JPH07308317A

JPH07308317A - 超音波探触子

Info

Publication number: JPH07308317A
Application number: JP6126886A
Authority: JP
Inventors: Takae Hayashi; 孝枝林; Daisuke Matsuo; 大介松尾; Hiroaki Kasai; 広明葛西; 雅道 ▲ひじ▼野; Masamichi Hijino; Naohito Shiga; 直仁志賀; Yukihiko Sawada; 之彦沢田; Katsuhiro Wakabayashi; 勝裕若林
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1994-05-17
Filing date: 1994-05-17
Publication date: 1995-11-28

Abstract

(57)【要約】【目的】超音波探触子先端部の有機高分子材料に音響
媒体が侵入・透過し、特性劣化を生じることを防止す
る。【構成】圧電素子５に形成されたＧＮＤ電極７および
＋側電極８と同軸ケーブル１３の信号線１０および周線
１１とを導電性樹脂９ａ〜ｃで結線する。この部分をエ
ポキシ系の樹脂１２により封止保護する。樹脂１２等に
対して疎水性有機系無機材料から成る膜３０で保護す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、超音波断層像を得てこ
れにより診断を行う、探傷または体腔内超音波診断装置
に関し、詳細には送受信用超音波探触子先端部の構造に
関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、超音波探触子は非破壊検査装置の
他、医療用の超音波診断装置として急速な需要の伸びを
みせている。超音波内視鏡等の探触子は、超音波振動子
から高周波の音響振動を生体中に放射し、反射して戻っ
てきた超音波を超音波振動子で受信し、わずかな界面特
性の違いによって異なる情報を処理することで、生体内
部の断面像を得る事ができる。

【０００３】超音波振動子は大別すると、圧電素子，音
響整合層および背面負荷材から構成されている。前記超
音波振動子は、上記圧電素子表面に形成された電極を使
用して圧電素子に高周波の電圧パルスを印加し、圧電素
子を共振させて急速に変形を起こし、超音波パルスを発
生させるものである。ところが、血管用超音波探触子の
ように高周波化および小型化が必要なものでは、圧電素
子の形状は小さくなり、厚さも非常に薄いものとなり、
超音波振動子の実装方法や結線方法が非常に困難になっ
てきているため、さまざまな発明が提案されている。本
出願人においても、特開平５−３００５９３号公報記載
の発明を提案している。

【０００４】ここで、従来の超音波探触子、特に超音波
診断装置用の超音波探触子について図１および図２を用
いて具体的に説明する。表面電極７，８が設けられた圧
電素子５の超音波放射面に音響整合層４が設けられ、前
記圧電素子５の反放射面には背面制動材３が設けられて
いる。このような超音波振動子部２５を導電性のハウジ
ング６に接着したのち、表面電極７と８を入出力電極と
して用いるため、ハウジング６とリード線とをそれぞれ
導電部材９で接続する。この後、必要に応じて絶縁性の
樹脂で封止・絶縁を行う。

【０００５】なお、ハウジング６は銀ロウ１４によりフ
レキシブルシャフト２４に接続され、これにより超音波
探触子はフレキシブルシャフト２４の軸方向に対して前
後および回転方向に駆動する事が可能となる。このよう
にして、作製された超音波探触子は、ポリエチレン等で
できたチューブ状のシース２９と呼ばれるカバーに挿入
され、シース内へ音響媒体として用いられる流動パラフ
ィン，水，生理食塩水あるいはゲル状物質等を満たした
状態で体腔内に挿入される。

【０００６】なお、導電性部材９には銀ロウ，ハンダお
よび導電性接着剤等が用いられ、その周りを絶縁性の樹
脂であるエポキシ樹脂で封止することが一般的である。
しかしながら、先に述べたように超音波探触子の小型化
にともない、圧電素子に熱がかかり破壊する事を防ぐた
めや、微小部分の作業性に優れるという点から、最近で
は導電性接着剤が用いられる事が多くなっている。導電
性接着剤としては、例えば特開昭６２−１６１３００号
公報に記載されているような、エポキシ系樹脂１００重
量部に対し導電性フィラーとして銀粉を５０重量部以上
の割合で添加した物などが一般的である。

【０００７】一方、最近の技術としては、超音波探触子
と人体の接触時の滑りを得るためと、音響レンズの耐薬
品性とを確保するため、例えば特開平４−１８１８９６
号公報においては、ＰＴＦＥ粒子を有機バインダーに分
散させた塗料で音響レンズをコートするという発明が提
案されている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかるに、前記特開昭
６２−１６１３００号公報記載の発明においては、超音
波探触子の先端部は音響整合のため、液状またはゲル状
の音響媒体に浸漬されることになる。上記構造では、超
音波探触子を使用している間に、音響媒体が直接または
エポキシ樹脂の封止層を透過し、導電性接着剤を膨潤さ
せる現象が発生する。

【０００９】導電性接着剤はエポキシ等の有機樹脂から
なる接着剤の硬化収縮により、接着剤中に添加されてい
る導電性フィラー（銀粉や銅粉等）どうしが接触して導
電性が発現するため、接着剤が膨潤する事により導電性
フィラー間の接触が絶たれ、導電性が失われてしまう
か、抵抗が大きくなり特性が悪化するという問題があっ
た。また、音響媒体の内部への侵入は、導電性接着剤の
劣化以外にも、背面負荷材や音響整合層自体の劣化、例
えば剥離や膨潤などの劣化をも引き起こす。

【００１０】一方、音響媒体の内、生理食塩水や一般に
用いられる超音波ゲルはアルカリイオンを含んでいるた
め、エポキシ樹脂の封止層を透過し、音響整合層として
設けられているアルミナなどのセラミックスや圧電素子
であるＰＺＴ，チタン酸鉛，ＰＬＺＴ，メタニオブ酸鉛
等のセラミックスや電極を侵してしまうという問題もあ
り、導電性接着剤を用いていない例えばハンダを使用し
た場合でも問題となり得る。

【００１１】また、特開平４−１８１８９６号公報記載
の発明においては、フッ素樹脂を音響レンズにコートし
てはいるが、音響媒体はコートされた音響レンズ以外の
部分、例えば接着剤層等からも侵入し、劣化を起こして
しまう。また、上記発明におけるフッ素樹脂は、ＰＴＦ
Ｅ粒子と熱可塑または熱硬化樹脂と硬化剤からなるた
め、いかにＰＴＦＥが疎水性であっても残りの熱可塑ま
たは熱硬化樹脂が親水性であれば実際にはこのコート層
からも音響媒体が内部に侵入し特性劣化を引き起こして
しまう。なお、上記公報にはフッ素樹脂の具体的な成分
は記載されていないが、市販品として流通している塗料
はいずれもこの問題を解決するものではない。

【００１２】請求項１の目的は、少なくとも超音波探触
子先端部の露出している有機高分子材料に、液状または
ゲル状の音響媒体が侵入・透過し、特性劣化の生じるこ
とを防止する超音波探触子を提供することにある。

【００１３】請求項２の目的は、超音波探触子先端部の
圧電素子と入出力電極とをつなぐ導電性接着剤に、液状
またはゲル状の音響媒体が侵入・透過し、特性劣化の生
じることを防止する超音波探触子を提供することにあ
る。

【００１４】請求項３の目的は、超音波探触子の耐熱許
容範囲を越える高温硬化による超音波探触子の特性劣化
を防止する超音波探触子を提供することにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段および作用】本発明は、表
面に±電極を持つ圧電素子と、圧電素子の超音波放射面
に接する音響整合層と、圧電素子の反放射面に接する背
面制動材と、圧電素子に電流を入出力する入出力電極
と、圧電素子と入出力電極とをつなぐ導電性部材と、導
電性部材を覆う絶縁樹脂と、前記各部材を収納するハウ
ジングとを具備した超音波探触子において、少なくとも
前記超音波探触子先端部の露出している部位を、酸化ケ
イ素または金属酸化物を含む疎水性有機系無機材料の膜
で被覆したことを特徴とする超音波探触子である。

【００１６】また、表面に±電極を持つ圧電素子と、圧
電素子の超音波放射面に接する音響整合層と、圧電素子
の反放射面に接する背面制動材と、圧電素子に電流を入
出力する入出力電極と、圧電素子と入出力電極とをつな
ぐ導電性接着剤と、導電性接着剤を覆う絶縁樹脂と、前
記各部材を収納するハウシングとを具備した超音波探触
子において、少なくとも前記超音波探触子先端部の圧電
素子，入出力電極および導電性接着剤を、酸化ケイ素ま
たは金属酸化物を含む疎水性有機系無機材料の膜で被覆
したことを特徴とする超音波探触子である。

【００１７】さらに、前記疎水性有機系無機材料は、酸
化ケイ素または金属酸化物を含むとともに、１５０℃以
下の低温で硬化することを特徴とする超音波探触子であ
る。

【００１８】請求項１の作用は、超音波探触子先端部の
露出している有機高分子材料を覆った疏水性有機系無機
材料が、有機高分子材料を保護し、音響媒体を透過させ
ないまたは非常に透過させにくいため、超音波探触子の
各部品の劣化を防ぐ。

【００１９】なお、疎水性有機系無機材料は先端部全体
を膜状に覆う事が必ずしも必要なわけではなく、音響媒
体が直接触れて欲しくない部分または音響媒体が侵入し
易い部分に選択的に成膜し、覆うようにしても良い。従
って、露出している電極やセラミックス製の音響整合層
および圧電素子、封止用および音響整合用のエポキシ樹
脂部等を覆う事が有効である。

【００２０】また、疎水性有機高分子材料の膜厚は、音
響媒体の透過を充分に防げるレベルに厚い必要があり、
且つ音響特性を低下させない程度に薄い必要がある。具
体的には、音響媒体の透過を防ぐためには０．５μｍ以
上が望ましく、音響特性を低下させないためには１μｍ
以下であることが望ましい。

【００２１】請求項２の作用は、セラミックス等への腐
食性の無い音響媒体を用いる場合において、超音波探触
子先端部の圧電素子と入出力電極とをつなぐ導電性接着
剤を覆った疎水性有機系無機材料が、導電性接着剤自体
を保護し、音響媒体を透過させないまたは非常に透過さ
せにくい為、音響媒体での膨潤による導電性の低下を防
ぐ。また、疎水性有機高分子材料からなる膜が他の部材
例えばシース等とこすれることがなく、剥離や摩擦によ
る脱離・破壊が起こらないため、安定した性能を確保で
きる。さらに、必ずしも膜状に覆う必要はなく、封止用
エポキシ樹脂の替わりに封止の目的を兼ねて充填させて
も良い。

【００２２】請求項３の作用は、低温硬化の疎水性有機
系無機材料が、超音波探触子の耐熱許容範囲内で低温硬
化し、超音波探触子が正常に機能する。なお、疎水性有
機系無機材料は、少なくとも有機ケイ素化合物（例え
ば、シリルイソシアネート化合物，クロロシラン化合物
およびペルヒドロポリシラザン等）、またはケイ素を除
く有機金属化合物（例えば、アルミニウムアルコレート
化合物，アルミニウムキレート化合物および環状アルミ
ニウムオリゴマー等のアルミニウム化合物、アルミナゾ
ル、チタネート化合物、Ｚｒアルコレート化合物等）等
が得られる。

【００２３】但し、溶剤可溶型の有機系無機材料におい
ては、希釈用溶媒には可溶でありながら、液状またはゲ
ル状の音響媒体には不溶である事が必要であり、具体的
には水，生理食塩水等の水溶液およびアルコール系溶液
等に不溶である事が必要である。このような条件を満た
す場合は特に、成膜が容易な液状物質で且つ硬化した膜
は音響媒体に不溶でありながら、耐久性の高い膜が得ら
れ、超音波探触子の劣化を防ぐことになる。

【００２４】さらに、前記溶剤の沸点があまり高くない
ことが望ましく、１５０℃以下で乾燥が可能であること
が望ましい。特に望ましくは１００℃以下で乾燥可能で
あることである。また、前記疎水性有機系無機材料は、
防湿防水性が高い性質を持つが、水以外の音響媒体では
必ずしも全ての音響媒体を透過し難いということは出来
ないため、水以外の音響媒体を透過しにくい材料を使用
すれば水以外の所望の音響媒体を用いても、超音波探触
子の劣化を防ぐことが可能である。前記疎水性有機系無
機材料の、音響媒体の透過量は２０℃環境下で「０．０
５ｇ／ｃｍ²・２４時間」以下であることが望ましく、
特に望ましくは「０．００２ｇ／ｃｍ²・２４時間」以
下である。

【００２５】

【実施例１】図３〜図８は本実施例を示し、図３および
図４は超音波探触子の振動子部の作製方法を示す斜視
図、図５および図６は作製された振動子部の断面図、図
７および図８は超音波探触子の断面図である。

【００２６】表面にＧＮＤ電極７と＋側電極８とを形成
した圧電素子５へ、図３に示す様な、エポキシ樹脂製の
音響整合層４をＧＮＤ電極７側に付与し、タングステン
フィラー入りのエポキシ樹脂からなる背面負荷材１を＋
側電極８側に形成し、積層体を作製する。次いで、図４
の矢印４０の様に精密切断機で裁断し、図５または図６
のように小さな一つの振動子部２５を作製する。なお、
図５はタングステンフィラー入りのエポキシ樹脂からな
る背面負荷材１のみを背面制動材３としたものである。
図６はタングステンフィラー入りのエポキシ樹脂からな
る背面負荷材１と絶縁のためにタングステンを含まない
エポキシ樹脂からなる背面負荷材２を背面制動材３とし
たものである。

【００２７】図７に示す様に、振動子部２５（以下、ト
ランスデューサという）を、金属パイプを加工したハウ
ジング６に接着剤で固定された絶縁板１９上へ接着固定
し、トランスデューサ２５側面部に露出した厚肉電極部
分から導電性樹脂９を介して結線する。その際、音響放
射面側のＧＮＤ電極７は一度ハウジング６に導電性樹脂
９ａでつなぎ、ハウジング６パイプ部でフレキシブルシ
ャフト２４内を通っている同軸ケーブル１３の周線１１
に導電性樹脂９ｂにより結線されている。一方、＋側電
極８の結線はハウジング６との絶縁を確保するために背
面負荷材１上で、導電樹脂９ｃにより同軸ケーブル信号
線１０に結線し、以上の様な構成で超小型の超音波探触
子１８を作製した。

【００２８】なお、導電樹脂部９はエポキシ系の樹脂１
２により封止保護した構成である。また、ハウジング６
とフレキシブルシャフト２４とは銀ロウ１４によりロウ
付けされており、ハウジング６は耐蝕性のあるステンレ
ス鋼に無電界ニッケルメッキを施したものである。この
ようにして作製された超音波探触子１８を、有機ケイ素
化合物ここではシランカップリング剤ＫＢＭ−５０３
（信越化学工業（株）製）の３％エタノール希釈溶液に
浸漬（ディッピング）し、引き上げた後に１００℃で１
時間熱処理を行い、酸化ケイ素を含む膜３０で保護され
た超音波探触子１８を完成させた（図８参照）。

【００２９】以下、本実施例の作用を説明する。超音波
探触子１８に対して疎水性の有機系無機材料の膜３０を
全面に施したことにより、音響媒体が超音波探触子１８
内部に侵入することを防いでいる。従って、音響媒体が
導電性樹脂９ａ〜ｃを膨潤させる事がなく、導電性を劣
化させる事がない。また、音響媒体の内の生理食塩水や
一般に用いられるアルカリイオンを含むような超音波ゲ
ルが、エポキシ樹脂の封止層を透過して、音響整合層で
あるアルミナなどのセラミックスや、圧電素子であるＰ
ＺＴ，チタン酸鉛，ＰＬＺＴおよびメタニオブ酸鉛等の
セラミックスや、電極を侵してしまうということがな
い。また、酸化ケイ素は化学的に安定し、音響特性的に
はコーティング材料の音響インピーダンスが低いため、
音響特性を低下させる事がない。

【００３０】本実施例によれば、音響媒体による特性お
よび材料の劣化の無い、小型で耐久性の高い、高性能な
超音波探触子を得ることができた。特に、超音波探触子
全体を疎水性有機系無機材料の膜で覆うため、結果的
に、ガスや蒸気による滅菌に対しても従来以上の耐久性
を有している。

【００３１】尚、コーティング剤は本実施例に用いたシ
ランカップリング剤に限らず、疎水性有機系無機材料で
あれば良く、有機系ケイ素化合物ではテトライソシアネ
ートシラン（Ｓｉ（ＮＣＯ）₄）のエタノール希釈溶
液，アルコキシシラン（Ｓｉ（ＯＲ）₄）、有機系金属
化合物ではＮＴ−Ｌ２００３（日産化学工業（株）
製），東燃ポリシラザンＰＨＰ−２（東燃（株）製），
アドバンスドハードコート（東燃（株）製）なども有効
である。また、浸漬方法のほかにスプレーでの吹き付け
も有効である。

【００３２】

【実施例２】図９は本実施例を示す超音波探触子の断面
図である。本実施例の超音波探触子本体は音響整合層４
をアルミナ平板とし、ＧＮＤ電極７上にエポキシ樹脂で
接着積層して作製する以外は前記実施例１と同様に製作
する（図７参照）。このようにして作製された超音波探
触子１８の、エポキシ系の封止樹脂１２を覆うように、
有機ケイ素化合物ここではシランカップリング剤ＫＢＭ
−５０３（信越化学工業（株）製）の３％エタノール希
釈溶剤を刷毛で塗る。この時、音響整合層４を除いた状
態で刷毛塗りを行う。その後、１００℃で１時間乾燥さ
せて疎水性有機系無機材料の膜３０を形成し、超音波探
触子１８を完成させた。

【００３３】以下、本実施例の作用を説明する。疎水性
有機系無機材料でコートしない超音波探触子は、音響媒
体が露出しているエポキシ系の樹脂を透過して内部に侵
入してしまうことになる。しかし、本実施例では超音波
探触子１８のエポキシ系封止樹脂１２が露出している部
分を、透湿度が極めて低い酸化ケイ素を含む膜を構成す
るコーティング剤でコートしたことにより、音響媒体が
超音波探触子１８内部に侵入することを防いでいる。

【００３４】従って、音響媒体の内の、アルカリイオン
を含むような生理食塩水や超音波ゲル以外の音響媒体、
例えば流動パラフィン，水およびその他アルコール系溶
液等を使う場合に、音響媒体が導電性樹脂９ａ〜ｃを膨
潤させることがなく、導電性を劣化させる事がない。ま
た、超音波放射面である音響整合層４をコーテイングし
ないため、音響特性を考慮せずに厚く成膜でき、特に長
期的な耐久性が高くなる。また、高価なコーティング剤
の使用量を全面に塗布する場合に比べて削減する事も可
能である。

【００３５】本実施例によれば、前記実施例１と同様な
効果が得られる。さらに、より高い耐久性が得られる。
また、低価格化することが可能である。

【００３６】尚、当然であるが、疎水性有機系無機材料
としては、本実施例に用いた材料に限らず、前記実施例
１で用いた材料が適用可能であり、且つ各材料による固
有の作用も同様に存在する。塗布方法としては、刷毛塗
りの他に、ディスペンサーによる塗布も有効である。

【００３７】

【実施例３】図１０は本実施例を示す超音波探触子の断
面図である。本実施例では前記実施例１と同様な超音波
探触子において、導電性樹脂９ａ〜ｃのかわりにハンダ
９′ａ〜ｃで結線し、エポキシ樹脂による封止を行わな
い点以外は前記実施例１同様に作製する。このようにし
て作製された超音波探触子１８の、音響整合層４と、ハ
ンダ９′ａ〜ｃと、表面電極７，８の露出している表面
と、前記表面電極に接続される入出力電極１０の露出し
ている表面とを覆うように、シリンジに入れた有機ケイ
素化合物ここではシランカップリング剤ＫＢＭ−５０３
（信越化学工業（株）製）の３％エタノール希釈溶液を
滴下しながらコートし、その後１００℃で１時間乾燥さ
せ、疎水性有機系無機材料の膜３１を形成して超音波探
触子１８を完成させた。

【００３８】以下、本実施例の作用を説明する。超音波
探触子の入出力電極１０または音響整合層４部分を、透
湿度が極めて低い酸化ケイ素を含む膜を構成するコーテ
ィング剤でコートしたことにより、音響媒体が電極や音
響整合層と接触することを防いでいる。従って、音響媒
体の内の、特に音響特性に優れるアルカリイオンを含む
ような生理食塩水や超音波ゲルの音響媒体を用いる場合
でも、各部材を侵すことがなく超音波探触子１８の劣化
を防ぐことになる。

【００３９】本実施例によれば、音響媒体による特性お
よび材料の劣化が無く、小型で耐久性の高い、高性能な
超音波探触子を得る事ができた。

【００４０】

【実施例４】図１１は本実施例を示す超音波探触子の断
面図である。本実施例では図３〜図７を併用して説明す
る。圧電素子５へ、図３に示す様に、エポキシ樹脂製の
音響整合層４を付与し、タングステンフィラー入りのエ
ポキシ樹脂からなる背面負荷材１を形成し、積層体を作
製する。次いで、図４の実線部分４０を精密切断機で裁
断し、図５および図６に示す様な小さな一つのトランス
デューサ２５を作製する。

【００４１】そして、図７に示す様に、このトランスデ
ューサ２５を金属パイプを加工したハウジング６に接着
剤で固定された絶縁板１９上へ接着固定し、トランスデ
ューサ２５側面部に露出した厚肉電極部分から導電性樹
脂９を介して結線する。その際、音響放射面側のＧＮＤ
電極７は一度ハウジング６に導電性樹脂９ａでつなぎ、
ハヴジング６パイプ部でフレキシブルシャフト２４内を
通っている同軸ケーブル１３の周線１１に導電性樹脂９
ｂにより結線されている。一方、＋側電極８の結線はハ
ウジング６との絶縁を確保するために背面負荷材１上
で、導電性樹脂９ｃにより同軸ケーブル信号線１０に結
線し、以上の様な構成で超小型の超音波探触子１８を作
製した。

【００４２】このようにして作製された超音波探触子１
８を、ハウジング６および音響整合層４をマスキングテ
ープにてマスキングした後、有機ケイ素化合物ここでは
シランカップリング剤ＫＢＭ−５０３（信越化学工業
（株）製）の３％エタノール希釈溶液に浸漬（ディッピ
ング）し、引き上げた後１００℃で１時間熱処理を行
い、酸化ケイ素を含む膜３０で保護した超音波探触子１
８を完成させた。その後、マスキングテープを剥がし、
ハウジング６の残った隙間をエポキシ系の樹脂１２によ
り封止保護した（図１１参照）。また、ハウジング６と
フレキシブルシャフト２４は、予め銀ロウ１４によりロ
ウ付けされており、ハウジング６は耐蝕性のあるステン
レス鋼に無電界ニッケルメッキを施したものである。

【００４３】以下、本実施例の作用を説明する。超音波
探触子１８に、透湿度が極めて低い酸化ケイ素を含む膜
を構成するコーティング剤でコーティングを施したこと
により、音響媒体が超音波探触子１８内部に侵入するこ
とを防いでいる。従って、音響媒体が導電性樹脂９ａ〜
ｃを膨潤させることがなく、導電性を劣化させる事がな
い。また、音響媒体の内の、アルカリイオンを含むよう
な生理食塩水や超音波ゲルが、エポキシ樹脂の封止層を
透過して、圧電素子であるＰＺＴ，ＰＬＺＴなどのセラ
ミックスや、電極を侵してしまうということがない。ま
た、コーティングの膜３０上をエポキシ樹脂１２で封止
してあるため、コーティングがシースに当たって欠落す
るなどの不良を防ぐことになり、より耐久性が向上する
ことになる。

【００４４】本実施例によれば、音響媒体による特性お
よび材料の劣化が無く、小型で特に耐久性の高い、高性
能な超音波探触子を得ることができた。

【００４５】尚、コーティング膜は音響媒体へ接触させ
たくない部材に直接成膜すれば良く、例えば導電性樹脂
９ａ〜ｃと圧電素子５とを保護する場合には、音響整合
層４を設けずに組立、さらにコーティングし、その後に
音響整合層４を設けることも可能である。

【００４６】

【発明の効果】請求項１の効果は、少なくとも超音波探
触子先端部の露出している有機高分子材料に、液状また
はゲル状の音響媒体が侵入・透過し、特性劣化を生じる
ことを防止する超音波探触子を提供することができた。
請求項２の効果は、超音波探触子先端部の圧電素子と入
出力電極とをつなぐ導電性接着剤に、液状またはゲル状
の音響媒体が侵入・透過し、特性劣化を生じることを防
止する超音波探触子を提供することができた。請求項３
の効果は、超音波探触子の耐熱許容範囲を越える高温硬
化による超音波探触子の特性劣化を防止する超音波探触
子を提供することができた。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来例を示す断面図である。

【図２】従来例を示す断面図である。

【図３】実施例１を示す斜視図である。

【図４】実施例１を示す斜視図である。

【図５】実施例１を示す断面図である。

【図６】実施例１を示す断面図である。

【図７】実施例１を示す断面図である。

【図８】実施例１を示す断面図である。

【図９】実施例２を示す断面図である。

【図１０】実施例３を示す断面図である。

【図１１】実施例４を示す断面図である。

【符号の説明】

１背面負荷材３背面制動材４音響整合層５圧電素子６ハウジング７ＧＮＤ電極８＋側電極９ａ，９ｂ，９ｃ導電性樹脂１３同軸ケーブル２５振動子部３０，３１疎水性有機系無機材料

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ▲ひじ▼野雅道東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号オリンパス光学工業株式会社内 (72)発明者志賀直仁東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号オリンパス光学工業株式会社内 (72)発明者沢田之彦東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号オリンパス光学工業株式会社内 (72)発明者若林勝裕東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号オリンパス光学工業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】表面に±電極を持つ圧電素子と、圧電素
子の超音波放射面に接する音響整合層と、圧電素子の反
放射面に接する背面制動材と、圧電素子に電流を入出力
する入出力電極と、圧電素子と入出力電極とをつなぐ導
電性部材と、導電性部材を覆う絶縁樹脂と、前記各部材
を収納するハウジングとを具備した超音波探触子におい
て、少なくとも前記超音波探触子先端部の露出している
部位を、酸化ケイ素または金属酸化物を含む疎水性有機
系無機材料の膜で被覆したことを特徴とする超音波探触
子。
【請求項２】表面に±電極を持つ圧電素子と、圧電素
子の超音波放射面に接する音響整合層と、圧電素子の反
放射面に接する背面制動材と、圧電素子に電流を入出力
する入出力電極と、圧電素子と入出力電極とをつなぐ導
電性接着剤と、導電性接着剤を覆う絶縁樹脂と、前記各
部材を収納するハウシングとを具備した超音波探触子に
おいて、少なくとも前記超音波探触子先端部の圧電素
子，入出力電極および導電性接着剤を、酸化ケイ素また
は金属酸化物を含む疎水性有機系無機材料の膜で被覆し
たことを特徴とする超音波探触子。
【請求項３】前記疎水性有機系無機材料は、酸化ケイ
素または金属酸化物を含むとともに、１５０℃以下の低
温で硬化することを特徴とする請求項１および２記載の
超音波探触子。