JPH088687A - 弾性表面波変換器 - Google Patents
弾性表面波変換器Info
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- JPH088687A JPH088687A JP13756494A JP13756494A JPH088687A JP H088687 A JPH088687 A JP H088687A JP 13756494 A JP13756494 A JP 13756494A JP 13756494 A JP13756494 A JP 13756494A JP H088687 A JPH088687 A JP H088687A
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- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 50
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 25
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 claims description 20
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 claims description 5
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 abstract description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 弾性表面波変換器における不要弾性表面波の
発生を抑制する。 【構成】 圧電基板１０上に櫛歯状の入力電極１１及び
出力電極１２を相対向して配置する。入力電極１１及び
出力電極１２の各外側に吸音部１３，１４を設けるとと
もに、入力電極１１の外側の角部に同入力電極１１の各
櫛歯部１１ｃ，１１ｄと斜めに交差した複数の帯状の吸
音材からなる吸音部１５を設ける。さらに、圧電基板１
０上の入力電極１１と吸音部１３の間及び吸音部１５上
に吸音部１３，１５より軟質の吸音部１７を設けるとと
もに、圧電基板１０上の出力電極１２と吸音部１４の間
に吸音部１４よりも軟質の吸音部１８を設ける。吸音部
１７は吸音部１３，１５の境界での反射による不要弾性
表面波を抑制するとともに、吸音部１８は吸音部１４の
境界での反射による不要弾性表面波を抑制する。
発生を抑制する。 【構成】 圧電基板１０上に櫛歯状の入力電極１１及び
出力電極１２を相対向して配置する。入力電極１１及び
出力電極１２の各外側に吸音部１３，１４を設けるとと
もに、入力電極１１の外側の角部に同入力電極１１の各
櫛歯部１１ｃ，１１ｄと斜めに交差した複数の帯状の吸
音材からなる吸音部１５を設ける。さらに、圧電基板１
０上の入力電極１１と吸音部１３の間及び吸音部１５上
に吸音部１３，１５より軟質の吸音部１７を設けるとと
もに、圧電基板１０上の出力電極１２と吸音部１４の間
に吸音部１４よりも軟質の吸音部１８を設ける。吸音部
１７は吸音部１３，１５の境界での反射による不要弾性
表面波を抑制するとともに、吸音部１８は吸音部１４の
境界での反射による不要弾性表面波を抑制する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電気信号を一旦弾性表
面波に変換するとともに同弾性表面波を再度電気信号に
変換して出力することにより、入力した電気信号の特性
を変更して出力する弾性表面波変換器に関する。
面波に変換するとともに同弾性表面波を再度電気信号に
変換して出力することにより、入力した電気信号の特性
を変更して出力する弾性表面波変換器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の弾性表面波変換器は、例
えば特開平６−２９７７１号公報に示されているよう
に、櫛歯状にそれぞれ形成した入力電極及び出力電極を
相対向させてなる圧電基板上に、入力電極及び出力電極
の各外側にて吸音材をそれぞれ塗布してなる第１及び第
２吸音部と、入力電極の外側の角部にて複数の帯状の吸
音材を同入力電極の各櫛歯部に対して斜めに交差させて
塗布してなる第３吸音部とを備え、多重反射や回折現象
による不要弾性表面波が発生しないようにして周波数に
対する群遅延特性及び振幅特性が良好になるようにして
いる。
えば特開平６−２９７７１号公報に示されているよう
に、櫛歯状にそれぞれ形成した入力電極及び出力電極を
相対向させてなる圧電基板上に、入力電極及び出力電極
の各外側にて吸音材をそれぞれ塗布してなる第１及び第
２吸音部と、入力電極の外側の角部にて複数の帯状の吸
音材を同入力電極の各櫛歯部に対して斜めに交差させて
塗布してなる第３吸音部とを備え、多重反射や回折現象
による不要弾性表面波が発生しないようにして周波数に
対する群遅延特性及び振幅特性が良好になるようにして
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の装
置にあっても、第１及び第２吸音部の各内側境界、圧電
基板の端部及び第３吸音部の境界での反射による不要弾
性表面波が発生して、周波数に対する群遅延特性及び振
幅特性が充分に良好にならない。本発明は上記問題に対
処するためになされたもので、前記反射による不要弾性
表面波を抑制して、周波数に対する群遅延特性および振
幅特性がより良好となる弾性表面波変換器を提供するこ
とにある。
置にあっても、第１及び第２吸音部の各内側境界、圧電
基板の端部及び第３吸音部の境界での反射による不要弾
性表面波が発生して、周波数に対する群遅延特性及び振
幅特性が充分に良好にならない。本発明は上記問題に対
処するためになされたもので、前記反射による不要弾性
表面波を抑制して、周波数に対する群遅延特性および振
幅特性がより良好となる弾性表面波変換器を提供するこ
とにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の構成上の特徴は、櫛歯状にそれぞれ形成し
た入力電極及び出力電極を相対向させてなる圧電基板上
に、入力電極及び出力電極の各外側にて吸音材をそれぞ
れ塗布してなる第１及び第２吸音部と、入力電極の外側
の角部にて複数の帯状の吸音材を同入力電極の各櫛歯部
に対して斜めに交差させて塗布してなる第３吸音部とを
有する弾性表面波変換器において、圧電基板上の入力電
極と第１吸音部の間及び第３吸音部上にて同第１及び第
３吸音部を構成する吸音材よりも軟質の吸音材を塗布し
てなる第４吸音部と、圧電基板上の出力電極と第２吸音
部の間にて同第２吸音部を構成する吸音材よりも軟質の
吸音材を塗布してなる第５吸音部とを設けたことにあ
る。
に、本発明の構成上の特徴は、櫛歯状にそれぞれ形成し
た入力電極及び出力電極を相対向させてなる圧電基板上
に、入力電極及び出力電極の各外側にて吸音材をそれぞ
れ塗布してなる第１及び第２吸音部と、入力電極の外側
の角部にて複数の帯状の吸音材を同入力電極の各櫛歯部
に対して斜めに交差させて塗布してなる第３吸音部とを
有する弾性表面波変換器において、圧電基板上の入力電
極と第１吸音部の間及び第３吸音部上にて同第１及び第
３吸音部を構成する吸音材よりも軟質の吸音材を塗布し
てなる第４吸音部と、圧電基板上の出力電極と第２吸音
部の間にて同第２吸音部を構成する吸音材よりも軟質の
吸音材を塗布してなる第５吸音部とを設けたことにあ
る。
【０００５】
【発明の作用・効果】上記のように構成した本発明にお
いては、入力電極と第１吸音部の間に位置する第４吸音
部も、出力電極と第２吸音部の間に位置する第５吸音部
も軟質に構成されているので、同第４及び第５吸音部の
各電極側の境界での反射による不要弾性表面波が減少す
る。また、軟質の第４吸音部は第３吸音部を覆っている
ので、第３吸音部の境界での反射による不要弾性表面波
も減少する。さらに、圧電基板の端部側に位置する第１
及び第２吸音部は硬質に構成されるので、圧電基板の端
部に届く弾性表面が減少して、同端部での反射による不
要弾性表面波が減少する。このようにして不要弾性表面
波の発生が抑制される結果、本発明の弾性表面波変換器
によれば、周波数に対する群遅延特性および振幅特性が
より良好となる。
いては、入力電極と第１吸音部の間に位置する第４吸音
部も、出力電極と第２吸音部の間に位置する第５吸音部
も軟質に構成されているので、同第４及び第５吸音部の
各電極側の境界での反射による不要弾性表面波が減少す
る。また、軟質の第４吸音部は第３吸音部を覆っている
ので、第３吸音部の境界での反射による不要弾性表面波
も減少する。さらに、圧電基板の端部側に位置する第１
及び第２吸音部は硬質に構成されるので、圧電基板の端
部に届く弾性表面が減少して、同端部での反射による不
要弾性表面波が減少する。このようにして不要弾性表面
波の発生が抑制される結果、本発明の弾性表面波変換器
によれば、周波数に対する群遅延特性および振幅特性が
より良好となる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明
すると、図１は同実施例に係る弾性表面波変換器を概略
的に示した平面図である。この弾性表面波変換器は、Li
NbO3,LiTaO3,水晶などの圧電材料を直方体状に形成した
圧電基板１０を備えている。圧電基板１０上には、櫛歯
状にそれぞれ形成した入力電極１１及び出力電極１２が
相対向して設けられていて、弾性表面波が入力電極１１
から出力電極１２に伝搬されるようになっている。入力
電極１１は平行に延設された一対の基部１１ａ，１１ｂ
と各基部１１ａ，１１ｂからそれぞれ垂直に延設された
多数の櫛歯部１１ｃ，１１ｄとからなり、各櫛歯部１１
ｃ，１１ｄ間の交差長を異ならせて重み付け弾性表面波
変換器を構成している。出力電極１２は平行に延設され
た一対の基部１２ａ，１２ｂと各基部１２ａ，１２ｂか
らそれぞれ垂直に延設された少数の櫛歯部１２ｃ，１２
ｄとからなり、各櫛歯部１２ｃ，１２ｄ間の交差長を一
定にして正規型弾性表面波変換器を構成している。
すると、図１は同実施例に係る弾性表面波変換器を概略
的に示した平面図である。この弾性表面波変換器は、Li
NbO3,LiTaO3,水晶などの圧電材料を直方体状に形成した
圧電基板１０を備えている。圧電基板１０上には、櫛歯
状にそれぞれ形成した入力電極１１及び出力電極１２が
相対向して設けられていて、弾性表面波が入力電極１１
から出力電極１２に伝搬されるようになっている。入力
電極１１は平行に延設された一対の基部１１ａ，１１ｂ
と各基部１１ａ，１１ｂからそれぞれ垂直に延設された
多数の櫛歯部１１ｃ，１１ｄとからなり、各櫛歯部１１
ｃ，１１ｄ間の交差長を異ならせて重み付け弾性表面波
変換器を構成している。出力電極１２は平行に延設され
た一対の基部１２ａ，１２ｂと各基部１２ａ，１２ｂか
らそれぞれ垂直に延設された少数の櫛歯部１２ｃ，１２
ｄとからなり、各櫛歯部１２ｃ，１２ｄ間の交差長を一
定にして正規型弾性表面波変換器を構成している。
【０００７】入力電極１１及び出力電極１２の各外側に
は硬質の吸音材（例えばＪＩＳ−Ａの６０）を塗布した
吸音部１３，１４がそれぞれ設けられている。入力電極
１１の外側の角部であって櫛歯部１１ｃ，１１ｄが交差
していない部分には、複数の帯状に形成した硬質の吸音
材（例えばＪＩＳ−Ａの６０）を各櫛歯部１１ｃ，１１
ｄに斜めに交差するように塗布した吸音部１５が設けら
れている。この吸音部１５の各帯の一端はまとめて吸音
部１３に接続され、各他端は入力電極１１の基部１１
ａ，１１ｂに分離して接続されている。また、入力電極
１１と出力電極１２との間の弾性表面波の伝搬路上であ
ってその縁部には硬質の吸音材（例えばＪＩＳ−Ａの６
０）を塗布した一対の吸音部１６，１６が設けられてい
る。
は硬質の吸音材（例えばＪＩＳ−Ａの６０）を塗布した
吸音部１３，１４がそれぞれ設けられている。入力電極
１１の外側の角部であって櫛歯部１１ｃ，１１ｄが交差
していない部分には、複数の帯状に形成した硬質の吸音
材（例えばＪＩＳ−Ａの６０）を各櫛歯部１１ｃ，１１
ｄに斜めに交差するように塗布した吸音部１５が設けら
れている。この吸音部１５の各帯の一端はまとめて吸音
部１３に接続され、各他端は入力電極１１の基部１１
ａ，１１ｂに分離して接続されている。また、入力電極
１１と出力電極１２との間の弾性表面波の伝搬路上であ
ってその縁部には硬質の吸音材（例えばＪＩＳ−Ａの６
０）を塗布した一対の吸音部１６，１６が設けられてい
る。
【０００８】さらに、入力電極１１と吸音部１３の間に
位置する圧電基板１０の上、入力電極１１の外側の角部
であって櫛歯部１１ｃ，１１ｄの一部を含む吸音部１５
の上、基部１１ａ，１１ｂの一部であって吸音部１５が
接続されている部分の上、及び同部分の側方に位置する
圧電基板１０の上には、前記吸音部１３〜１６を構成す
る吸音材よりも軟質の吸音材（例えば、ＪＩＳ−Ａの２
４）を塗布した吸音部１７が設けられている。この吸音
部１７の形成にあたっては、図２に示すように吸音部１
３，１５を形成した後に、軟質の吸音材を圧電基板１０
上に塗布することによって吸音部１７を形成する。ま
た、出力電極１２と吸音部１４の間に位置する圧電基板
１０の上には、前記吸音部１７と同等な軟質の吸音材
（例えば、ＪＩＳ−Ａの２４）を塗布した吸音部１８が
設けられている。
位置する圧電基板１０の上、入力電極１１の外側の角部
であって櫛歯部１１ｃ，１１ｄの一部を含む吸音部１５
の上、基部１１ａ，１１ｂの一部であって吸音部１５が
接続されている部分の上、及び同部分の側方に位置する
圧電基板１０の上には、前記吸音部１３〜１６を構成す
る吸音材よりも軟質の吸音材（例えば、ＪＩＳ−Ａの２
４）を塗布した吸音部１７が設けられている。この吸音
部１７の形成にあたっては、図２に示すように吸音部１
３，１５を形成した後に、軟質の吸音材を圧電基板１０
上に塗布することによって吸音部１７を形成する。ま
た、出力電極１２と吸音部１４の間に位置する圧電基板
１０の上には、前記吸音部１７と同等な軟質の吸音材
（例えば、ＪＩＳ−Ａの２４）を塗布した吸音部１８が
設けられている。
【０００９】このように構成した弾性表面波変換器の使
用状態においては、入力電極１１の基部１１ａ，１１ｂ
に高周波発振器２１が接続されるとともに出力電極１２
の基部１２ａ，１２ｂ間には抵抗２２が接続されて、抵
抗２２の両端から出力信号を得るようにする。これによ
り、高周波発振器２１からの高周波電気信号は入力電極
１１にて弾性表面波に変換され、同弾性表面波が出力電
極１２に伝搬されて同電極１２にてふたたび電気信号に
変換されて出力される。この場合、入力された高周波信
号は、入力電極１１、出力電極１２などにより、帯域制
限されかつ所定の周波数特性をもつ信号に変換されて出
力されることになる。
用状態においては、入力電極１１の基部１１ａ，１１ｂ
に高周波発振器２１が接続されるとともに出力電極１２
の基部１２ａ，１２ｂ間には抵抗２２が接続されて、抵
抗２２の両端から出力信号を得るようにする。これによ
り、高周波発振器２１からの高周波電気信号は入力電極
１１にて弾性表面波に変換され、同弾性表面波が出力電
極１２に伝搬されて同電極１２にてふたたび電気信号に
変換されて出力される。この場合、入力された高周波信
号は、入力電極１１、出力電極１２などにより、帯域制
限されかつ所定の周波数特性をもつ信号に変換されて出
力されることになる。
【００１０】このような弾性表面波変換器の作動状態に
おいては、吸音部１３〜１８は圧電基板１０上を伝搬す
る不要弾性表面波を吸収する。具体的には、吸音部１
３，１４は硬質に構成されていて、圧電基板１０上を同
基板１０の端部に向かって伝搬する弾性表面波を多量に
吸収して同端部に到達する弾性表面波を減少させるの
で、同端部での反射による不要弾性表面波を減少させ
る。吸音部１５は入力電極１１の櫛歯部１１ｃ，１１ｄ
での多重反射による不要弾性表面波を吸収する。吸音部
１６は回折現象による圧電基板１０上の不要弾性表面波
を吸収する。吸音部１７，１８は軟質に構成されている
ので、吸音部１７の一部であって入力電極１１と吸音部
１３との間に位置する部分及び吸音部１８は吸音部１
７，１８に入射する際の同吸音部１７，１８の境界での
反射による不要弾性表面波の発生を抑制するとともに、
同吸音部１７，１８から吸音部１３，１４に入射する際
の同吸音部１３，１４の境界での反射による不要弾性表
面波の発生を抑制する。さらに、吸音部１７の一部であ
って吸音部１５を覆っている部分は、吸音部１５の境界
での反射による不要弾性表面波の発生を抑制する。
おいては、吸音部１３〜１８は圧電基板１０上を伝搬す
る不要弾性表面波を吸収する。具体的には、吸音部１
３，１４は硬質に構成されていて、圧電基板１０上を同
基板１０の端部に向かって伝搬する弾性表面波を多量に
吸収して同端部に到達する弾性表面波を減少させるの
で、同端部での反射による不要弾性表面波を減少させ
る。吸音部１５は入力電極１１の櫛歯部１１ｃ，１１ｄ
での多重反射による不要弾性表面波を吸収する。吸音部
１６は回折現象による圧電基板１０上の不要弾性表面波
を吸収する。吸音部１７，１８は軟質に構成されている
ので、吸音部１７の一部であって入力電極１１と吸音部
１３との間に位置する部分及び吸音部１８は吸音部１
７，１８に入射する際の同吸音部１７，１８の境界での
反射による不要弾性表面波の発生を抑制するとともに、
同吸音部１７，１８から吸音部１３，１４に入射する際
の同吸音部１３，１４の境界での反射による不要弾性表
面波の発生を抑制する。さらに、吸音部１７の一部であ
って吸音部１５を覆っている部分は、吸音部１５の境界
での反射による不要弾性表面波の発生を抑制する。
【００１１】次に、吸音部１７，１８による不要弾性表
面波の発生の抑制効果を確認するための実験結果につい
て説明する。図３(Ａ)及び図４(Ａ)は吸音部１３〜１６
のみを設けた従来の弾性表面波変換器の周波数に対する
群遅延特性及び振幅特性をそれぞれ表すグラフであり、
図３(Ｂ)及び図４(Ｂ)は前記弾性表面波変換器に吸音部
１７，１８を付加した場合の周波数に対する群遅延特性
及び振幅特性をそれぞれ表すグラフである。図３(Ａ)及
び図３(Ｂ)を比較することにより、吸音部１７，１８を
設けた本実施例によれば、大きな周期をもつリップル、
うねりが小さくなったことが確認される。また、図４
(Ａ)及び図４(Ｂ)を比較することにより、吸音部１７，
１８を設けた本実施例によれば、振幅特性の立ち上がり
及び立ち下がり特性が良好すなわち傾きが若干急峻にな
ったことが確認される。
面波の発生の抑制効果を確認するための実験結果につい
て説明する。図３(Ａ)及び図４(Ａ)は吸音部１３〜１６
のみを設けた従来の弾性表面波変換器の周波数に対する
群遅延特性及び振幅特性をそれぞれ表すグラフであり、
図３(Ｂ)及び図４(Ｂ)は前記弾性表面波変換器に吸音部
１７，１８を付加した場合の周波数に対する群遅延特性
及び振幅特性をそれぞれ表すグラフである。図３(Ａ)及
び図３(Ｂ)を比較することにより、吸音部１７，１８を
設けた本実施例によれば、大きな周期をもつリップル、
うねりが小さくなったことが確認される。また、図４
(Ａ)及び図４(Ｂ)を比較することにより、吸音部１７，
１８を設けた本実施例によれば、振幅特性の立ち上がり
及び立ち下がり特性が良好すなわち傾きが若干急峻にな
ったことが確認される。
【００１２】以上の説明から理解できるとおり、上記実
施例によれば、吸音部１７，１８を設けたことにより、
圧電基板１０上における不要弾性表面波が良好に抑制さ
れて、弾性表面波変換器の周波数に対する群遅延特性及
び振幅特性が改善される。
施例によれば、吸音部１７，１８を設けたことにより、
圧電基板１０上における不要弾性表面波が良好に抑制さ
れて、弾性表面波変換器の周波数に対する群遅延特性及
び振幅特性が改善される。
【図１】 本発明の一実施例を示す弾性表面波変換器の
平面概略図である。
平面概略図である。
【図２】 前記弾性表面波変換器の吸音部１７，１８を
設ける前の状態を示す部分図である。
設ける前の状態を示す部分図である。
【図３】 (Ａ)は従来の弾性表面波変換器の周波数に対
する群遅延特性を示すグラフであり、(Ｂ)は前記実施例
に係る弾性表面波変換器の同群遅延特性を示すグラフで
ある。
する群遅延特性を示すグラフであり、(Ｂ)は前記実施例
に係る弾性表面波変換器の同群遅延特性を示すグラフで
ある。
【図４】 (Ａ)は従来の弾性表面波変換器の周波数に対
する振幅特性を示すグラフであり、(Ｂ)は前記実施例に
係る弾性表面波変換器の同振幅特性を示すグラフであ
る。
する振幅特性を示すグラフであり、(Ｂ)は前記実施例に
係る弾性表面波変換器の同振幅特性を示すグラフであ
る。
１０…圧電基板、１１…入力電極、１２…出力電極、１
３〜１８…吸音部。
３〜１８…吸音部。
Claims (1)
- 【請求項１】 櫛歯状にそれぞれ形成した入力電極及び
出力電極を相対向させてなる圧電基板上に、前記入力電
極及び出力電極の各外側にて吸音材をそれぞれ塗布して
なる第１及び第２吸音部と、前記入力電極の外側の角部
にて複数の帯状の吸音材を同入力電極の各櫛歯部に対し
て斜めに交差させて塗布してなる第３吸音部とを有する
弾性表面波変換器において、前記圧電基板上の入力電極
と第１吸音部の間及び前記第３吸音部上にて同第１及び
第３吸音部を構成する吸音材よりも軟質の吸音材を塗布
してなる第４吸音部と、前記圧電基板上の出力電極と第
２吸音部の間にて同第２吸音部を構成する吸音材よりも
軟質の吸音材を塗布してなる第５吸音部とを設けたこと
を特徴とする弾性表面波変換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13756494A JP3343442B2 (ja) | 1994-06-20 | 1994-06-20 | 弾性表面波変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13756494A JP3343442B2 (ja) | 1994-06-20 | 1994-06-20 | 弾性表面波変換器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH088687A true JPH088687A (ja) | 1996-01-12 |
| JP3343442B2 JP3343442B2 (ja) | 2002-11-11 |
Family
ID=15201672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13756494A Expired - Fee Related JP3343442B2 (ja) | 1994-06-20 | 1994-06-20 | 弾性表面波変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3343442B2 (ja) |
-
1994
- 1994-06-20 JP JP13756494A patent/JP3343442B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3343442B2 (ja) | 2002-11-11 |
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