JPH0878884A - 電子部品吸着ノズル - Google Patents
電子部品吸着ノズルInfo
- Publication number
- JPH0878884A JPH0878884A JP6207562A JP20756294A JPH0878884A JP H0878884 A JPH0878884 A JP H0878884A JP 6207562 A JP6207562 A JP 6207562A JP 20756294 A JP20756294 A JP 20756294A JP H0878884 A JPH0878884 A JP H0878884A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic component
- circuit board
- printed circuit
- suction
- support
- Prior art date
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- Manipulator (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】電子部品のリードとプリント基板のパッドとの
はんだ付けを高精度に行うことができるとともに、マウ
ントの際にバックアップを必要としない電子部品吸着ノ
ズルを提供すること。 【構成】プリント基板に装着するための電子部品を吸着
保持する電子部品吸着ノズルにおいて、支持部20と、
前記電子部品を吸着する吸着部30と、支持部20の先
端部に設けられ、吸着部30を揺動自在に支持した支持
機構23と、吸着部30を支持部20に弾性的に保持し
た弾性部材54とを備えている。
はんだ付けを高精度に行うことができるとともに、マウ
ントの際にバックアップを必要としない電子部品吸着ノ
ズルを提供すること。 【構成】プリント基板に装着するための電子部品を吸着
保持する電子部品吸着ノズルにおいて、支持部20と、
前記電子部品を吸着する吸着部30と、支持部20の先
端部に設けられ、吸着部30を揺動自在に支持した支持
機構23と、吸着部30を支持部20に弾性的に保持し
た弾性部材54とを備えている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、プリント基板にテープ
キャリアパッケージ(以下、「TCP」と称する。)等
の電子部品を搭載する半導体実装装置のマウントヘッド
に組み込まれるものであって、電子部品を吸着保持する
電子部品吸着ノズルに関する。
キャリアパッケージ(以下、「TCP」と称する。)等
の電子部品を搭載する半導体実装装置のマウントヘッド
に組み込まれるものであって、電子部品を吸着保持する
電子部品吸着ノズルに関する。
【0002】
【従来の技術】従来から半導体実装装置であるアウター
リードボンディング装置のマウントヘッドにおいて、T
CPなどの電子部品を吸着保持するために電子部品吸着
ノズルが用いられている。このとき、電子部品吸着ノズ
ルの下面とプリント基板の実装面とを平行に保つことに
よって、TCPのリードとプリント基板のパッドとを正
確に接合するようにしていた。このため、吸着ノズルの
下面の角度を高精度に調整する必要があった。
リードボンディング装置のマウントヘッドにおいて、T
CPなどの電子部品を吸着保持するために電子部品吸着
ノズルが用いられている。このとき、電子部品吸着ノズ
ルの下面とプリント基板の実装面とを平行に保つことに
よって、TCPのリードとプリント基板のパッドとを正
確に接合するようにしていた。このため、吸着ノズルの
下面の角度を高精度に調整する必要があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の電
子部品吸着ノズルにあっては次のような問題があった。
すなわち、TCPが吸着ノズルによってプリント基板の
実装面に対して高精度の平行状態に保持されていない
と、プリント基板のパッド部とTCPの一部のリードが
プリント基板のパッドに接触せず、はんだ不良を起こす
要因となる虞があった。また、このようなマウントヘッ
ドで電子部品の全リードをプリント基板のパッドに均一
に接触させるためには、プリント基板が変形するまで高
加圧でTCPを押し込む必要があった。このとき、実装
するプリント基板の裏面にバックアップが必要となり、
バックアップが接するプリント基板の裏面には他の電子
部品を実装することができない。このため、製品の設計
に制約が生じるという問題があった。さらに、吸着ノズ
ルの角度を高精度に調整しても、プリント基板に撓みが
生じており、個々の実装面の傾きが異なる場合には対応
できないという問題があった。
子部品吸着ノズルにあっては次のような問題があった。
すなわち、TCPが吸着ノズルによってプリント基板の
実装面に対して高精度の平行状態に保持されていない
と、プリント基板のパッド部とTCPの一部のリードが
プリント基板のパッドに接触せず、はんだ不良を起こす
要因となる虞があった。また、このようなマウントヘッ
ドで電子部品の全リードをプリント基板のパッドに均一
に接触させるためには、プリント基板が変形するまで高
加圧でTCPを押し込む必要があった。このとき、実装
するプリント基板の裏面にバックアップが必要となり、
バックアップが接するプリント基板の裏面には他の電子
部品を実装することができない。このため、製品の設計
に制約が生じるという問題があった。さらに、吸着ノズ
ルの角度を高精度に調整しても、プリント基板に撓みが
生じており、個々の実装面の傾きが異なる場合には対応
できないという問題があった。
【0004】そこで本発明は、電子部品のリードとプリ
ント基板のパッドとのはんだ付けを高精度に行うことが
できるとともに、マウントの際にバックアップを必要と
しない電子部品吸着ノズルを提供することを目的として
いる。
ント基板のパッドとのはんだ付けを高精度に行うことが
できるとともに、マウントの際にバックアップを必要と
しない電子部品吸着ノズルを提供することを目的として
いる。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的を
達成するために、本発明は、プリント基板に装着するた
めの電子部品を吸着保持する電子部品吸着ノズルにおい
て、支持部と、前記電子部品を吸着する吸着部と、上記
支持部の先端部に設けられ、前記吸着部を揺動自在に支
持した支持機構と、前記吸着部を前記支持部に弾性的に
保持した弾性部材とを備えるようにした。
達成するために、本発明は、プリント基板に装着するた
めの電子部品を吸着保持する電子部品吸着ノズルにおい
て、支持部と、前記電子部品を吸着する吸着部と、上記
支持部の先端部に設けられ、前記吸着部を揺動自在に支
持した支持機構と、前記吸着部を前記支持部に弾性的に
保持した弾性部材とを備えるようにした。
【0006】また、前記支持機構は、前記支持部先端に
設けられた突起部及び鍔部と、前記吸着部の前記支持部
側に設けられ前記突起部及び前記鍔部が挿入される凹陥
部と、この凹陥部底面に設けられ前記突起部が揺動自在
に係合する凹部と、前記凹陥部側壁に前記鍔部より前記
支持部側に突設され上記鍔部に前記弾性部材を介して係
合する係合部とを具備することが好ましい。さらに、前
記弾性部材はOリングであることが好ましい。
設けられた突起部及び鍔部と、前記吸着部の前記支持部
側に設けられ前記突起部及び前記鍔部が挿入される凹陥
部と、この凹陥部底面に設けられ前記突起部が揺動自在
に係合する凹部と、前記凹陥部側壁に前記鍔部より前記
支持部側に突設され上記鍔部に前記弾性部材を介して係
合する係合部とを具備することが好ましい。さらに、前
記弾性部材はOリングであることが好ましい。
【0007】
【作用】上記手段を講じた結果、次のような作用が生じ
る。すなわち、吸着ノズルに吸着された電子部品とプリ
ント基板とが平行状態に保持されていない場合におい
て、吸着ノズルをプリント基板に近付けると、このプリ
ント基板に最初に当接した電子部品の部分から力を受け
て、電子部品とプリント基板とが平行になるような向き
に吸着部が揺動する。このため、高い圧力をかけること
なく電子部品の全リードをプリント基板のパッドに均一
に接触させることが可能となる。また、吸着部の揺動中
心となる支持機構を支持部の先端に設けるようにしたた
め、吸着部の揺動による接触前と接触後との電子部品の
各リードとプリント基板のパッドとの位置ずれを最小限
に抑えることができる。なお、電子部品とプリント基板
とが接触していない状態においては弾性部材によって吸
着部を一定の姿勢に保つことができる。
る。すなわち、吸着ノズルに吸着された電子部品とプリ
ント基板とが平行状態に保持されていない場合におい
て、吸着ノズルをプリント基板に近付けると、このプリ
ント基板に最初に当接した電子部品の部分から力を受け
て、電子部品とプリント基板とが平行になるような向き
に吸着部が揺動する。このため、高い圧力をかけること
なく電子部品の全リードをプリント基板のパッドに均一
に接触させることが可能となる。また、吸着部の揺動中
心となる支持機構を支持部の先端に設けるようにしたた
め、吸着部の揺動による接触前と接触後との電子部品の
各リードとプリント基板のパッドとの位置ずれを最小限
に抑えることができる。なお、電子部品とプリント基板
とが接触していない状態においては弾性部材によって吸
着部を一定の姿勢に保つことができる。
【0008】
【実施例】図1の(a),(b)は本発明の一実施例に
係るアウターリードボンディング装置のマウントヘッド
に組み込まれた電子部品吸着ノズルを示す図であって、
(a)は(b)におけるA−A線で切断し矢印方向から
みた縦断面図、(b)は底面図を示している。図1中1
0は図中上下方向にスライド移動自在に構成されたマウ
ントヘッド本体、20はマウントヘッド本体10先端に
固定された支持部、30は支持部20先端に支持された
電子部品を吸着する吸着部を示している。
係るアウターリードボンディング装置のマウントヘッド
に組み込まれた電子部品吸着ノズルを示す図であって、
(a)は(b)におけるA−A線で切断し矢印方向から
みた縦断面図、(b)は底面図を示している。図1中1
0は図中上下方向にスライド移動自在に構成されたマウ
ントヘッド本体、20はマウントヘッド本体10先端に
固定された支持部、30は支持部20先端に支持された
電子部品を吸着する吸着部を示している。
【0009】支持部20は、マウントヘッド本体10に
固定された中空筒状の支持部本体21と、この支持部本
体21のヘッド本体10とは反対側の開口部に挿入され
る鍔部22を備えている。鍔部22は後述する吸着部3
0の第2開口部33内に配置されている。支持部本体2
1の外径は後述する吸着部30の上蓋50中央の孔部5
2の図中上端に設けられた係合部53の内径よりも所定
寸法だけ小さい。また、鍔部22の外径は上蓋50の係
合部53の内径よりも所定寸法だけ大きく、上蓋50の
孔部52の内径よりも所定寸法だけ小さい。鍔部22の
中央には支持部本体21の反対側に円錐状の支持機構で
ある突起部23が設けられており、この突起部23の周
囲には支持部本体21の内部空間21aと連通する吸気
路24が設けられている。一方、支持部本体21の内部
空間21aは支持部本体21の外側部に設けられた吸気
部21bを介して吸気装置11に接続されている。
固定された中空筒状の支持部本体21と、この支持部本
体21のヘッド本体10とは反対側の開口部に挿入され
る鍔部22を備えている。鍔部22は後述する吸着部3
0の第2開口部33内に配置されている。支持部本体2
1の外径は後述する吸着部30の上蓋50中央の孔部5
2の図中上端に設けられた係合部53の内径よりも所定
寸法だけ小さい。また、鍔部22の外径は上蓋50の係
合部53の内径よりも所定寸法だけ大きく、上蓋50の
孔部52の内径よりも所定寸法だけ小さい。鍔部22の
中央には支持部本体21の反対側に円錐状の支持機構で
ある突起部23が設けられており、この突起部23の周
囲には支持部本体21の内部空間21aと連通する吸気
路24が設けられている。一方、支持部本体21の内部
空間21aは支持部本体21の外側部に設けられた吸気
部21bを介して吸気装置11に接続されている。
【0010】吸着部30は、支持部20の図中下方に配
置された正方形板状の吸着部本体31を備えている。吸
着部本体31の図中下方中央部には吸着部本体31より
も僅かに小さい正方形状の第1開口部32が設けられて
おり、図中上方中央部には前述した支持部本体21の鍔
部22の外径より所定寸法だけ大きい内径を有する凹陥
部としての第2開口部33が設けられている。なお、第
1開口部32と第2開口部33とは吸着部本体31内部
で連通している。吸着部本体31の各角部31a〜31
d外側には支持部本体21の図中下面よりも下方に突出
した爪34a〜34dが設けられている。
置された正方形板状の吸着部本体31を備えている。吸
着部本体31の図中下方中央部には吸着部本体31より
も僅かに小さい正方形状の第1開口部32が設けられて
おり、図中上方中央部には前述した支持部本体21の鍔
部22の外径より所定寸法だけ大きい内径を有する凹陥
部としての第2開口部33が設けられている。なお、第
1開口部32と第2開口部33とは吸着部本体31内部
で連通している。吸着部本体31の各角部31a〜31
d外側には支持部本体21の図中下面よりも下方に突出
した爪34a〜34dが設けられている。
【0011】第1開口部32内にはほぼ正方形板状の部
材40が嵌入、接合されている。部材40は各角部40
a〜40dが45°に切断されており、吸着部本体31
の第1開口部32の内面とともに吸着孔41a〜41d
が形成されている。また、図中上面中央部に凹部42が
設けられている。凹部42中央には円錐状の窪み42a
が形成されており、この窪み42aの傾斜角度は前述し
た支持部本体21の突起部23の傾斜角度より緩くなっ
ている。なお、窪み42a中央には突起部23の先端が
当接しており、突起部23はこの窪み42a中央をピボ
ットとして所定角度範囲内で揺動可能となっている。さ
らに、凹部42と各角部40a〜40dとの間には吸気
溝43a〜43dがそれぞれ形成されており、また、部
材40の図中下面は各角部40a〜40dを除いて僅か
に凹部44が形成されている。
材40が嵌入、接合されている。部材40は各角部40
a〜40dが45°に切断されており、吸着部本体31
の第1開口部32の内面とともに吸着孔41a〜41d
が形成されている。また、図中上面中央部に凹部42が
設けられている。凹部42中央には円錐状の窪み42a
が形成されており、この窪み42aの傾斜角度は前述し
た支持部本体21の突起部23の傾斜角度より緩くなっ
ている。なお、窪み42a中央には突起部23の先端が
当接しており、突起部23はこの窪み42a中央をピボ
ットとして所定角度範囲内で揺動可能となっている。さ
らに、凹部42と各角部40a〜40dとの間には吸気
溝43a〜43dがそれぞれ形成されており、また、部
材40の図中下面は各角部40a〜40dを除いて僅か
に凹部44が形成されている。
【0012】吸気部本体31の図中上面には円筒状の上
蓋50がねじ51a,51bによって固定されている。
上蓋50の中央部には前述した吸気部本体31の第2開
口部33と同径の孔部52が設けられており、図中上面
側には支持部20の支持部本体21の外径よりも所定寸
法だけ大きく、かつ支持部本体21の鍔部22の外径よ
りも所定寸法だけ小さい内径を有する係合部53が設け
られている。また、係合部53の下面と鍔部22の上面
との間には弾性部材である耐熱性ゴムで形成されたOリ
ング54が配置されている。
蓋50がねじ51a,51bによって固定されている。
上蓋50の中央部には前述した吸気部本体31の第2開
口部33と同径の孔部52が設けられており、図中上面
側には支持部20の支持部本体21の外径よりも所定寸
法だけ大きく、かつ支持部本体21の鍔部22の外径よ
りも所定寸法だけ小さい内径を有する係合部53が設け
られている。また、係合部53の下面と鍔部22の上面
との間には弾性部材である耐熱性ゴムで形成されたOリ
ング54が配置されている。
【0013】このように構成されたマウントヘッドにあ
っては図2の(a),(b)に示すようにして電子部品
であるTCPの搭載が行われる。なお、図中60はTC
Pを示しており、61は本体、62はリード(62a,
62bのみ図示)、70はプリント基板を示している。
アウターリードボンディング装置の吸気装置11を作動
させてTCP供給部(不図示)においてTCP60を吸
着する。このとき、吸気は支持部本体21の吸気部21
b、内部空間21a、吸気路24、凹部42、吸気溝4
3a〜43dを通って吸気孔41a〜41dを通じてT
CP60の本体61の図中上面に作用する。このため、
吸着部30の吸着部本体31の下面にTCP60の本体
61が吸着される。なお、Oリング54の復元力により
プリント基板70に当接する前の時点でのTCP60の
姿勢が一定に保たれている。さらに、支持部本体21と
吸着部本体31との隙間から吸気が漏れるのを防止して
いる。
っては図2の(a),(b)に示すようにして電子部品
であるTCPの搭載が行われる。なお、図中60はTC
Pを示しており、61は本体、62はリード(62a,
62bのみ図示)、70はプリント基板を示している。
アウターリードボンディング装置の吸気装置11を作動
させてTCP供給部(不図示)においてTCP60を吸
着する。このとき、吸気は支持部本体21の吸気部21
b、内部空間21a、吸気路24、凹部42、吸気溝4
3a〜43dを通って吸気孔41a〜41dを通じてT
CP60の本体61の図中上面に作用する。このため、
吸着部30の吸着部本体31の下面にTCP60の本体
61が吸着される。なお、Oリング54の復元力により
プリント基板70に当接する前の時点でのTCP60の
姿勢が一定に保たれている。さらに、支持部本体21と
吸着部本体31との隙間から吸気が漏れるのを防止して
いる。
【0014】光学系(不図示)によってTCP60及び
プリント基板70の位置を認識する。そして、認識を行
った結果から吸着部30の吸着部本体31の下面に吸着
されたTCP60をプリント基板70の所定の位置上方
に位置決めする。次に図2の(a)に示すようにマウン
トヘッド本体10を図中下方向にスライド移動させる。
TCP60がプリント基板70に対して平行に保持され
ていれば、そのままTCP60をプリント基板70に当
接させれば、TCP60の全てのリード62がプリント
基板70に設けられた所定のパッドに良好に接触する。
プリント基板70の位置を認識する。そして、認識を行
った結果から吸着部30の吸着部本体31の下面に吸着
されたTCP60をプリント基板70の所定の位置上方
に位置決めする。次に図2の(a)に示すようにマウン
トヘッド本体10を図中下方向にスライド移動させる。
TCP60がプリント基板70に対して平行に保持され
ていれば、そのままTCP60をプリント基板70に当
接させれば、TCP60の全てのリード62がプリント
基板70に設けられた所定のパッドに良好に接触する。
【0015】一方、TCP60がプリント基板70に対
して平行に保持されていない場合には、図中左端のリー
ド62aが最初にプリント基板70に当接する。そのま
まマウントヘッド本体10の下方向へのスライド移動が
続くと、リード62aが撓み、このリード62a自体の
弾性により図中上方向への力が作用する。このため、吸
着部30に図1の(a)における窪み42aを揺動中心
として時計まわり方向の回転モーメントが作用する。
して平行に保持されていない場合には、図中左端のリー
ド62aが最初にプリント基板70に当接する。そのま
まマウントヘッド本体10の下方向へのスライド移動が
続くと、リード62aが撓み、このリード62a自体の
弾性により図中上方向への力が作用する。このため、吸
着部30に図1の(a)における窪み42aを揺動中心
として時計まわり方向の回転モーメントが作用する。
【0016】さらに、マウントヘッド本体10を下方向
へスライド移動させると、吸着部30が窪み42aを揺
動中心として時計回り方向に揺動し、吸着部30及びT
CP60とプリント基板70に対して倣う。吸着部30
とプリント基板70がほぼ平行になると、図2の(b)
に示すようにTCP60の図中右端のリード62bがプ
リント基板70に当接する。
へスライド移動させると、吸着部30が窪み42aを揺
動中心として時計回り方向に揺動し、吸着部30及びT
CP60とプリント基板70に対して倣う。吸着部30
とプリント基板70がほぼ平行になると、図2の(b)
に示すようにTCP60の図中右端のリード62bがプ
リント基板70に当接する。
【0017】さらに、マウントヘッド本体10を下方向
へスライド移動させると、TCP60のリード62a,
62bの撓み量がほぼ同じになった時点で吸着部30と
プリント基板70とは平行となり、TCP60の全ての
リード62が均一にプリント基板70のパッドに接触す
る。
へスライド移動させると、TCP60のリード62a,
62bの撓み量がほぼ同じになった時点で吸着部30と
プリント基板70とは平行となり、TCP60の全ての
リード62が均一にプリント基板70のパッドに接触す
る。
【0018】上述したように本実施例によれば、傾いた
ままTCP60がプリント基板70に当接しても、TC
P60が揺動するため、高加圧を行わなくても全部のリ
ードがプリント基板にほぼ同時に当接する。また、窪み
42aを揺動中心とするため、揺動によるTCP60の
リード62の水平方向の移動量が最小限に抑えられるの
で、TCP60のリード62との高精度のはんだ付け接
続が実現できる。
ままTCP60がプリント基板70に当接しても、TC
P60が揺動するため、高加圧を行わなくても全部のリ
ードがプリント基板にほぼ同時に当接する。また、窪み
42aを揺動中心とするため、揺動によるTCP60の
リード62の水平方向の移動量が最小限に抑えられるの
で、TCP60のリード62との高精度のはんだ付け接
続が実現できる。
【0019】なお、本発明は上述した実施例に限定され
るものではない。すなわち上記実施例では、電子部品吸
着ノズルをアウターリードボンディング装置に適用した
が、他のボンディング装置に適用するようにしてもよ
い。このほか本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形
実施可能であるのは勿論である。
るものではない。すなわち上記実施例では、電子部品吸
着ノズルをアウターリードボンディング装置に適用した
が、他のボンディング装置に適用するようにしてもよ
い。このほか本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形
実施可能であるのは勿論である。
【0020】
【発明の効果】本発明によれば、電子部品とプリント基
板とが平行状態に保持されていない場合には、プリント
基板に最初に当接した電子部品の部分から力を受けて、
電子部品とプリント基板とが平行になるような向きに吸
着部が揺動する。このため、電子部品吸着ヘッドとプリ
ント基板とが平行に保持されていなくても、またプリン
ト基板に撓みが生じていても、低加圧で電子部品の全リ
ードとプリント基板のパッドとを均一に接触させること
ができる。したがって、高加圧によって全リードを接触
させる場合に用いられるバックアップは不要となり、製
品の設計の自由度が増すことが可能となる。さらに吸着
部が支持部の先端で支持されているので、揺動中心が電
子部品により近くなり、揺動による電子部品のリードの
位置ずれを最小限に抑えることができ、高精度のはんだ
付け接続が可能となる。
板とが平行状態に保持されていない場合には、プリント
基板に最初に当接した電子部品の部分から力を受けて、
電子部品とプリント基板とが平行になるような向きに吸
着部が揺動する。このため、電子部品吸着ヘッドとプリ
ント基板とが平行に保持されていなくても、またプリン
ト基板に撓みが生じていても、低加圧で電子部品の全リ
ードとプリント基板のパッドとを均一に接触させること
ができる。したがって、高加圧によって全リードを接触
させる場合に用いられるバックアップは不要となり、製
品の設計の自由度が増すことが可能となる。さらに吸着
部が支持部の先端で支持されているので、揺動中心が電
子部品により近くなり、揺動による電子部品のリードの
位置ずれを最小限に抑えることができ、高精度のはんだ
付け接続が可能となる。
【図1】本発明の一実施例に係るマウントヘッドに組み
込まれた電子部品吸着ノズルを示す図であって、(a)
は(b)におけるA−A線に沿って切断し矢印方向から
見た縦断面図、(b)は底面図。
込まれた電子部品吸着ノズルを示す図であって、(a)
は(b)におけるA−A線に沿って切断し矢印方向から
見た縦断面図、(b)は底面図。
【図2】同実施例における電子部品吸着ノズルを用いて
TCPをプリント基板に搭載する動作を示す説明図。
TCPをプリント基板に搭載する動作を示す説明図。
10…マウントヘッド本体 11…吸気装置 20…支持部 21…支持部本体 22…鍔部 23…突起部 24…吸気路 30…吸着部 31…吸着部本体 32…第1開口部 33…第2開口部 34a〜34d…
爪 40…部材 40a〜40d…
角部 41a〜41d…吸着孔 42…凹部 42a…窪み 43a〜43d…
吸気溝 44…凹部 50…上蓋 51a,51b…ねじ 52…孔部 53…係合部 54…Oリング 60…TCP 70…プリント基
板
爪 40…部材 40a〜40d…
角部 41a〜41d…吸着孔 42…凹部 42a…窪み 43a〜43d…
吸気溝 44…凹部 50…上蓋 51a,51b…ねじ 52…孔部 53…係合部 54…Oリング 60…TCP 70…プリント基
板
Claims (3)
- 【請求項1】プリント基板に装着するための電子部品を
吸着保持する電子部品吸着ノズルにおいて、 支持部と、 前記電子部品を吸着する吸着部と、 上記支持部の先端部に設けられ、前記吸着部を揺動自在
に支持した支持機構と、 前記吸着部を前記支持部に弾性的に保持した弾性部材と
を備えてなることを特徴とする電子部品吸着ノズル。 - 【請求項2】前記支持機構は、前記支持部先端に設けら
れた突起部及び鍔部と、前記吸着部の前記支持部側に設
けられ前記突起部及び前記鍔部が挿入される凹陥部と、
この凹陥部底面に設けられ前記突起部が揺動自在に係合
する凹部と、前記凹陥部側壁に前記鍔部より前記支持部
側に突設され上記鍔部に前記弾性部材を介して係合する
係合部とを具備してなることを特徴とする電子部品吸着
ノズル。 - 【請求項3】前記弾性部材はOリングであることを特徴
とする請求項2に記載の電子部品吸着ノズル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6207562A JPH0878884A (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 電子部品吸着ノズル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6207562A JPH0878884A (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 電子部品吸着ノズル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0878884A true JPH0878884A (ja) | 1996-03-22 |
Family
ID=16541801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6207562A Pending JPH0878884A (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 電子部品吸着ノズル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0878884A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100479910B1 (ko) * | 1997-08-04 | 2005-05-16 | 삼성테크윈 주식회사 | 반도체팩키지실장용흡착노즐장치 |
| JP2010182781A (ja) * | 2009-02-04 | 2010-08-19 | Nippon Avionics Co Ltd | 吸着ノズル |
| DE102011076857A1 (de) * | 2011-06-01 | 2012-12-06 | Robert Bosch Gmbh | Übergabevorrichtung für Bauteile |
| CN117699460A (zh) * | 2023-12-21 | 2024-03-15 | 无锡芯启博电子有限公司 | 一种芯片ft测试用拾取装置 |
-
1994
- 1994-08-31 JP JP6207562A patent/JPH0878884A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100479910B1 (ko) * | 1997-08-04 | 2005-05-16 | 삼성테크윈 주식회사 | 반도체팩키지실장용흡착노즐장치 |
| JP2010182781A (ja) * | 2009-02-04 | 2010-08-19 | Nippon Avionics Co Ltd | 吸着ノズル |
| DE102011076857A1 (de) * | 2011-06-01 | 2012-12-06 | Robert Bosch Gmbh | Übergabevorrichtung für Bauteile |
| DE102011076857B4 (de) * | 2011-06-01 | 2025-12-24 | Robert Bosch Gmbh | Übergabevorrichtung für Bauteile |
| CN117699460A (zh) * | 2023-12-21 | 2024-03-15 | 无锡芯启博电子有限公司 | 一种芯片ft测试用拾取装置 |
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