JPH0883416A - 固定磁気ディスク装置用コアスライダの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 段付き構造の空気ベアリング部を有する固定
磁気ディスク装置用コアスライダの工業的に有利な製造
方法を提供すること。 【構成】 固定磁気ディスク装置用コアスライダを製造
する際に、空気ベアリング部２６が非磁性セラミックス
材料にて形成されており、且つ該空気ベアリング部２６
の幅方向の少なくとも一方の側部側部位を、所定幅にお
いて、ガラス材料にて形成してなるスライダ本体２０を
準備し、次いで、該スライダ本体２０の空気ベアリング
部２６に対して、クエン酸及び／又はＬ−アスコルビン
酸を含む水性溶液からなるエッチング液を用いて、エッ
チング操作を施し、該空気ベアリング部２６の少なくと
も一方の側部側部位の材料のみをエッチングせしめるこ
とにより、幅方向の中央部位よりも少なくとも一方の側
部側部位の高さが低くなった段付き構造の空気ベアリン
グ部２６を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【技術分野】本発明は、固定磁気ディスク装置用コアス
ライダの製造方法に係り、特に空気ベアリング部を有す
るスライダ本体に、記録／再生部を構成する磁気ヘッド
用コアを一体的に組み付けてなる構造の、所謂コンポジ
ット型コアスライダの好適な製造法に関するものであ
る。

【０００２】

【背景技術】従来から、固定磁気ディスク装置（ＲＤ
Ｄ）に用いられる浮上型磁気ヘッド用コアスライダとし
て、磁気ディスク摺接側の面に互いに平行な一対の所定
幅の空気ベアリング部が設けられたスライダ本体と、該
スライダ本体の前記空気ベアリング部が延びる方向にお
ける一方の端部側部位に配された、閉磁気回路を横切る
磁気ギャップが磁気ディスクに対向するように形成せし
められてなる磁気ヘッド用コアとを備えた構造のものが
知られており、例えば空気ベアリング部を有するスライ
ダ本体に、記録／再生部を構成する磁気ヘッド用コア
（コアチップ）を一体的に組み付けてなる構造の、所謂
コンポジット型と称される形式のものや、バルク形状の
コアを用いた構造の、スライダ本体と磁気ヘッド用コア
とが一体構造とされた、所謂モノリシック型と称される
形式のもの、更にはスライダ本体における空気ベアリン
グ部のトレーリング側の端面に、薄膜状の磁気ヘッド用
コアを形成してなる構造の、所謂薄膜型と称される形式
のもの等がある。

【０００３】ところで、近年における高密度記録の要請
に基づいて、かかる固定磁気ディスク装置用コアスライ
ダにあっても、各種の対策が講じられてきており、例え
ばコアに関しては、そのインダクタンスを小さくする改
良が為され、またスライダとしては、その浮上特性に関
する改善、具体的には空気ベアリング部の形状を工夫す
る等の改善が提案されている。即ち、固定磁気ディスク
装置に用いられる浮上型磁気ヘッド用コアスライダにあ
っては、磁気ディスクの内周側よりも外周側において浮
上量が大となって、磁気ヘッド用コアによる書き込み能
力や読み出し能力が低下することとなるところから、磁
気ディスクの内外周部位における浮上量を一定にすべ
く、米国特許第４６７３９９６号明細書においては、空
気ベアリング部の幅方向の両側部を中央部位の磁気ディ
スク対向面よりも低い平坦面とした段付き構造が提案さ
れているのである。

【０００４】しかしながら、そのようなスライダ本体の
空気ベアリング部に対して、微細な深さの段付き部を正
確に形成することは、コアスライダの製造上において極
めて困難な問題を内在しているのである。例えば、コン
ポジット型のコアスライダにあっては、一般的に、スラ
イダ本体にコアチップを一体的に組み付けた後に、スラ
イダの一個毎に磁気ギャップのデプス長を規定するため
の研磨加工が施されることとなるところから、そのよう
な研磨加工が施された空気ベアリング部の磁気ディスク
対向面に対して、微細な段付き部を、機械加工やエッチ
ング等にて形成することは極めて困難であり、現実には
採用され得ない構造と考えられているのである。また、
そのような微細な段付き部がエッチング操作にて形成さ
れ得たとしても、エッチング液としては一般に適当な酸
性水溶液が用いられることとなるところから、それによ
って空気ベアリング部のエッチング面に著しい面粗れが
惹起されたり、エッチング速度が早いために段の高さ精
度を上げることが極めて困難であり、実用上において許
容し得るものとはならないのである。

【０００５】

【解決課題】ここにおいて、本発明は、かかる事情を背
景として為されたものであって、その解決課題とすると
ころは、エッチング面の面粗れの問題を惹起することな
く、また段高さが高精度の段付き構造の空気ベアリング
部を有する固定磁気ディスク装置用コアスライダを工業
的に有利に製造する方法を提供することにあり、また、
そのような有用な空気ベアリング部形状を有するコアス
ライダを、良好な生産性をもって、有利に製造すること
の出来る実用的な製造手法を提供することにある。

【０００６】

【解決手段】そして、かかる課題を解決するために、本
発明の特徴とするところは、磁気ディスク摺接側の面
に、互いに平行な一対の所定幅の空気ベアリング部が設
けられた、少なくとも該空気ベアリング部が非磁性セラ
ミックス材料にて形成されてなるスライダ本体と、該ス
ライダ本体の前記空気ベアリング部が延びる方向におけ
る一方の端部側部位に配された、閉磁気回路を横切る磁
気ギャップが磁気ディスクに対向するように形成せしめ
られてなる磁気ヘッド用コアとを備えた固定磁気ディス
ク装置用コアスライダを製造する方法において、（Ａ）
前記空気ベアリング部の幅方向の少なくとも一方の側部
側部位を、所定幅において、ガラス材料にて形成してな
るスライダ本体を準備する工程と、（Ｂ）該スライダ本
体の空気ベアリング部に対して、クエン酸及び／又はＬ
−アスコルビン酸を含む水性溶液からなるエッチング液
を用いて、エッチング操作を施し、該空気ベアリング部
の少なくとも一方の側部側部位の材料のみをエッチング
せしめることにより、幅方向の中央部位よりも少なくと
も一方の側部側部位の高さが低くなった段付き構造の空
気ベアリング部を形成する工程とを含んで、構成したこ
とにある。

【０００７】また、本発明は、特にコンポジット型コア
スライダの製造に際して有利に採用されるものであっ
て、その場合にあっては、具体的には、（ａ）少なくと
も一つのスライダ本体を与え得る大きさの非磁性セラミ
ックス板を準備する工程と、（ｂ）該非磁性セラミック
ス板の磁気ディスク摺接側の面の各空気ベアリング部形
成部位において、所定深さの埋込溝の少なくとも一つを
それぞれ形成し、更に該埋込溝内にガラスを埋め込む工
程と、（ｃ）かかるガラスの埋め込まれた非磁性セラミ
ックス板より、互いに平行な一対の空気ベアリング部を
形成し得る大きさにおいて、スライダ本体の少なくとも
一つを切り出す工程と、（ｄ）その切り出されたスライ
ダ本体の一方の端部において、該スライダ本体の磁気デ
ィスク摺接側の面に垂直な方向で且つ磁気ディスク摺接
方向に所定長さ延びるコア挿入用スリットを設け、更に
該コア挿入用スリットを横切るようにコイル巻線用溝を
該スライダ本体の一方の端部の端面に形成する工程と、
（ｅ）該スライダ本体の磁気ディスク摺接側の面におい
て、幅方向の少なくとも一方の側部側部位に前記ガラス
の埋込溝部分が残るようにして、互いに平行な一対の所
定幅の空気ベアリング部を形成する工程と、（ｆ）該空
気ベアリング部の形成工程に先立って若しくは該形成工
程の後に、別途作製された磁気ヘッド用コアを、閉磁気
回路を横切る磁気ギャップが磁気ディスクに対向するよ
うに、前記コア挿入用スリット内に挿入し、一体的に組
み付ける工程と、（ｇ）該スライダ本体の空気ベアリン
グ部に対して、クエン酸及び／又はＬ−アスコルビン酸
を含む水性溶液からなるエッチング液を用いて、エッチ
ング操作を施し、該空気ベアリング部の少なくとも一方
の側部側部位を構成する埋込ガラス部分のみをエッチン
グせしめることにより、幅方向の中央部位よりも少なく
とも一方の側部側部位の高さが低くなった段付き構造の
空気ベアリング部を形成する工程とを含んで、構成され
る方法が、採用されることとなる。

【０００８】なお、かかる本発明に従う固定磁気ディス
ク装置用コアスライダの製造方法において、前記エッチ
ング液がクエン酸を含む水性溶液からなる場合におい
て、かかる水性溶液は、有利には、ｐＨ２〜５に調節さ
れ、また緩衝剤が更に添加せしめられる。そして、その
ような緩衝剤としては、有利には、酢酸ナトリウム若し
くはアンモニアが用いられるのである。また、前記エッ
チング液がＬ−アスコルビン酸を含む水性溶液からなる
場合にあっては、有利には、ｐＨ３〜５に調節されるこ
ととなる。

【０００９】さらに、このような本発明において用いら
れる非磁性セラミックスとしては、チタン酸カルシウム
（ＣａＴｉＯ₃ ）を主成分とするセラミックスが、有利
である。特に、コンポジット型コアスライダにあって
は、磁気ヘッド用コアたるコアチップを構成する磁性材
料として、フェライトが用いられるものであるところか
ら、そのようなフェライトとＣａＴｉＯ₃ を主成分とす
るセラミックスとは、熱膨張係数がよく一致しているか
らである。

【００１０】更にまた、かかる本発明において空気ベア
リング部の側部側部位構成材料として用いられるガラス
としては、５２０℃以上の軟化点を有するガラスである
ことが有利である。コアスライダの製造に際しての後工
程における熱履歴を考慮し、空気ベアリング部側部の変
形を避けるためである。

【００１１】

【作用・効果】従って、このような本発明に従う固定磁
気ディスク装置用コアスライダの製造方法にあっては、
空気ベアリング部の幅方向の中央部分が、所定長さに亘
って、磁気ディスクに最近接する平面とされる一方、空
気ベアリング部の幅方向の少なくとも一方の側部側部位
が、所定幅において、空気ベアリング部構成材料（非磁
性セラミックス）とは異なるエッチング特性を有する材
料（ガラス）にて構成された、前記最近接平面よりも磁
気ディスクから離れた一段低い平面として構成されてな
る２段構造（段付き構造）の空気ベアリング部が形成さ
れることとなるのである。

【００１２】そして、そのような２段の段付き構造が現
出される空気ベアリング部がエッチング特性の異なる２
種の所定の材料にて構成されていることに基づいて、そ
の磁気ディスク摺接側の面に対して空気ベアリング部に
相当する正確なマスクを形成することも必要なく、クエ
ン酸及び／又はＬ−アスコルビン酸を含む水性溶液から
なるエッチング液を用いた単なるエッチング操作のみに
よって、該空気ベアリング部の幅方向の少なくとも一方
の側部側部位を構成する材料の表面を選択的にエッチン
グせしめることが出来、換言すれば複合構造の空気ベア
リング部の表面に対して、それら複合材料のエッチング
の選択比を利用して、エッチング操作を実施することが
出来、以て２段の段付き構造の空気ベアリング部が、良
好な生産性をもって、有利に形成され得るのである。

【００１３】特に、この選択的エッチング操作によっ
て、空気ベアリング部の幅方向の少なくとも一方の側部
側部位の表面が選択的にエッチングせしめられることに
より、かかる空気ベアリング部の幅方向の中央部位に対
する精密なマスクを、何等実施する必要がなくなったこ
とにより、コンポジット型コアスライダにあっても、そ
の空気ベアリング部に対して、２段構造を有利に形成し
得ることとなったのであり、しかもエッチング液とし
て、クエン酸及び／又はＬ−アスコルビン酸を含む水性
溶液を用いていることによって、かかる２段構造の空気
ベアリング部のエッチング面の面粗れを効果的に抑制し
て、それに基づく問題の発生を有利に回避すると共に、
エッチング精度を高めて段高さの精度を向上せしめ、更
には、エッチング作業の安全性を高め、またエッチング
コストも安価と為す等、工業性を著しく高め得たのであ
る。

【００１４】そして、このような２段構造の空気ベアリ
ング部を有する固定磁気ディスク装置用コアスライダの
製造が可能となったことにより、コアスライダの磁気デ
ィスク外周側における浮上量が増大するという問題も、
効果的に解消され得ることとなり、以て磁気ディスクの
高記録密度化にも有利に対処し得ることとなったのであ
る。

【００１５】

【具体的構成】以下、図面に示される固定磁気ディスク
装置用コアスライダの製造手法の代表的な具体例に基づ
いて、本発明の構成について更に具体的に明らかにする
こととする。

【００１６】先ず、図１〜図９には、本発明に従う固定
磁気ディスク装置用コアスライダの製造方法の一例にお
いて用いられる部材及びその加工形態や組付け形態、更
には製品形態等が示されている。そこにおいて、図９に
示される如き、２段構造の空気ベアリング部を有するコ
ンポジット型のコアスライダを製造するに際しては、先
ず、図１に示されている如き、少なくとも一つのスライ
ダ本体を与え得る大きさの板状のスライダ素材１０が準
備される。

【００１７】ここで、この準備されるスライダ素材１０
の幅寸法は、目的とするコアスライダの磁気ディスク摺
接方向における長さよりも若干大きめとなるように、設
定されている。また、かかるスライダ素材１０の厚み
は、目的とするコアスライダの厚みよりも厚い寸法とさ
れている。更に、かかるスライダ素材１０の磁気ディス
ク摺接方向に直交する方向における長さは、目的とする
コアスライダ（スライダ本体）の複数個、ここでは３個
のスライダ本体を取り得る長さとされている。なお、ス
ライダ素材１０を構成する材料としては、少なくとも非
磁性セラミックス材料が用いられ、中でも、その熱膨張
係数が、後述する磁気ヘッド用コア（所謂コアチップ）
を形成するフェライトのそれに出来るだけ近いものが採
用されることとなるが、特に、チタン酸カルシウム（Ｃ
ａＴｉＯ₃ ）、若しくはこれに若干の添加物が添加され
てなるＣａＴｉＯ₃ を主成分とするセラミックス材料
が、好適に用いられることとなる。この非磁性セラミッ
クス材料にて、スライダ素材１０の少なくとも各空気ベ
アリング部形成部位が構成されるのである。

【００１８】そして、かかるスライダ素材１０の磁気デ
ィスク摺接側の面には、図２に示される如く、その各空
気ベアリング部形成部位に対して、所定幅の埋込溝１２
の複数本が、所定深さにおいて、互いに平行に形成され
る。この埋込溝１２は、最終的に形成される空気ベアリ
ング部の両側部に位置して、その側部側部位を所定幅で
構成するように、空気ベアリング部の幅よりも狭い間隔
を持った組において形成され、ここでは、スライダ３個
取りのため、６組１０本（２本は共通の埋込溝となって
いる）の埋込溝１２が形成され、そしてそれら一組の埋
込溝１２、１２の間隔が、磁気ディスクに対して最近接
する空気ベアリング面の幅となるように加工されてい
る。また、埋込溝１２の深さは、最終的なギャップデプ
ス加工により研磨された状態において、後述するよう
に、該埋込溝１２内に埋め込まれるガラスからなるエッ
チング特性の異なる材料が、後のエッチング処理が行な
われても、残るように設定されることとなる。

【００１９】次いで、このような溝加工が施されて、複
数の埋込溝１２が形成されてなるスライダ素材１０に
は、図３に示されるように、その埋込溝１２内に、スラ
イダ素材１０（空気ベアリング部）を構成する材料（非
磁性セラミックス）とは異なるエッチング特性を有する
材料（ガラス）１４が埋め込まれることとなる。即ち、
この埋込材料１４は、スライダ素材１０構成材料との兼
ね合いにおいて選択されるものであって、一般に、所定
のエッチング条件下において全くエッチングされない材
料がスライダ素材１０構成材料として、またエッチング
される材料が埋込材料１４として選択される他、それら
両材料としてエッチングレート（速度）に差のある材料
を選択することも可能であるが、本発明では、スライダ
素材１０構成材料として非磁性セラミックス材料が用い
られている一方、埋込材料１４としては、ガラスが用い
られている。

【００２０】そして、この埋込材料１４として用いられ
るガラスは、その軟化温度が少なくとも５２０℃以上で
あることが好ましい。何故なら、後工程でコアをスライ
ダに固着する際、埋込材料１４のガラスの変形を避ける
ため、固着用ガラスの作業温度より高いことが好まし
く、通常コア固着のための作業温度は４５０〜５２０℃
とするので、この作業温度以上の軟化温度を有するガラ
スを選択するのが、望ましいのである。従って、埋込材
料として有効なガラスとして、例えば軟化温度：６５０
℃のＢａＯ−Ｌａ₂ Ｏ₃ −ＳｉＯ₂ 系のガラスを用い、
その板状とされたガラス（１４）を埋込溝１２の上にセ
ットした後、作業温度：９００℃に加熱して流し込み、
埋込溝１２内に充満せしめるのである。このようにして
ガラス（１４）を埋め込んだ後、はみ出した余分なガラ
スを除去、研磨すると共に、スライダ長手方向の端面に
相当するスライダ素材１０における埋込溝１２の形成方
向の両端面も研磨し、埋込溝１２内にガラス（１４）が
過不足なく、埋め込まれているようにされる。

【００２１】なお、かかるガラス（１４）の埋込工程ま
では、以上説明した加工方法の他にも、図１に示される
板状のスライダ素材１０が複数本、採取される大型素材
を予め準備し、これに対して、図２と同様な溝入れ加
工、更にはガラス等の埋め込みを行なった後に、複数本
に分割することにより、図３に示される如き形態のスラ
イダ素材１０を得る手法等も適宜に採用し得ることは、
言うまでもないところである。

【００２２】このようにして得られた所定のガラスから
なる埋込材料１４が埋込溝１２内に埋め込まれてなるス
ライダ素材１０には、図４に示される如く、分割線１６
において、分割加工が施され、互いに平行な一対の空気
ベアリング部を形成し得る大きさにおいて、複数個（こ
こでは３個）のスライダ本体が、それぞれ切り出され
る。これにより、目的とするスライダと長さ及び幅が同
じで、厚みのみ若干厚い寸法のスライダ本体２０が得ら
れるのである。なお、図５には、そのような切り出され
たスライダ本体２０の一例が示されている。

【００２３】次いで、かかるスライダ本体２０には、図
６に示される如く、埋込溝１２が延びる方向における一
方の端部側において、該スライダ本体２０の磁気ディス
ク摺接側の面に垂直な方向で且つ磁気ディスク摺接方向
（埋込溝１２の延長方向に平行な方向）に所定長さ延び
るコア挿入用スリット２２が設けられ、更に該コア挿入
用スリット２２を横切るように、コイル巻線用溝２４
が、スライダ本体２０の該一方の端部の端面に傾斜して
形成される。即ち、後述するコアチップを挿入するため
のコア挿入用スリット２２が、スライダ本体２０のトレ
ーリング側の端部において、ガラスモールドされた一対
の埋込溝１２、１２間に、コアチップの厚みより大きめ
の幅にて形成され、一方、後述するコアチップにコイル
巻線を施すためのコイル巻線用溝２４が、ここでは、ス
ライダ本体２０のトレーリング側の端面に斜めに形成さ
れているのである。

【００２４】さらに、スライダ本体２０には、その磁気
ディスク摺接側の面に対して、最終的な空気ベアリング
部の幅を規定するための溝入れ加工が、砥石にて行なわ
れ、かかる磁気ディスク摺接側の面に互いに平行な一対
の所定幅の空気ベアリング部２６、２６が、空気ベアリ
ング部規定溝２８にて規定されるようになっている。即
ち、ここでは、空気ベアリング部２６の幅方向の両側部
位に、前記ガラス等の埋込材料１４を埋め込んでなる埋
込溝１２部分が所定幅で残るようにして、一対の空気ベ
アリング部２６、２６が形成されるのである。

【００２５】その後、このように溝加工されたスライダ
本体２０に対して、別途作製される磁気ヘッド用コア、
所謂コアチップが一体的に組み付けられることとなる
が、ここで用いられるコアチップ３０は、従来と同様な
構造のものであって、例えば図７に示されるように、磁
性材料、好適にはＭｎ−Ｚｎフェライトの如きフェライ
ト材料から構成され、閉磁気回路を与える全体として矩
形の環状構造を成しており、その上辺に幅方向の一方の
面に沿って、一端が傾斜面３２で画定された形態のトラ
ック部となる狭幅部３４を備えていると共に、その狭幅
部３４の中間に位置して、閉磁気回路を横切るように記
録／再生のための磁気ギャップ３６を有している。ま
た、このコアチップ３０の中心部には、従来と同様なコ
イル巻線用孔３８が形成されている。

【００２６】かかるコアチップ３０をスライダ本体２０
のコア挿入用スリット２２内に挿入し、低融点ガラスで
固着することによって、一体的に組み付けるに際して
は、図８に示すように、コアチップ３０の傾斜面３２が
コア挿入用スリット２２の奥側に位置するように、且つ
狭幅部３４がコア挿入用スリット２２の幅方向の中央部
に位置するように、コアチップ３０を一方に寄せ、そし
てコア挿入用スリット２２におけるスライダ本体２０の
底面側の隙間に、適当なスペーサ（望ましくは非磁性材
料からなるスペーサ）を挟み込み、作業温度：５００℃
にて低融点ガラス（軟化温度：４２０℃）（４２）をコ
アチップ３０のトラック部位（３４）の周囲に流し込
み、以てコアチップ３０の固着を行なうのである。その
後、スライダ本体２０の底面側の隙間に介在せしめたス
ペーサを除去し、そのような隙間内に適当な固着樹脂４
４が埋め込まれることとなる。更にその後、コアチップ
３０の磁気ギャップ３６のギャップデプス長を規定する
ために、デプス研磨加工が施され、更にスライダ本体２
０における一対の空気ベアリング部２６、２６のリーデ
ィング側には、穏やかな傾斜のテーパ部（リーディング
ランプ）４０が形成せしめられる。

【００２７】そして、このように、コアチップ３０がス
ライダ本体２０に一体的に組み付けられてなるコアスラ
イダに対して、本発明に従う選択的エッチング操作を施
し、そのスライダ本体２０における一対の空気ベアリン
グ部２６、２６の両側部位を構成する埋込ガラス（１
４）部位のみをエッチングせしめ、以て図９に示される
ように、幅方向の中央部位よりも、両側部位の高さが低
くなった２段の段付き構造の空気ベアリング部２６を形
成するのである。即ち、空気ベアリング部２６の少なく
とも磁気ディスク対向側の面たる上面に対して、エッチ
ング操作が施されることとなるが、そのような空気ベア
リング部２６の上面は、スライダ本体２０の構成材料と
共に、ガラスからなる埋込材料１４が露呈せしめられて
いるのであって、そのような面に対して、埋込ガラス材
料１４のみがエッチングされるように、クエン酸及び／
又はＬ−アスコルビン酸を含む水性溶液からなる、選択
性の大きなエッチャント（エッチング液）を用いて、化
学エッチングせしめるのであり、これによって、スライ
ダ本体構成材料からなる空気ベアリング部２６の幅方向
の中央部位よりも、両側部に存在する埋込ガラス材料１
４に対するエッチングが、より促進されることとなるの
である。

【００２８】すなわち、本発明にあっては、かかるエッ
チング操作において、埋込材料１４たるガラスの選択的
なエッチングには、クエン酸及び／又はＬ−アスコルビ
ン酸を含む水性溶液からなるエッチング液が用いられ、
これによって、エッチングされたガラス表面の粗さの小
さいものが有利に形成されることとなるのである。そし
て、エッチング液として、クエン酸を含む水性溶液が用
いられる場合にあっては、その溶液のｐＨは、有利に
は、２〜５とされる。特に、クエン酸水溶液のｐＨ２〜
２．３のもの、液濃度に言い換えれば０．１〜５重量
％、好ましくはエッチングレートの安定性から１〜５重
量％濃度のクエン酸水溶液が好適に用いられる。また、
Ｌ−アスコルビン酸を含む水性溶液がエッチング液とし
て用いられる場合にあっては、その溶液のｐＨは、有利
には、３〜５とされる。これら２種のエッチング液のｐ
Ｈが高くなりすぎると、ガラスに対する有効なエッチン
グ操作が困難となるのであり、また余りにも低くなりす
ぎると、エッチング量のコントロールが困難となった
り、面粗れを惹起する等の問題を発生する。なかでも、
上記のエッチング液としてのクエン酸を含む水性溶液に
は、酢酸ナトリウム、アンモニア等の緩衝剤が特に有利
に添加せしめられる。この緩衝剤の添加により、エッチ
ングレートを小さくし、且つ濃度（ｐＨ）に対するエッ
チング深さの変化を鈍化せしめ得て、エッチング深さ制
御の精度を極めて高め得るのである。更に、このような
エッチング液を用いるエッチングに際して、液温は、一
般に２０℃〜５０℃、好ましくはエッチング速度の制御
の点より、エッチングレートの小さい２０℃〜３０℃と
される。なお、上記のクエン酸やＬ−アスコルビン酸
は、それ単独の水溶液として用いられる場合の他、それ
らを併用添加せしめてなる混合水溶液としても好適に用
いられる。

【００２９】そして、この際、トラック部位（３４）及
びその周囲のトラックガラス、即ち低融点ガラス（４
２）がエッチングされないように、それらの表面を、フ
ォトレジスト等を用いて適宜にマスキングして、化学エ
ッチングが行なわれる。更に、空気ベアリング部２６の
両側部位に位置する埋込ガラス（１４）の上面を除く側
面のエッチングを避けるには、当該側面に対して、適当
なマスキングを施せばよい。なお、これらのマスキング
は、スライダ本体の個々にレジストを塗布し、露光、現
像して、空気ベアリング部エッチング用パターンを形成
することの技術的問題や工数的な問題に比べれば、はる
かに容易なものである。

【００３０】また、かかるエッチングの前後に、図示は
しないが、空気ベアリング部２６のトレーリング側に
は、チャンハー加工が施されることとなるが、このチャ
ンハー加工をエッチング操作後において実施すれば、空
気ベアリング部２６の長手方向の端部における埋込ガラ
ス材料１４部位の段付き部分を解消せしめることも可能
である。

【００３１】このような選択的エッチング操作によっ
て、空気ベアリング部２６は、その少なくとも磁気ディ
スク対向側の面において、磁気ディスクに最近接する平
面２６ａと該最近接平面２６ａよりも低い、磁気ディス
クより離れた平面２６ｂとからなる２段の段付き構造に
て形成されることとなるが、図１０に示されるように、
それら二つの平面２６ａと２６ｂとの高さの差：ａとし
ては、そのエッチングされた埋込ガラス材料１４部位の
低い平面２６ｂも空気ベアリング部２６として機能する
ように、０．５〜２μｍ程度とすることが望ましい。ま
た、空気ベアリング部２６の両側部位に残される埋込ガ
ラス材料１４の埋め込まれた埋込溝１２の空気ベアリン
グ部２６幅方向の長さ：ｂとしては、１０〜２００μｍ
程度とされ、更にデプス研磨加工によって空気ベアリン
グ部２６が研磨された後における埋込溝１２の深さ：ｃ
としては、２０μｍ以上となるようにされる。なお、こ
の埋込溝１２の深さ：ｃが浅くなると、上記した選択的
エッチング操作によって、埋込ガラス材料１４の側面が
エッチングされると、更にもう一段の段付き部が形成さ
れ、この段付き部によって、コアスライダの浮上特性が
変化せしめられる問題を生じる。

【００３２】以上の製造方法では、空気ベアリング部２
６の両側部を構成する埋込材料１４たるガラスとして、
軟化温度が５２０℃のものを用い、またコアチップ３０
のチップ固着用ガラス４２として、軟化温度が４２０℃
のものを用い、且つ作業温度を５００℃とすることによ
り、コアチップ３０の固着の前に空気ベアリング部規定
溝２８を形成しても、後のコアチップ３０の固着時に、
空気ベアリング部２６構成ガラス（１４）が殆ど変形す
ることがなく、所望の空気ベアリング部２６の幅を確保
することが出来るようになっている。

【００３３】以上、本発明に従う第一の製造方法に付い
て述べたが、本発明は、また、以下の如き手順に従って
実施することが可能である。即ち、先ず、前記図５に示
されるガラスモールドしたスライダ本体２０を得るとこ
ろまでは、前述の第一の製造方法と同じである。なお、
空気ベアリング部２６の両側部を構成することとなるガ
ラス（１４）は、トラックモールドガラス（４２）と同
じものが用いられている。次のステップとして、図１１
に示されるように、コア挿入用スリット２２及びコイル
巻線用溝２４の形成が行なわれ、その後、図１２に示さ
れるように、前記第一の製造方法と同様に、スライダ本
体２０のコア挿入用スリット２２に、別途作製されたコ
アチップ３０が挿入され、低融点ガラス（軟化温度：４
２０℃）４２を溶融せしめて、コアチップ３０をスライ
ダ本体２０に対して一体的に固着せしめるのである。そ
の後、図１３に示されるように、空気ベアリング部２６
を規定する溝（２８）が形成される。更に、ギャップデ
プス研磨、引き続きリーディングランプ加工が施され、
その後、前記第一の製造法と同様に、空気ベアリング部
２６の両側部位を構成する埋込ガラス材料１４を、選択
的エッチング操作によって、０．５〜２μｍ程度エッチ
ングせしめ、以て図９や図１０に示される如き形態の、
２段の段付き構造の空気ベアリング部２６を有するコア
スライダを得るのである。

【００３４】このような製造法によれば、スライダ本体
２０とコアチップ３０とのチップ固着用ガラス４２によ
る固着後に、空気ベアリング部２６形成のための溝加工
を行なうものであるところから、かかる溝加工の後の高
温プロセスが無くなり、空気ベアリング部２６の両側部
位構成ガラス（１４）の変形がなく、所定の寸法、形状
を有利に確保し得る利点がある。また、第一の製造法に
比べ、空気ベアリング部２６の両側部位構成ガラス（１
４）のエッチングが為され易く、より大きな選択性をも
って、エッチングを行なうことが可能となる利点があ
る。

【００３５】以上、本発明に従う固定磁気ディスク装置
用コアスライダの製造方法について、その代表的な例に
基づいて詳細に説明したが、本発明が、そのような例示
の具体例にのみ限定して解釈されるものでは決してな
く、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて、当業者の
知識に基づいて種々なる変更、修正、改良等を加えた形
態において、実施され得るものであることが、理解され
るべきである。

【００３６】例えば、上例の具体例においては、コンポ
ジット型コアスライダに対する本発明の適用例を説明し
たが、本発明は、また、他の構造のコンポジット型コア
スライダ、例えばスライダ本体の側部にコアチップを一
体的に固着せしめた構造のもの等にも適用可能であり、
更にはモノリシック型や薄膜型のコアスライダにも、同
様に適用可能である。

【００３７】また、例示の具体例においては、空気ベア
リング部の両側部位に、何れも、本発明に従って、２段
の段付き構造が実現されているが、空気ベアリング部の
一方の側部側部位のみに、そのような２段の段付き構造
が形成される場合もあり、そのような構造にあっても、
本発明に従って有利に実現され得ることとなるのであ
る。

【００３８】さらに、スライダ素材（１０）として、非
磁性セラミックスと他のセラミックス（例えばフェライ
ト等）との複合材料を用い、空気ベアリング部（２６）
が該非磁性セラミックスにて形成されるように、スライ
ダ本体（２０）を構成することも可能である。

【００３９】

【実施例】以下に、本発明に従う固定磁気ディスク装置
用コアスライダの製造方法の実施例を示し、本発明を更
に具体的に明らかにすることとする。

【００４０】実施例 １ 先ず、図１〜図９に示される本発明に係る第一の製造手
法に従って、目的とする固定磁気ディスク装置用コアス
ライダを製造した。なお、スライダ素材１０としては、
チタン酸カルシウムを主成分とする非磁性セラミックス
材料を用いる一方、コアチップ３０には、フェライト材
料からなる従来と同様な構造のものを用いた。また、埋
込ガラス材料１４としては、軟化温度が６５０℃であ
る、ＢａＯ−Ｌａ₂ Ｏ−ＳｉＯ₂ 系ガラスを用い、これ
をスライダ素材１０に形成した埋込溝１２内に加熱溶融
せしめて充満させた。

【００４１】そして、図８に示される如く、コアチップ
３０がスライダ本体２０に一体的に組み付けられてなる
コアスライダに対して、その空気ベアリング部２６の上
面における埋込ガラス材料１４部分を除く他の部分をレ
ジストにてマスキングした状態下において、３重量％濃
度のクエン酸水溶液（ｐＨ＝約２）をエッチング液とし
て用いて、３０℃の温度で選択的エッチングを行ない、
図９及び図１０に示される如き、２段の段付き構造の空
気ベアリング部２６を有するコアスライダを得た。な
お、かかる選択的エッチングにて、埋込ガラス材料１４
部分のエッチング深さ（ａ）は０．７５μｍとなり、ま
たそのエッチング面の面粗さは、Ｒ_max ＝０．０１μｍ
となった。

【００４２】これに対して、従来から公知のリン酸水溶
液をエッチング液として用いて、上記の選択的エッチン
グ操作を実施したところ、エッチング深さ（ａ）＝０．
３μｍ、エッチング面粗さ（Ｒ_max ）＝０．０３μｍと
なった。なお、リン酸水溶液中のリン酸濃度は０．１重
量％（ｐＨ＝約２）であり、エッチング温度は３０℃で
あった。

【００４３】以上の選択的エッチング操作におけるエッ
チング液としてのクエン酸水溶液とリン酸水溶液との対
比から明らかな如く、クエン酸水溶液を用いた場合にあ
っては、リン酸水溶液使用の場合に比べて、エッチング
深さが２倍以上となるようにエッチングしても、エッチ
ング面の面粗さは１／３に止まっており、良好な面が形
成されていることが理解される。

【００４４】また、クエン酸水溶液中のクエン酸濃度を
種々変えて、上記と同様な選択的エッチング操作を実施
した結果、図１４に示される如きクエン酸濃度とエッチ
ング深さとの関係を得た。なお、エッチング温度：３０
℃、エッチング時間：６０分であった。そして、かかる
図１４から明らかな如く、クエン酸水溶液を用いた選択
的エッチング操作にあっては、クエン酸の低濃度領域
程、濃度（ｐＨ）に対するエッチング深さの変化が大き
くなるところから、エッチング深さの精度を高くするに
は、クエン酸水溶液の濃度管理が重要となるのである。

【００４５】実施例 ２ エッチング液として、１０重量％濃度の酢酸ナトリウム
水溶液を種々なる割合にて添加せしめてなる各種クエン
酸水溶液（クエン酸濃度：３重量％）を用い、実施例１
と同様にして、埋込ガラス材料１４の選択的エッチング
を実施し、緩衝剤としての酢酸ナトリウム水溶液の添加
量とエッチング深さとの関係を調べて、その結果を図１
５に示した。なお、エッチング温度：３１℃、エッチン
グ時間：３０分であった。また、図１５には、酢酸ナト
リウム水溶液の添加量に対応したｐＨ値も併せて示され
ている。

【００４６】かかる図１５より明らかな如く、緩衝剤
（酢酸ナトリウム水溶液）の添加によって、エッチング
レートが小さくなり、且つ濃度（ｐＨ）に対するエッチ
ング深さの変化を鈍化させることが出来るのであって、
これによりエッチング深さ制御の精度を極めて高め得る
のである。

【００４７】また、エッチング液として、クエン酸：３
重量％と緩衝剤としての酢酸ナトリウム：５重量％を含
むｐＨ４．５の水溶液を用いて、エッチング温度：３０
℃にて上記と同様な選択的エッチングを行ない、エッチ
ング深さとエッチング時間との関係を求めた結果が、図
１６に示されている。この図１６から、エッチング時間
とエッチング深さとが比例関係にあることが認められ
る。

【００４８】実施例 ３ エッチング液として、１重量％濃度のＬ−アスコルビン
酸水溶液（ｐＨ＝約５）を用い、実施例１と同様にし
て、埋込ガラス材料１４の選択的エッチングを実施し
た。エッチング時間：６０分、エッチング温度：２５℃
で、１．８μｍのエッチング深さを得た。エッチング面
の面状態は、クエン酸水溶液をエッチング液とした場合
に比べて少し劣るものとなったが、リン酸水溶液を用い
た場合のエッチング面よりは良好である（面粗さが小さ
い）ことを認めた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に従う固定磁気ディスク装置用コアスラ
イダの製造方法に用いられるスライダ素材の一例を示す
斜視説明図である。

【図２】図１に示されるスライダ素材に対して、埋込溝
を形成した形態を示す斜視説明図である。

【図３】図２においてスライダ素材に形成された埋込溝
内に所定のガラスからなる埋込材料を充満せしめてなる
状態を示す斜視説明図である。

【図４】図３に示される埋込材料の埋め込まれたスライ
ダ素材からスライダ本体を切り出すための切出し位置を
示す説明図である。

【図５】図４に示される切出し位置において、スライダ
素材を分割して得られたスライダ本体を示す斜視図説明
図である。

【図６】図５に示されるスライダ本体に対して、コア挿
入用スリット、コイル巻線用溝及び空気ベアリング部規
定溝を形成してなるスライダ本体を示す斜視説明図であ
る。

【図７】図６に示されるスライダ本体に一体的に固着せ
しめられる、別途作製されたコアチップの一例を示す斜
視説明図である。

【図８】図６に示されるスライダ本体に対して、図７に
示されるコアチップを組み付け、一体的に固着せしめて
なる状態を示す斜視説明図である。

【図９】図８に示される、コアチップを一体的に組み付
けてなるスライダ本体の空気ベアリング部に対して、選
択的エッチング操作を施し、段付き構造の空気ベアリン
グ部を形成せしめた状態を示す要部拡大部分説明図であ
る。

【図１０】図９におけるスライダ本体のトレーリング側
から見た空気ベアリング部の要部拡大正面図である。

【図１１】本発明に従う固定磁気ディスク装置用コアス
ライダの製造方法の他の例における、スライダ本体に対
してコア挿入用スリット及びコイル巻線用溝を形成した
形態を示す斜視説明図である。

【図１２】図１１に示されるスライダ本体に対して、コ
アチップを一体的に取り付けた形態を示す斜視説明図で
ある。

【図１３】図１２に示されるスライダ本体に対して、空
気ベアリング部規定溝を形成した形態を示す斜視説明図
である。

【図１４】実施例１において得られたクエン酸濃度とエ
ッチング深さとの関係を示すグラフである。

【図１５】実施例２において得られた酢酸ナトリウム添
加量とエッチング深さとの関係を示すグラフである。

【図１６】実施例２において、エッチング液として酢酸
ナトリウム添加クエン酸水溶液を用いて得られたエッチ
ング時間とエッチング深さとの関係を示すグラフであ
る。

【符号の説明】

１０ スライダ素材 １２ 埋込溝 １４ 埋込材料 １６ 切出し線 ２０ スライダ本体 ２２ コア挿入用
スリット ２４ コイル巻線用溝 ２６ 空気ベアリ
ング部 ２８ 空気ベアリング部規定溝 ３０ コアチップ ３２ 傾斜面 ３４ 狭幅部 ３６ 磁気ギャップ ３８ コイル巻線
用孔 ４０ テーパ部 ４２ チップ固着
用ガラス ４４ 固着樹脂

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁気ディスク摺接側の面に、互いに平行
   な一対の所定幅の空気ベアリング部が設けられた、少な
   くとも該空気ベアリング部が非磁性セラミックス材料に
   て形成されてなるスライダ本体と、該スライダ本体の前
   記空気ベアリング部が延びる方向における一方の端部側
   部位に配された、閉磁気回路を横切る磁気ギャップが磁
   気ディスクに対向するように形成せしめられてなる磁気
   ヘッド用コアとを備えた固定磁気ディスク装置用コアス
   ライダを製造する方法にして、 前記空気ベアリング部の幅方向の少なくとも一方の側部
   側部位を、所定幅において、ガラス材料にて形成してな
   るスライダ本体を準備する工程と、 該スライダ本体の空気ベアリング部に対して、クエン酸
   及び／又はＬ−アスコルビン酸を含む水性溶液からなる
   エッチング液を用いて、エッチング操作を施し、該空気
   ベアリング部の少なくとも一方の側部側部位の材料のみ
   をエッチングせしめることにより、幅方向の中央部位よ
   りも少なくとも一方の側部側部位の高さが低くなった段
   付き構造の空気ベアリング部を形成する工程とを、含む
   ことを特徴とする固定磁気ディスク装置用コアスライダ
   の製造方法。
2. 【請求項２】 少なくとも一つのスライダ本体を与え得
   る大きさの非磁性セラミックス板を準備する工程と、 該非磁性セラミックス板の磁気ディスク摺接側の面の各
   空気ベアリング部形成部位において、所定深さの埋込溝
   の少なくとも一つをそれぞれ形成し、更に該埋込溝内に
   ガラスを埋め込む工程と、 かかるガラスの埋め込まれた非磁性セラミックス板よ
   り、互いに平行な一対の空気ベアリング部を形成し得る
   大きさにおいて、スライダ本体の少なくとも一つを切り
   出す工程と、 その切り出されたスライダ本体の一方の端部において、
   該スライダ本体の磁気ディスク摺接側の面に垂直な方向
   で且つ磁気ディスク摺接方向に所定長さ延びるコア挿入
   用スリットを設け、更に該コア挿入用スリットを横切る
   ようにコイル巻線用溝を該スライダ本体の一方の端部の
   端面に形成する工程と、 該スライダ本体の磁気ディスク摺接側の面において、幅
   方向の少なくとも一方の側部側部位に前記ガラスの埋込
   溝部分が残るようにして、互いに平行な一対の所定幅の
   空気ベアリング部を形成する工程と、 該空気ベアリング部の形成工程に先立って若しくは該形
   成工程の後に、別途作製された磁気ヘッド用コアを、閉
   磁気回路を横切る磁気ギャップが磁気ディスクに対向す
   るように、前記コア挿入用スリット内に挿入し、一体的
   に組み付ける工程と、 該スライダ本体の空気ベアリング部に対して、クエン酸
   及び／又はＬ−アスコルビン酸を含む水性溶液からなる
   エッチング液を用いて、エッチング操作を施し、該空気
   ベアリング部の少なくとも一方の側部側部位を構成する
   埋込ガラス部分のみをエッチングせしめることにより、
   幅方向の中央部位よりも少なくとも一方の側部側部位の
   高さが低くなった段付き構造の空気ベアリング部を形成
   する工程とを、含むことを特徴とする固定磁気ディスク
   装置用コアスライダの製造方法。
3. 【請求項３】 前記エッチング液がクエン酸を含む水性
   溶液からなり、且つｐＨ２〜５に調節されている請求項
   １又は請求項２記載の固定磁気ディスク装置用コアスラ
   イダの製造方法。
4. 【請求項４】 前記エッチング液がクエン酸を含む水性
   溶液からなり、且つ該水性溶液に対して、緩衝剤が更に
   添加されている請求項１乃至請求項３の何れかに記載の
   固定磁気ディスク装置用コアスライダの製造方法。
5. 【請求項５】 前記緩衝剤が、酢酸ナトリウム若しくは
   アンモニアである請求項４記載の固定磁気ディスク装置
   用コアスライダの製造方法。
6. 【請求項６】 前記エッチング液がＬ−アスコルビン酸
   を含む水性溶液からなり、且つｐＨ３〜５に調節されて
   いる請求項１又は請求項２記載の固定磁気ディスク装置
   用コアスライダの製造方法。
7. 【請求項７】 前記ガラスが、５２０℃以上の軟化点を
   有するガラスである請求項１乃至請求項６の何れかに記
   載の固定磁気ディスク装置用コアスライダの製造方法。