JPH09104979A

JPH09104979A - 扁平な基板を把持しかつ保持するための装置

Info

Publication number: JPH09104979A
Application number: JP8208466A
Authority: JP
Inventors: Jaroslav Zejda; ツァイダヤロスラフ; Stefan Kempf; ケムプフシュテファン
Original assignee: Leybold AG; Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1995-08-11
Filing date: 1996-08-07
Publication date: 1997-04-22
Also published as: US5803521A; EP0761839A1; DE19529537A1; EP0761839B1; DE59605637D1

Abstract

(57)【要約】【課題】基板を真空室の内部及び外部で、特に迅速か
つ確実に把持しかつ保持することができ、しかも特に低
コストで製造可能であるような装置を提供する。【解決手段】グリッパ１２，１３，１４が、ケーシン
グ４の頭部５に設けられた開口部又は貫通孔１７，１
８，１９で保持されて案内されており、前記グリッパの
旋回運動が、ケーシング４，５の長手方向軸線Ｌに対し
て横方向の軸線を中心に行われるようになっており、全
てのグリッパの旋回軸線ａ，ｂ，ｃが１つの平面ｅに延
びていて、これらの旋回軸線が一緒になって、前記長手
方向軸線を取り囲む等辺多角形を形成しており、前記グ
リッパの、ピストン７に面した端部が、弾性的な材料か
ら成るリング又はガータスプリング１５によって一緒に
取り囲まれており、前記ガータスプリングにより、前記
グリッパが、旋回運動を制限するストッパ面４ｂに引き
付けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、コンパクトディス
クのような扁平な、中央開口部を備えた円環ディスク状
の基板を把持しかつ保持するための装置であって、ケー
シング内に旋回可能に支承されたフィンガ状の複数のグ
リッパと、ケーシング内に移動可能に支承されたプラン
ジャ又はピストンとから成っており、該プランジャ又は
ピストンが、前記グリッパに作用する頭部を備えている
形式のものに関する。

【０００２】

【従来の技術】真空プロセス技術、特に薄膜形成技術に
おいては、円板状の基板、例えば、磁気データ担体又は
磁気光学データ担体のためのガラスディスク又はアルミ
ニウムディスクの被覆が知られている。この円板状の基
板は、デジタル情報のためのメモリ媒体として多種多様
に使用される。スパッタリングプロセスでは例えば、圧
刻加工されたプラスチックディスクがアルミニウム層で
被覆される。このために使用されるスパッタリング被覆
装置には、通常、真空室中及び真空室の前後で基板を搬
送するための自動化されたハンドリング装置が設けられ
ている。

【０００３】緩衝器からは、例えばハンドリングシステ
ムの旋回アームが、基板を真空室内に搬送する。この真
空室で基板はターンテーブル上に載設されて、このター
ンテーブルによって真空室の個々のステーションを通っ
て運動させられる。ターンテーブルに対する基板の装入
・取り出しのために、先行技術では、基板を把持しかつ
保持するための多数の装置が公知である。

【０００４】これまで真空室ではたいてい、真空スライ
ド貫通案内部によって真空室の外側から操作されるよう
なグリッパが使用されている。

【０００５】この公知の装置の欠点は、この装置で使用
される、運動させられる構成部分の数がたいてい多過ぎ
ており、かつスライド貫通案内部におけるスライド運動
により望ましくない粒子が生ぜしめられてしまうことに
ある。これらの粒子はあとで被覆室に侵入し、被覆結果
に不都合な影響を与える。更に、このようなスライド貫
通案内部では通常、特定の運転時間後にシール部材の摩
耗が認められる。この摩耗の結果、真空室の漏れが常に
発生し、ひいては時間及びコストのかかる修理が必要と
なる。

【０００６】扁平な、有利には板状の基板を把持しかつ
保持するための装置が既に提案されている（Ｇ９３０７
２６３．５）。この装置は主として、複数のグリッパと
弾性材料から成る１つのダイヤフラムから成っている。
このダイヤフラムは耐圧性のケーシングに配置された開
口部を閉鎖する。この場合、ダイヤフラムの表側と裏側
とでは互いに異なる圧力が調節可能である。ダイヤフラ
ムは、圧力差がある場合は休止位置から変位され、圧力
が均一な場合は、圧縮ばねによって再び休止位置に戻さ
れるように配置されている。この場合グリッパのそれぞ
れ一方の端部は、グリッパの他方の自由端部が、基板の
把持及び保持若しくは基板の解放のために、ダイヤフラ
ムの変位に比例して旋回運動を行うように、機械的にダ
イヤフラムに結合されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、冒頭
で述べた形式の装置を改良して、公知の装置の欠点が回
避されて、基板を真空室の内部及び外部で、特に迅速か
つ確実に把持しかつ保持することができ、しかも特に低
コストで製造可能であるような装置を提供することであ
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の構成では、グリッパが、ケーシングの頭部に
設けられた開口部又は貫通孔で保持されて案内されてお
り、前記グリッパの旋回運動が、ケーシングの長手方向
軸線に対して横方向の軸線を中心に行われるようになっ
ており、全てのグリッパの旋回軸線が１つの平面に延び
ていて、これらの旋回軸線が一緒になって、前記長手方
向軸線を取り囲む等辺多角形を形成しており、前記グリ
ッパの、ピストンに面した端部が、弾性的な材料から成
るリング又はガータスプリングによって一緒に取り囲ま
れており、前記ガータスプリングにより、前記グリッパ
が、旋回運動を制限するストッパ面に引き付けられてい
るようにした。

【０００９】

【発明の効果】本発明による装置により、基板は、真空
室の内部及び外部で把持しかつ保持されるので有利であ
る。この場合、この運動はほぼ摩耗なしに行われる。さ
らに本発明によれば、極めて高度な迅速性と作動確実性
とが可能となる。

【００１０】

【発明の実施の形態】次に図面につき本発明の実施の形
態を詳しく説明する。

【００１１】基板３を把持しかつ保持するための装置
は、主として、頭部５を有する円筒状のケーシング４
と、このケーシング４に設けられた袋孔６内に長手方向
移動可能に支承された、きのこ状の押圧部分８を備えた
ピストン７と、袋孔６を上方に対して閉鎖する、押圧媒
体接続孔１０を備えたカバー９と、このカバー９を位置
固定するスナップリング１１と、フィンガ状に形成され
た３つのグリッパ１２，１３，１４と、これら３つのグ
リッパ１２，１３，１４全てに巻き掛かる弾性的なリン
グ又はベルト又はガータスプリング１５と、それぞれ１
つのグリッパ１２，１３，１４を取り囲む３つの支承リ
ング１６とから成っている。

【００１２】図示のように、３つのグリッパ１２，１
３，１４は縦穴状の貫通孔１７，１８，１９内にそれぞ
れ配置されている。これらの貫通孔１７，１８，１９
は、ケーシング４の底部分４ａに設けられた３つの同様
の開口部と、頭部５の底部分５ａに設けられた３つの同
様の切欠とから形成されていて、３つのグリッパ１２，
１３，１４をそれぞれ、図示のような鉛直な位置から、
幾分傾けられた位置（一点鎖線で示す）に、約１０゜の
角度αだけそれぞれ旋回させることができるように加工
成形されている。各グリッパ１２，１３，１４は、一方
ではグリッパに設けられた環状溝内に、他方ではケーシ
ング４，５に設けられた環状溝内に保持された支承リン
グ１６を介して、ケーシング４の長手方向軸線Ｌに対し
て横方向の軸線ａ；ｂ；ｃを中心として旋回させられ
る。

【００１３】各グリッパ１２，１３，１４の上端部に
は、それぞれ各１つの環状溝２０，２１，２２が設けら
れている。これらの環状溝２０，２１，２２にはそれぞ
れ弾性的なベルト又はガータスプリング１５が係合して
いて、この弾性的なベルト又はガータスプリング１５に
よりグリッパ１２，１３，１４は底部分４ａに設けられ
たストッパに引き付けられる。このために底部分４ａ
は、中央に円筒状の受け台又は突部４ｂを有している。

【００１４】室２３に圧力媒体接続孔１０を介して圧力
媒体が供給されると、ピストン７は下方に向かって運動
する。この場合、きのこ状の頭部８ａはグリッパ１２，
１３，１４の上端部若しくは頭部に当接し、これらのグ
リッパ１２，１３，１４の上端部若しくは頭部を半径方
向外側に向かって拡開させるか、若しくは旋回させる。
これにより、グリッパの下端部は半径方向内側に向かっ
て、グリッパ若しくはこのグリッパの下端部に設けられ
た環状の切欠２４，２５が、基板３の中央開口部２６か
ら解放されるまで旋回するので、基板３は下方に落下す
る。室２３内の圧力が減圧されると直ちに、ピストン７
のきのこ状の頭部８ａは、圧縮ばね２７のばね力を受け
て、再び上方に向かって運動し、グリッパ１２，１３，
１４は、出発位置、つまりグリッパ長手方向軸線が互い
に平行かつケーシングの長手方向軸線Ｌに対して平行に
位置するような出発位置に再び旋回する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による装置の一部を下方から見た図であ
る。

【図２】本発明による装置の断面図である。

【符号の説明】

３基板、４ケーシング、４ａ底部分、４ｂ
突部、５頭部、５ａ底部分、６袋孔、７
ピストン、８押圧部分、８ａ頭部、９カ
バー、１０押圧媒体接続孔、１１スナップリン
グ、１２，１３，１４グリッパ、１５ガータス
プリング、１６支承リング、１７，１８，１９
貫通孔、２０，２１環状溝、２３押圧室、２
４，２５切欠、２６中央開口部、２７圧縮ば
ね、２８環状溝

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者ヤロスラフツァイダドイツ連邦共和国ローデンバッハアロイス−ルッペル−シュトラーセ４アー (72)発明者シュテファンケムプフドイツ連邦共和国アルツェナウザヴィクニシュトラーセ３

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】コンパクトディスクのような扁平な、中
央開口部（２６）を備えた円環ディスク状の基板（３）
を把持しかつ保持するための装置であって、ケーシング
（４，５）内に旋回可能に支承されたフィンガ状の複数
のグリッパ（１２，１３，１４）と、ケーシング（４）
内に移動可能に支承されたプランジャ又はピストン
（７）とから成っており、該プランジャ又はピストン
（７）が、前記グリッパ（１２，１３，１４）に作用す
る頭部（８ａ）を備えている形式のものにおいて、前記グリッパ（１２，１３，１４）が、ケーシング
（４）の頭部（５）に設けられた開口部又は貫通孔（１
７，１８，１９）で保持されて案内されており、前記グ
リッパの旋回運動が、ケーシング（４，５）の長手方向
軸線（Ｌ）に対して横方向の軸線を中心に行われるよう
になっており、全てのグリッパの旋回軸線（ａ，ｂ，
ｃ）が１つの平面（ｅ）に延びていて、これらの旋回軸
線（ａ，ｂ，ｃ）が一緒になって、前記長手方向軸線
（Ｌ）を取り囲む等辺多角形を形成しており、前記グリ
ッパ（１２，１３，１４）の、ピストン（７）に面した
端部が、弾性的な材料から成るリング又はガータスプリ
ング（１５）によって一緒に取り囲まれており、前記ガ
ータスプリング（１５）により、前記グリッパ（１２，
１３，１４）が、旋回運動を制限するストッパ面（４
ｂ）に引き付けられていることを特徴とする、扁平な基
板を把持しかつ保持するための装置。
【請求項２】前記グリッパ（１２，１３，１４）に、
旋回軸線（ａ，ｂ，ｃ）の平面（ｅ）の領域でそれぞれ
１つの環状溝（２８）が設けられていて、該環状溝（２
８）がそれぞれ旋回軸線領域で、弾性的な材料から成る
リング（１６）と協動し、該リング（１６）がそれぞれ
ケーシング（４，５）に設けられた環状溝に保持されて
いて、前記グリッパ（１２，１３，１４）が、前記リン
グ（１６）の変形下に約１０゜の角度（α）だけ、旋回
運動可能である、請求項１記載の装置。
【請求項３】前記グリッパ（１２，１３，１４）を保
持しかつ案内するための、ケーシング（４，５）に設け
られた開口部又は貫通孔（１７，１８，１９）が、楕円
形の長孔として形成されていて、該長孔の長軸（ｆ，
ｇ，ｈ）がケーシングの長手方向軸線（Ｌ）に交差して
おり、しかも、互いに隣接する長孔の長軸（ｆ，ｇ，
ｈ）がそれぞれ互いに等しい角度（β）を成している、
請求項１記載の装置。
【請求項４】前記ピストン（７）がばね（２７）によ
って負荷されていて、前記ピストンが圧力負荷軽減され
た状態で前記ばね（２７）により、前記ピストン（７）
が出発位置、つまり、押圧部分（８）が前記グリッパ
（１２，１３，１４）の上端部に接触しないような出発
位置に向かって運動させられる、請求項１から３までの
いずれか１項記載の装置。
【請求項５】ケーシングに、半径方向に延びる複数の
袋孔が設けられていて、該袋孔の長手方向軸線が、前記
グリッパの長手方向軸線に交差しており、前記袋孔内に
それぞれ押圧部分が移動可能に支承されていて、該押圧
部分の、各袋孔から突出した頭部がそれぞれ１つのグリ
ッパに接触しており、前記押圧部分の他方の端部が、ば
ねによって負荷されていて、ケーシング内に旋回可能に
保持されて案内されたグリッパが、その鉛直位置に向か
って運動させられるようにばねの作用方向が設定されて
いる、請求項１から４までのいずれか１項記載の装置。