JPH08927A - フィルター装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 フィルター装置内部での薬液の滞留を防止
し、延いては、滞留による薬液のゲル化によってダスト
が発生したり滞留によって薬液の円滑な循環が妨げられ
ることを防止する。 【構成】 筒状ハウジング１の内部にフィルター８を設
け、このハウジング１の下側閉塞端３に薬液の入口部４
を設け、上側閉塞端２に出口部６を設け、筒状ハウジン
グ１の下側閉塞端３を上に行くほど拡径するようにテー
パー状に形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、フィルター装置、特に
上下両端が閉塞された筒状ハウジングの内部にフィルタ
ーを設け、この筒状ハウジングの下側閉塞端に薬液の入
口部を設け、筒状ハウジングの上側閉塞端にフィルター
を通過した薬液の出口部を設けたフィルター装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】洗浄、ウエットエッチング等の処理に
は、その処理に使用する薬液を濾過するフィルター装置
が不可欠である。というのは、その処理を行う処理槽で
使用した薬液を濾過してその処理層に戻して薬液を循環
させながら使用することが薬液の有効利用に不可欠であ
るからである。図３はその薬液の濾過に使用するフィル
ター装置の従来例の一を示す断面図である。図におい
て、１は円筒状のハウジングで、例えば、ステンレスか
らなる。２はこのハウジング１の上端を閉塞する上側閉
塞端、３はハウジング１の下端を閉塞する下側閉塞端、
４はこの下側閉塞端３に形成された入口部で、図示しな
い処理槽からの薬液の通る管５と連通している。６は上
記上側閉塞端２に形成された出口部で、薬液を上記処理
槽に戻す管７と連通している。

【０００３】８はフィルターで、有底円筒状の容器９内
に、例えば繊維状のフィルター材１０（梨地で示す）を
収納したものである。１１、１１、・・・は上記容器９
の周壁に形成された液通孔で、上記管５を通して上記ハ
ウジング１内に供給された薬液はこの液通孔１１、１
１、・・・を通して容器９内に進入する。１２は上記容
器９の上端に設けられた出口で、上記ハウジング１の出
口部６と連通している。１３はドレインで、ハウジング
１内に侵入したエアーを抜き取るためのものである。こ
のようなフィルター装置によれば、図示しない処理槽か
ら管５を通ってハウジング１内に進入した薬液は液通窓
１１、１１、・・・を通って上記容器９内部に進入し、
フィルター材１０により濾過されながら上側に進み出口
１２、６を通って管７内に入り、この管７によって図示
しない処理槽に戻される。

【０００４】また、ハウジング１内に侵入したエアーは
ドレイン１３によって抜き取られる。尚、図３に示した
フィルター装置は入口部４が下側閉塞端３に設けられて
いるが、入口部４を出口部６と同様に上側閉塞端２に設
けるようにしたものもある。入口部４を下側閉塞端３に
設けたものであろうと上側閉塞端２に設けたものであろ
うと、従来のフィルター装置は、図３に示すように、ハ
ウジング１の下側及び上側閉塞端３、２及び容器９の上
下両端部は平らに形成されていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のフィ
ルター装置は、上述したように、ハウジング１の下側及
び上側閉塞端３、２と、容器９の上下両端部が平らに形
成されていたので、薬液が隅部Ａ、Ａ、Ｂ、Ｂで滞留し
易く、滞留するとゲル化してダストになるという問題が
あった。特に、ハウジング１の下側閉塞端３の隅部Ａ、
Ａで滞留が生じ易かった。そして、滞留による薬液のゲ
ル化によって生じるところのダストは、当然に被処理
物、例えば半導体ウェハの汚染源になるので好ましくな
い。また、このような薬液の滞留は薬液の円滑な循環を
妨げるのでその点でも好ましくない。

【０００６】本発明はこのような問題点を解決すべく為
されたものであり、フィルター装置内部での薬液の滞留
を防止し、延いては、滞留による薬液のゲル化によって
ダストが発生したり滞留によって薬液の円滑な循環が妨
げられることを防止することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１のフィルター装
置は、筒状ハウジングの下側閉塞端を上に行くほど拡径
するようにテーパー状に形成したことを特徴とする。請
求項２のフィルター装置は、請求項１のフィルター装置
において、フィルターの下端部を上に行くほど拡径する
ようにテーパー状に形成したことを特徴とする。

【０００８】

【作用】請求項１のフィルター装置によれば、筒状ハウ
ジングの下側閉塞端を上に行くほど拡径するようにテー
パー状に形成したので、薬液の筒状ハウジング下側閉塞
端の隅部での滞留が生じにくくなり、従って、滞留によ
る薬液のゲル化によってダストが発生したり滞留によっ
て薬液の円滑な循環が妨げられることを防止することが
できる。請求項２のフィルター装置によれば、フィルタ
ーの下端部を上に行くほど拡径するようにテーパー状に
形成したので、ハウジング内部における薬液の円滑な流
れがフィルターの下端部によって妨げられるおそれがな
く、滞留の防止をより確実に行うことができる。

【０００９】

【実施例】以下、本発明フィルター装置を図示実施例に
従って詳細に説明する。図１は本発明フィルター装置の
一つの実施例を示す断面図である。本フィルター装置
は、図３に示した従来のフィルター装置とは、筒状ハウ
ジングの下側閉塞端を上に行くほど拡径するように、上
側閉塞端を上に行くほど縮径するようにそれぞれテーパ
ー状に形成した点で大きく相違するが、それ以外の点で
は共通し、その共通点については既に説明済みであるの
で、その説明は省略し相違する点についてのみ説明する
こととする。また、全図を通して共通する部分には共通
の符号を付した。

【００１０】本フィルター装置のハウジング１の上側閉
塞端２は、上に行く程縮径するようにテーパー状に形成
され、下側閉塞端３は上に行く程拡径するようにテーパ
ー状に形成されている。従って、本フィルター装置によ
れば、図３に示す従来のフィルター装置におけるような
ハウジング１内部の隅部Ａ、Ａ、Ｂ、Ｂにおいて薬液に
滞留が生じるというおそれはなくなる。依って、滞留に
よる薬液のゲル化によってダストが発生したり滞留によ
って薬液の円滑な循環が妨げられることを防止すること
ができる。

【００１１】図２は本発明フィルター装置の他の実施例
を示す断面図である。本フィルター装置はフィルター材
１０を入れる容器８の上部及び下部の外側部分にテーパ
ーを設けてハウジング１内部における薬液の円滑な流れ
がフィルター８の上下両端部によって妨げられないよう
にしたものである。従って、本フィルター装置によれ
ば、滞留の防止をより確実に行うことができる。

【００１２】

【発明の効果】請求項１のフィルター装置は、筒状ハウ
ジングの下側閉塞端を上に行くほど拡径するようにテー
パー状に形成したことを特徴とする。従って、請求項１
のフィルター装置によれば、筒状ハウジングの下側閉塞
端を上に行くほど拡径するようにテーパー状に形成した
ので、薬液の筒状ハウジングの下側閉塞端の隅部での滞
留が生じにくくなり、従って、滞留による薬液のゲル化
によってダストが発生したり滞留によって薬液の円滑な
循環が妨げられることを防止することができる。

【００１３】請求項２のフィルター装置は、フィルター
の下側閉塞端を上に行くほど拡径するようにテーパー状
に形成したことを特徴とする。従って、請求項２のフィ
ルター装置によれば、フィルターの下端部を上に行くほ
ど拡径するようにテーパー状に形成したので、ハウジン
グ内部における薬液の円滑な流れがフィルターの下端部
によって妨げられるおそれがなく、滞留の防止をより確
実に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明フィルター装置の一つの実施例を示す断
面図である。

【図２】本発明フィルター装置の他の実施例を示す断面
図である。

【図３】フィルター装置の従来例を示す断面図である。

【符号の説明】

１ ハウジング ２ 上側閉塞端 ３ 下側閉塞端 ４ 入口 ６ 出口 ８ フィルター

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上下両端が閉塞された筒状ハウジングの
   内部にフィルターを設け、 上記筒状ハウジングの下側閉塞端に薬液の入口部を設
   け、 上記筒状ハウジングの上側閉塞端にフィルターを通過し
   た薬液の出口部を設け、 上記筒状ハウジングの下側閉塞端を上に行くほど拡径す
   るようにテーパー状に形成したことを特徴とするフィル
   ター装置
2. 【請求項２】 フィルターの下端部の少なくとも外側部
   分を上に行くほど拡径するようにテーパー状に形成した
   ことを特徴とする請求項１記載のフィルター装置