JPH0911004A - 硬質層被覆切削工具 - Google Patents
硬質層被覆切削工具Info
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Abstract
続切削に対して優れた切削性能を示す硬質層被覆切削工
具を提供する。 【構成】 WC基超硬合金基体またはTiCN基サーメ
ット製チップ基体の表面に、TiC、TiCN、TiN
の内の1種の単層または2種以上の複層を介して、(T
i1-x Six )(C1-y Ny )z [ただし、0.01≦x≦
0.45、0.01≦y≦1.0 、0.5 ≦z≦1.34]からなる組成
のTiとSiの複合炭窒化物硬質層および/または複合
窒化物硬質層を被覆し、さらに必要に応じた前記Tiと
Siの複合炭窒化物硬質層および/または複合窒化物硬
質層の上にTiN層を被覆した硬質層被覆切削工具。
Description
/minを越える高速連続切削に対して優れた切削性能
を示す硬質層被覆切削工具に関するものである。
合金からなる基体(以下、WC基超硬合金基体という)
またはTiCNを主成分とするサーメットからなる基体
(以下、TiCN基サーメット基体という)の表面に、
(Ti0.5 Si0.5 )Cの硬質層を被覆してなる硬質層
被覆切削工具は知られている(特開平1−306550
号公報参照)。
(Ti0.5 Si0.5 )C硬質層を被覆した硬質層被覆切
削工具は、高速連続切削に用いた場合には耐摩耗性が十
分でなく、したがって、満足のいく使用寿命が得られて
いない。
述のような課題を解決し、高速連続切削に用いた場合に
も一層の長寿命を示す硬質層被覆切削工具を得るべく研
究を行った結果、(a)WC基超硬合金基体またはTi
CN基サーメット基体の表面に、TiC、TiCN、T
iNの内の1種の単層または2種以上の複層を介して、
(Ti1-x Six )(C1-y Ny )z [ただし、0.01≦
x≦0.45、0.01≦y≦1.0 、0.5≦z≦1.34]からなる
組成のTiとSiの複合炭窒化物硬質層および/または
複合窒化物硬質層を被覆した硬質層被覆切削工具は、高
速連続切削に用いた場合に従来よりも一層耐摩耗性に優
れかつ使用寿命が長くなる、(b)前記(a)の硬質層
被覆切削工具の(Ti1-x Six )(C1-y Ny )
z [ただし、0.01≦x≦0.45、0.01≦y≦1.0 、0.5 ≦
z≦1.34]からなる組成のTiとSiの複合炭窒化物硬
質層および/または複合窒化物硬質層の上に、さらにT
iN層を被覆しても良い、などの知見を得たのである。
れたものであって、(1)WC基超硬合金基体またはT
iCN基サーメット基体の表面に、TiC、TiCN、
TiNの内の1種の単層または2種以上の複層を介し
て、(Ti1-x Six )(C1-y Ny )z [ただし、0.
01≦x≦0.45、0.01≦y≦1.0 、0.5≦z≦1.34]から
なる組成のTiとSiの複合炭窒化物硬質層および/ま
たは複合窒化物硬質層を被覆した硬質層被覆切削工具、
(2)前記(1)のTiC、TiCN、TiNの内の1
種の単層または2種以上の複層の厚さは0.1〜3.0
μmの範囲内にあり、かつ前記(Ti1-x Six )(C
1-y Ny )z [ただし、0.01≦x≦0.45、0.01≦y≦1.
0 、0.5 ≦z≦1.34]からなる組成のTiとSiの複合
炭窒化物硬質層および/または複合窒化物硬質層の膜厚
は1〜10μmの範囲内にある硬質層被覆切削工具、
(3)前記(1)または(2)の硬質層被覆切削工具の
(Ti1-x Six )(C1-y Ny )z [ただし、0.01≦
x≦0.45、0.01≦y≦1.0 、0.5 ≦z≦1.34]からなる
組成のTiとSiの複合炭窒化物硬質層および/または
複合窒化物硬質層の上に、さらに厚さ:0.1〜1.0
μmのTiN層を被覆した硬質層被覆切削工具、に特徴
を有するものである。
たのは、x<0.01、x>0.45であると所望の耐
摩耗性が得られないからであり、y<0.01であると
所望の耐欠損性が得られないからであり、さらにz<
0.5であると所望の耐摩耗性が得られず、z>1.3
4であると所望の耐欠損性が低下するとともに剥離が起
こりやすくなるからである。
におけるx、y、zの一層好ましい範囲は、0.01≦x≦
0.30、0.3 ≦y≦0.7 、0.9 ≦z≦1.1 である。したが
って、WC基超硬合金基体またはTiCN基サーメット
基体の表面に形成される一層好ましい硬質層は、Tiと
Siの複合炭窒化物硬質層である。また、この発明の硬
質層被覆切削工具のTiとSiの複合炭窒化物硬質層お
よび/または複合窒化物硬質層の膜厚は1〜10μmの
範囲内にあることが好ましく、基体表面に形成されるT
iC、TiCN、TiNの内の1種の単層または2種以
上の複層の厚さは0.1〜3.0μmの範囲内にあるこ
とが好ましく、さらに最外層のTiN層の厚さは0.1
〜1.0μmの範囲内にあることが好ましい。しかし、
基体表面に形成される硬質層全体の厚さは1.5〜1
2.0μmの範囲内に抑えなければならない。
質層は、通常のアーク放電式イオンプレーティング法、
マグネトロンスパッタリング法などにより成形すること
ができる。
アーク放電式イオンプレーティング法により形成するに
は、真空装置内のTiターゲット上にアーク放電を発生
させ、Tiを蒸発イオン化させると同時に非金属ガス
(窒素ガスおよび炭化水素ガス)を装置内に導入し、負
の基板電圧をかけた切削工具基板上に下層のTiC、T
iCN、TiNの内の1種の単層または2種以上の複層
を形成する。
にアーク放電を発生させ、TiとSiを蒸発イオン化さ
せると同時に非金属ガス(窒素ガスおよび炭化水素ガ
ス)を装置内に導入し、負の基板電圧をかけてさらに
(Ti1-x Six )(C1-y Ny)z [ただし、0.01≦
x≦0.45、0.01≦y≦1.0 、0.5 ≦z≦1.34]からなる
硬質層を形成する。この場合、TiとSiの比率はター
ゲットのTi/Si比率を、またメタル/ガス成分の比
率はメタル蒸発量/ガス導入量を調節したり、基板電圧
を変化させることにより制御する。また最外層のTiN
層は、必要に応じて前記下層のTiN層と同様にして形
成することができる。
マグネトロンスパッタリング法により形成するには、複
数の偶数個の蒸発源機構を持つマグネトロンスパッタリ
ング装置内にTiターゲット2枚と、TiとSiの混合
物のターゲット複数枚をそれぞれ試料を挾んで対向させ
る。つぎに非金属ガス(窒素ガスおよび炭化水素ガス)
を装置内に導入し、対向ターゲット間にグロー放電をさ
せると同時にTiをスパッタリングイオン化させること
により負の基板電圧をかけた切削工具基板上に下層のT
iC、TiCN、TiNの内の1種の単層または2種以
上の複層を形成する。
化させることにより負の基板電圧をかけた切削工具基板
上に(Ti1-x Six )(C1-y Ny )z [ただし、0.
01≦x≦0.45、0.01≦y≦1.0 、0.5 ≦z≦1.34]から
なる硬質層を形成する。TiとSiの比率はターゲット
のTi/Si比率を、またメタル/ガス成分の比率はメ
タル蒸発量/ガス導入量を調節したり、基板電圧を変化
させることにより制御する。また最外層のTiN層は、
必要に応じて前記下層のTiN層と同様にして形成する
ことができる。
8の形状を有するWC基超硬合金製チップ、TiCN−
12%WC−8%Co−8%MoC−7%Ni−5%T
aCの組成を有しISO規格SNGA120408の形
状を有するTiCN基サーメット製チップ、Tiターゲ
ットおよび表1〜表2に示される比率のTiとSiの混
合物ターゲットを用意した。
N基サーメット製チップとTiターゲットおよび表1〜
表2に示される比率のTiとSiの混合物ターゲットを
通常のイオンプレーティング装置内に装着し、かかる状
態で前記イオンプレーティング装置内を排気して1×1
0-5Torrの真空に保持し、昇温速度:6℃/mi
n.で700℃に昇温させ、つづいて、この温度に保持
しながら、5×10-2TorrのArガス雰囲気に保持
してイオンクリーニングした。
発生させてTiを加熱蒸発させイオン化させ、同時に窒
素ガスおよび/またはアセチレンガスを装置内に導入
し、任意の負の基板電圧をかける通常の方法によりWC
基超硬合金製チップおよびTiCN基サーメット製チッ
プ基体表面に表3〜表6に示されるTiC、TiCN、
TiNの内の1種の単層または2種以上の複層からなる
膜厚の下層を形成した。
iの混合物ターゲット上にアーク放電を発生させてTi
とSiを加熱蒸発させイオン化させるとともに、供給口
より表1〜表2に示される比率の窒素ガスおよびアセチ
レンガスを導入し、表1〜表2に示される負の基板電圧
をかけることにより、前記下層の上に表3〜表6に示さ
れる膜厚を有しさらに表3〜表6に示されるTiとSi
の複合硬質層を被覆し、さらに必要に応じてこの複合硬
質層の上にTiN層を形成してWC基超硬合金製チップ
を基体とした本発明被覆チップ1〜10、比較被覆チッ
プ1〜10および従来被覆チップ1〜2並びにTiCN
基サーメット製チップを基体とした本発明被覆チップ1
1〜20、比較被覆チップ11〜20および従来被覆チ
ップ3〜4を作製した。前記下層、TiとSiの複合硬
質層の組成(原子比)および最外層のTiNはいずれも
EPMA分析により特定した。
れる本発明被覆チップ1〜10、比較被覆チップ1〜1
0および従来被覆チップ1〜2を用いて、下記の条件の
連続乾式切削試験を実施した。 連続乾式切削試験条件 被削材:JIS規格SNCM439(ブリネル硬さ:2
50)の丸材、 切削速度:250m/min、 送り:0.3mm/rev.、 切込み:2.0mm、 の条件で乾式連続切削し、切刃の逃げ面の最大摩耗幅が
0.3mmになったところを寿命とし、寿命に至る時間
(分)および摩耗形態を測定し、それらの測定結果を表
7に示した。
ら、本発明被覆チップ1〜10は比較被覆チップ1〜1
0および従来被覆チップ1〜2に比べて切削特性が優れ
ていることが分かる。
に示される本発明被覆チップ11〜20、比較被覆チッ
プ11〜20および従来被覆チップ3〜4を用いて、下
記の条件の連続乾式切削試験を実施した。 連続乾式切削試験条件 被削材:JIS規格SNCM439(ブリネル硬さ:2
50)の丸材、 切削速度:300m/min、 送り:0.2mm/rev.、 切込み:2.0mm、 の条件で連続乾式切削し、切刃の逃げ面の最大摩耗幅が
0.3mmになったところを寿命とし、寿命に至る時間
(分)および摩耗形態を測定し、それらの測定結果を表
8に示した。
ら、本発明被覆チップ11〜20は、比較被覆チップ1
1〜20および従来被覆チップ3〜4に比べて切削性能
が優れていることが分かる。
明の硬質層被覆切削工具は、従来の硬質層被覆切削工具
に比べて一層優れた性能を有し、工業上優れた効果をも
たらすものである。
Claims (4)
- 【請求項1】 WC基超硬合金基体またはTiCN基サ
ーメット基体表面に、TiC、TiCN、TiNの内の
1種の単層または2種以上の複層を介して、(Ti1-x
Six )(C1-y Ny )z [ただし、0.01≦x≦0.45、
0.01≦y≦1.0 、0.5 ≦z≦1.34]からなる組成のTi
とSiの複合炭窒化物硬質層および/または複合窒化物
硬質層を被覆してなることを特徴とする硬質層被覆切削
工具。 - 【請求項2】 WC基超硬合金基体またはTiCN基サ
ーメット基体表面にに形成されたTiC、TiCN、T
iNの内の1種の単層または2種以上の複層の厚さは
0.1〜3.0μmの範囲内にあり、かつ前記(Ti
1-x Six )(C1-y Ny )z [ただし、0.01≦x≦0.
45、0.01≦y≦1.0 、0.5 ≦z≦1.34]からなる組成の
TiとSiの複合炭窒化物硬質層および/または複合窒
化物硬質層の膜厚は1〜10μmの範囲内にあることを
特徴とする請求項1記載の硬質層被覆切削工具。 - 【請求項3】 前記(Ti1-x Six )(C1-y Ny )
z [ただし、0.01≦x≦0.45、0.01≦y≦1.0 、0.5 ≦
z≦1.34]からなる組成のTiとSiの複合炭窒化物硬
質層および/または複合窒化物硬質層の上に、さらに厚
さ:0.1〜1.0μmのTiN層を被覆してなること
を特徴とする請求項1または2記載の硬質層被覆切削工
具。 - 【請求項4】 前記前記TiC、TiCN、TiNの内
の1種の単層または2種以上の複層、TiとSiの複合
炭窒化物硬質層および/または複合窒化物硬質層、並び
にTiN層の合計の厚さは1.5〜12.0μmの範囲
内にあることを特徴とする請求項1、2または3記載の
硬質層被覆切削工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18077695A JP3572728B2 (ja) | 1995-06-23 | 1995-06-23 | 硬質層被覆切削工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18077695A JP3572728B2 (ja) | 1995-06-23 | 1995-06-23 | 硬質層被覆切削工具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0911004A true JPH0911004A (ja) | 1997-01-14 |
| JP3572728B2 JP3572728B2 (ja) | 2004-10-06 |
Family
ID=16089136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18077695A Expired - Lifetime JP3572728B2 (ja) | 1995-06-23 | 1995-06-23 | 硬質層被覆切削工具 |
Country Status (1)
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| JP (1) | JP3572728B2 (ja) |
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- 1995-06-23 JP JP18077695A patent/JP3572728B2/ja not_active Expired - Lifetime
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