JPH0878997A - 圧電共振子及びその製造方法 - Google Patents
圧電共振子及びその製造方法Info
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- JPH0878997A JPH0878997A JP20948494A JP20948494A JPH0878997A JP H0878997 A JPH0878997 A JP H0878997A JP 20948494 A JP20948494 A JP 20948494A JP 20948494 A JP20948494 A JP 20948494A JP H0878997 A JPH0878997 A JP H0878997A
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 連結部の機械的強度が高い圧電共振子を得
る。 【構成】 圧電共振子１５は振動部１と保持部２，３と
連結部４，５と補強材１２ａ〜１３ｂにて構成されてい
る。連結部４，５の幅は振動部１や保持部２，３と比較
して細い。振動部１と保持部２，３と連結部４，５は一
体的に製造され、ＰＺＴ等のセラミックスや水晶やＬｉ
ＴａＯ3等からなる。補強材１２ａ〜１３ｂの材料とし
ては、エポキシやポリイミド等の樹脂、金属箔、めっき
金属、溶射金属、セラミックス材、ガラス等が用いられ
る。
る。 【構成】 圧電共振子１５は振動部１と保持部２，３と
連結部４，５と補強材１２ａ〜１３ｂにて構成されてい
る。連結部４，５の幅は振動部１や保持部２，３と比較
して細い。振動部１と保持部２，３と連結部４，５は一
体的に製造され、ＰＺＴ等のセラミックスや水晶やＬｉ
ＴａＯ3等からなる。補強材１２ａ〜１３ｂの材料とし
ては、エポキシやポリイミド等の樹脂、金属箔、めっき
金属、溶射金属、セラミックス材、ガラス等が用いられ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電共振子、特に発振
回路やフィルタ回路等に使用される圧電共振子及びその
製造方法に関する。
回路やフィルタ回路等に使用される圧電共振子及びその
製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術と課題】従来の圧電共振子として、図１１
に示すものが知られている。この圧電共振子７１は振動
部７２と保持部７３，７４と連結部７５，７６にて構成
されている。振動部７２と保持部７３，７４と連結部７
５，７６は一体構造である。振動部７２の表裏面にはそ
れぞれ振動電極７７，７８が設けられ、保持部７３，７
４には引出し電極７９，８０が設けられている。振動電
極７７と引出し電極７９は連結部７５に配設された中継
電極８１を介して電気的に接続され、振動電極７８と引
出し電極８０は連結部７６に配設された中継電極８２を
介して電気的に接続されている。
に示すものが知られている。この圧電共振子７１は振動
部７２と保持部７３，７４と連結部７５，７６にて構成
されている。振動部７２と保持部７３，７４と連結部７
５，７６は一体構造である。振動部７２の表裏面にはそ
れぞれ振動電極７７，７８が設けられ、保持部７３，７
４には引出し電極７９，８０が設けられている。振動電
極７７と引出し電極７９は連結部７５に配設された中継
電極８１を介して電気的に接続され、振動電極７８と引
出し電極８０は連結部７６に配設された中継電極８２を
介して電気的に接続されている。
【０００３】ところが、この圧電共振子７１は連結部７
５，７６が細く、機械的強度が低いため外部からの機械
的衝撃や振動部７２の振動によって連結部７５，７６が
破損し易いという問題があった。そこで、本発明の課題
は、連結部の機械的強度が高い圧電共振子及びその製造
方法を提供することにある。
５，７６が細く、機械的強度が低いため外部からの機械
的衝撃や振動部７２の振動によって連結部７５，７６が
破損し易いという問題があった。そこで、本発明の課題
は、連結部の機械的強度が高い圧電共振子及びその製造
方法を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段と作用】以上の課題を解決
するため、本発明に係る圧電共振子は、（ａ）振動電極
を表面に設けた振動部と、（ｂ）前記振動部を支えるた
めの保持部と、（ｃ）前記保持部と前記振動部を連結す
るための連結部と、（ｄ）少なくとも前記連結部の表面
に設けられた補強材と、を備えたことを特徴とする。こ
こに、補強材として、エポキシやポリイミド等の樹脂、
金属箔、めっき金属、溶射金属、セラミックス、ガラス
等の材料が使用される。
するため、本発明に係る圧電共振子は、（ａ）振動電極
を表面に設けた振動部と、（ｂ）前記振動部を支えるた
めの保持部と、（ｃ）前記保持部と前記振動部を連結す
るための連結部と、（ｄ）少なくとも前記連結部の表面
に設けられた補強材と、を備えたことを特徴とする。こ
こに、補強材として、エポキシやポリイミド等の樹脂、
金属箔、めっき金属、溶射金属、セラミックス、ガラス
等の材料が使用される。
【０００５】以上の構成により、補強材が連結部の機械
的強度をアップさせる。また、本発明に係る圧電共振子
の製造方法は、（ｅ）圧電体ブロックに溝を設け、この
溝に補強材を配設する工程と、（ｆ）前記圧電体ブロッ
クを切断し、振動部とこの振動部を支えるための保持部
と前記振動部及び前記保持部を連結した連結部と前記連
結部の表面に設けられた補強材とを備えた圧電体基板を
切り出す工程と、（ｇ）前記圧電体基板の振動部の表面
に振動電極を設ける工程と、を備えたことを特徴とす
る。
的強度をアップさせる。また、本発明に係る圧電共振子
の製造方法は、（ｅ）圧電体ブロックに溝を設け、この
溝に補強材を配設する工程と、（ｆ）前記圧電体ブロッ
クを切断し、振動部とこの振動部を支えるための保持部
と前記振動部及び前記保持部を連結した連結部と前記連
結部の表面に設けられた補強材とを備えた圧電体基板を
切り出す工程と、（ｇ）前記圧電体基板の振動部の表面
に振動電極を設ける工程と、を備えたことを特徴とす
る。
【０００６】以上の方法により、連結部に補強材を設け
た圧電共振子が容易に量産される。また、本発明に係る
圧電共振子の製造方法は、（ｈ）振動部と前記振動部を
支えるための保持部と前記保持部及び前記振動部を連結
した連結部とを備えた圧電体基板を製作する工程と、
（ｉ）前記圧電体基板の振動部の表面に振動電極を設け
る工程と、（ｊ）少なくとも前記連結部の表面に補強材
を設ける工程と、を備えたことを特徴とする。
た圧電共振子が容易に量産される。また、本発明に係る
圧電共振子の製造方法は、（ｈ）振動部と前記振動部を
支えるための保持部と前記保持部及び前記振動部を連結
した連結部とを備えた圧電体基板を製作する工程と、
（ｉ）前記圧電体基板の振動部の表面に振動電極を設け
る工程と、（ｊ）少なくとも前記連結部の表面に補強材
を設ける工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】以上の方法により、比較的広面積の補強材
が連結部の表面に形成される。
が連結部の表面に形成される。
【０００８】
【実施例】以下、本発明に係る圧電共振子及びその製造
方法の実施例について添付図面を参照して説明する。 ［第１実施例、図１及び図２］図１に示すように、圧電
共振子１５は振動部１と、この振動部１を支えるための
保持部２，３と、振動部１と保持部２，３をそれぞれ連
結するための連結部４，５と、補強材１２ａ，１２ｂ，
１３ａ，１３ｂにて構成されている。振動部１と保持部
２，３と連結部４，５は一体的に製造され、ＰＺＴ等の
セラミックスや水晶やＬｉＴａＯ3等からなる。連結部
４，５の幅は振動部１や保持部２，３の幅と比較して細
い。
方法の実施例について添付図面を参照して説明する。 ［第１実施例、図１及び図２］図１に示すように、圧電
共振子１５は振動部１と、この振動部１を支えるための
保持部２，３と、振動部１と保持部２，３をそれぞれ連
結するための連結部４，５と、補強材１２ａ，１２ｂ，
１３ａ，１３ｂにて構成されている。振動部１と保持部
２，３と連結部４，５は一体的に製造され、ＰＺＴ等の
セラミックスや水晶やＬｉＴａＯ3等からなる。連結部
４，５の幅は振動部１や保持部２，３の幅と比較して細
い。
【０００９】振動部１の表裏面にはそれぞれ振動電極
６，７が略全面に設けられている。この振動部１は長さ
振動モードにて振動する。保持部２の表面及び保持部３
の裏面にはそれぞれ引出し電極１０，１１が設けられて
いる。振動電極６と引出し電極１０は連結部４の表面に
配設された中継電極８を介して電気的に接続され、振動
電極７は連結部５の裏面に配設された中継電極９を介し
て電気的に接続されている。これらの電極６〜１１はＡ
ｇ，Ａｇ−Ｐｄ，Ｐｄ等からなり、スパッタリング、蒸
着、あるいは印刷乾燥等の手段にて形成される。
６，７が略全面に設けられている。この振動部１は長さ
振動モードにて振動する。保持部２の表面及び保持部３
の裏面にはそれぞれ引出し電極１０，１１が設けられて
いる。振動電極６と引出し電極１０は連結部４の表面に
配設された中継電極８を介して電気的に接続され、振動
電極７は連結部５の裏面に配設された中継電極９を介し
て電気的に接続されている。これらの電極６〜１１はＡ
ｇ，Ａｇ−Ｐｄ，Ｐｄ等からなり、スパッタリング、蒸
着、あるいは印刷乾燥等の手段にて形成される。
【００１０】補強材１２ａ〜１３ｂは連結部４，５の両
側面に設けられ、連結部４，５の機械的強度を補強す
る。この結果、外部からの機械的衝撃や振動部１の振動
等の機械的ストレスに対して連結部４，５が破損しにく
くなる。さらに、振動部１の振動漏れを効果的に抑圧す
ることができ、共振特性の改善を図ることができる。補
強材１２ａ〜１３ｂは、エポキシやポリイミド等の樹脂
を注入、充填、埋込み、嵌込み等の手段にて設けること
により、あるいは金属箔の貼付けや金属のメタライズ、
無電解めっき、溶射や金属ばね材の嵌合等の手段にて設
けることにより形成される。なお、補強材は連結部４，
５の両側面に必ずしも設ける必要はなく、いずれか一方
の側面にのみ設けるものであってもよい。
側面に設けられ、連結部４，５の機械的強度を補強す
る。この結果、外部からの機械的衝撃や振動部１の振動
等の機械的ストレスに対して連結部４，５が破損しにく
くなる。さらに、振動部１の振動漏れを効果的に抑圧す
ることができ、共振特性の改善を図ることができる。補
強材１２ａ〜１３ｂは、エポキシやポリイミド等の樹脂
を注入、充填、埋込み、嵌込み等の手段にて設けること
により、あるいは金属箔の貼付けや金属のメタライズ、
無電解めっき、溶射や金属ばね材の嵌合等の手段にて設
けることにより形成される。なお、補強材は連結部４，
５の両側面に必ずしも設ける必要はなく、いずれか一方
の側面にのみ設けるものであってもよい。
【００１１】次に、圧電共振子１５の製造方法について
図２を参照して説明する。ここでは圧電体ブロックを利
用して量産に適した方法を説明するが、単品状態で製造
してもよいことは言うまでもない。まず、圧電体ブロッ
ク１６の上面及び下面にそれぞれ溝１７，１８、１９，
２０を形成する。溝１７と１９、並びに溝１８と２０は
底面が近接しており、その間隔は圧電共振子１５の連結
部４，５の幅寸法に相当している。次に、この溝１７〜
２０の底部にそれぞれ補強材１２ａ〜１３ｂを、樹脂注
入や金属のメタライズ、貼付け等の手段にて配設する。
次に一点鎖線Ｃに従って、圧電体ブロック１６から所定
の厚さの圧電体基板を切り出す。切り出した圧電体基板
の表裏面に電極６〜１１を形成して圧電共振子１５とす
る。この方法によれば、所定の形状の圧電体基板を効率
良く製作できると共に、連結部４，５の両側面に効率良
く補強材１２ａ〜１３ｂを設けることができる。
図２を参照して説明する。ここでは圧電体ブロックを利
用して量産に適した方法を説明するが、単品状態で製造
してもよいことは言うまでもない。まず、圧電体ブロッ
ク１６の上面及び下面にそれぞれ溝１７，１８、１９，
２０を形成する。溝１７と１９、並びに溝１８と２０は
底面が近接しており、その間隔は圧電共振子１５の連結
部４，５の幅寸法に相当している。次に、この溝１７〜
２０の底部にそれぞれ補強材１２ａ〜１３ｂを、樹脂注
入や金属のメタライズ、貼付け等の手段にて配設する。
次に一点鎖線Ｃに従って、圧電体ブロック１６から所定
の厚さの圧電体基板を切り出す。切り出した圧電体基板
の表裏面に電極６〜１１を形成して圧電共振子１５とす
る。この方法によれば、所定の形状の圧電体基板を効率
良く製作できると共に、連結部４，５の両側面に効率良
く補強材１２ａ〜１３ｂを設けることができる。
【００１２】［第２実施例、図３及び図４］図３及び図
４に示すように、圧電共振子２５は振動部２６と保持部
２７，２８と連結部２９，３０と補強材３９ａ，３９
ｂ，４０ａ，４０ｂにて構成されている。連結部２９，
３０の幅は振動部２６や保持部２７，２８の幅と比較し
て細い。
４に示すように、圧電共振子２５は振動部２６と保持部
２７，２８と連結部２９，３０と補強材３９ａ，３９
ｂ，４０ａ，４０ｂにて構成されている。連結部２９，
３０の幅は振動部２６や保持部２７，２８の幅と比較し
て細い。
【００１３】振動部２６の表裏面にはそれぞれ振動電極
３１，３２が設けられている。この振動部２６は長さ振
動モードにて振動する。保持部２７，２８にはそれぞれ
引出し電極３５，３６が設けられている。振動電極３１
と引出し電極３５、並びに振動電極３２と引出し電極３
６はそれぞれ連結部２９，３０の表裏面に配設された中
継電極３３，３４を介して電気的に接続されている。
３１，３２が設けられている。この振動部２６は長さ振
動モードにて振動する。保持部２７，２８にはそれぞれ
引出し電極３５，３６が設けられている。振動電極３１
と引出し電極３５、並びに振動電極３２と引出し電極３
６はそれぞれ連結部２９，３０の表裏面に配設された中
継電極３３，３４を介して電気的に接続されている。
【００１４】補強材３９ａ〜４０ｂは、振動部２６の表
裏面縁部から連結部２９，３０の表裏面に伸び、さらに
保持部２７，２８の表裏面縁部まで設けられている。こ
れらの補強材３９ａ〜４０ｂは連結部２９，３０の機械
的強度を補強する。補強材３９ａ〜４０ｂの材料として
は、高強度のセラミックス、金属、ガラス、あるいは機
械的衝撃を吸収することができるゴム、樹脂等が使用さ
れる。なお、補強材は連結部２９，３０の表裏面に必ら
ずしも設ける必要はなく、いずれか一方の面にのみ設け
るものであってもよい。
裏面縁部から連結部２９，３０の表裏面に伸び、さらに
保持部２７，２８の表裏面縁部まで設けられている。こ
れらの補強材３９ａ〜４０ｂは連結部２９，３０の機械
的強度を補強する。補強材３９ａ〜４０ｂの材料として
は、高強度のセラミックス、金属、ガラス、あるいは機
械的衝撃を吸収することができるゴム、樹脂等が使用さ
れる。なお、補強材は連結部２９，３０の表裏面に必ら
ずしも設ける必要はなく、いずれか一方の面にのみ設け
るものであってもよい。
【００１５】次に、圧電共振子２５の製造方法について
説明する。まず、第１実施例と同様に、圧電体ブロック
の上面及び下面にそれぞれ二つの溝を形成する。次に、
圧電体ブロックから所定の厚さの圧電体基板を切り出
す。切り出された圧電体基板は、圧電共振子２５の振動
部２６と保持部２７，２８と連結部２９，３０に相当す
る部分を有している。この圧電体基板の表裏面の所定の
部分に振動電極３１，３２と中継電極３３，３４と引出
し電極３５，３６をＡｇ，Ａｇ−Ｐｄ，Ｐｄ等のスパッ
タリング、蒸着、あるいは印刷乾燥等の手段にて形成す
る。次に、補強材３９ａ〜４０ｂを圧電体基板の表裏面
の所定の位置にそれぞれ形成する。補強材３９ａ〜４０
ｂの材料が樹脂やゴムであれば、塗布、貼付け等の手段
にて形成される。また、補強材３９ａ〜４０ｂの材料が
セラミックス、金属、ガラスであれば、めっき、蒸着、
貼付け、溶射等の手段にて形成される。
説明する。まず、第１実施例と同様に、圧電体ブロック
の上面及び下面にそれぞれ二つの溝を形成する。次に、
圧電体ブロックから所定の厚さの圧電体基板を切り出
す。切り出された圧電体基板は、圧電共振子２５の振動
部２６と保持部２７，２８と連結部２９，３０に相当す
る部分を有している。この圧電体基板の表裏面の所定の
部分に振動電極３１，３２と中継電極３３，３４と引出
し電極３５，３６をＡｇ，Ａｇ−Ｐｄ，Ｐｄ等のスパッ
タリング、蒸着、あるいは印刷乾燥等の手段にて形成す
る。次に、補強材３９ａ〜４０ｂを圧電体基板の表裏面
の所定の位置にそれぞれ形成する。補強材３９ａ〜４０
ｂの材料が樹脂やゴムであれば、塗布、貼付け等の手段
にて形成される。また、補強材３９ａ〜４０ｂの材料が
セラミックス、金属、ガラスであれば、めっき、蒸着、
貼付け、溶射等の手段にて形成される。
【００１６】こうして、圧電共振子２５が得られる。こ
の圧電共振子２５は、圧電体基板の表裏面上に補強材を
形成することができるので、比較的広面積に補強材を設
けることができ、連結部２９，３０の機械的強度をアッ
プさせることができる。
の圧電共振子２５は、圧電体基板の表裏面上に補強材を
形成することができるので、比較的広面積に補強材を設
けることができ、連結部２９，３０の機械的強度をアッ
プさせることができる。
【００１７】［第３実施例、図５及び図６］図５及び図
６に示すように、圧電共振子４５は振動部４６と保持部
４９，５０と連結部５１，５２と補強材６０，６１にて
構成されている。連結部５１，５２の幅は振動部４６や
保持部４９，５０の幅と比較して細い。
６に示すように、圧電共振子４５は振動部４６と保持部
４９，５０と連結部５１，５２と補強材６０，６１にて
構成されている。連結部５１，５２の幅は振動部４６や
保持部４９，５０の幅と比較して細い。
【００１８】振動部４６は主片部４６ａと、この主片部
４６ａの左右に配置されている従片部４６ｂ，４６ｃ
と、中継片部４７ａ，４７ｂにて構成されている。中継
片部４７ａ，４７ｂは連結部５１，５２と同様にその幅
が細い。主片部４６ａの表裏面にはそれぞれ振動電極５
３，５４が設けられている。この振動部４６は幅振動モ
ードにて振動する。
４６ａの左右に配置されている従片部４６ｂ，４６ｃ
と、中継片部４７ａ，４７ｂにて構成されている。中継
片部４７ａ，４７ｂは連結部５１，５２と同様にその幅
が細い。主片部４６ａの表裏面にはそれぞれ振動電極５
３，５４が設けられている。この振動部４６は幅振動モ
ードにて振動する。
【００１９】保持部４９，５０にはそれぞれ引出し電極
５７，５８が設けられている。振動電極５３と引出し電
極５７は、中継片部４７ａと従片部４６ｂと連結部５１
の表面に配設された中継電極５５を介して電気的に接続
されている。振動電極５４と引出し電極５８は、中継片
部４７ｂと従片部４６ｃと連結部５２の裏面に配設され
た中継電極５６を介して電気的に接続されている。
５７，５８が設けられている。振動電極５３と引出し電
極５７は、中継片部４７ａと従片部４６ｂと連結部５１
の表面に配設された中継電極５５を介して電気的に接続
されている。振動電極５４と引出し電極５８は、中継片
部４７ｂと従片部４６ｃと連結部５２の裏面に配設され
た中継電極５６を介して電気的に接続されている。
【００２０】補強材６０，６１は、それぞれ保持部４
９，５０の表裏面全面、連結部５１，５２の表裏面全
面、さらに従片部４６ｂ，４６ｃの表裏面中央部、中継
片部４７ａ，４７ｂの表裏面全面、主片部４６ａの表裏
面中央部に設けられている。主片部４６ａの中央部分は
振動のノード（節）になるため、補強材６０，６１を設
けても圧電共振子４５の共振には殆んど影響しない。こ
れらの補強材６０，６１は連結部５１，５２の機械的強
度を補強すると共に、中継片部４７ａ，４７ｂの機械的
強度をも補強する。この圧電共振子４５は前記第２実施
例の圧電共振子２５と同様の製造方法にて製作される。
９，５０の表裏面全面、連結部５１，５２の表裏面全
面、さらに従片部４６ｂ，４６ｃの表裏面中央部、中継
片部４７ａ，４７ｂの表裏面全面、主片部４６ａの表裏
面中央部に設けられている。主片部４６ａの中央部分は
振動のノード（節）になるため、補強材６０，６１を設
けても圧電共振子４５の共振には殆んど影響しない。こ
れらの補強材６０，６１は連結部５１，５２の機械的強
度を補強すると共に、中継片部４７ａ，４７ｂの機械的
強度をも補強する。この圧電共振子４５は前記第２実施
例の圧電共振子２５と同様の製造方法にて製作される。
【００２１】［他の実施例］なお、本発明に係る圧電共
振子及びその製造方法は前記実施例に限定するものでは
なく、その要旨の範囲内で種々に変形することができ
る。補強材の形状や厚みは任意であり、種々の形状が選
択される。例えば、第１実施例の圧電共振子において、
補強材１２ａ〜１３ｂは図７に示すようにＩ字形状であ
ってもよいし、図８に示すようにコ字形状であってもよ
いし、図９に示すように扇形状を二つ合わせたものであ
ってもよいし、あるいは図１０に示すように傾斜形状で
あってもよい。さらに、補強材は連結部の両側面、ある
いは表裏面で異なる材料を使用してもよい。
振子及びその製造方法は前記実施例に限定するものでは
なく、その要旨の範囲内で種々に変形することができ
る。補強材の形状や厚みは任意であり、種々の形状が選
択される。例えば、第１実施例の圧電共振子において、
補強材１２ａ〜１３ｂは図７に示すようにＩ字形状であ
ってもよいし、図８に示すようにコ字形状であってもよ
いし、図９に示すように扇形状を二つ合わせたものであ
ってもよいし、あるいは図１０に示すように傾斜形状で
あってもよい。さらに、補強材は連結部の両側面、ある
いは表裏面で異なる材料を使用してもよい。
【００２２】また、圧電共振子の形状も前記実施例に限
定されるものではなく、細い連結部を有するものであれ
ばよい。さらに、中継電極の膜厚を振動電極や引出し電
極の膜厚より厚くすることによって、中継電極が補強材
の機能をも併せ持つようにしてもよい。
定されるものではなく、細い連結部を有するものであれ
ばよい。さらに、中継電極の膜厚を振動電極や引出し電
極の膜厚より厚くすることによって、中継電極が補強材
の機能をも併せ持つようにしてもよい。
【００２３】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、連結部の表面に補強材を設けて連結部の機械的
強度をアップさせたので、連結部の機械的強度が高い圧
電共振子を得ることができる。この結果、外部からの機
械的強度衝撃や振動部の振動に対して連結部が破損しに
くくなる。また、製造中の連結部破損が減少するので圧
電共振子の歩留が向上する。さらに、振動部の振動漏れ
も効果的に抑圧することができ、共振特性の改善が図れ
る。
よれば、連結部の表面に補強材を設けて連結部の機械的
強度をアップさせたので、連結部の機械的強度が高い圧
電共振子を得ることができる。この結果、外部からの機
械的強度衝撃や振動部の振動に対して連結部が破損しに
くくなる。また、製造中の連結部破損が減少するので圧
電共振子の歩留が向上する。さらに、振動部の振動漏れ
も効果的に抑圧することができ、共振特性の改善が図れ
る。
【００２４】また、本発明によれば圧電体ブロックに溝
を設け、この溝に補強材を配設したので、連結部に補強
材を設けた圧電共振子を容易に量産することができる。
さらに、本発明によれば、振動部と保持部と連結部を備
えた圧電体基板において、連結部の表面に補強材を設け
たので、比較的広面積に補強材を形成することができ、
連結部の機械的強度が高い圧電共振子を得ることができ
る。
を設け、この溝に補強材を配設したので、連結部に補強
材を設けた圧電共振子を容易に量産することができる。
さらに、本発明によれば、振動部と保持部と連結部を備
えた圧電体基板において、連結部の表面に補強材を設け
たので、比較的広面積に補強材を形成することができ、
連結部の機械的強度が高い圧電共振子を得ることができ
る。
【図１】本発明に係る圧電共振子の第１実施例を示す斜
視図。
視図。
【図２】図１に示した圧電共振子の製造方法を示す斜視
図。
図。
【図３】本発明に係る圧電共振子の第２実施例を示す斜
視図。
視図。
【図４】図３のIV−IV断面図。
【図５】本発明に係る圧電共振子の第３実施例を示す斜
視図。
視図。
【図６】図５のVI−VI断面図。
【図７】他の実施例を示す切欠き斜視図。
【図８】別の他の実施例を示す切欠き斜視図。
【図９】さらに別の他の実施例を示す切欠き斜視図。
【図１０】さらに別の他の実施例を示す切欠き斜視図。
【図１１】従来例を示す斜視図。
１…振動部 ２，３…保持部 ４，５…連結部 ６，７…振動電極 １２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂ…補強材 １５…圧電共振子 １６…圧電体ブロック １７，１８，１９，２０…溝 ２５…圧電共振子 ２６…振動部 ２７，２８…保持部 ２９，３０…連結部 ３１，３２…振動電極 ３９ａ，３９ｂ，４０ａ，４０ｂ…補強材 ４５…圧電共振子 ４６…振動部 ４９，５０…保持部 ５１，５２…連結部 ５３，５４…振動電極 ６０，６１…補強材
Claims (3)
- 【請求項１】 振動電極を表面に設けた振動部と、 前記振動部を支えるための保持部と、 前記保持部と前記振動部を連結するための連結部と、 少なくとも前記連結部の表面に設けられた補強材と、 を備えたことを特徴とする圧電共振子。
- 【請求項２】 圧電体ブロックに溝を設け、この溝に補
強材を配設する工程と、 前記圧電体ブロックを切断し、振動部とこの振動部を支
えるための保持部と前記振動部及び前記保持部を連結し
た連結部と前記連結部の表面に設けられた補強材とを備
えた圧電体基板を切り出す工程と、 前記圧電体基板の振動部の表面に振動電極を設ける工程
と、 を備えたことを特徴とする圧電共振子の製造方法。 - 【請求項３】 振動部と前記振動部を支えるための保持
部と前記保持部及び前記振動部を連結した連結部とを備
えた圧電体基板を製作する工程と、 前記圧電体基板の振動部の表面に振動電極を設ける工程
と、 少なくとも前記連結部の表面に補強材を設ける工程と、 を備えたことを特徴とする圧電共振子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20948494A JPH0878997A (ja) | 1994-09-02 | 1994-09-02 | 圧電共振子及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20948494A JPH0878997A (ja) | 1994-09-02 | 1994-09-02 | 圧電共振子及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0878997A true JPH0878997A (ja) | 1996-03-22 |
Family
ID=16573602
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20948494A Pending JPH0878997A (ja) | 1994-09-02 | 1994-09-02 | 圧電共振子及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0878997A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002111437A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-12 | Daishinku Corp | 水晶片及び水晶振動子 |
| JP2007081749A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 音叉型水晶振動子 |
| US7327209B2 (en) | 2004-09-10 | 2008-02-05 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric thin film resonator |
| JP2013026809A (ja) * | 2011-07-21 | 2013-02-04 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片及び圧電デバイス |
-
1994
- 1994-09-02 JP JP20948494A patent/JPH0878997A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002111437A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-12 | Daishinku Corp | 水晶片及び水晶振動子 |
| US7327209B2 (en) | 2004-09-10 | 2008-02-05 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric thin film resonator |
| JP2007081749A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 音叉型水晶振動子 |
| JP2013026809A (ja) * | 2011-07-21 | 2013-02-04 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片及び圧電デバイス |
| US9106200B2 (en) | 2011-07-21 | 2015-08-11 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Piezoelectric vibrating piece and piezoelectric device |
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