JPH0888990A - モータの位置制御装置 - Google Patents
モータの位置制御装置Info
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- JPH0888990A JPH0888990A JP6219904A JP21990494A JPH0888990A JP H0888990 A JPH0888990 A JP H0888990A JP 6219904 A JP6219904 A JP 6219904A JP 21990494 A JP21990494 A JP 21990494A JP H0888990 A JPH0888990 A JP H0888990A
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- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
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- Feedback Control In General (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Control Of Electric Motors In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 フィードフォワード効果と外乱抑制効果の両
立を可能にする。 【構成】 位置制御部１ａは、回転位置指令Ｐｃとモー
タ３の位置フィードバックＰｆを入力として回転速度指
令Ｖｃを出力する。速度制御部２はこの指令Ｖｃを入力
としてモータ３の回転速度を制御する。位置ループゲイ
ン算出部１７、フィードフォワードゲイン算出部１８
は、位置偏差ΔＰに応じて一次フィルタ１５ａの時定数
Ｔｆａ＝（１−Ｋｆａ）／Ｋｐａを満たすように位置ル
ープゲインＫｐａ、フィードフォワードゲインＫｆａを
算出する。そして、乗算器１２ａ、一次フィルタ１５ａ
の出力が加算されることにより、回転速度指令Ｖｃが位
置制御部１ａから出力される。
立を可能にする。 【構成】 位置制御部１ａは、回転位置指令Ｐｃとモー
タ３の位置フィードバックＰｆを入力として回転速度指
令Ｖｃを出力する。速度制御部２はこの指令Ｖｃを入力
としてモータ３の回転速度を制御する。位置ループゲイ
ン算出部１７、フィードフォワードゲイン算出部１８
は、位置偏差ΔＰに応じて一次フィルタ１５ａの時定数
Ｔｆａ＝（１−Ｋｆａ）／Ｋｐａを満たすように位置ル
ープゲインＫｐａ、フィードフォワードゲインＫｆａを
算出する。そして、乗算器１２ａ、一次フィルタ１５ａ
の出力が加算されることにより、回転速度指令Ｖｃが位
置制御部１ａから出力される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばＮＣ工作機械や
ロボット等のモータ応用システムに用いられる、フィー
ドバック制御にフィードフォワード制御を併用したモー
タの位置制御装置に関し、特に外乱応答性能を高めるこ
とができるモータの位置制御装置に関するものである。
ロボット等のモータ応用システムに用いられる、フィー
ドバック制御にフィードフォワード制御を併用したモー
タの位置制御装置に関し、特に外乱応答性能を高めるこ
とができるモータの位置制御装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】フィードバック系にフィードフォワード
系を重畳し、回転位置指令に少ない偏差量で高速に追従
するモータの高精度位置制御方式はよく知られている。
図５は従来のモータ位置制御装置のブロック図である。
１はモータの回転位置指令Ｐｃとモータの位置フィード
バックＰｆを入力としてモータの回転速度指令Ｖｃを出
力しモータの回転位置を制御する位置制御部、２はこの
位置制御部１から出力された回転速度指令Ｖｃを入力と
してモータの回転速度を制御する速度制御部、３はモー
タ、４はエンコーダ等を用いモータ３の回転位置を検出
し位置フィードバックＰｆを出力する位置検出器、５は
モータ３に接続される機械要素、Ｐεはこの機械要素５
によって生じる外乱である。
系を重畳し、回転位置指令に少ない偏差量で高速に追従
するモータの高精度位置制御方式はよく知られている。
図５は従来のモータ位置制御装置のブロック図である。
１はモータの回転位置指令Ｐｃとモータの位置フィード
バックＰｆを入力としてモータの回転速度指令Ｖｃを出
力しモータの回転位置を制御する位置制御部、２はこの
位置制御部１から出力された回転速度指令Ｖｃを入力と
してモータの回転速度を制御する速度制御部、３はモー
タ、４はエンコーダ等を用いモータ３の回転位置を検出
し位置フィードバックＰｆを出力する位置検出器、５は
モータ３に接続される機械要素、Ｐεはこの機械要素５
によって生じる外乱である。
【０００３】また、１１は回転位置指令Ｐｃと位置フィ
ードバックＰｆの差分である位置偏差ΔＰを求める減算
器、１２は位置偏差ΔＰに位置ループゲインＫｐを乗ず
る乗算器、１３は回転位置指令Ｐｃを微分する微分器、
１４はこの微分器１３の出力にフィードフォワードゲイ
ンＫｆを乗ずる乗算器、１５は乗算器１４の出力を入力
としフィードフォワードゲインＫｆに応じて決まる時定
数Ｔｆを有する一次フィルタ、１６は乗算器１２と一次
フィルタ１５の出力を加算して加算結果を回転速度指令
Ｖｃとして速度制御部２に出力する加算器である。
ードバックＰｆの差分である位置偏差ΔＰを求める減算
器、１２は位置偏差ΔＰに位置ループゲインＫｐを乗ず
る乗算器、１３は回転位置指令Ｐｃを微分する微分器、
１４はこの微分器１３の出力にフィードフォワードゲイ
ンＫｆを乗ずる乗算器、１５は乗算器１４の出力を入力
としフィードフォワードゲインＫｆに応じて決まる時定
数Ｔｆを有する一次フィルタ、１６は乗算器１２と一次
フィルタ１５の出力を加算して加算結果を回転速度指令
Ｖｃとして速度制御部２に出力する加算器である。
【０００４】このようなモータ位置制御装置は、位置偏
差ΔＰを０にするフィードバック制御系と、回転位置指
令Ｐｃの変化を速度制御部２に速く伝えるフィードフォ
ワード制御系の２つの制御系で構成され、位置制御部１
内の減算器１１、乗算器１２は位置検出器４と共にフィ
ードバック系を形成し、微分器１３と乗算器１４と一次
フィルタ１５はフィードフォワード系を形成する。
差ΔＰを０にするフィードバック制御系と、回転位置指
令Ｐｃの変化を速度制御部２に速く伝えるフィードフォ
ワード制御系の２つの制御系で構成され、位置制御部１
内の減算器１１、乗算器１２は位置検出器４と共にフィ
ードバック系を形成し、微分器１３と乗算器１４と一次
フィルタ１５はフィードフォワード系を形成する。
【０００５】図６はこのモータ位置制御装置を用いた制
御系のブロック線図である。図６に示すように、微分器
１３の伝達関数はＳ、乗算器１４の伝達関数はフィード
フォワードゲインＫｆ、一次フィルタ１５の伝達関数は
１／（１＋Ｔｆ×Ｓ）となることにより、フィードフォ
ワード系の伝達関数Ｇｆは次式となる。 Ｇｆ＝Ｋｆ×Ｓ／（１＋Ｔｆ×Ｓ） ・・・（１） また、乗算器１２の伝達関数は位置ループゲインＫｐ、
速度制御部２の伝達関数はＧｖ、回転速度の積分形式で
求める位置情報の位置フィードバックＰｆを出力する位
置検出器４の伝達関数は１／Ｓで示される。
御系のブロック線図である。図６に示すように、微分器
１３の伝達関数はＳ、乗算器１４の伝達関数はフィード
フォワードゲインＫｆ、一次フィルタ１５の伝達関数は
１／（１＋Ｔｆ×Ｓ）となることにより、フィードフォ
ワード系の伝達関数Ｇｆは次式となる。 Ｇｆ＝Ｋｆ×Ｓ／（１＋Ｔｆ×Ｓ） ・・・（１） また、乗算器１２の伝達関数は位置ループゲインＫｐ、
速度制御部２の伝達関数はＧｖ、回転速度の積分形式で
求める位置情報の位置フィードバックＰｆを出力する位
置検出器４の伝達関数は１／Ｓで示される。
【０００６】このようなモータ位置制御装置において、
位置偏差ΔＰは回転位置指令Ｐｃと位置フィードバック
Ｐｆの差分なので、位置偏差ΔＰを減少させることがで
きると経路誤差の少ない運動制御ができ、ロボットやＮ
Ｃ工作機械などの適用システムの高精度化に大いに役立
つ。そして、フィードフォワード制御を加えると、この
位置偏差ΔＰを減少させることができるので、上記のよ
うなフィードフォワード制御を加える方法が近年多用さ
れている。
位置偏差ΔＰは回転位置指令Ｐｃと位置フィードバック
Ｐｆの差分なので、位置偏差ΔＰを減少させることがで
きると経路誤差の少ない運動制御ができ、ロボットやＮ
Ｃ工作機械などの適用システムの高精度化に大いに役立
つ。そして、フィードフォワード制御を加えると、この
位置偏差ΔＰを減少させることができるので、上記のよ
うなフィードフォワード制御を加える方法が近年多用さ
れている。
【０００７】ところで、一般のモータ応用システムでは
モータに接続された機械要素から外乱を受け、位置偏差
を生ずる。そこで、上記のモータ位置制御装置の外乱応
答特性について考察する。図６において、回転位置指令
Ｐｃ＝０とすると、外乱入力Ｐεに対するモータ３の位
置フィードバックＰｆの伝達関数は次式となる。 Ｐｆ／Ｐε＝−｛１／（Ｋｐ×Ｇｖ）｝ ／［１＋｛１／（Ｋｐ×Ｇｖ）｝×Ｓ］ ・・・（２）
モータに接続された機械要素から外乱を受け、位置偏差
を生ずる。そこで、上記のモータ位置制御装置の外乱応
答特性について考察する。図６において、回転位置指令
Ｐｃ＝０とすると、外乱入力Ｐεに対するモータ３の位
置フィードバックＰｆの伝達関数は次式となる。 Ｐｆ／Ｐε＝−｛１／（Ｋｐ×Ｇｖ）｝ ／［１＋｛１／（Ｋｐ×Ｇｖ）｝×Ｓ］ ・・・（２）
【０００８】ここで、速度制御部２の伝達関数Ｇｖは、
一般に位置制御部１で必要とする周波数特性に比して十
分高い周波数特性を有し、Ｇｖ＝１と近似すると、式
（２）は次式のように近似表現できる。 Ｐｆ／Ｐε＝−（１／Ｋｐ）／｛１＋（１／Ｋｐ）×Ｓ｝ ・・・（３） このとき、外乱入力Ｐεに対する位置偏差ΔＰの伝達関
数ΔＰ／Ｐεは次式で示される。 ΔＰ／Ｐε＝（１／Ｋｐ）／｛１＋（１／Ｋｐ）×Ｓ｝ ・・・（４）
一般に位置制御部１で必要とする周波数特性に比して十
分高い周波数特性を有し、Ｇｖ＝１と近似すると、式
（２）は次式のように近似表現できる。 Ｐｆ／Ｐε＝−（１／Ｋｐ）／｛１＋（１／Ｋｐ）×Ｓ｝ ・・・（３） このとき、外乱入力Ｐεに対する位置偏差ΔＰの伝達関
数ΔＰ／Ｐεは次式で示される。 ΔＰ／Ｐε＝（１／Ｋｐ）／｛１＋（１／Ｋｐ）×Ｓ｝ ・・・（４）
【０００９】式（３）、（４）から外乱の影響を軽減す
るには、位置ループゲインＫｐを高くすることが望まし
いことが分かる。ところが、現実には式（３）で近似し
た式（２）の速度制御部伝達関数Ｇｖの周波数特性を、
位置制御部１で必要とする周波数特性に比して十分高く
取ることができないため、位置ループゲインＫｐを高く
すると、位置制御ループの安定性が損なわれるという問
題がある。以上の理由から、高い位置ループゲインＫｐ
の実現による外乱の影響の軽減は、現在のところ難しい
状況にある。
るには、位置ループゲインＫｐを高くすることが望まし
いことが分かる。ところが、現実には式（３）で近似し
た式（２）の速度制御部伝達関数Ｇｖの周波数特性を、
位置制御部１で必要とする周波数特性に比して十分高く
取ることができないため、位置ループゲインＫｐを高く
すると、位置制御ループの安定性が損なわれるという問
題がある。以上の理由から、高い位置ループゲインＫｐ
の実現による外乱の影響の軽減は、現在のところ難しい
状況にある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】フィードフォワード系
を取り入れた従来のモータ位置制御装置によれば、位置
ループの安定性を損なわずに位置ループゲインを大きく
したのと等価的な伝達関数を持つ位置制御系を簡単に実
現でき、位置偏差の少ない高精度位置制御システムを構
築することができた。しかし、これを実際のモータ応用
システムに適用する場合、外乱に対してフィードフォワ
ード系は無効であることから、位置ループゲインが上げ
られないシステムにおいて外乱の影響により位置偏差が
生じ、位置偏差を少なくすることができるという上記モ
ータ位置制御装置の利点が損なわれるという問題点があ
った。本発明は、上記課題を解決するためになされたも
ので、フィードフォワード効果と外乱抑制効果の両立を
可能にしたモータの位置制御装置を提供することを目的
とする。
を取り入れた従来のモータ位置制御装置によれば、位置
ループの安定性を損なわずに位置ループゲインを大きく
したのと等価的な伝達関数を持つ位置制御系を簡単に実
現でき、位置偏差の少ない高精度位置制御システムを構
築することができた。しかし、これを実際のモータ応用
システムに適用する場合、外乱に対してフィードフォワ
ード系は無効であることから、位置ループゲインが上げ
られないシステムにおいて外乱の影響により位置偏差が
生じ、位置偏差を少なくすることができるという上記モ
ータ位置制御装置の利点が損なわれるという問題点があ
った。本発明は、上記課題を解決するためになされたも
ので、フィードフォワード効果と外乱抑制効果の両立を
可能にしたモータの位置制御装置を提供することを目的
とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明のモータの位置制
御装置における位置制御部は、位置偏差に位置ループゲ
インを乗ずるフィードバック制御部と、回転位置指令の
微分出力にフィードフォワードゲインを乗じた結果を一
次遅れ要素を通した特性で出力するフィードフォワード
制御部と、フィードバック制御部とフィードフォワード
制御部の出力を加算して加算結果を回転速度指令として
速度制御部に出力する加算器と、位置偏差に応じた位置
ループゲインを算出してフィードバック制御部に出力す
る位置ループゲイン算出部と、位置偏差に応じたフィー
ドフォワードゲインを算出してフィードフォワード制御
部に出力するフィードフォワードゲイン算出部とからな
るものである。
御装置における位置制御部は、位置偏差に位置ループゲ
インを乗ずるフィードバック制御部と、回転位置指令の
微分出力にフィードフォワードゲインを乗じた結果を一
次遅れ要素を通した特性で出力するフィードフォワード
制御部と、フィードバック制御部とフィードフォワード
制御部の出力を加算して加算結果を回転速度指令として
速度制御部に出力する加算器と、位置偏差に応じた位置
ループゲインを算出してフィードバック制御部に出力す
る位置ループゲイン算出部と、位置偏差に応じたフィー
ドフォワードゲインを算出してフィードフォワード制御
部に出力するフィードフォワードゲイン算出部とからな
るものである。
【００１２】また、位置ループゲイン算出部は、位置偏
差が小さいとき、通常値より大きい所定値を位置ループ
ゲインとして出力するものである。また、フィードフォ
ワードゲイン算出部は、フィードフォワードゲインＫｆ
を位置ループゲインＫｐ、一次遅れ要素の時定数Ｔｆに
対して、Ｔｆ＝（１−Ｋｆ）／Ｋｐを満たすように算出
するものである。
差が小さいとき、通常値より大きい所定値を位置ループ
ゲインとして出力するものである。また、フィードフォ
ワードゲイン算出部は、フィードフォワードゲインＫｆ
を位置ループゲインＫｐ、一次遅れ要素の時定数Ｔｆに
対して、Ｔｆ＝（１−Ｋｆ）／Ｋｐを満たすように算出
するものである。
【００１３】
【作用】本発明によれば、位置ループゲイン算出部が位
置偏差に応じた位置ループゲインを算出し、フィードフ
ォワードゲイン算出部が位置偏差に応じたフィードフォ
ワードゲインを算出する。そして、フィードバック制御
部が位置偏差に上記の位置ループゲインを乗じ、フィー
ドフォワード制御部が回転位置指令の微分出力に上記の
フィードフォワードゲインを乗じた結果を一次遅れ要素
を通した特性で出力し、加算器がフィードバック制御部
とフィードフォワード制御部の出力を加算することによ
り、位置制御部から回転速度指令が出力される。
置偏差に応じた位置ループゲインを算出し、フィードフ
ォワードゲイン算出部が位置偏差に応じたフィードフォ
ワードゲインを算出する。そして、フィードバック制御
部が位置偏差に上記の位置ループゲインを乗じ、フィー
ドフォワード制御部が回転位置指令の微分出力に上記の
フィードフォワードゲインを乗じた結果を一次遅れ要素
を通した特性で出力し、加算器がフィードバック制御部
とフィードフォワード制御部の出力を加算することによ
り、位置制御部から回転速度指令が出力される。
【００１４】また、位置ループゲイン算出部は、位置偏
差が小さいとき、通常値より大きい所定値を位置ループ
ゲインとして出力する。また、フィードフォワードゲイ
ン算出部は、フィードフォワードゲインＫｆを位置ルー
プゲインＫｐ、一次遅れ要素の時定数Ｔｆに対して、Ｔ
ｆ＝（１−Ｋｆ）／Ｋｐを満たすように算出する。
差が小さいとき、通常値より大きい所定値を位置ループ
ゲインとして出力する。また、フィードフォワードゲイ
ン算出部は、フィードフォワードゲインＫｆを位置ルー
プゲインＫｐ、一次遅れ要素の時定数Ｔｆに対して、Ｔ
ｆ＝（１−Ｋｆ）／Ｋｐを満たすように算出する。
【００１５】
【実施例】図１は本発明の１実施例を示すモータ位置制
御装置のブロック図であり、図５と同一の部分には同一
の符号を付してある。１ａは位置制御部、１２ａは位置
偏差ΔＰに後述する位置ループゲイン算出部から出力さ
れた位置ループゲインＫｐａを乗ずる乗算器、１４ａは
微分器１３の出力に後述するフィードフォワードゲイン
算出部から出力されたフィードフォワードゲインＫｆａ
を乗ずる乗算器、１５ａは図５の一次フィルタ１５と同
様で時定数Ｔｆａを有する一次フィルタである。
御装置のブロック図であり、図５と同一の部分には同一
の符号を付してある。１ａは位置制御部、１２ａは位置
偏差ΔＰに後述する位置ループゲイン算出部から出力さ
れた位置ループゲインＫｐａを乗ずる乗算器、１４ａは
微分器１３の出力に後述するフィードフォワードゲイン
算出部から出力されたフィードフォワードゲインＫｆａ
を乗ずる乗算器、１５ａは図５の一次フィルタ１５と同
様で時定数Ｔｆａを有する一次フィルタである。
【００１６】また、１７は位置偏差ΔＰに応じた位置ル
ープゲインＫｐａを算出する位置ループゲイン算出部、
１８は位置偏差ΔＰに応じたフィードフォワードゲイン
Ｋｆａを算出するフィードフォワードゲイン算出部であ
る。そして、乗算器１２ａがフィードバック制御部を構
成し、微分器１３、乗算器１４ａ、一次フィルタ１５ａ
がフィードフォワード制御部を構成している。
ープゲインＫｐａを算出する位置ループゲイン算出部、
１８は位置偏差ΔＰに応じたフィードフォワードゲイン
Ｋｆａを算出するフィードフォワードゲイン算出部であ
る。そして、乗算器１２ａがフィードバック制御部を構
成し、微分器１３、乗算器１４ａ、一次フィルタ１５ａ
がフィードフォワード制御部を構成している。
【００１７】このモータ位置制御装置は、図５の例と同
様に、位置偏差ΔＰを０にするフィードバック制御系
と、回転位置指令Ｐｃの変化を速度制御部２に速く伝え
るフィードフォワード制御系の２つの制御系で構成され
ている。次に、本実施例のモータ位置制御装置の回転位
置指令Ｐｃから見た動作について説明する。図２は図１
のモータ位置制御装置を用いた制御系のブロック線図で
ある。
様に、位置偏差ΔＰを０にするフィードバック制御系
と、回転位置指令Ｐｃの変化を速度制御部２に速く伝え
るフィードフォワード制御系の２つの制御系で構成され
ている。次に、本実施例のモータ位置制御装置の回転位
置指令Ｐｃから見た動作について説明する。図２は図１
のモータ位置制御装置を用いた制御系のブロック線図で
ある。
【００１８】図２を図６の従来例と比較すると、図６の
場合は位置ループゲインＫｐ及びフィードフォワードゲ
インＫｆが任意の固定値であるのに対し、本実施例の場
合、位置ループゲインＫｐａは位置ループゲイン算出部
１７によって位置偏差ΔＰに応じてＫｐａ＝Ｆｐ（Δ
Ｐ）と常時変化し、フィードフォワードゲインＫｆａは
フィードフォワードゲイン算出部１８によって位置偏差
ΔＰに応じてＫｆａ＝Ｆｆ（ΔＰ）と常時変化する点が
異なる。
場合は位置ループゲインＫｐ及びフィードフォワードゲ
インＫｆが任意の固定値であるのに対し、本実施例の場
合、位置ループゲインＫｐａは位置ループゲイン算出部
１７によって位置偏差ΔＰに応じてＫｐａ＝Ｆｐ（Δ
Ｐ）と常時変化し、フィードフォワードゲインＫｆａは
フィードフォワードゲイン算出部１８によって位置偏差
ΔＰに応じてＫｆａ＝Ｆｆ（ΔＰ）と常時変化する点が
異なる。
【００１９】図２において、回転位置指令Ｐｃに対する
モータ３の位置フィードバックＰｆの伝達関数は外乱入
力Ｐε＝０とすると次式となる。 Ｐｆ／Ｐｃ＝｛１＋（Ｔｆａ＋Ｋｆａ／Ｋｐａ）×Ｓ｝ ／［（１＋Ｔｆａ×Ｓ）×｛１＋｛１／（Ｋｐａ×Ｇｖ）｝×Ｓ｝］ ・・・（５）
モータ３の位置フィードバックＰｆの伝達関数は外乱入
力Ｐε＝０とすると次式となる。 Ｐｆ／Ｐｃ＝｛１＋（Ｔｆａ＋Ｋｆａ／Ｋｐａ）×Ｓ｝ ／［（１＋Ｔｆａ×Ｓ）×｛１＋｛１／（Ｋｐａ×Ｇｖ）｝×Ｓ｝］ ・・・（５）
【００２０】ここで、速度制御部２の伝達関数Ｇｖは、
一般に位置制御部１ａで必要とする周波数特性に比して
十分高い周波数特性を有し、Ｇｖ＝１と近似しうるの
で、式（５）は次式のように近似表現できる。 Ｐｆ／Ｐｃ＝｛１＋（Ｔｆａ＋Ｋｆａ／Ｋｐａ）×Ｓ｝ ／［（１＋Ｔｆａ×Ｓ）×｛１＋（１／Ｋｐａ）×Ｓ｝］ ・・・（６）
一般に位置制御部１ａで必要とする周波数特性に比して
十分高い周波数特性を有し、Ｇｖ＝１と近似しうるの
で、式（５）は次式のように近似表現できる。 Ｐｆ／Ｐｃ＝｛１＋（Ｔｆａ＋Ｋｆａ／Ｋｐａ）×Ｓ｝ ／［（１＋Ｔｆａ×Ｓ）×｛１＋（１／Ｋｐａ）×Ｓ｝］ ・・・（６）
【００２１】さて、いま一次フィルタ１５ａの時定数Ｔ
ｆａは、モータ３の固有時定数に基づいて任意の値に設
定するものとする。そして、位置ループゲイン算出部１
７は、位置ループゲインＫｐａを次式のように算出す
る。 Ｋｐａ＝Ｆｐ（ΔＰ） ＝Ｋｐ１ （ただし、０≦｜ΔＰ｜＜Ｄ１） ＝｛（Ｋｐ２−Ｋｐ１）／（Ｄ２−Ｄ１）｝×（ΔＰ−Ｄ１）＋Ｋｐ１ （ただし、Ｄ１≦｜ΔＰ｜＜Ｄ２） ＝Ｋｐ２ （ただし、Ｄ２≦｜ΔＰ｜） ・・・（７）
ｆａは、モータ３の固有時定数に基づいて任意の値に設
定するものとする。そして、位置ループゲイン算出部１
７は、位置ループゲインＫｐａを次式のように算出す
る。 Ｋｐａ＝Ｆｐ（ΔＰ） ＝Ｋｐ１ （ただし、０≦｜ΔＰ｜＜Ｄ１） ＝｛（Ｋｐ２−Ｋｐ１）／（Ｄ２−Ｄ１）｝×（ΔＰ−Ｄ１）＋Ｋｐ１ （ただし、Ｄ１≦｜ΔＰ｜＜Ｄ２） ＝Ｋｐ２ （ただし、Ｄ２≦｜ΔＰ｜） ・・・（７）
【００２２】また、フィードフォワードゲイン算出部１
８は、フィードフォワードゲインＫｆａを次式のように
算出する。 Ｋｆａ＝Ｆｆ（ΔＰ） ＝１−Ｔｆａ×Ｋｐ１ （ただし、０≦｜ΔＰ｜＜Ｄ１） ＝１−｛（Ｋｐ２−Ｋｐ１）／（Ｄ２−Ｄ１）｝×（ΔＰ−Ｄ１）×Ｔｆａ −Ｔｆａ×Ｋｐ１ （ただし、Ｄ１≦｜ΔＰ｜＜Ｄ２） ＝１−Ｔｆａ×Ｋｐ２ （ただし、Ｄ２≦｜ΔＰ｜） ・・・（８）
８は、フィードフォワードゲインＫｆａを次式のように
算出する。 Ｋｆａ＝Ｆｆ（ΔＰ） ＝１−Ｔｆａ×Ｋｐ１ （ただし、０≦｜ΔＰ｜＜Ｄ１） ＝１−｛（Ｋｐ２−Ｋｐ１）／（Ｄ２−Ｄ１）｝×（ΔＰ−Ｄ１）×Ｔｆａ −Ｔｆａ×Ｋｐ１ （ただし、Ｄ１≦｜ΔＰ｜＜Ｄ２） ＝１−Ｔｆａ×Ｋｐ２ （ただし、Ｄ２≦｜ΔＰ｜） ・・・（８）
【００２３】よって、位置ループゲインＫｐａ、フィー
ドフォワードゲインＫｆａは、一次フィルタ１５ａの時
定数Ｔｆａと次式の関係が成立するように設定される。 Ｔｆａ＝（１−Ｋｆａ）／Ｋｐａ ・・・（９）
ドフォワードゲインＫｆａは、一次フィルタ１５ａの時
定数Ｔｆａと次式の関係が成立するように設定される。 Ｔｆａ＝（１−Ｋｆａ）／Ｋｐａ ・・・（９）
【００２４】式（７）、（８）において、Ｄ１、Ｄ２は
位置偏差ΔＰのしきい値を設定する任意の値である。そ
して、通常値となるＫｐ２は、位置ループゲインＫｐａ
の下限を設定する任意の値であり、一般的に図５の従来
例における位置ループゲインＫｐと同じ値に設定され
る。また、通常値Ｋｐ２より大きい所定値であるＫｐ１
は、位置ループゲインＫｐａの上限を設定する任意の値
である。
位置偏差ΔＰのしきい値を設定する任意の値である。そ
して、通常値となるＫｐ２は、位置ループゲインＫｐａ
の下限を設定する任意の値であり、一般的に図５の従来
例における位置ループゲインＫｐと同じ値に設定され
る。また、通常値Ｋｐ２より大きい所定値であるＫｐ１
は、位置ループゲインＫｐａの上限を設定する任意の値
である。
【００２５】このように設定することにより、位置偏差
ΔＰの微小領域（０≦｜ΔＰ｜＜Ｄ１）では位置ループ
ゲインＫｐａを大きくすることができ、位置偏差ΔＰが
大きな領域（Ｄ２≦｜ΔＰ｜）では位置ループゲインＫ
ｐａを小さく抑えて位置ループの安定性を確保すること
ができる。また、位置ループゲインＫｐａがＫｐ１とＫ
ｐ２の間で急激に変化することによる位置ループの安定
性への影響を抑えるために、Ｄ１とＤ２を設けこの間で
は連続した位置ループゲインＫｐａを算出する。
ΔＰの微小領域（０≦｜ΔＰ｜＜Ｄ１）では位置ループ
ゲインＫｐａを大きくすることができ、位置偏差ΔＰが
大きな領域（Ｄ２≦｜ΔＰ｜）では位置ループゲインＫ
ｐａを小さく抑えて位置ループの安定性を確保すること
ができる。また、位置ループゲインＫｐａがＫｐ１とＫ
ｐ２の間で急激に変化することによる位置ループの安定
性への影響を抑えるために、Ｄ１とＤ２を設けこの間で
は連続した位置ループゲインＫｐａを算出する。
【００２６】そして、式（７）で算出したＫｐａ及び式
（８）で算出したＫｆａは式（９）を満たすので、式
（９）を式（６）に適用して次式が得られる。 Ｐｆ／Ｐｃ＝１／｛１＋（１／＊Ｋｐａ）×Ｓ｝ ・・・（１０） ただし、式（１０）の＊Ｋｐａは次式で示される。 ＊Ｋｐａ＝１／Ｔｆａ＝Ｋｐａ／（１−Ｋｆａ） ・・・（１１）
（８）で算出したＫｆａは式（９）を満たすので、式
（９）を式（６）に適用して次式が得られる。 Ｐｆ／Ｐｃ＝１／｛１＋（１／＊Ｋｐａ）×Ｓ｝ ・・・（１０） ただし、式（１０）の＊Ｋｐａは次式で示される。 ＊Ｋｐａ＝１／Ｔｆａ＝Ｋｐａ／（１−Ｋｆａ） ・・・（１１）
【００２７】式（１０）は、フィードフォワード制御系
を用いずに位置ループゲインを＊Ｋｐａとした場合の伝
達関数と等しい。したがって、フィードフォワード制御
をフィードバック制御に併用した方式により、位置ルー
プゲインＫｐａを１／（１−Ｋｆａ）倍に大きくしたの
と等価な伝達関数を持つ位置制御系を実現できることが
分かる。
を用いずに位置ループゲインを＊Ｋｐａとした場合の伝
達関数と等しい。したがって、フィードフォワード制御
をフィードバック制御に併用した方式により、位置ルー
プゲインＫｐａを１／（１−Ｋｆａ）倍に大きくしたの
と等価な伝達関数を持つ位置制御系を実現できることが
分かる。
【００２８】図３は上記のように算出した位置ループゲ
インＫｐａ及びフィードフォワードゲインＫｆａの位置
偏差ΔＰに対する特性を示す図である。図３から明らか
なように、位置ループゲイン算出部１７で算出される位
置ループゲインＫｐａが位置偏差ΔＰに応じて変化する
にも拘らず、上記の等価的な位置ループゲイン＊Ｋｐａ
は位置偏差ΔＰに対して一定である。
インＫｐａ及びフィードフォワードゲインＫｆａの位置
偏差ΔＰに対する特性を示す図である。図３から明らか
なように、位置ループゲイン算出部１７で算出される位
置ループゲインＫｐａが位置偏差ΔＰに応じて変化する
にも拘らず、上記の等価的な位置ループゲイン＊Ｋｐａ
は位置偏差ΔＰに対して一定である。
【００２９】これは、位置制御部１ａが非線形要素であ
る位置ループゲイン算出部１７、フィードフォワードゲ
イン算出部１８を含むにも拘らず、線形性を有すること
を意味しており、一般にモータを複数用いるモータ応用
システムの制御系の設計を容易にする。
る位置ループゲイン算出部１７、フィードフォワードゲ
イン算出部１８を含むにも拘らず、線形性を有すること
を意味しており、一般にモータを複数用いるモータ応用
システムの制御系の設計を容易にする。
【００３０】更に、回転位置指令Ｐｃに対する位置偏差
ΔＰの伝達関数は次式で示される。 ΔＰ／Ｐｃ＝（Ｐｆ−Ｐｃ）／Ｐｃ ＝｛（１／＊Ｋｐａ）×Ｓ｝／｛１＋（１／＊Ｋｐａ）×Ｓ｝・・（１２） この式（１２）の伝達関数を利用して位置偏差ΔＰの時
間応答を求めることができる。図４は本実施例における
位置偏差ΔＰのステップ応答特性図である。
ΔＰの伝達関数は次式で示される。 ΔＰ／Ｐｃ＝（Ｐｆ−Ｐｃ）／Ｐｃ ＝｛（１／＊Ｋｐａ）×Ｓ｝／｛１＋（１／＊Ｋｐａ）×Ｓ｝・・（１２） この式（１２）の伝達関数を利用して位置偏差ΔＰの時
間応答を求めることができる。図４は本実施例における
位置偏差ΔＰのステップ応答特性図である。
【００３１】図４において、２０１は、フィードフォワ
ードゲインＫｆａ＝０、すなわちフィードフォワードを
効かさない場合の応答で位置偏差ΔＰは時定数Ｔｐの一
次遅れ応答で定常値Ｆｃ×Ｔｐに向かって収束する。こ
こで、Ｆｃは回転位置指令Ｐｃの増加速度、時定数Ｔｐ
は位置ループゲインＫｐａの逆数（１／Ｋｐａ）であ
る。
ードゲインＫｆａ＝０、すなわちフィードフォワードを
効かさない場合の応答で位置偏差ΔＰは時定数Ｔｐの一
次遅れ応答で定常値Ｆｃ×Ｔｐに向かって収束する。こ
こで、Ｆｃは回転位置指令Ｐｃの増加速度、時定数Ｔｐ
は位置ループゲインＫｐａの逆数（１／Ｋｐａ）であ
る。
【００３２】位置偏差ΔＰを小さくするには、位置ルー
プゲインＫｐａを大きくし時定数Ｔｐを小さくする方法
が考えられるが、現実には式（６）で近似した式（５）
の速度制御部伝達関数Ｇｖの周波数特性を、位置制御部
１ａで必要とする周波数特性に比して十分高く取ること
ができないため、位置ループゲインＫｐａを大きくする
と、位置制御ループの安定性が損なわれるという問題が
あり実現が難しい。
プゲインＫｐａを大きくし時定数Ｔｐを小さくする方法
が考えられるが、現実には式（６）で近似した式（５）
の速度制御部伝達関数Ｇｖの周波数特性を、位置制御部
１ａで必要とする周波数特性に比して十分高く取ること
ができないため、位置ループゲインＫｐａを大きくする
と、位置制御ループの安定性が損なわれるという問題が
あり実現が難しい。
【００３３】また、２０２は一次フィルタ１５ａの時定
数をＴｆａ＝０、すなわち一次フィルタ無効の状態でフ
ィードフォワードを効かせた場合の応答で、位置偏差Δ
Ｐの収束値がＦｃ×Ｔｐ×（１−Ｋｆａ）になることか
ら明らかなように、収束値がフィードフォワードを効か
さない場合の（１−Ｋｆａ）倍に減少することが分かる
（ただし、０＜Ｋｆａ＜１）。
数をＴｆａ＝０、すなわち一次フィルタ無効の状態でフ
ィードフォワードを効かせた場合の応答で、位置偏差Δ
Ｐの収束値がＦｃ×Ｔｐ×（１−Ｋｆａ）になることか
ら明らかなように、収束値がフィードフォワードを効か
さない場合の（１−Ｋｆａ）倍に減少することが分かる
（ただし、０＜Ｋｆａ＜１）。
【００３４】また、２０３は一次フィルタ１５ａを通し
てフィードフォワードを効かせた本実施例の応答で、位
置偏差ΔＰの収束値がフィードフォワードを効かさない
場合の（１−Ｋｆａ）倍に減少し、収束の時定数が（１
−Ｋｆａ）倍に短くなることが分かる。このように、本
実施例の構成により、位置偏差ΔＰを減少させることが
できる。
てフィードフォワードを効かせた本実施例の応答で、位
置偏差ΔＰの収束値がフィードフォワードを効かさない
場合の（１−Ｋｆａ）倍に減少し、収束の時定数が（１
−Ｋｆａ）倍に短くなることが分かる。このように、本
実施例の構成により、位置偏差ΔＰを減少させることが
できる。
【００３５】以上で説明した式（１０）〜（１２）で示
される伝達関数、そして図４で示される位置偏差ΔＰの
ステップ応答特性は、図５の従来例と同様である。した
がって、回転位置指令Ｐｃから見た制御特性は、位置ル
ープゲイン算出部１７及びフィードフォワードゲイン算
出部１８による位置ループゲインＫｐａ、フィードフォ
ワードゲインＫｆａの変化の影響を受けず、従来と同様
のフィードフォワード効果が得られることが分かる。
される伝達関数、そして図４で示される位置偏差ΔＰの
ステップ応答特性は、図５の従来例と同様である。した
がって、回転位置指令Ｐｃから見た制御特性は、位置ル
ープゲイン算出部１７及びフィードフォワードゲイン算
出部１８による位置ループゲインＫｐａ、フィードフォ
ワードゲインＫｆａの変化の影響を受けず、従来と同様
のフィードフォワード効果が得られることが分かる。
【００３６】次に、本実施例の外乱応答特性について考
察する。図２において、回転位置指令Ｐｃ＝０とする
と、外乱入力Ｐεに対するモータ３の位置フィードバッ
クＰｆの伝達関数は次式となる。 Ｐｆ／Ｐε＝−｛１／（Ｋｐａ×Ｇｖ）｝ ／［１＋｛１／（Ｋｐａ×Ｇｖ）｝×Ｓ］ ・・・（１３）
察する。図２において、回転位置指令Ｐｃ＝０とする
と、外乱入力Ｐεに対するモータ３の位置フィードバッ
クＰｆの伝達関数は次式となる。 Ｐｆ／Ｐε＝−｛１／（Ｋｐａ×Ｇｖ）｝ ／［１＋｛１／（Ｋｐａ×Ｇｖ）｝×Ｓ］ ・・・（１３）
【００３７】ここで、速度制御部２の伝達関数Ｇｖは、
一般に位置制御部１ａで必要とする周波数特性に比して
十分高い周波数特性を有し、Ｇｖ＝１と近似すると、式
（１３）は次式のように近似表現できる。 Ｐｆ／Ｐε＝−（１／Ｋｐａ）／｛１＋（１／Ｋｐａ）×Ｓ｝・・・（１４） このとき、外乱入力Ｐεに対する位置偏差ΔＰの伝達関
数ΔＰ／Ｐεは次式で示される。 ΔＰ／Ｐε＝（１／Ｋｐａ）／｛１＋（１／Ｋｐａ）×Ｓ｝ ・・・（１５）
一般に位置制御部１ａで必要とする周波数特性に比して
十分高い周波数特性を有し、Ｇｖ＝１と近似すると、式
（１３）は次式のように近似表現できる。 Ｐｆ／Ｐε＝−（１／Ｋｐａ）／｛１＋（１／Ｋｐａ）×Ｓ｝・・・（１４） このとき、外乱入力Ｐεに対する位置偏差ΔＰの伝達関
数ΔＰ／Ｐεは次式で示される。 ΔＰ／Ｐε＝（１／Ｋｐａ）／｛１＋（１／Ｋｐａ）×Ｓ｝ ・・・（１５）
【００３８】式（１４）、（１５）から外乱の影響を軽
減するには、位置ループゲインＫｐａを高くすることが
望ましいことが分かる。ところで、一般に外乱の入力Ｐ
εの大きさは、フィードバック制御系の特性として、回
転開始又は回転停止等の加速時又は減速時に生ずる位置
偏差ΔＰの最大値よりはるかに小さいが、停止中又は低
速回転中に生ずる位置偏差ΔＰに比較して大きなものと
なる。
減するには、位置ループゲインＫｐａを高くすることが
望ましいことが分かる。ところで、一般に外乱の入力Ｐ
εの大きさは、フィードバック制御系の特性として、回
転開始又は回転停止等の加速時又は減速時に生ずる位置
偏差ΔＰの最大値よりはるかに小さいが、停止中又は低
速回転中に生ずる位置偏差ΔＰに比較して大きなものと
なる。
【００３９】また、一般に位置ループの安定性を損なわ
ない位置ループゲインの範囲は、モータの位置偏差ΔＰ
が小さい時は大きくとることができるが、位置偏差ΔＰ
が大きいときは小さくしなければならないため、固定値
の位置ループゲインＫｐを用いる図５のような従来例で
は、位置ループゲインＫｐをその取り得る最大値よりも
小さく設定しなければならない。
ない位置ループゲインの範囲は、モータの位置偏差ΔＰ
が小さい時は大きくとることができるが、位置偏差ΔＰ
が大きいときは小さくしなければならないため、固定値
の位置ループゲインＫｐを用いる図５のような従来例で
は、位置ループゲインＫｐをその取り得る最大値よりも
小さく設定しなければならない。
【００４０】したがって、外乱特性を向上させるには位
置偏差ΔＰが大きいときに位置ループゲインを小さく、
位置偏差ΔＰが小さいときに位置ループゲインを大きく
することが望ましい。
置偏差ΔＰが大きいときに位置ループゲインを小さく、
位置偏差ΔＰが小さいときに位置ループゲインを大きく
することが望ましい。
【００４１】そして、本実施例では、前述のように位置
ループゲイン算出部１７によって位置偏差ΔＰが小さい
ときに位置ループゲインＫｐａを大きくし、位置偏差Δ
Ｐが大きいときに位置ループゲインＫｐａを小さな値
（図５のＫｐに相当）にするので、図５の例に比べて外
乱特性が大きく向上する。以上のように、本実施例によ
れば、フィードフォワード効果による位置制御精度の向
上と外乱抑制効果の向上とを両立させることができる。
ループゲイン算出部１７によって位置偏差ΔＰが小さい
ときに位置ループゲインＫｐａを大きくし、位置偏差Δ
Ｐが大きいときに位置ループゲインＫｐａを小さな値
（図５のＫｐに相当）にするので、図５の例に比べて外
乱特性が大きく向上する。以上のように、本実施例によ
れば、フィードフォワード効果による位置制御精度の向
上と外乱抑制効果の向上とを両立させることができる。
【００４２】
【発明の効果】本発明によれば、位置偏差に応じた位置
ループゲイン、フィードフォワードゲインを算出する位
置ループゲイン算出部、フィードフォワードゲイン算出
部を設けることにより、フィードバック系の位置ループ
の安定性を損なわずに位置ループゲインを大きくしたの
と等価な伝達関数を持つ位置制御系において、外乱抑制
効果を向上させた位置制御系を実現でき、位置偏差が少
なく、かつ外乱の影響に強い高精度位置制御システムを
構築することができる。
ループゲイン、フィードフォワードゲインを算出する位
置ループゲイン算出部、フィードフォワードゲイン算出
部を設けることにより、フィードバック系の位置ループ
の安定性を損なわずに位置ループゲインを大きくしたの
と等価な伝達関数を持つ位置制御系において、外乱抑制
効果を向上させた位置制御系を実現でき、位置偏差が少
なく、かつ外乱の影響に強い高精度位置制御システムを
構築することができる。
【００４３】また、位置ループゲイン算出部が、位置偏
差が小さいときに通常値より大きい所定値を位置ループ
ゲインとして出力することにより、外乱抑制効果を容易
に向上させることができる。また、フィードフォワード
ゲイン算出部が、フィードフォワードゲインＫｆを位置
ループゲインＫｐ、一次遅れ要素の時定数Ｔｆに対し
て、Ｔｆ＝（１−Ｋｆ）／Ｋｐを満たすように算出する
ことにより、位置ループゲイン算出部によって位置ルー
プゲインが変化しても、フィードバック系の位置ループ
の安定性が損なわれない位置制御系を容易に実現するこ
とができる。
差が小さいときに通常値より大きい所定値を位置ループ
ゲインとして出力することにより、外乱抑制効果を容易
に向上させることができる。また、フィードフォワード
ゲイン算出部が、フィードフォワードゲインＫｆを位置
ループゲインＫｐ、一次遅れ要素の時定数Ｔｆに対し
て、Ｔｆ＝（１−Ｋｆ）／Ｋｐを満たすように算出する
ことにより、位置ループゲイン算出部によって位置ルー
プゲインが変化しても、フィードバック系の位置ループ
の安定性が損なわれない位置制御系を容易に実現するこ
とができる。
【図１】 本発明の１実施例を示すモータ位置制御装置
のブロック図である。
のブロック図である。
【図２】 このモータ位置制御装置を用いた制御系のブ
ロック線図である。
ロック線図である。
【図３】 位置偏差ΔＰに対する位置ループゲインＫｐ
ａ及びフィードフォワードゲインＫｆａの特性を示す図
である。
ａ及びフィードフォワードゲインＫｆａの特性を示す図
である。
【図４】 位置偏差ΔＰのステップ応答特性図である。
【図５】 従来のモータ位置制御装置のブロック図であ
る。
る。
【図６】 従来の位置制御装置を用いた制御系のブロッ
ク線図である。
ク線図である。
１ａ…位置制御部、２…速度制御部、３…モータ、４…
位置検出器、１１…減算器、１２ａ、１４ａ…乗算器、
１３…微分器、１５ａ…一次フィルタ、１６…加算器、
１７…位置ループゲイン算出部、１８…フィードフォワ
ードゲイン算出部。
位置検出器、１１…減算器、１２ａ、１４ａ…乗算器、
１３…微分器、１５ａ…一次フィルタ、１６…加算器、
１７…位置ループゲイン算出部、１８…フィードフォワ
ードゲイン算出部。
Claims (3)
- 【請求項１】 モータに対する回転位置指令、及びこの
回転位置指令によって駆動されるモータの回転位置を示
す位置フィードバックを入力とし、前記回転位置指令と
位置フィードバックの差分である位置偏差に基づきモー
タの回転位置を制御するための回転速度指令を出力する
位置制御部と、この回転速度指令を入力としてモータの
回転速度を制御する速度制御部と、モータの回転位置を
検出して位置制御部に位置フィードバックを出力する位
置検出器とを備えたモータの位置制御装置において、 前記位置制御部は、位置偏差に位置ループゲインを乗ず
るフィードバック制御部と、 回転位置指令の微分出力にフィードフォワードゲインを
乗じた結果を一次遅れ要素を通した特性で出力するフィ
ードフォワード制御部と、 前記フィードバック制御部とフィードフォワード制御部
の出力を加算して加算結果を回転速度指令として速度制
御部に出力する加算器と、 位置偏差に応じた位置ループゲインを算出して前記フィ
ードバック制御部に出力する位置ループゲイン算出部
と、 前記位置偏差に応じたフィードフォワードゲインを算出
して前記フィードフォワード制御部に出力するフィード
フォワードゲイン算出部とからなることを特徴とするモ
ータの位置制御装置。 - 【請求項２】 請求項１記載のモータの位置制御装置に
おいて、 前記位置ループゲイン算出部は、位置偏差が小さいとき
通常値より大きい所定値を位置ループゲインとして出力
することを特徴とするモータの位置制御装置。 - 【請求項３】 請求項２記載のモータの位置制御装置に
おいて、 前記フィードフォワードゲイン算出部は、フィードフォ
ワードゲインＫｆを位置ループゲインＫｐ、一次遅れ要
素の時定数Ｔｆに対して、Ｔｆ＝（１−Ｋｆ）／Ｋｐを
満たすように算出することを特徴とするモータの位置制
御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6219904A JPH0888990A (ja) | 1994-09-14 | 1994-09-14 | モータの位置制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6219904A JPH0888990A (ja) | 1994-09-14 | 1994-09-14 | モータの位置制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0888990A true JPH0888990A (ja) | 1996-04-02 |
Family
ID=16742858
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6219904A Pending JPH0888990A (ja) | 1994-09-14 | 1994-09-14 | モータの位置制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0888990A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004178520A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-06-24 | Nippon Reliance Kk | 位置決め制御装置 |
| JP2010055470A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 機械制御装置 |
| JP2010178509A (ja) * | 2009-01-29 | 2010-08-12 | Mitsubishi Electric Corp | モータ駆動制御装置 |
| JP2011186668A (ja) * | 2010-03-05 | 2011-09-22 | Mori Seiki Co Ltd | 制御方法及び制御装置 |
| JP2012190344A (ja) * | 2011-03-11 | 2012-10-04 | Ihi Corp | 制御装置 |
| CN105337558A (zh) * | 2014-08-04 | 2016-02-17 | 日本电产三协株式会社 | 电动机系统 |
| JP2018527599A (ja) * | 2015-06-19 | 2018-09-20 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | 制御システム、位置決めシステム、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
| CN113224980A (zh) * | 2020-02-04 | 2021-08-06 | 日本电产三协株式会社 | 电动机控制方法、电动机驱动装置、工业用机器人的控制方法及工业用机器人 |
| JP2022066991A (ja) * | 2020-10-19 | 2022-05-02 | 国立大学法人長岡技術科学大学 | 空気調和機のモータ制御装置および空気調和機のモータ制御方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0475113A (ja) * | 1990-07-17 | 1992-03-10 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 制御装置 |
| JPH04100130A (ja) * | 1990-06-19 | 1992-04-02 | Yaskawa Electric Corp | モータのサーボ制御装置 |
-
1994
- 1994-09-14 JP JP6219904A patent/JPH0888990A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04100130A (ja) * | 1990-06-19 | 1992-04-02 | Yaskawa Electric Corp | モータのサーボ制御装置 |
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| US10401743B2 (en) | 2015-06-19 | 2019-09-03 | Asml Netherlands B.V. | Control system, positioning system, lithographic apparatus and device manufacturing method |
| CN113224980A (zh) * | 2020-02-04 | 2021-08-06 | 日本电产三协株式会社 | 电动机控制方法、电动机驱动装置、工业用机器人的控制方法及工业用机器人 |
| JP2022066991A (ja) * | 2020-10-19 | 2022-05-02 | 国立大学法人長岡技術科学大学 | 空気調和機のモータ制御装置および空気調和機のモータ制御方法 |
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