JPH0882753A - 内面画像撮込装置 - Google Patents
内面画像撮込装置Info
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- JPH0882753A JPH0882753A JP24334394A JP24334394A JPH0882753A JP H0882753 A JPH0882753 A JP H0882753A JP 24334394 A JP24334394 A JP 24334394A JP 24334394 A JP24334394 A JP 24334394A JP H0882753 A JPH0882753 A JP H0882753A
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- JP
- Japan
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- detection head
- image
- axis
- ccd camera
- lens
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Instruments For Viewing The Inside Of Hollow Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワークの細い孔の内側面を、その形状変化に
拘らず、検出精度を保持し、溝等の凹凸面の側面等を目
視検査の不能な箇所も迅速に画像データを得ることがで
きる内面画像撮込装置を提供すること。 【構成】 細い中空の回動可能な検出ヘッド下端に光源
と透視窓を備え、画像処理部にリニヤセンサを内蔵する
ＣＣＤカメラと、台形プリズムを有するレンズ機構と駆
動機構とを備える。
拘らず、検出精度を保持し、溝等の凹凸面の側面等を目
視検査の不能な箇所も迅速に画像データを得ることがで
きる内面画像撮込装置を提供すること。 【構成】 細い中空の回動可能な検出ヘッド下端に光源
と透視窓を備え、画像処理部にリニヤセンサを内蔵する
ＣＣＤカメラと、台形プリズムを有するレンズ機構と駆
動機構とを備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、円筒内面等内面の壁面
状態を画像として撮込むための内面画像撮込装置に関す
る。
状態を画像として撮込むための内面画像撮込装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の内面画像撮込装置としては、特開
平２ー９５２０５号公報に示すごときものがある。
平２ー９５２０５号公報に示すごときものがある。
【０００３】図２０に示すごとく、画像撮込部にはその
軸心に円錐鏡３０が設けられ、被検査穴３４の検査壁面
３１からの反射光３２を円錐鏡３０の表面にて反射さ
せ、ＣＣＤカメラ３３に撮込む構造となっている。
軸心に円錐鏡３０が設けられ、被検査穴３４の検査壁面
３１からの反射光３２を円錐鏡３０の表面にて反射さ
せ、ＣＣＤカメラ３３に撮込む構造となっている。
【０００４】検査壁面３１を照射する光源の入射光３８
は、被検査穴３４の内部に挿入する検出ヘッド３５の全
周に巻かれた円筒状のライトガイド３６を経由して円錐
鏡３０の取付ベースの外周に設けられた円錐リング状の
反射面３７で反射され、入射光３８は円筒状の検査壁面
３１の全周面を照射している。
は、被検査穴３４の内部に挿入する検出ヘッド３５の全
周に巻かれた円筒状のライトガイド３６を経由して円錐
鏡３０の取付ベースの外周に設けられた円錐リング状の
反射面３７で反射され、入射光３８は円筒状の検査壁面
３１の全周面を照射している。
【０００５】照明の光量が不足する場合には、反射面３
７の他に、補助光として別のライトガイドにて直接検査
壁面３１の照明を行う。
７の他に、補助光として別のライトガイドにて直接検査
壁面３１の照明を行う。
【０００６】なお、３９は円筒状の透明な透視窓であ
る。
る。
【０００７】画像処理部のＣＣＤカメラは５１２×５１
２程度の画素のエリアセンサが用いられ、視野方向は検
査壁面３１の全周３６０°方向であり、撮像画像はリン
グ状の一括画像となり、該画像のリング幅は反射面３７
の幅により決定される。
２程度の画素のエリアセンサが用いられ、視野方向は検
査壁面３１の全周３６０°方向であり、撮像画像はリン
グ状の一括画像となり、該画像のリング幅は反射面３７
の幅により決定される。
【０００８】そのため、検査ヘッドの外径が細くなる
と、前記リング幅が狭くなり、撮像回数が増加し、検査
時間が増大する。また反射面３７の仕上がり精度により
画像品質も左右される。
と、前記リング幅が狭くなり、撮像回数が増加し、検査
時間が増大する。また反射面３７の仕上がり精度により
画像品質も左右される。
【０００９】光源にはハロゲンランプが用いられてい
る。
る。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】前述の従来の内面画像
撮込装置では、照明部位の反射面３７の角度が、装置製
作時に設定固定化されるために、検査部位の検査壁面３
１の形状変更が発生した場合には、対応不能となること
があり、また反射面３７の鏡面加工精度が照明光量の均
一性に影響を与え、さらに円錐鏡３０の加工精度も検出
精度に影響を与える。
撮込装置では、照明部位の反射面３７の角度が、装置製
作時に設定固定化されるために、検査部位の検査壁面３
１の形状変更が発生した場合には、対応不能となること
があり、また反射面３７の鏡面加工精度が照明光量の均
一性に影響を与え、さらに円錐鏡３０の加工精度も検出
精度に影響を与える。
【００１１】また被検査穴３４の全周面を同一画面に撮
込む構造であるため、ＣＣＤカメラはエリアセンサであ
ることを要し、検査精度はエリアセンサ面全面に検査部
位からの反射光を照射するため、リング画像の径方向の
内外により一画素当りの分解能が異なり、画像処理装置
側にて補正処理を要する問題点がある。
込む構造であるため、ＣＣＤカメラはエリアセンサであ
ることを要し、検査精度はエリアセンサ面全面に検査部
位からの反射光を照射するため、リング画像の径方向の
内外により一画素当りの分解能が異なり、画像処理装置
側にて補正処理を要する問題点がある。
【００１２】さらに、反射面３７の反射面角度が一定で
あるため、被検査穴３４の穴径に段差があったり、検査
壁面３１に凹凸面がある場合には、検査壁面３１に照明
が出来ない箇所を生じ、その部位の画像を撮込むことが
できないという問題点があり、より小径の穴の内面検査
の要望もあり、前記諸問題点の解決が課題となってい
た。
あるため、被検査穴３４の穴径に段差があったり、検査
壁面３１に凹凸面がある場合には、検査壁面３１に照明
が出来ない箇所を生じ、その部位の画像を撮込むことが
できないという問題点があり、より小径の穴の内面検査
の要望もあり、前記諸問題点の解決が課題となってい
た。
【００１３】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明は、細い中空円筒状で軸心回りに回動可能な
検出ヘッドと、画像処理部と、光源部とからなり、前記
検出ヘッドの先端には、側面に透視窓が開口され、撮像
平面鏡と光源部の発光部とが内設され、前記透視窓に
は、対物レンズが交換取付可能とされ、前記撮像平面鏡
は、検出ヘッド軸心と透視窓軸心との交点に、前記両軸
心と所定の角度をなす位置に取り付けられ、前記発光部
は透視窓軸心に近接して前記撮像平面鏡の両側から撮像
対象を照射する位置に設けられ、前記画像処理部には、
ＣＣＤカメラと、レンズ機構と駆動機構とが設けられ、
前記ＣＣＤカメラは、前記検出ヘッドの後端と対峙する
位置にレンズ機構を介して取り付けられ、画素数の多い
リニヤセンサが組込まれており、前記レンズ機構はレン
ズ群と台形プリズムとからなり、前記駆動機構により前
記検出ヘッドと台形プリズムとが検出ヘッド軸心回りに
所定の回転比で回転駆動され、台形プリズムを介してＣ
ＣＤカメラに入射される像が、検出ヘッドの回転に拘ら
ず、ＣＣＤカメラに対して常に同一方向に保持される構
成とされていることを特徴とする内面画像撮込装置を提
供するものである。
め、本発明は、細い中空円筒状で軸心回りに回動可能な
検出ヘッドと、画像処理部と、光源部とからなり、前記
検出ヘッドの先端には、側面に透視窓が開口され、撮像
平面鏡と光源部の発光部とが内設され、前記透視窓に
は、対物レンズが交換取付可能とされ、前記撮像平面鏡
は、検出ヘッド軸心と透視窓軸心との交点に、前記両軸
心と所定の角度をなす位置に取り付けられ、前記発光部
は透視窓軸心に近接して前記撮像平面鏡の両側から撮像
対象を照射する位置に設けられ、前記画像処理部には、
ＣＣＤカメラと、レンズ機構と駆動機構とが設けられ、
前記ＣＣＤカメラは、前記検出ヘッドの後端と対峙する
位置にレンズ機構を介して取り付けられ、画素数の多い
リニヤセンサが組込まれており、前記レンズ機構はレン
ズ群と台形プリズムとからなり、前記駆動機構により前
記検出ヘッドと台形プリズムとが検出ヘッド軸心回りに
所定の回転比で回転駆動され、台形プリズムを介してＣ
ＣＤカメラに入射される像が、検出ヘッドの回転に拘ら
ず、ＣＣＤカメラに対して常に同一方向に保持される構
成とされていることを特徴とする内面画像撮込装置を提
供するものである。
【００１４】
【作用】本発明によると、検出ヘッド先端に内設される
像の反射鏡面は、平面鏡面であるので、円錐鏡のごとき
鏡面加工の問題は生ずることがなく、鏡面精度を高く保
持することができ、ワークの検査壁面に内径の大小等の
形状変更が生じた場合も、検出ヘッドや対物レンズの交
換、レンズ機構の調整等により、画像サイズの調整、視
野幅の拡大、検査壁面からの光軸オフセット等が可能と
なり、検査壁面に凹凸がある場合も、その部位の、特に
内径溝の側壁面の画像を撮込むことも可能となり、検出
ヘッド回転に対する台形プリズムの同期比率回転によ
り、固定のＣＣＤカメラに対し、常に同一方向の像が得
られるため、ＣＣＤカメラに画素数の多いリニヤセンサ
を組込むことにより、画像の精度を一段と高めることが
でき、視野幅も、広くすることができるので、検査壁面
全面の画像を高速，高精度に撮像することが可能であ
る。
像の反射鏡面は、平面鏡面であるので、円錐鏡のごとき
鏡面加工の問題は生ずることがなく、鏡面精度を高く保
持することができ、ワークの検査壁面に内径の大小等の
形状変更が生じた場合も、検出ヘッドや対物レンズの交
換、レンズ機構の調整等により、画像サイズの調整、視
野幅の拡大、検査壁面からの光軸オフセット等が可能と
なり、検査壁面に凹凸がある場合も、その部位の、特に
内径溝の側壁面の画像を撮込むことも可能となり、検出
ヘッド回転に対する台形プリズムの同期比率回転によ
り、固定のＣＣＤカメラに対し、常に同一方向の像が得
られるため、ＣＣＤカメラに画素数の多いリニヤセンサ
を組込むことにより、画像の精度を一段と高めることが
でき、視野幅も、広くすることができるので、検査壁面
全面の画像を高速，高精度に撮像することが可能であ
る。
【００１５】
【実施例】図１に示す実施例により本発明の構成を説明
する。
する。
【００１６】細い中空状で軸心Ｆ回りに回動可能な検出
ヘッド１と、画像処理部２と、光源部３とからなる。
ヘッド１と、画像処理部２と、光源部３とからなる。
【００１７】検出ヘッド１の先端には、図６〜図９に示
すごとく、側面に透視窓４が開口され、撮像平面鏡５と
光源部３の発光部である光源平面鏡１７とライトガイド
１６の下端６とが内設されている。
すごとく、側面に透視窓４が開口され、撮像平面鏡５と
光源部３の発光部である光源平面鏡１７とライトガイド
１６の下端６とが内設されている。
【００１８】前記透視窓４には、図８〜図１５に示すご
とく、対物レンズ７が、凸レンズ７ａ、凹レンズ７ｂ、
平レンズ７ｃおよび台形レンズ７ｄ等と、交換取付可能
とされている。
とく、対物レンズ７が、凸レンズ７ａ、凹レンズ７ｂ、
平レンズ７ｃおよび台形レンズ７ｄ等と、交換取付可能
とされている。
【００１９】対物レンズ７の凸，平，凹等はワーク８の
検査内壁面９の形状、内径の大小等により適宜選択する
ことができ、図１３に示すごとく、検査内壁面９の内径
溝１０の側壁面１１の欠陥を検査する場合、台形レンズ
７ｄにより内径溝９の底壁面１２および両側壁面１１，
１１の反射光Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3を同時に画像処理部２に導
き、内径溝１０の各壁面の検査を１回で済ますことがで
きる。
検査内壁面９の形状、内径の大小等により適宜選択する
ことができ、図１３に示すごとく、検査内壁面９の内径
溝１０の側壁面１１の欠陥を検査する場合、台形レンズ
７ｄにより内径溝９の底壁面１２および両側壁面１１，
１１の反射光Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3を同時に画像処理部２に導
き、内径溝１０の各壁面の検査を１回で済ますことがで
きる。
【００２０】前記撮像平面鏡５は、検出ヘッド１の軸心
Ｆと透視窓４の軸心Ｇとの交点Ｈに、前記両軸心Ｆ，Ｇ
と所定の角度をなす位置（図示例では４５゜）に取り付
けられる。
Ｆと透視窓４の軸心Ｇとの交点Ｈに、前記両軸心Ｆ，Ｇ
と所定の角度をなす位置（図示例では４５゜）に取り付
けられる。
【００２１】光源部３は、光源１４、リングライト１５
およびライトガイド１６よりなり、エリングライト１５
は軸心Ｆ周りにリング状に形成され、ライトガイド１６
は、光ファイバ群よりなり、軸心Ｆ周りに、一端を前記
リングライト１５に対峙して設けられ、ライトガイド１
６の下端６は、図１，図６〜図９，図１４，図１５に示
すごとく、前記撮像平面鏡５の両側に並設される光源平
面鏡１７，１７に対峙する。
およびライトガイド１６よりなり、エリングライト１５
は軸心Ｆ周りにリング状に形成され、ライトガイド１６
は、光ファイバ群よりなり、軸心Ｆ周りに、一端を前記
リングライト１５に対峙して設けられ、ライトガイド１
６の下端６は、図１，図６〜図９，図１４，図１５に示
すごとく、前記撮像平面鏡５の両側に並設される光源平
面鏡１７，１７に対峙する。
【００２２】光源１４よりの光線は、破線で示すごと
く、リングライト１５およびライトガイド１６に導か
れ、下端６より出て光源平面鏡１７，１７で反射され
て、検査内壁面９を照射する。
く、リングライト１５およびライトガイド１６に導か
れ、下端６より出て光源平面鏡１７，１７で反射され
て、検査内壁面９を照射する。
【００２３】前記画像処理部２には、ＣＣＤカメラ１９
と、レンズ機構２０と、駆動機構２１とが設けられてい
る。
と、レンズ機構２０と、駆動機構２１とが設けられてい
る。
【００２４】前記ＣＣＤカメラ１９は、前記検出ヘッド
１の後端（図中上端）と対峙する位置に、レンズ機構２
０を介して取り付けられ、画素数の多いリニヤセンサ３
２が組込まれている。
１の後端（図中上端）と対峙する位置に、レンズ機構２
０を介して取り付けられ、画素数の多いリニヤセンサ３
２が組込まれている。
【００２５】レンズ機構２０は、レンズ群２８と台形プ
リズム２９とからなる。
リズム２９とからなる。
【００２６】前記駆動機構２１により、検出ヘッド１と
台形プリズム２９とが、軸心Ｆ周りに回転駆動せしめら
れることにより、検査内壁面９を、図７のＬ，Ｍ，Ｎ，
Ｐの順に示すごとく、環状帯面として検査する。
台形プリズム２９とが、軸心Ｆ周りに回転駆動せしめら
れることにより、検査内壁面９を、図７のＬ，Ｍ，Ｎ，
Ｐの順に示すごとく、環状帯面として検査する。
【００２７】前記ライトガイド１６の下端よりの入射光
線は、光源平面鏡１７，１７の取付角度を僅かに変える
ことにより、検査内壁面９の検査箇所を集中照射するこ
とができる。
線は、光源平面鏡１７，１７の取付角度を僅かに変える
ことにより、検査内壁面９の検査箇所を集中照射するこ
とができる。
【００２８】反射光線は、対物レンズ７を通り平面鏡５
で反射されてレンズ機構２０に集中せしめられる。
で反射されてレンズ機構２０に集中せしめられる。
【００２９】図６に示すごとく、台形プリズム２９に
は、軸心Ｆと４５゜傾斜する面Ａ，面Ｅと、２２．５゜
（＝４５゜×１／２）傾斜する面Ｂ，面Ｄと、軸心Ｆと
垂直な面Ｃ，面Ｃ１とが設けられている。
は、軸心Ｆと４５゜傾斜する面Ａ，面Ｅと、２２．５゜
（＝４５゜×１／２）傾斜する面Ｂ，面Ｄと、軸心Ｆと
垂直な面Ｃ，面Ｃ１とが設けられている。
【００３０】台形プリズム２９の像反転作用について述
べる。図２に示すごとく、左向の矢の像ｓは、面Ｃを垂
直方向に透過し、面Ａで反射されて像ａとなり面Ｂで反
射されて像ｂとなり、面Ｃで反射されて像ｃとなり、面
Ａ，面Ｅを垂直方向に透過して面Ｄで反射されて像ｄと
なり、面Ｅで反射されて像ｅとなり、面Ｃ１を垂直方向
に透過して像ｆとしてＣＣＤカメラ１９に達する。
べる。図２に示すごとく、左向の矢の像ｓは、面Ｃを垂
直方向に透過し、面Ａで反射されて像ａとなり面Ｂで反
射されて像ｂとなり、面Ｃで反射されて像ｃとなり、面
Ａ，面Ｅを垂直方向に透過して面Ｄで反射されて像ｄと
なり、面Ｅで反射されて像ｅとなり、面Ｃ１を垂直方向
に透過して像ｆとしてＣＣＤカメラ１９に達する。
【００３１】従って、像ｓと像ｆとは逆方向となる。
【００３２】前述の場合、面Ａ，面Ｅ，面Ｂ，面Ｄの角
度を限定したが、別の角度の組合せでも実現可能である
ことは勿論である。
度を限定したが、別の角度の組合せでも実現可能である
ことは勿論である。
【００３３】ワーク８の検査内壁面９を検出ヘッド１を
回転せしめつつ、図３に示すごとく、Ｌ，Ｍ，Ｎ，Ｐの
順に内面画像を撮込んで行くと、ＣＣＤカメラ１９を回
動せしめないときは、図４に示すごとく、内面画像Ｌ，
Ｍ，Ｎ，Ｐは回動してＣＣＤカメラ１９に撮込まれる。
回転せしめつつ、図３に示すごとく、Ｌ，Ｍ，Ｎ，Ｐの
順に内面画像を撮込んで行くと、ＣＣＤカメラ１９を回
動せしめないときは、図４に示すごとく、内面画像Ｌ，
Ｍ，Ｎ，Ｐは回動してＣＣＤカメラ１９に撮込まれる。
【００３４】台形プリズム２９を介在せしめ検出ヘッド
１の回転角の１／２の角度で台形プリズム２９を駆動機
構２１により回動せしめると、図５に示すごとく、ＣＣ
Ｄカメラ１９に入射される像Ｌ，Ｍ，Ｎ，Ｐはいずれも
同一方向をなして入射される。
１の回転角の１／２の角度で台形プリズム２９を駆動機
構２１により回動せしめると、図５に示すごとく、ＣＣ
Ｄカメラ１９に入射される像Ｌ，Ｍ，Ｎ，Ｐはいずれも
同一方向をなして入射される。
【００３５】すなわち、検出ヘッド１と台形プリズム２
９とが所定の回転比（図示例では２：１）で回転駆動さ
れることにより、ＣＣＤカメラ１９、レンズ群２８とい
う重量の大きい部材を回転する必要が全くなくなり、し
かもＣＣＤカメラに入射される像は同一方向で得られる
ため、不動のＣＣＤカメラ１９により得られる内面画像
の精度が更に向上する。
９とが所定の回転比（図示例では２：１）で回転駆動さ
れることにより、ＣＣＤカメラ１９、レンズ群２８とい
う重量の大きい部材を回転する必要が全くなくなり、し
かもＣＣＤカメラに入射される像は同一方向で得られる
ため、不動のＣＣＤカメラ１９により得られる内面画像
の精度が更に向上する。
【００３６】前述の通り、ＣＣＤカメラ１９に入射され
る像Ｌ，Ｍ，Ｎ，Ｐはいずれも同一方向であるので、Ｃ
ＣＤカメラ１９に組込まれるＣＣＤセンサはエリアセン
サである必要はなく、画素数の多いリニヤセンサ３２を
用いることができる。
る像Ｌ，Ｍ，Ｎ，Ｐはいずれも同一方向であるので、Ｃ
ＣＤカメラ１９に組込まれるＣＣＤセンサはエリアセン
サである必要はなく、画素数の多いリニヤセンサ３２を
用いることができる。
【００３７】例えば、リニヤセンサ３２を画素数２００
０以上とすることが可能であり、数μｍの画像分解能を
容易に達することができる。
０以上とすることが可能であり、数μｍの画像分解能を
容易に達することができる。
【００３８】画像処理部２には、画像処理装置２２、回
転コントローラ２３が設けられ、画像処理装置２２には
画像表示モニタ２４、操作モニタ２５、操作キーボード
２６等が設けられる。
転コントローラ２３が設けられ、画像処理装置２２には
画像表示モニタ２４、操作モニタ２５、操作キーボード
２６等が設けられる。
【００３９】回転コントローラ２３により、駆動装置２
１を介して検出ヘッド１および台形プリズム２９を適宜
軸心Ｆ周りに回転せしめる。
１を介して検出ヘッド１および台形プリズム２９を適宜
軸心Ｆ周りに回転せしめる。
【００４０】ワーク８の検査内壁面９が小径であって検
出ヘッド１を挿入できない場合は、図１９に示すごと
く、より小径の検出ヘッド１ａと交換することができ
る。
出ヘッド１を挿入できない場合は、図１９に示すごと
く、より小径の検出ヘッド１ａと交換することができ
る。
【００４１】小径検出ヘッド１ａのライトガイド１６
に、リングライト１５からの光を導くために、該リング
ライト１５に対峙する内外円錐鏡面２７を設け、入射光
線を点線状に反射し、小径のライトガイド１６に入射せ
しめることができる。
に、リングライト１５からの光を導くために、該リング
ライト１５に対峙する内外円錐鏡面２７を設け、入射光
線を点線状に反射し、小径のライトガイド１６に入射せ
しめることができる。
【００４２】すなわち、図１９に示すごとく、検出ヘッ
ド１ａを装着することにより、例えば検出ヘッド１の径
４５φのものに対し検出ヘッド１ａの径１０φとするこ
とができ、より小径の検査内壁面９の内面画像を撮込む
ことが可能となり、より小径の検査内壁面９の欠陥の検
出が可能となる。
ド１ａを装着することにより、例えば検出ヘッド１の径
４５φのものに対し検出ヘッド１ａの径１０φとするこ
とができ、より小径の検査内壁面９の内面画像を撮込む
ことが可能となり、より小径の検査内壁面９の欠陥の検
出が可能となる。
【００４３】図１３に示すごとく、溝検査用対物レンズ
として台形レンズ７ｄを装着することにより従来の検査
装置では検査が極めて困難な環状の内径溝１０の両側壁
面１１と底壁面１２との検査が、Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3の反射
光により１回で極めて迅速に施行可能である。Ｏリング
内径溝の検査にも使用可能である。
として台形レンズ７ｄを装着することにより従来の検査
装置では検査が極めて困難な環状の内径溝１０の両側壁
面１１と底壁面１２との検査が、Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3の反射
光により１回で極めて迅速に施行可能である。Ｏリング
内径溝の検査にも使用可能である。
【００４４】また、光源部３としては、図１に示される
光源１４、リングライト１５、ライトガイド１６および
光源平面鏡１７，１７に代えて、図１６〜図１８に示す
ごとく、撮像平面鏡５の両側に設けられた小形の照明光
源１８，１８であってもよい。
光源１４、リングライト１５、ライトガイド１６および
光源平面鏡１７，１７に代えて、図１６〜図１８に示す
ごとく、撮像平面鏡５の両側に設けられた小形の照明光
源１８，１８であってもよい。
【００４５】小形の照明光源１８，１８に代えて、光力
の充分な発光半導体であってもよい。
の充分な発光半導体であってもよい。
【００４６】
【発明の効果】本発明の内面画像撮込装置により、通常
のカメラの侵入不可能なワークの小径孔の内側面の検査
を、該内側面に加工される溝の各面の表面検査を含め
て、細かい凹凸に至るまで、極めて迅速に精度高く行う
ことができる。特に台形プリズムを介在せしめ、該台形
プリズムを検出ヘッドと一定比率で回転せしめることに
より、内面画像撮込装置の回転部分を極限することがで
き、ＣＣＤカメラのリニヤセンサの能力を充分に発揮
し、従来のものより一段と精度の高い画像データを得て
検査をより迅速に行うことができる。
のカメラの侵入不可能なワークの小径孔の内側面の検査
を、該内側面に加工される溝の各面の表面検査を含め
て、細かい凹凸に至るまで、極めて迅速に精度高く行う
ことができる。特に台形プリズムを介在せしめ、該台形
プリズムを検出ヘッドと一定比率で回転せしめることに
より、内面画像撮込装置の回転部分を極限することがで
き、ＣＣＤカメラのリニヤセンサの能力を充分に発揮
し、従来のものより一段と精度の高い画像データを得て
検査をより迅速に行うことができる。
【００４７】また検査員の内面検査作業の負担が大幅に
軽減され、従来、工場内各工程のＦＡ化が進む中で、目
視検査の自動化技術の開発が大幅に遅れており、その中
でも、穴内部の目視検査工程の自動化ニーズが強かった
が、本発明装置を設置することにより、自動化が可能と
なり、工程の無人化ラインの構築を可能とする大きな効
果を得ることができる。
軽減され、従来、工場内各工程のＦＡ化が進む中で、目
視検査の自動化技術の開発が大幅に遅れており、その中
でも、穴内部の目視検査工程の自動化ニーズが強かった
が、本発明装置を設置することにより、自動化が可能と
なり、工程の無人化ラインの構築を可能とする大きな効
果を得ることができる。
【図１】実施例の処理装置の線図を含む略示縦断面図で
ある。
ある。
【図２】台形プリズムによる像反転説明図である。
【図３】，
【図４】，
【図５】台形プリズムの回動による像撮込説明図であ
る。
る。
【図６】検出ヘッド透視窓部分正面図である。
【図７】同上側面図である。
【図８】対物レンズが平レンズのときの図７中Ｊ−Ｊ線
断面図である。
断面図である。
【図９】図７中Ｋ−Ｋ線断面図である。
【図１０】対物レンズが平レンズのときの入射光径路説
明図である。
明図である。
【図１１】対物レンズが凸レンズのときの入射光径路説
明図である。
明図である。
【図１２】対物レンズが凹レンズのときの入射光径路説
明図である。
明図である。
【図１３】対物レンズが台形レンズのときの内径溝の入
射光線径路説明図である。
射光線径路説明図である。
【図１４】対物レンズが凸レンズのときの図７中Ｊ−Ｊ
線断面図である。
線断面図である。
【図１５】対物レンズが凹レンズのときの図７中のＪ−
Ｊ線断面図である。
Ｊ線断面図である。
【図１６】光源部として小形の照明光源を用いる略示縦
断面図である。
断面図である。
【図１７】同上透視窓部分正面図である。
【図１８】図１７中Ｔ−Ｔ線断面図である。
【図１９】小径検出ヘッドの略示縦断面図である。
【図２０】従来例の部分縦断面図である。
１ 検出ヘッド ２ 画像処理部 ３ 光源部 ４ 透視窓 ５ 撮像平面鏡 ６ 下端 ７ 対物レンズ １９ ＣＣＤカメラ ２０ レンズ機構 ２１ 駆動機構 ２８ レンズ群 ２９ 台形プリズム ３２ リニヤセンサ Ｆ 検出ヘッド軸心 Ｇ 透視窓軸心 Ｈ 交点
Claims (1)
- 【請求項１】 細い中空円筒状で軸心回りに回動可能な
検出ヘッドと、画像処理部と、光源部とからなり、 前記検出ヘッドの先端には、側面に透視窓が開口され、
撮像平面鏡と光源部の発光部とが内設され、 前記透視窓には、対物レンズが交換取付可能とされ、 前記撮像平面鏡は、検出ヘッド軸心と透視窓軸心との交
点に、前記両軸心と所定の角度をなす位置に取り付けら
れ、 前記発光部は透視窓軸心に近接して前記撮像平面鏡の両
側から撮像対象を照射する位置に設けられ、 前記画像処理部には、ＣＣＤカメラと、レンズ機構と駆
動機構とが設けられ、 前記ＣＣＤカメラは、前記検出ヘッドの後端と対峙する
位置にレンズ機構を介して取り付けられ、画素数の多い
リニヤセンサが組込まれており、 前記レンズ機構はレンズ群と台形プリズムとからなり、 前記駆動機構により前記検出ヘッドと台形プリズムとが
検出ヘッド軸心回りに所定の回転比で回転駆動され、 台形プリズムを介してＣＣＤカメラに入射される像が、
検出ヘッドの回転に拘らず、ＣＣＤカメラに対して常に
同一方向に保持される構成とされていることを特徴とす
る内面画像撮込装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24334394A JPH0882753A (ja) | 1994-09-12 | 1994-09-12 | 内面画像撮込装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24334394A JPH0882753A (ja) | 1994-09-12 | 1994-09-12 | 内面画像撮込装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0882753A true JPH0882753A (ja) | 1996-03-26 |
Family
ID=17102421
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24334394A Pending JPH0882753A (ja) | 1994-09-12 | 1994-09-12 | 内面画像撮込装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0882753A (ja) |
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1994
- 1994-09-12 JP JP24334394A patent/JPH0882753A/ja active Pending
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