JPH0875663A - プリント配線板の検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 被検査物の振動を防止でき，被検査物の脱着
作業が容易にでき，かつ正確なパターン検査を行うこと
ができるプリント配線板の検査装置を提供すること。 【構成】 被検査物であるプリント配線板９６を光照射
するための光照射装置２０，２１及び上記プリント配線
板９６からの反射光を受光するカメラ部２５を有する光
学系ユニット２と，上記プリント配線板９６を載置する
と共に多数の吸引孔を有する移動テーブル３と，上記光
学系ユニット２と移動テーブル３とを配設した定盤４
と，上記移動テーブル３に連結された吸引ブロア７と，
該吸引ブロア７を配設すると共に上記定盤４を載置する
基台５とよりなる。上記定盤４は，防振ゴム６を介し
て，上記基台５に支承されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は，プリント配線板に形成
されているパターンを検査するためのパターン検査装置
に関する。

【０００２】

【従来技術】プリント配線板に設けられた回路パターン
は，その製造過程において断線，ショート等の欠陥を生
ずることがある。そのため，各プリント配線板はパター
ン検査装置を用いて検査される。このパターン検査装置
としては，パターンに対して光照射するための光照射装
置と，パターンを撮像するカメラ部とを有するものがあ
る。

【０００３】従来，かかる光照射式のパターン検査装置
としては，図７に示すパターン検査装置９がある。この
パターン検査装置９は，光照射装置９０，補助光照射装
置９１とカメラ部９５よりなる光学系と，被検査物であ
るプリント配線板９６を載せて移動する移動テーブル９
７とよりなる。

【０００４】上記パターン検査装置９において，プリン
ト配線板９６のパターンを検査する場合には，まず，移
動テーブル９７上にプリント配線板９６を固定する。そ
して，光照射装置９０，９１の光源９０１，９０２の光
を，ライトガイド９０２，９１２を用いて，プリント配
線板９６上に光照射する。そして，該プリント配線板９
６から反射される検出光を，上記カメラ部９５における
ＣＣＤカメラ９５１がキャッチする。

【０００５】カメラ部９５でキャッチされた検出光は，
２値画像に変換され，図示しないパターン解析装置によ
り，マスターパターンとの間で比較検査に付される。こ
れにより，上記パターンにおける欠陥の有無が検出され
る。また，上記光照射装置９０とカメラ部９５とは，フ
レームにより一体化され，被検査物であるプリント配線
板９６に対して相対的に走査される。

【０００６】

【解決しようとする課題】しかしながら，上記従来のパ
ターン検査装置においては，次の問題がある。即ち，上
記被検査物であるプリント配線板９６は，上記移動テー
ブル９７上に確実に固定して検査する必要がある。この
固定が確実に行われずに，上記プリント配線板９６が振
動したり，ズレたりすると，画像の乱れを引き起こして
検査精度を著しく低下させてしまう。

【０００７】そこで，プリント配線板を移動テーブル上
に機械的にクランプして固定する方法が考えられる。し
かし，この方法は，プリント配線板９６の脱着作業の手
間がかかったり，プリント配線板９６の寸法毎にクラン
プ機構を変更する必要がある。また，クランプによりプ
リント配線板９６を損傷するおそれもある。

【０００８】また，上記移動テーブルに吸引孔を多数設
けて吸引し，それによりプリント配線板９６を吸着する
ことにより，プリント配線板９６を移動テーブル９７上
へ固定する方法も考えられる。しかしながら，この場合
には，吸引用に設置される吸引ブロアの振動が上記移動
テーブル９７に伝わり，プリント配線板９６の振動を引
き起こしてしまう。このため，画像の乱れを引き起こ
し，検査精度が低下する。

【０００９】本発明はかかる従来の問題点に鑑み，被検
査物の振動を防止でき，被検査物の脱着作業が容易にで
き，かつ正確なパターン検査を行うことができるプリン
ト配線板の検査装置を提供しようとするものである。

【００１０】

【課題の解決手段】本発明は，被検査物であるプリント
配線板を光照射するための光照射装置及び上記プリント
配線板からの反射光を受光するカメラ部を有する光学系
ユニットと，上記プリント配線板を載置すると共に多数
の吸引孔を有する移動テーブルと，上記光学系ユニット
と移動テーブルとを配設した定盤と，上記移動テーブル
に載置されたプリント配線板を吸着すべく上記移動テー
ブルに連結された吸引ブロアと，該吸引ブロアを配設す
ると共に上記定盤を載置する基台とよりなる検査装置で
あって，上記定盤は，防振ゴムを介して，上記基台上に
支承されていることを特徴とするプリント配線板の検査
装置にある。

【００１１】本発明において最も注目すべきことは，上
記定盤は，上記防振ゴムを介して，上記基台上に支承さ
れていることにある。上記防振ゴムは，上記定盤と基台
が対面する四隅に設けられ，かつ，上記防振ゴムは，底
板部と２枚の横板部とが互いに直角に接合した３面構造
であることが好ましい。これにより，上記３面構造の防
振ゴムは，上記定盤と基台の四隅において，上下左右い
ずれの方向の振動に対しても防振効果をもたらすことが
できる。

【００１２】また，上記定盤に突出した脚部を設け，一
方上記防振ゴムは上記脚部を挿入する有底穴を有する形
状にすることもできる。これにより，上記３面構造の防
振ゴムの場合と同様の効果が得られる。また，上記防振
ゴムは，凹凸表面を有することが好ましい。これによ
り，凹凸がない場合に比べ，高い防振効果を得ることが
できる。また，上記防振ゴムとしては，例えばクロロプ
レンゴム，天然ゴムなどを使用する。

【００１３】次に，上記移動テーブルと上記吸引ブロア
との間は，可撓性を有する吸引ダクトホースにより連結
されていることが好ましい。これにより，吸引ブロアの
振動が移動テーブルに伝達されることを，より一層防止
することができる。また，上記光学系ユニット，移動テ
ーブル及び定盤は，防塵用ケースに覆われていることが
好ましい。これにより，塵埃等の侵入による検査精度低
下の防止を図ることができる。

【００１４】

【作用および効果】本発明のプリント配線板の検査装置
においては，先ず，被検査物であるプリント配線板を，
上記移動テーブルの上に載せる。次いで，上記基台に配
設されている上記吸引ブロアを運転する。このとき，上
記移動テーブルに設けられている多数の吸引孔は，連結
されている上記吸引ブロアの吸引作用により，負圧とな
る。そのため，上記プリント配線板は，上記移動テーブ
ルに載せるだけで，移動テーブル上に吸着され，確実
に，簡単に固定させることができる。

【００１５】また，プリント配線板のパターンを検査し
ている間は，上記吸引ブロアが運転されているため，吸
引ブロアが振動を起こす。そして，その振動は，吸引ブ
ロアが設置されている基台に伝わり，該基台も振動す
る。しかしながら，基台の振動は，上記定盤との間に介
されている防振ゴムに吸収される。そのため，定盤に
は，吸引ブロアの振動が伝わることがない。

【００１６】即ち，上記定盤上に配設されている光学系
ユニットと移動テーブル，及び移動テーブル上に吸着さ
れたプリント配線板には，基台の振動が伝わらない。そ
のため，これらが振動せず，正確なパターン検査を行う
ことができる。

【００１７】次に，検査後に，プリント配線板を取り外
す場合には，上記吸引ブロアの運転を止める。これによ
り，上記移動テーブルの多数の吸引孔は，大気圧に戻
る。そのため，プリント配線板を簡単に取り外すことが
できる。即ち，被検査物であるプリント配線板の脱着作
業が容易である。

【００１８】上述のごとく，本発明によれば，被検査物
の振動を防止でき，被検査物の脱着作業が容易にでき，
かつ正確なパターン検査を行うことができるプリント配
線板の検査装置を提供することができる。

【００１９】

【実施例】

実施例１ 本発明の実施例にかかるプリント配線板の検査装置につ
き，図１〜図５を用いて説明する。本例のプリント配線
板の検査装置１０は，図１〜図３に示すように，被検査
物であるプリント配線板９６を光照射するための２つの
光照射装置２０，２１及び上記プリント配線板９６から
の反射光を受光するカメラ部２５を有する光学系ユニッ
ト２と，上記プリント配線板９６を載置すると共に多数
の吸引孔を有する移動テーブル３とを有する。

【００２０】また，上記光学系ユニット２と移動テーブ
ル３とを配設した定盤４と，上記移動テーブル３に載置
されたプリント配線板９６を吸着すべく上記移動テーブ
ル３に連結された吸引ブロア７と，該吸引ブロア７を配
設すると共に上記定盤４を載置する基台５とを有する。
また，上記定盤は，防振ゴム６を介して，上記基台５上
に支承されている。

【００２１】ここで，注目すべきことは，定盤４は，防
振ゴム６を介して，基台５上に支承されていることであ
る。上記防振ゴム６は，図１に示すように，定盤４と基
台５が対面する四隅に設けられている。防振ゴム６は，
底板部６１と２枚の横板部６２とが互いに直角に接合し
た３面構造でクロロプレンゴム製である。また，防振ゴ
ム６は，図４に示すごとく，両表面に，凸部６０１と凹
状溝６０２を有する。

【００２２】また，上記光学系ユニット２は，図１〜図
３に示すごとく，定盤４に設けられたブリッジ４５と横
行装置２９を介して定盤４に配設されている。そして，
光学系ユニット２は，横行装置２９の作用によって，移
動テーブル３の移動方向に対して９０度の水平方向に走
査可能に配設されている。また，光照射装置２０，２１
は，プリント配線板９６へ光をガイドするための，ライ
トガイド２０１，２１１を有する。また，横行装置２９
の前面，即ち光学系ユニットの取付部分には，防塵用の
伸縮可能なジャバラ２９１が設けてある。

【００２３】また，上記移動テーブル３は，図１〜図３
に示すごとく，定盤４上に設けられた移行装置３９を介
して定盤４に配設されている。上記移動テーブル３は，
移行装置３９の作用によって，上記光学系ユニット２の
移動方向に対して９０度の水平方向に移動可能に配され
ている。また，上記移行装置３９の上面，即ち移動テー
ブル３の取付部分には，防塵用の伸縮可能なジャバラ３
９１が設けてある。従って，上記光学系ユニット２と移
動テーブル３の移動方向を組み合わせることによって，
プリント配線板９６上のパターンを自由自在に走査す
る。

【００２４】また，図３に示すごとく，上記移動テーブ
ル３と吸引ブロア７は，可撓性を有する吸引ダクトホー
ス７５及び吸引ボックス３３を介して連結されている。
上記移動テーブル３に設けられている多数の吸引孔３０
は，上記吸引ボックス３３に開口している。

【００２５】また，図２に示すごとく，上記プリント配
線板の検査装置１０の隣には，解析装置８０を設置し，
両者は電気的に接続されている。上記解析装置８０に
は，プリント配線板のパターン解析装置（図示略）と上
記検査装置１０の制御装置（図示略）が内蔵されてい
る。

【００２６】また，図５に示すように，上記検査装置１
０は，防塵ケース１５に覆われている。上記防塵ケース
１５は，本体ケース１５１とその前方へ延設させた基台
カバー用の前部ケース１５２と，該前部ケース１５２上
に設けた前方上部ケース１５３とよりなる。なお，図３
に示す７９は，光源冷却用のブロアである。

【００２７】次に，本例の作用効果につき説明する。本
例のプリント配線板の検査装置１０においては，先ず，
被検査物であるプリント配線板９６を，上記移動テーブ
ル３の上に載せる。このとき，上記移動テーブル３に設
けられている多数の吸引孔３０は，上記吸引ブロア７の
吸引作用により，負圧となり，プリント配線板９６を吸
着する。そのため，プリント配線板９６は移動テーブル
３上に吸着され，確実に，簡単に固定される。

【００２８】次に，パターンを検査している間は，上記
吸引ブロア７が運転され振動を起こす。そのため，基台
５も振動する。しかしながら，該基台５の振動は，上記
定盤４との間に介されている防振ゴム６に吸収される。
そのため，定盤４には，吸引ブロア７の振動が伝わるこ
とがない。

【００２９】また，吸引ブロア７と移動テーブル３との
間は，上記可撓性を有する吸引ダクトホースで行われて
いる。そのため，吸引ブロア７の振動は，吸引ダクトホ
ース７５に吸収され，移動テーブル３に伝わらない。ま
た，図３に示した光源冷却用ブロア７９運転中の振動
も，同様に防振ゴムに吸収されて定盤４に伝わらない。

【００３０】即ち，上記定盤４上に配設されている光学
系ユニット２と移動テーブル３，及びこの上に吸着され
たプリント配線板９６には，上記基台５の振動が伝わら
ない。そのため，上記光学系ユニット２とプリント配線
板９６が振動せず，正確なパターン検査を行うことがで
きる。

【００３１】また，検査後に，上記プリント配線板９６
を取り外す場合には，上記吸引ブロア７の運転を止め
る。これにより，上記移動テーブル３の多数の吸引孔
は，大気圧に戻る。そのため，プリント配線板９６を簡
単に取り外すことができ，その脱着作業が容易である。

【００３２】上述のごとく，本例によれば，被検査物の
振動を防止でき，被検査物の脱着作業が容易にでき，か
つ正確なパターン検査を行うことができるプリント配線
板の検査装置を提供することができる。また，本例にお
いては，上記検査装置１０は，上記防塵ケース１５に覆
われているため，塵埃等の侵入による検査精度低下を防
止することができる。

【００３３】実施例２ 本例は，図６ａ〜ｃに示すごとく，上記実施例１にかか
るプリント配線板の検査装置において，上記定盤４は突
出した脚部４８（図６ｃ）を有し，一方上記防振ゴム６
５は上記脚部４８を挿入する有底穴６６を有する（図６
ａ，ｂ）ものである。また，組付時においては，図６ｃ
に示すように，定盤４の脚部４８は，防振ゴム６５の有
底面６６の底部と接触しない。また，定盤４の底面４０
１は，防振ゴム６５の上面６５１に載置される。その他
は実施例１と同様である。本例においても，実施例１と
同様の効果を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１におけるプリント配線板の検査装置の
展開斜視図。

【図２】実施例１におけるプリント配線板の検査装置と
解析装置の斜視図。

【図３】実施例１におけプリント配線板の検査装置の側
面図。

【図４】実施例１における防振ゴムの一部断面斜視図。

【図５】実施例１におけるプリント配線板の検査装置の
防塵ケースの説明図。

【図６】実施例２における防振ゴムの説明図。

【図７】従来例におけるプリント配線板の検査装置の説
明図。

【符号の説明】

１０．．．検査装置， ２．．．光学系ユニット， ２０，２１．．．光照射装置， ２５．．．カメラ部， ３．．．移動テーブル， ４．．．定盤， ５．．．基台， ６．．．防振ゴム， ７．．．吸引ブロア， ７５．．．吸引ダクトホース，

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検査物であるプリント配線板を光照射
   するための光照射装置及び上記プリント配線板からの反
   射光を受光するカメラ部を有する光学系ユニットと，上
   記プリント配線板を載置すると共に多数の吸引孔を有す
   る移動テーブルと，上記光学系ユニットと移動テーブル
   とを配設した定盤と，上記移動テーブルに載置されたプ
   リント配線板を吸着すべく上記移動テーブルに連結され
   た吸引ブロアと，該吸引ブロアを配設すると共に上記定
   盤を載置する基台とよりなる検査装置であって，上記定
   盤は，防振ゴムを介して，上記基台上に支承されている
   ことを特徴とするプリント配線板の検査装置。
2. 【請求項２】 請求項１において，上記防振ゴムは，上
   記定盤と上記基台とが対面する四隅に設けてあり，かつ
   該防振ゴムは，底板部と２枚の横板部とがそれぞれ互い
   に直角に接合した３面構造であることを特徴とするプリ
   ント配線板の検査装置。
3. 【請求項３】 請求項１において，上記定盤は突出した
   脚部を有し，一方上記防振ゴムは上記脚部を挿入する有
   底穴を有していることを特徴とするプリント配線板の検
   査装置。