JPH089697Y2 - 顕微鏡のオートフオーカス装置 - Google Patents
顕微鏡のオートフオーカス装置Info
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- JPH089697Y2 JPH089697Y2 JP3454189U JP3454189U JPH089697Y2 JP H089697 Y2 JPH089697 Y2 JP H089697Y2 JP 3454189 U JP3454189 U JP 3454189U JP 3454189 U JP3454189 U JP 3454189U JP H089697 Y2 JPH089697 Y2 JP H089697Y2
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
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- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
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Description
この考案は顕微鏡のオートフオーカス装置に関する。
従来、第３図に示されるように、レーザダイオード等
の光源１から光ビーム２をビームスプリツタ３及び対物
レンズ４を介して被測定物５での被測定表面5Aに、これ
と略直交する方向に投射し、該被測定表面5Aで散乱反射
された反射光を、再度対物レンズ４、ビームスプリツタ
３を経て、該ビームスプリツタ３の反射面3Aにより、直
角に反射させ、フーコープリズム６を介して、受光素子
８に入射させるようにしたオートフオーカス装置があ
る。 前記受光素子８はホトダイオード等からなる内側素子
8A及びその外側に隣接する外側素子8Bとから構成され、
これら内側素子8A及び外側素子8Bの出力は、比較器９を
経て、検出器（図示省略）に入力されるようになつてい
る。 ここで、前記内側素子8A及び外側素子8Bの出力は、前
記被測定表面5Aの、光源１からの距離に変化が生じる
と、これに対応して増減し、両者の出力の差に基づい
て、被測定表面5Aの光源１からの距離、即ち表面の変位
を測定することができる。 換言すれば、フーコープリズム６により集光された反
射光の合焦位置に内側素子8A及び外側素子8Bの境界線が
あるとき、これらの素子の出力の差が零となり、合焦点
を検出できる。
の光源１から光ビーム２をビームスプリツタ３及び対物
レンズ４を介して被測定物５での被測定表面5Aに、これ
と略直交する方向に投射し、該被測定表面5Aで散乱反射
された反射光を、再度対物レンズ４、ビームスプリツタ
３を経て、該ビームスプリツタ３の反射面3Aにより、直
角に反射させ、フーコープリズム６を介して、受光素子
８に入射させるようにしたオートフオーカス装置があ
る。 前記受光素子８はホトダイオード等からなる内側素子
8A及びその外側に隣接する外側素子8Bとから構成され、
これら内側素子8A及び外側素子8Bの出力は、比較器９を
経て、検出器（図示省略）に入力されるようになつてい
る。 ここで、前記内側素子8A及び外側素子8Bの出力は、前
記被測定表面5Aの、光源１からの距離に変化が生じる
と、これに対応して増減し、両者の出力の差に基づい
て、被測定表面5Aの光源１からの距離、即ち表面の変位
を測定することができる。 換言すれば、フーコープリズム６により集光された反
射光の合焦位置に内側素子8A及び外側素子8Bの境界線が
あるとき、これらの素子の出力の差が零となり、合焦点
を検出できる。
ところで、顕微鏡は、一般的に倍率の異なる複数の対
物レンズを備え、レボルバーを回転駆動することによつ
て、最適倍率の対物レンズを選択できるようにされてい
る。 ここで、通常の可視光用であつて、光源であるレーザ
ダイオードの出力光の波長の収差補正が行われていない
対物レンズで、オートフオーカスを行うとすると正確な
合焦動作ができないという問題点があつた。 このため、従来は、レーザ光を光源とするとき、オー
トフオーカスを行うことができる対物レンズが限定さ
れ、やむを得ない場合は、収差補正波長がレーザダイオ
ードの出力光の波長を含むように、対物レンズを新しく
設計、制作しなければならなかつた。 又、仮に対物レンズが１種類のみであれば、通常光の
場合に対して、レーザダイオードを光源に用いる場合
は、受光素子の位置をずらせばよいのであるが、前述の
如く、対物レンズは倍率の異なる複数種類用いるのが一
般的であり、受光素子の位置をずらすことによつては対
応できないという問題点がある。 この考案は上記従来の問題点に鑑みてさなたものであ
つて、受光素子の位置をずらしたりすることなく、且つ
収差の異なる複数種類の対物レンズに対応して、オート
フオーカスを行い、正確な合焦動作を行うことができる
ようにした顕微鏡のオートフオーカス装置を提供するこ
とを目的とする。
物レンズを備え、レボルバーを回転駆動することによつ
て、最適倍率の対物レンズを選択できるようにされてい
る。 ここで、通常の可視光用であつて、光源であるレーザ
ダイオードの出力光の波長の収差補正が行われていない
対物レンズで、オートフオーカスを行うとすると正確な
合焦動作ができないという問題点があつた。 このため、従来は、レーザ光を光源とするとき、オー
トフオーカスを行うことができる対物レンズが限定さ
れ、やむを得ない場合は、収差補正波長がレーザダイオ
ードの出力光の波長を含むように、対物レンズを新しく
設計、制作しなければならなかつた。 又、仮に対物レンズが１種類のみであれば、通常光の
場合に対して、レーザダイオードを光源に用いる場合
は、受光素子の位置をずらせばよいのであるが、前述の
如く、対物レンズは倍率の異なる複数種類用いるのが一
般的であり、受光素子の位置をずらすことによつては対
応できないという問題点がある。 この考案は上記従来の問題点に鑑みてさなたものであ
つて、受光素子の位置をずらしたりすることなく、且つ
収差の異なる複数種類の対物レンズに対応して、オート
フオーカスを行い、正確な合焦動作を行うことができる
ようにした顕微鏡のオートフオーカス装置を提供するこ
とを目的とする。
この考案は、光ビームを放射する光源と；被測定物の
被測定表面に対向して配置され、該被測定表面と略直交
する前記光ビームの光路上に選択的に配置され得る複数
の対物レンズと；該光ビーム光路上の対物レンズに対し
て前記被測定物の反対側に配置され、前記光ビームが前
記光路を通つて前記被測定表面に直進し、且つ、該被測
定表面で反射されて形成され、前記対物レンズを通つた
反射光を複数個所に集光させる多角錐形のフーコープリ
ズムと；このフーコープリズムの多角形面の各辺に対向
した位置に配置され、且つ、該位置は前記複数の異なる
対物レンズを介して反射光が集光される複数の光スポツ
トの位置に対応して、前記各辺毎に異なるものとされた
複数の受光素子と；これら受光素子上の前記反射光の光
スポツト位置変化に基づく出力信号の変化により、合焦
点を検出する検出器と；前記複数の対物レンズを選択す
る手段に連動され、選択された１の対物レンズに対応す
る受光素子を、前記複数の受光素子から選択して該受光
素子の出力信号を検出器に送るモード選択装置と；によ
り顕微鏡のオートフオーカス装置を構成して上記目的を
達成するものである。
被測定表面に対向して配置され、該被測定表面と略直交
する前記光ビームの光路上に選択的に配置され得る複数
の対物レンズと；該光ビーム光路上の対物レンズに対し
て前記被測定物の反対側に配置され、前記光ビームが前
記光路を通つて前記被測定表面に直進し、且つ、該被測
定表面で反射されて形成され、前記対物レンズを通つた
反射光を複数個所に集光させる多角錐形のフーコープリ
ズムと；このフーコープリズムの多角形面の各辺に対向
した位置に配置され、且つ、該位置は前記複数の異なる
対物レンズを介して反射光が集光される複数の光スポツ
トの位置に対応して、前記各辺毎に異なるものとされた
複数の受光素子と；これら受光素子上の前記反射光の光
スポツト位置変化に基づく出力信号の変化により、合焦
点を検出する検出器と；前記複数の対物レンズを選択す
る手段に連動され、選択された１の対物レンズに対応す
る受光素子を、前記複数の受光素子から選択して該受光
素子の出力信号を検出器に送るモード選択装置と；によ
り顕微鏡のオートフオーカス装置を構成して上記目的を
達成するものである。
この考案においては、複数種類の対物レンズに対応し
て、多角錐形のフーコープリズムの各辺に沿つて、各対
物レンズによつて集光される光スポツトの位置に各々受
光素子を配置して、且つ、選択された対物レンズに対応
した受光素子からの出力信号に基づき合焦位置を検出す
るようにしているので、受光素子を移動させたり、新な
対物レンズを設計したりすることなく、容易にオートフ
オーカスを行うことができる。
て、多角錐形のフーコープリズムの各辺に沿つて、各対
物レンズによつて集光される光スポツトの位置に各々受
光素子を配置して、且つ、選択された対物レンズに対応
した受光素子からの出力信号に基づき合焦位置を検出す
るようにしているので、受光素子を移動させたり、新な
対物レンズを設計したりすることなく、容易にオートフ
オーカスを行うことができる。
以下本考案の実施例を図面を参照して説明する。 この実施例は、第１図及び第２図に示されるように、
光ビーム10を放射するレーザダイオードからなる光源12
と；被測定物14の被測定表面14に対向して配置され、該
被測定表面14Aと略直交する前記光ビーム10の光軸11上
に選択的に配置され得る４本の対物レンズ16A〜16Dと；
該光ビーム10の光軸11上の対物レンズ16A、16B、16C又
は16Dに対して前記被測定物14の反対側に配置され、前
記光ビーム10が前記光路を通つて前記被測定表面14Aに
直進し、且つ、該被測定表面14Aで反射されて形成さ
れ、前記対物レンズ16A、16B、16C又は16Dを通つた反射
光を４個所に集光させる四角錐形のフーコープリズム18
と；このフーコープリズム18の四角形面の各辺に対向し
た位置に配置され、且つ、該位置は前記対物レンズ16A
〜16Dを介して反射光が集光される４個の光スポツトの
位置に対応して、前記各辺毎に異なるものとされた４個
の受光素子21〜24と；これら受光素子21〜24上の前記反
射光の光スポツト位置変化に基づく出力信号の変化によ
り合焦点を検出する検出器26と；前記４本の対物レンズ
16A〜16Dを選択する手段であるレボルバー27に連動さ
れ、選択された対物レンズ16A、16B、16C又は16Dに対応
する受光素子21、22、23、又は24を選択して、該選択さ
れた受光素子の出力信号を前記検出器22に送るモード選
択装置28と；を含んで顕微鏡のオートフオーカス装置を
構成したものである。 前記光源12は、前記光軸11に対してその射出光ビーム
10の光軸が直交するように光軸11の側方に配置されてい
る。 光源12から射出された光ビーム10と前記光軸11との交
点であつて、前記対物レンズ16（16A〜16Dの総称）とフ
ーコープリズム18との間の位置には、ハーフミラー30が
光軸11及び光源12からの光ビーム10の射出光軸の各々に
対して45°の角度をなすように配置されている。 又、光軸11上には、前記ハーフミラー30とフーコープ
リズム18との間の位置に集束レンズ32が配置されてい
る。 更に、前記ハーフミラー30と光源12との間では、光源
12からの光ビーム10の射出光軸上にコリメータレンズ34
が配置されている。 このコリメータレンズ34は、光源12から射出された光
ビーム10を、光軸11と直交する平行光線としてハーフミ
ラー30に入射させるものである。 又対物レンズ16はハーフミラー30で直角に、光軸11に
沿つて反射された平行光線である光ビーム10を被測定表
面14Aに集光させ、且つ、被測定表面14Aからの反射光線
を平行光線としてハーフミラー30を経て集束レンズ32に
到達させるものである。 この集束レンズ32は、光軸11に沿つた平行光線である
反射光を集束させ、フーコープリズム18を経て、受光素
子21〜24に合焦させるものである。 前記受光素子21〜24は、各々外側素子21A〜24Aと、内
側素子21B〜24Bの組合せから構成されている。これら
は、レーザ光が、倍率の異なる前記４本の対物レンズ16
A〜16Dにより集光され、前記フーコープリズム18を通つ
た反射光線の４個の合焦位置であつて、内側素子と外側
素子の境界線が、フーコープリズム18の四角形端面の各
辺と平行となるように配置されている。 又、これら受光素子21〜24の感度は、内側素子と外側
素子の境界線上に反射光が合焦しているとき、外側素子
の出力と内側素子の出力が等しくなるようにされてい
る。 前記検出器26は、受光素子21〜24における外側素子21
A〜24Aのいずれかの出力A1、A2、A3又はA4を増幅するバ
ツフアアンプ36と、対応するいずれかの内側素子21B〜2
4Bの出力B1、B2、B3又はB4を増幅するバツフアアンプ38
と、外側素子の出力Aiと内側素子の出力Biの差（Ai−B
i）をバツフアアンプ36を介して算出する減算器40と、
バツフアアンプ38を介して出力の和（Ai＋Bi）を算出す
る加算器42と、これら減算器40及び加算器42の出力信号
を各々分子及び分母として商を演算する割算器44と、を
含んで構成されている。 第２図の符号46は割算器44からの出力を表示する合焦
表示手段を示す。 前記モード選択装置28は、外側素子21A〜24Aから前記
バツフアアンプ36に至る信号線上に配置された切換スイ
ツチ51A〜54Aと、内側素子21B〜24Bから前記バツフアア
ンプ38に至る信号線上に配置された切換スイツチ51B〜5
4Bと、これらの切換スイツチ51A〜54A及び51B〜54Bを、
51Aと51Bをオン、他のオフとする第１モード、52A、52B
をオンとし他のオフとする第２モード、53A、53Bをオン
とし、他をオフとする第３モード、及び、54A、54Bをオ
ンとし他をオフとする第４モードのいずれかを選択すべ
くこれら切換スイツチ51A〜54A及び51B〜54Bを制御する
モード選択器52と、から構成されている。 このモード選択器52は、前記対物レンズ16A〜16Dを回
転駆動し、その１つを選択するためのレボルバー27か
ら、選択された対物レンズの信号を受けて、対物レンズ
16A、16B、16C又は16Dに対応して、第１モード、第２モ
ード、第３モード又は第４モードを選択するようにされ
ている。 次に上記実施例装置の作用を説明する。 光源12から光ビーム10を射出して、ハーフミラー30で
光軸11に沿つて反射させ、これを対物レンズ16を介し
て、被測定物14の被測定表面14Aに照射する。被測定表
面14Aからの反射光は、再び対物レンズ16を通つて、更
にハーフミラー30、集束レンズ32及びフーコープリズム
18を通つて、受光素子21〜24に合焦する。 減算器40の出力信号（Ai−Bi）は、合焦位置において
零となる。 従つて、対物レンズ16を光軸11に沿つて移動させ、受
光素子21〜24における外側素子21A〜24Aのいずれかの出
力と対応する内側素子21B〜24Bのいずれかの出力の差Ai
−Bi＝０となるようにすれば、ΔＳ＝０となり合焦点を
検出できる。 即ち検出器26における減算器40の出力信号が零となる
ようにすればよい。 ここで、割算器44において、前記減算器40の出力信号
ΔＳを、加算器42の出力信号で割算しているのは、受光
素子21〜24の各々の全受光量でΔＳを割算すると、被測
定表面14Aの反射率の違いの影響を低減でき、安定した
分解能が得られるからである。 光源12がレーザダイオードのとき、その射出光はコヒ
ーレント光となるので、対物レンズに、該レーザ光の波
長の収差補正が行われていない場合は、通常光に対して
合焦点がずれることになる。 この実施例において、例えば対物レンズ16Bがレーザ
光に対して収差補正が不要であるとすると、他の３本の
対物レンズ16A、16C及び16Dは収差補正が必要となる。 これに対しては、第２図に示されるように、前述の如
く、受光素子21、23、24をそれぞれレーザ光による合焦
点位置に、通常光に対してずらして配置しておけばよ
い。従つて、通常光の場合は、モード選択器52により第
２モードを選択しておき、又、レーザ光を用いる場合
は、対物レンズ16A〜16Dに対応して第１モード〜第４モ
ードを選択するようにする。 なお上記実施例は、四角錐形状のフーコープリズム18
を利用したものであるが、本考案はこれに限定されるも
のでなく、対物レンズの数に応じて多角錐形状のフーコ
ープリズムを用いるものであればよい。 従つて、例えば三角錐形状、あるいは五角錐形状であ
つてもよい。 又、上記実施例は、光源12からの光ビーム10は、比較
的広い面状の照射光線となつて対物レンズ16を介して被
測定表面14Aに照射されるものであるが、これは、例え
ば光源12からのレーザビームを、音叉などによつて、第
１図の上下方向に振つて、走査するように照射してもよ
い。 このようにすると、被測定表面14Aの表面形状の影響
を軽減させることができる。
光ビーム10を放射するレーザダイオードからなる光源12
と；被測定物14の被測定表面14に対向して配置され、該
被測定表面14Aと略直交する前記光ビーム10の光軸11上
に選択的に配置され得る４本の対物レンズ16A〜16Dと；
該光ビーム10の光軸11上の対物レンズ16A、16B、16C又
は16Dに対して前記被測定物14の反対側に配置され、前
記光ビーム10が前記光路を通つて前記被測定表面14Aに
直進し、且つ、該被測定表面14Aで反射されて形成さ
れ、前記対物レンズ16A、16B、16C又は16Dを通つた反射
光を４個所に集光させる四角錐形のフーコープリズム18
と；このフーコープリズム18の四角形面の各辺に対向し
た位置に配置され、且つ、該位置は前記対物レンズ16A
〜16Dを介して反射光が集光される４個の光スポツトの
位置に対応して、前記各辺毎に異なるものとされた４個
の受光素子21〜24と；これら受光素子21〜24上の前記反
射光の光スポツト位置変化に基づく出力信号の変化によ
り合焦点を検出する検出器26と；前記４本の対物レンズ
16A〜16Dを選択する手段であるレボルバー27に連動さ
れ、選択された対物レンズ16A、16B、16C又は16Dに対応
する受光素子21、22、23、又は24を選択して、該選択さ
れた受光素子の出力信号を前記検出器22に送るモード選
択装置28と；を含んで顕微鏡のオートフオーカス装置を
構成したものである。 前記光源12は、前記光軸11に対してその射出光ビーム
10の光軸が直交するように光軸11の側方に配置されてい
る。 光源12から射出された光ビーム10と前記光軸11との交
点であつて、前記対物レンズ16（16A〜16Dの総称）とフ
ーコープリズム18との間の位置には、ハーフミラー30が
光軸11及び光源12からの光ビーム10の射出光軸の各々に
対して45°の角度をなすように配置されている。 又、光軸11上には、前記ハーフミラー30とフーコープ
リズム18との間の位置に集束レンズ32が配置されてい
る。 更に、前記ハーフミラー30と光源12との間では、光源
12からの光ビーム10の射出光軸上にコリメータレンズ34
が配置されている。 このコリメータレンズ34は、光源12から射出された光
ビーム10を、光軸11と直交する平行光線としてハーフミ
ラー30に入射させるものである。 又対物レンズ16はハーフミラー30で直角に、光軸11に
沿つて反射された平行光線である光ビーム10を被測定表
面14Aに集光させ、且つ、被測定表面14Aからの反射光線
を平行光線としてハーフミラー30を経て集束レンズ32に
到達させるものである。 この集束レンズ32は、光軸11に沿つた平行光線である
反射光を集束させ、フーコープリズム18を経て、受光素
子21〜24に合焦させるものである。 前記受光素子21〜24は、各々外側素子21A〜24Aと、内
側素子21B〜24Bの組合せから構成されている。これら
は、レーザ光が、倍率の異なる前記４本の対物レンズ16
A〜16Dにより集光され、前記フーコープリズム18を通つ
た反射光線の４個の合焦位置であつて、内側素子と外側
素子の境界線が、フーコープリズム18の四角形端面の各
辺と平行となるように配置されている。 又、これら受光素子21〜24の感度は、内側素子と外側
素子の境界線上に反射光が合焦しているとき、外側素子
の出力と内側素子の出力が等しくなるようにされてい
る。 前記検出器26は、受光素子21〜24における外側素子21
A〜24Aのいずれかの出力A1、A2、A3又はA4を増幅するバ
ツフアアンプ36と、対応するいずれかの内側素子21B〜2
4Bの出力B1、B2、B3又はB4を増幅するバツフアアンプ38
と、外側素子の出力Aiと内側素子の出力Biの差（Ai−B
i）をバツフアアンプ36を介して算出する減算器40と、
バツフアアンプ38を介して出力の和（Ai＋Bi）を算出す
る加算器42と、これら減算器40及び加算器42の出力信号
を各々分子及び分母として商を演算する割算器44と、を
含んで構成されている。 第２図の符号46は割算器44からの出力を表示する合焦
表示手段を示す。 前記モード選択装置28は、外側素子21A〜24Aから前記
バツフアアンプ36に至る信号線上に配置された切換スイ
ツチ51A〜54Aと、内側素子21B〜24Bから前記バツフアア
ンプ38に至る信号線上に配置された切換スイツチ51B〜5
4Bと、これらの切換スイツチ51A〜54A及び51B〜54Bを、
51Aと51Bをオン、他のオフとする第１モード、52A、52B
をオンとし他のオフとする第２モード、53A、53Bをオン
とし、他をオフとする第３モード、及び、54A、54Bをオ
ンとし他をオフとする第４モードのいずれかを選択すべ
くこれら切換スイツチ51A〜54A及び51B〜54Bを制御する
モード選択器52と、から構成されている。 このモード選択器52は、前記対物レンズ16A〜16Dを回
転駆動し、その１つを選択するためのレボルバー27か
ら、選択された対物レンズの信号を受けて、対物レンズ
16A、16B、16C又は16Dに対応して、第１モード、第２モ
ード、第３モード又は第４モードを選択するようにされ
ている。 次に上記実施例装置の作用を説明する。 光源12から光ビーム10を射出して、ハーフミラー30で
光軸11に沿つて反射させ、これを対物レンズ16を介し
て、被測定物14の被測定表面14Aに照射する。被測定表
面14Aからの反射光は、再び対物レンズ16を通つて、更
にハーフミラー30、集束レンズ32及びフーコープリズム
18を通つて、受光素子21〜24に合焦する。 減算器40の出力信号（Ai−Bi）は、合焦位置において
零となる。 従つて、対物レンズ16を光軸11に沿つて移動させ、受
光素子21〜24における外側素子21A〜24Aのいずれかの出
力と対応する内側素子21B〜24Bのいずれかの出力の差Ai
−Bi＝０となるようにすれば、ΔＳ＝０となり合焦点を
検出できる。 即ち検出器26における減算器40の出力信号が零となる
ようにすればよい。 ここで、割算器44において、前記減算器40の出力信号
ΔＳを、加算器42の出力信号で割算しているのは、受光
素子21〜24の各々の全受光量でΔＳを割算すると、被測
定表面14Aの反射率の違いの影響を低減でき、安定した
分解能が得られるからである。 光源12がレーザダイオードのとき、その射出光はコヒ
ーレント光となるので、対物レンズに、該レーザ光の波
長の収差補正が行われていない場合は、通常光に対して
合焦点がずれることになる。 この実施例において、例えば対物レンズ16Bがレーザ
光に対して収差補正が不要であるとすると、他の３本の
対物レンズ16A、16C及び16Dは収差補正が必要となる。 これに対しては、第２図に示されるように、前述の如
く、受光素子21、23、24をそれぞれレーザ光による合焦
点位置に、通常光に対してずらして配置しておけばよ
い。従つて、通常光の場合は、モード選択器52により第
２モードを選択しておき、又、レーザ光を用いる場合
は、対物レンズ16A〜16Dに対応して第１モード〜第４モ
ードを選択するようにする。 なお上記実施例は、四角錐形状のフーコープリズム18
を利用したものであるが、本考案はこれに限定されるも
のでなく、対物レンズの数に応じて多角錐形状のフーコ
ープリズムを用いるものであればよい。 従つて、例えば三角錐形状、あるいは五角錐形状であ
つてもよい。 又、上記実施例は、光源12からの光ビーム10は、比較
的広い面状の照射光線となつて対物レンズ16を介して被
測定表面14Aに照射されるものであるが、これは、例え
ば光源12からのレーザビームを、音叉などによつて、第
１図の上下方向に振つて、走査するように照射してもよ
い。 このようにすると、被測定表面14Aの表面形状の影響
を軽減させることができる。
本考案は上記のように構成したので、レーザ光等のた
めの収差補正をした対物レンズを用いることなく、又、
受光素子を移動させたりすることなく、光源光の波長に
対応して合焦動作を確実に行なうことができるという優
れた効果を有する。
めの収差補正をした対物レンズを用いることなく、又、
受光素子を移動させたりすることなく、光源光の波長に
対応して合焦動作を確実に行なうことができるという優
れた効果を有する。
第１図は本考案に係る顕微鏡のオートフオーカス装置の
実施例を示す断面図、第２図は同実施例におけるフーコ
ープリズム、受光素子及び検出器を示す一部回路図を含
む平面図、第３図は従来のオートフオーカス装置を示す
断面図である。 10…光ビーム、12…光源、14…被測定物、14A…被測定
表面、16A〜16D…対物レンズ、18…フーコープリズム、
21〜24…受光素子、26…検出器、27…レボルバー、28…
モード選択装置。
実施例を示す断面図、第２図は同実施例におけるフーコ
ープリズム、受光素子及び検出器を示す一部回路図を含
む平面図、第３図は従来のオートフオーカス装置を示す
断面図である。 10…光ビーム、12…光源、14…被測定物、14A…被測定
表面、16A〜16D…対物レンズ、18…フーコープリズム、
21〜24…受光素子、26…検出器、27…レボルバー、28…
モード選択装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭54−39101（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−138310（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−283427（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−223613（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−270719（ＪＰ，Ａ) 実開 昭58−141434（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】光ビームを放射する光源と；被測定物の被
測定表面に対向して配置され、該被測定表面と略直交す
る前記光ビームの光路上に選択的に配置され得る複数の
対物レンズと；該光ビーム光路上の対物レンズに対して
前記被測定物の反対側に配置され、前記光ビームが前記
光路を通つて前記被測定表面に直進し、且つ、該被測定
表面で反射されて形成され、前記対物レンズを通つた反
射光を複数個所に集光させる多角錐形のフーコープリズ
ムと；このフーコープリズムの多角形面の各辺に対向し
た位置に配置され、且つ、該位置は前記複数の異なる対
物レンズを介して反射光が集光される複数の光スポツト
の位置に対応して、前記各辺毎に異なるものとされた複
数の受光素子と；これら受光素子上の前記反射光の光ス
ポツト位置変化に基づく出力信号の変化により、合焦点
を検出する検出器と；前記複数の対物レンズを選択する
手段に連動され、選択された１の対物レンズに対応する
受光素子を、前記複数の受光素子から選択して該受光素
子の出力信号を検出器に送るモード選択装置と；を有し
てなる顕微鏡のオートフオーカス装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3454189U JPH089697Y2 (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | 顕微鏡のオートフオーカス装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3454189U JPH089697Y2 (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | 顕微鏡のオートフオーカス装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02126111U JPH02126111U (ja) | 1990-10-17 |
| JPH089697Y2 true JPH089697Y2 (ja) | 1996-03-21 |
Family
ID=31539102
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3454189U Expired - Fee Related JPH089697Y2 (ja) | 1989-03-27 | 1989-03-27 | 顕微鏡のオートフオーカス装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH089697Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-03-27 JP JP3454189U patent/JPH089697Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02126111U (ja) | 1990-10-17 |
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|---|---|---|---|
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