおいて、前記信
    号処理手段は、信号及び制御量を入出力するための内部
    バスを有することを特徴とする赤外線温度センサ。
  10. 【請求項１０】請求項１に記載のセンサにおいて、前記
    信号処理手段は、外部バスシステムとの入出力用接続手
    段を有し、これによって該信号処理手段は特に制御可能
    及びプログラム可能となることを特徴とする赤外線温度
    センサ。
  11. 【請求項１１】請求項１０に記載のセンサにおいて、前
    記外部バスシステムには中央プログラム／制御ユニット
    が接続されていることを特徴とする赤外線温度センサ。
  12. 【請求項１２】請求項１０に記載のセンサにおいて、前
    記接続手段は光カプラを有することを特徴とする赤外線
    温度センサ。
  13. 【請求項１３】請求項１０に記載のセンサにおいて、前
    記接続手段はインターフェースモジュールを有し、これ
    が２線ラインを介してバスシステムに接続されているこ
    とを特徴とする赤外線温度センサ。
  14. 【請求項１４】請求項１３に記載のセンサにおいて、前
    記２線ラインはエネルギー伝送及びデータ伝送の双方用
    として構成されていることを特徴とする赤外線温度セン
    サ。
  15. 【請求項１５】請求項１４に記載のセンサにおいて、前
    記デジタル処理手段のための電源は、自身を本体から分
    離するためのＤＣ−ＤＣ変換器を有することを特徴とす
    る赤外線温度センサ。
  16. 【請求項１６】請求項１に記載のセンサにおいて、前記
    信号処理手段は、遠隔制御及び／または遠隔ポーリング
    のための赤外線送信ー受信素子を有することを特徴とす
    る赤外線温度センサ。
  17. 【請求項１７】請求項１６に記載のセンサにおいて、各
    遠隔ポール間の測定値をより多数格納するためのバッフ
    ァストアが設けられていることを特徴とする赤外線温度
    センサ。
  18. 【請求項１８】請求項１に記載のセンサにおいて、外部
    から供給されたトリガ信号によって測定処理及び測定シ
    ーケンスが開始可能であることを特徴とする赤外線温度
    センサ。
  19. 【請求項１９】赤外線に感応してアナログ出力信号を発
    生するセンサ素子と、 その分解能及び測定範囲を調節可能でありアナログ出力
    信号をデジタル信号に変換するための少なくとも一の変
    換手段であって、電圧−周波数変換器及び直列接続型可
    変周波数カウンタとを有する変換手段と、 プログラム制御による線形化と、デジタル信号の評価
    と、を行うデジタル信号処理手段と、 前記センサ素子と熱接触して温度依存性基準接合信号を
    発生する温度センサと、 基準信号を発生するための制
    御電圧源と、を備えたことを特徴とする赤外線温度セン
    サ。
  20. 【請求項２０】請求項１９に記載のセンサにおいて、前
    記センサ素子のアナログ出力信号、基準信号、及びオプ
    ションでの基準信号は、変換手段の入力へ交互に供給さ
    れることを特徴とする赤外線温度センサ。
  21. 【請求項２１】請求項１９に記載のセンサにおいて、前
    記信号処理手段の各入力へ測定信号を分配するためのプ
    ログラム制御切替手段が設けられていることを特徴とす
    る赤外線温度センサ。
  22. 【請求項２２】請求項１９に記載のセンサにおいて、測
    定対象物の温度を決定するため及びエミッションファク
    ターを決定するための接触温度計の入力が設けられてい
    ることを特徴とする赤外線温度センサ。
  23. 【請求項２３】請求項１に記載のセンサにおいて、前記
    信号処理手段は演算／制御ロジックを含むマイクロプロ
    セッサと、 測定信号に対して線形化データ及び修正データを与える
    ためのメモリと、信号及び制御量を入出力するための内
    部バスと、 信号処理手段を特に制御可能及びプログラム可能とす
    る、外部バスシステムとの入出力用接続手段と、を有す
    ることを特徴とする赤外線温度センサ。
  24. 【請求項２４】請求項２３に記載のセンサにおいて、前
    記メモリはプログラム可能であることを特徴とする赤外
    線温度センサ。
  25. 【請求項２５】請求項２３に記載のセンサにおいて、前
    記接続手段は光カプラを有することを特徴とする赤外線
    温度センサ。
  26. 【請求項２６】請求項２３に記載のセンサにおいて、前
    記信号処理手段は、遠隔制御及び／または遠隔ポールの
    ための赤外線送信／受信素子を有することを特徴とする
    赤外線温度センサ。
  27. 【請求項２７】請求項２６に記載のセンサにおいて、各
    遠隔ポール間の測定値をより多数格納するためのバッフ
    ァストアが設けられていることを特徴とする赤外線温度
    センサ。
  28. 【請求項２８】請求項２６に記載のセンサにおいて、外
    部から供給されるトリガ信号によって測定処理または測
    定シーケンスを開始可能であることを特徴とする赤外線
    温度センサ。
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