JPH0893917A - 真空容器及びその製造方法 - Google Patents
真空容器及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH0893917A JPH0893917A JP28600594A JP28600594A JPH0893917A JP H0893917 A JPH0893917 A JP H0893917A JP 28600594 A JP28600594 A JP 28600594A JP 28600594 A JP28600594 A JP 28600594A JP H0893917 A JPH0893917 A JP H0893917A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- welding
- vacuum container
- constituent members
- seal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 溶接時のひずみが耐力溶接に比べて極めて小
さく、且つ大きな真空容器の製造が可能となり、且つ製
造コストを低減させることのできる真空容器の構造及び
その製造方法を提供する。 【構成】 複数の構成部材１，２，３がボルト６により
相互に締結固定されて形成された容器において、該容器
の内側の前記複数の構成部材１，２，３の当接部が直接
又は当て板を介してシール溶接１７により封止された。
さく、且つ大きな真空容器の製造が可能となり、且つ製
造コストを低減させることのできる真空容器の構造及び
その製造方法を提供する。 【構成】 複数の構成部材１，２，３がボルト６により
相互に締結固定されて形成された容器において、該容器
の内側の前記複数の構成部材１，２，３の当接部が直接
又は当て板を介してシール溶接１７により封止された。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は真空容器及びその製造方
法に係り、特に大型の容器でも耐力溶接を用いることな
く製造できる、真空容器及びその製造方法に関する。
法に係り、特に大型の容器でも耐力溶接を用いることな
く製造できる、真空容器及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の真空容器の製造方法は、小型の容
器である場合には、一体部材を削りだして真空容積部を
構成し、開口部にメタルガスケット或いはＯリングシー
ル等を用いた蓋を取り付けることにより真空容器を製造
していた。又、大型の真空容器の場合には、金属の板材
やパイプ材を耐力溶接により接合し、真空容器としての
強度と密閉性とを備えた容器を形成し、同様に開口部に
蓋を取り付けることにより真空容器を製造していた。
器である場合には、一体部材を削りだして真空容積部を
構成し、開口部にメタルガスケット或いはＯリングシー
ル等を用いた蓋を取り付けることにより真空容器を製造
していた。又、大型の真空容器の場合には、金属の板材
やパイプ材を耐力溶接により接合し、真空容器としての
強度と密閉性とを備えた容器を形成し、同様に開口部に
蓋を取り付けることにより真空容器を製造していた。
【０００３】しかしながら、一体部材を削りだして真空
容積部を構成する従来の真空容器の製造方法において
は、大きな容器の製造を行うにはコストが高くなり不向
きである。又、金属の板材やパイプ材を溶接により接合
して真空容器を形成した場合には、通常の溶加材を用い
た耐力溶接法では、一般に溶接後の溶接ひずみが大き
く、溶接後の修正加工が必要となる場合が多い。ここで
耐力溶接法とは、通常のアーク溶接等の十分な接合強度
を確保することのできる溶接法である。特に真空容器内
面に精度を要する加工面が必要となる場合には、溶接後
に溶接ひずみによりその精度が失われ、溶接後の修正加
工も実際問題として困難である。
容積部を構成する従来の真空容器の製造方法において
は、大きな容器の製造を行うにはコストが高くなり不向
きである。又、金属の板材やパイプ材を溶接により接合
して真空容器を形成した場合には、通常の溶加材を用い
た耐力溶接法では、一般に溶接後の溶接ひずみが大き
く、溶接後の修正加工が必要となる場合が多い。ここで
耐力溶接法とは、通常のアーク溶接等の十分な接合強度
を確保することのできる溶接法である。特に真空容器内
面に精度を要する加工面が必要となる場合には、溶接後
に溶接ひずみによりその精度が失われ、溶接後の修正加
工も実際問題として困難である。
【０００４】一方、溶接法の一種に電子ビーム溶接法が
あり、局部的な加熱により比較的小さなエネルギで溶接
が可能であるが、この溶接法は真空容器内で行う必要が
あり、設備が必然的に大型化し、大きな真空容器の製造
には不向きである。
あり、局部的な加熱により比較的小さなエネルギで溶接
が可能であるが、この溶接法は真空容器内で行う必要が
あり、設備が必然的に大型化し、大きな真空容器の製造
には不向きである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述の事情に
鑑みなされたもので、溶接時のひずみが耐力溶接に比べ
て極めて小さく、且つ大きな真空容器の製造が可能とな
り、且つ製造コストを低減させることのできる真空容器
の構造及びその製造方法を提供することを目的とする。
鑑みなされたもので、溶接時のひずみが耐力溶接に比べ
て極めて小さく、且つ大きな真空容器の製造が可能とな
り、且つ製造コストを低減させることのできる真空容器
の構造及びその製造方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ため、本発明の真空容器は、複数の構成部材がボルトに
より相互に締結固定されて形成された容器において、該
容器の内側の前記複数の構成部材の当接部が直接、又は
当て板を介してシール溶接により封止されたことを特徴
とする。
ため、本発明の真空容器は、複数の構成部材がボルトに
より相互に締結固定されて形成された容器において、該
容器の内側の前記複数の構成部材の当接部が直接、又は
当て板を介してシール溶接により封止されたことを特徴
とする。
【０００７】本発明の真空容器の製造方法は、複数の構
成部材をボルトにより相互に締結固定して容器を形成
し、該容器の内側の前記複数の構成部材の当接部を直
接、又は当て板を介してシール溶接により封止すること
を特徴とする。
成部材をボルトにより相互に締結固定して容器を形成
し、該容器の内側の前記複数の構成部材の当接部を直
接、又は当て板を介してシール溶接により封止すること
を特徴とする。
【０００８】
【作用】複数の構成部材が当接してボルトにより相互に
締結固定されて容器が形成されていることから、任意の
大きさ、強度の真空容器を形成することが可能となる。
又、構成部材の当接部の接合は、シール溶接が用いられ
ているため、従来の耐力溶接と比べて溶接時のひずみを
極めて小さくすることができる。ここでシール溶接と
は、二つの部材間の当接部を十分な接合強度を得る目的
で溶接するのではなく、気密封止（シール）することの
できる程度の弱い溶接である。尚、シール溶接によれ
ば、溶接ひずみが小さいことから、真空容器内表面を高
寸法精度に仕上げることも可能となる。又、前述のよう
に製造方法が簡単なことからその製造コストを大幅に低
減することができる。
締結固定されて容器が形成されていることから、任意の
大きさ、強度の真空容器を形成することが可能となる。
又、構成部材の当接部の接合は、シール溶接が用いられ
ているため、従来の耐力溶接と比べて溶接時のひずみを
極めて小さくすることができる。ここでシール溶接と
は、二つの部材間の当接部を十分な接合強度を得る目的
で溶接するのではなく、気密封止（シール）することの
できる程度の弱い溶接である。尚、シール溶接によれ
ば、溶接ひずみが小さいことから、真空容器内表面を高
寸法精度に仕上げることも可能となる。又、前述のよう
に製造方法が簡単なことからその製造コストを大幅に低
減することができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の第１乃至第２の実施例を添付
図１乃至図８を参照しながら説明する。図１は、本発明
の第１実施例の真空容器の構造図を示し、図２は図１の
Ｂ−Ｂ線に沿った断面図である。又、図３は本発明の第
２実施例の真空容器の構造図であり、図４はそのＣ−Ｃ
線に沿った断面図である。図５は第１実施例の変形例を
示し、図６はそのＤ−Ｄ線に沿った断面図であり、図７
は第２実施例の変形例を示し、図８はそのＥ−Ｅ線に沿
った断面図である。尚、各図中同一符号は同一又は相当
部分を示す。
図１乃至図８を参照しながら説明する。図１は、本発明
の第１実施例の真空容器の構造図を示し、図２は図１の
Ｂ−Ｂ線に沿った断面図である。又、図３は本発明の第
２実施例の真空容器の構造図であり、図４はそのＣ−Ｃ
線に沿った断面図である。図５は第１実施例の変形例を
示し、図６はそのＤ−Ｄ線に沿った断面図であり、図７
は第２実施例の変形例を示し、図８はそのＥ−Ｅ線に沿
った断面図である。尚、各図中同一符号は同一又は相当
部分を示す。
【００１０】本実施例の真空容器は、例えばステンレス
板、或いはアルミ板等からなる構成部材１，２，・・５
が、略箱型或いは円筒型の真空容器を構成している。図
１は、その箱型の真空容器の角部分のみを示している。
板、或いはアルミ板等からなる構成部材１，２，・・５
が、略箱型或いは円筒型の真空容器を構成している。図
１は、その箱型の真空容器の角部分のみを示している。
【００１１】図示するように、上板１と側板２及び側板
３とは、その端部が互いに当接してボルト６により締結
固定されている。そして、上板１には凸部７が、側板２
には凸部８が、側板３には凸部９が一体的に形成されて
おり、容器内側においてこれらの凸部７，８，９が互い
に当接するようになっている。そして、凸部７，８，９
の当接部分は、真空容器の稜内側において、直線状に延
長しており、その部分がシール溶接部１７によりシール
されている。従って、この真空容器は、６枚の平板状の
構成部材が相互にボルトにより締結固定され、略直方体
状の容器を形成し、その容器の内側の各構成部材の当接
部分がシール溶接され、真空が保持されるようになって
いる。
３とは、その端部が互いに当接してボルト６により締結
固定されている。そして、上板１には凸部７が、側板２
には凸部８が、側板３には凸部９が一体的に形成されて
おり、容器内側においてこれらの凸部７，８，９が互い
に当接するようになっている。そして、凸部７，８，９
の当接部分は、真空容器の稜内側において、直線状に延
長しており、その部分がシール溶接部１７によりシール
されている。従って、この真空容器は、６枚の平板状の
構成部材が相互にボルトにより締結固定され、略直方体
状の容器を形成し、その容器の内側の各構成部材の当接
部分がシール溶接され、真空が保持されるようになって
いる。
【００１２】次にこの真空容器の製造方法について説明
する。先ず、真空容器の各面を構成する平板状の構成部
材を用意する。そして、この構成部材には、その端部近
くにシール溶接のための凸部７，８，９を一体的に設け
ておく。そして、構成部材１，２，３を嵌め合わせ、ボ
ルト６により締結固定する。そして、略直方体状の容器
とする。この段階で、真空容器としての必要な大きさ、
充分な強度が確保される。
する。先ず、真空容器の各面を構成する平板状の構成部
材を用意する。そして、この構成部材には、その端部近
くにシール溶接のための凸部７，８，９を一体的に設け
ておく。そして、構成部材１，２，３を嵌め合わせ、ボ
ルト６により締結固定する。そして、略直方体状の容器
とする。この段階で、真空容器としての必要な大きさ、
充分な強度が確保される。
【００１３】次に、容器内部の凸部７，８，９の当接部
分をシール溶接し、シール溶接部１７を略直方体状の容
器の各稜内側に沿って形成する。係るシール溶接によれ
ば凸部７，８，９の当接部の直線上に溶加材により溶接
部が形成され、気密封止される。このようなシール溶接
によれば、構成部材間１，２，３の接着力としては弱い
が、真空封止には充分な強度の溶接部が得られる。
分をシール溶接し、シール溶接部１７を略直方体状の容
器の各稜内側に沿って形成する。係るシール溶接によれ
ば凸部７，８，９の当接部の直線上に溶加材により溶接
部が形成され、気密封止される。このようなシール溶接
によれば、構成部材間１，２，３の接着力としては弱い
が、真空封止には充分な強度の溶接部が得られる。
【００１４】図５及び図６は、本発明の第１実施例の変
形例を示す。第１実施例の真空容器が略直方体状である
のに対して、図５及び図６に示す容器は円筒型である点
が相違する。この円筒型の真空容器は、円板状の構成部
材４と円筒パイプ状の構成部材５がボルト６により締結
固定されている。部材４には凸部１４を、部材５には凸
部１３をそれぞれ備え、凸部１３，１４は互いに当接し
ており、その当接部分がシール溶接部１７によりシール
される。
形例を示す。第１実施例の真空容器が略直方体状である
のに対して、図５及び図６に示す容器は円筒型である点
が相違する。この円筒型の真空容器は、円板状の構成部
材４と円筒パイプ状の構成部材５がボルト６により締結
固定されている。部材４には凸部１４を、部材５には凸
部１３をそれぞれ備え、凸部１３，１４は互いに当接し
ており、その当接部分がシール溶接部１７によりシール
される。
【００１５】シール溶接は、例えば、イナートガスアー
ク溶接によって行う。イナートガスアーク溶接は、アル
ゴン、ヘリウム等の不活性ガスの雰囲気中でアーク溶接
を行うもので、例えばタングステン棒を電極として用
い、被溶接金属との間にアーク放電を起こさせ、溶加材
を溶融し、被溶接部分に溶着するものである。尚、溶加
材としては被溶接金属と同種の金属が用いられるのが一
般的である。係る溶接方法によれば、不活性ガス雰囲気
中で溶接が行われるため、溶接金属の酸化や窒化という
問題が発生しない。このため、被覆材或いはフラックス
を使用する必要がなく、溶接後のスラグや残留フラック
スを除去するための処理が不要となり作業が極めて簡単
になる。又、耐力溶接と比較して、加熱量が小さいため
被溶接金属中に熱ひずみが残るという問題が防止され
る。
ク溶接によって行う。イナートガスアーク溶接は、アル
ゴン、ヘリウム等の不活性ガスの雰囲気中でアーク溶接
を行うもので、例えばタングステン棒を電極として用
い、被溶接金属との間にアーク放電を起こさせ、溶加材
を溶融し、被溶接部分に溶着するものである。尚、溶加
材としては被溶接金属と同種の金属が用いられるのが一
般的である。係る溶接方法によれば、不活性ガス雰囲気
中で溶接が行われるため、溶接金属の酸化や窒化という
問題が発生しない。このため、被覆材或いはフラックス
を使用する必要がなく、溶接後のスラグや残留フラック
スを除去するための処理が不要となり作業が極めて簡単
になる。又、耐力溶接と比較して、加熱量が小さいため
被溶接金属中に熱ひずみが残るという問題が防止され
る。
【００１６】次に本発明の第２実施例の真空容器につい
て、図３及び図４を参照しながら説明する。この実施例
の真空容器においては、略直方体の容器の各稜部の内側
を弾性を有する薄板を当て板１９として用いて、その当
て板１９の端部を構成部材１，２にシール溶接したもの
である。即ち、図４に示すように、当て板１９を凸部１
０，１１間に湾曲させて挿入する。そして、当て板１９
と凸部１０及び１１の当接部をシール溶接し、直線状の
シール溶接部１８を形成する。尚、コーナにおいては、
あらかじめプレスでフレーム形の当て板部材２０を薄板
から形成する。そして、この当て板部材２０を略直方体
状の容器内側の偶部の凸部１０，１１，１２間に挿入
し、当接部分をシール溶接してシール溶接部とする。
て、図３及び図４を参照しながら説明する。この実施例
の真空容器においては、略直方体の容器の各稜部の内側
を弾性を有する薄板を当て板１９として用いて、その当
て板１９の端部を構成部材１，２にシール溶接したもの
である。即ち、図４に示すように、当て板１９を凸部１
０，１１間に湾曲させて挿入する。そして、当て板１９
と凸部１０及び１１の当接部をシール溶接し、直線状の
シール溶接部１８を形成する。尚、コーナにおいては、
あらかじめプレスでフレーム形の当て板部材２０を薄板
から形成する。そして、この当て板部材２０を略直方体
状の容器内側の偶部の凸部１０，１１，１２間に挿入
し、当接部分をシール溶接してシール溶接部とする。
【００１７】図７及び図８は、本発明の第２実施例の変
形例を示す。第２実施例の真空容器が略直方体状である
のに対して、図７及び図８に示す容器は円筒型である点
が相違する。この円筒型の真空容器は、円板状の構成部
材４と円筒パイプ状の構成部材５が、ボルト６により締
結固定されている。構成部材４，５にはそれぞれ凸部１
５，１６を備え、凸部１５，１６間に当て板２１を湾曲
させて挿入して、当て板２１と凸部１５，１６との当接
部をシール溶接して、シール溶接部１８を形成したもの
である。
形例を示す。第２実施例の真空容器が略直方体状である
のに対して、図７及び図８に示す容器は円筒型である点
が相違する。この円筒型の真空容器は、円板状の構成部
材４と円筒パイプ状の構成部材５が、ボルト６により締
結固定されている。構成部材４，５にはそれぞれ凸部１
５，１６を備え、凸部１５，１６間に当て板２１を湾曲
させて挿入して、当て板２１と凸部１５，１６との当接
部をシール溶接して、シール溶接部１８を形成したもの
である。
【００１８】本実施例の真空容器の製造方法としては、
前述の第１実施例が構成部材の当接部を直接シール溶接
したのに対して、構成部材の当接部をカバーするように
当て板を配置し、その当て板と構成部材との当接部をシ
ール溶接するものである。尚、シール溶接法としては、
前述と同様のイナートガスアーク溶接を用いることがで
きる。
前述の第１実施例が構成部材の当接部を直接シール溶接
したのに対して、構成部材の当接部をカバーするように
当て板を配置し、その当て板と構成部材との当接部をシ
ール溶接するものである。尚、シール溶接法としては、
前述と同様のイナートガスアーク溶接を用いることがで
きる。
【００１９】尚、以上の実施例においては、シール溶接
としてイナートガスアーク溶接について説明したが、レ
ーザ溶接又はＣＯ2 アーク溶接を用いてもよい。又、真
空容器の形状として略直方体及び円筒型の容器について
説明したが、これに限られるものではない。例えば、直
方体及び円筒型を組み合わせた形状の容器についても、
又、半球形状、三角柱状或いは五角柱状のものでも勿論
適用可能である。このように本発明の趣旨を逸脱するこ
となく種々の変形実施例が可能である。
としてイナートガスアーク溶接について説明したが、レ
ーザ溶接又はＣＯ2 アーク溶接を用いてもよい。又、真
空容器の形状として略直方体及び円筒型の容器について
説明したが、これに限られるものではない。例えば、直
方体及び円筒型を組み合わせた形状の容器についても、
又、半球形状、三角柱状或いは五角柱状のものでも勿論
適用可能である。このように本発明の趣旨を逸脱するこ
となく種々の変形実施例が可能である。
【００２０】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明の真空容
器は、構成部材をボルト締結により固定し、構成部材間
をシール溶接により真空封止したものである。従って、
大きな真空容器の製造が可能となり、耐力溶接によらな
いためシール溶接時のひずみが耐力溶接に比べて極めて
小さくなり、又、製造コストの大幅な低減が図れる。
又、シール溶接時のひずみが小さいため、容器内に高精
度の加工面が必要な場合には、あらかじめ構成部材の製
造段階で高精度を出すことによりそのまま高精度の真空
容器とすることができる。
器は、構成部材をボルト締結により固定し、構成部材間
をシール溶接により真空封止したものである。従って、
大きな真空容器の製造が可能となり、耐力溶接によらな
いためシール溶接時のひずみが耐力溶接に比べて極めて
小さくなり、又、製造コストの大幅な低減が図れる。
又、シール溶接時のひずみが小さいため、容器内に高精
度の加工面が必要な場合には、あらかじめ構成部材の製
造段階で高精度を出すことによりそのまま高精度の真空
容器とすることができる。
【図１】本発明の第１実施例の真空容器の構成を示す部
分断面図。
分断面図。
【図２】図１におけるＢ−Ｂ線に沿った断面図。
【図３】本発明の第２実施例の真空容器の構成を示す部
分断面図。
分断面図。
【図４】図３におけるＣ−Ｃ線に沿った断面図。
【図５】本発明の第１実施例の変形例の真空容器の構成
を示す部分断面図。
を示す部分断面図。
【図６】図５におけるＤ−Ｄ線に沿った断面図。
【図７】本発明の第２実施例の変形例の真空容器の構成
を示す部分断面図。
を示す部分断面図。
【図８】図７におけるＥ−Ｅ線に沿った断面図。
１，２，３，４，５ 構成部材 ６ ボルト ７，８，９，１１，１２，１３，１４，１５，１６ 凸
部 １７，１８ シール溶接部 １９，２０，２１ 当て板
部 １７，１８ シール溶接部 １９，２０，２１ 当て板
Claims (6)
- 【請求項１】 複数の構成部材がボルトにより相互に締
結固定されて形成された容器において、該容器の内側の
前記複数の構成部材の当接部がシール溶接により封止さ
れたことを特徴とする真空容器。 - 【請求項２】 複数の構成部材がボルトにより相互に締
結固定されて形成された容器において、該容器の内側の
前記複数の構成部材の当接部が薄板を弾性を有する当て
板として用いて、その当て板端部がそれぞれ前記構成部
材にシール溶接により封止されたことを特徴とする真空
容器。 - 【請求項３】 複数の構成部材をボルトにより相互に締
結固定して容器を形成し、該容器の内側の前記複数の構
成部材の当接部をシール溶接により封止することを特徴
とする真空容器の製造方法。 - 【請求項４】 複数の構成部材をボルトにより相互に締
結固定して容器を形成し、該容器の内側の前記複数の構
成部材の当接部に弾性を有する薄板である当て板を当接
し、該当て板の端部をシール溶接により封止することを
特徴とする真空容器の製造方法。 - 【請求項５】 前記シール溶接は、前記構成部材に一体
的に形成された凸部に沿って行われたことを特徴とする
請求項１又は２記載の真空容器。 - 【請求項６】 前記シール溶接は、前記構成部材に一体
的に形成された凸部に沿って行われることを特徴とする
請求項３又は４記載の真空容器の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28600594A JPH0893917A (ja) | 1994-07-27 | 1994-10-26 | 真空容器及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6-194905 | 1994-07-27 | ||
| JP19490594 | 1994-07-27 | ||
| JP28600594A JPH0893917A (ja) | 1994-07-27 | 1994-10-26 | 真空容器及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0893917A true JPH0893917A (ja) | 1996-04-12 |
Family
ID=26508801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28600594A Withdrawn JPH0893917A (ja) | 1994-07-27 | 1994-10-26 | 真空容器及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0893917A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011104865A1 (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-01 | 入江工研株式会社 | 組立て式密閉チャンバ |
-
1994
- 1994-10-26 JP JP28600594A patent/JPH0893917A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011104865A1 (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-01 | 入江工研株式会社 | 組立て式密閉チャンバ |
| JP5403716B2 (ja) * | 2010-02-26 | 2014-01-29 | 入江工研株式会社 | 組立て式密閉チャンバ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0499207A (ja) | 等方圧加圧処理用カプセルの製作方法 | |
| JPH1186809A (ja) | 容器の接合方法 | |
| US5279623A (en) | Method of fabricating flat type electrochemical device | |
| JP3908838B2 (ja) | アルミニウム容器及びその製造方法 | |
| JPH0893917A (ja) | 真空容器及びその製造方法 | |
| US6566621B2 (en) | Metal-ceramic composite and vacuum switch unit using the same | |
| JPH1147956A (ja) | 金属容器の超音波接合方法 | |
| US3667107A (en) | Filler for roll-weld structures | |
| JPH01237086A (ja) | 異材接合方法 | |
| JPS5989997A (ja) | ヒ−トパイプとその製造方法 | |
| JPH0434252B2 (ja) | ||
| JPH01237085A (ja) | 異材接合方法 | |
| JPH0736928B2 (ja) | 金属箔の超塑性成形方法 | |
| JPS5946581A (ja) | 核融合装置の真空容器 | |
| JPH0711477Y2 (ja) | ガスレーザ管 | |
| JP2623650B2 (ja) | 薄肉パイプの浴接方法 | |
| JP2550667B2 (ja) | ハーメチックシール蓋の製造方法 | |
| JPS6081843A (ja) | マイクロ波筐体の製造方法 | |
| JP2790599B2 (ja) | 真空二重構造体 | |
| JPH03269923A (ja) | 真空インタラプタ | |
| CN86102233B (zh) | 提高玻璃/金属和陶瓷/金属密封的金属部件密封性之方法 | |
| JPS6346945B2 (ja) | ||
| JP3008326B2 (ja) | ポンプ架台の製作方法 | |
| JPS59158059A (ja) | Ｘ線イメ−ジ管 | |
| JPS56144885A (en) | Manufacture of composite billet for covered tube of combined cover type fuel |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040113 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20040217 |