JPH0912308A - アルミニウムの窒化処理法 - Google Patents
アルミニウムの窒化処理法Info
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- JPH0912308A JPH0912308A JP16249195A JP16249195A JPH0912308A JP H0912308 A JPH0912308 A JP H0912308A JP 16249195 A JP16249195 A JP 16249195A JP 16249195 A JP16249195 A JP 16249195A JP H0912308 A JPH0912308 A JP H0912308A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 粉砕が容易なアルミニウムの窒化処理法を提
供することを目的とする。 【構成】 直径または一辺の長さ(短辺)が0.1mm
以上、5mm以下の粒状、帯状または箔状のアルミニウ
ムまたはアルミニウム合金材料に、直径が0.3mm以
下のアルミニウムまたはアルミニウム合金粉末を5〜4
0%を混合し、得られる混合粉を500〜900℃の純
窒素ガス雰囲気下で窒化することを特徴とするアルミニ
ウムの窒化処理法。乳鉢を使用し人手で図2に示す粒度
分布をもつ窒化アルミニウムが得られる。
供することを目的とする。 【構成】 直径または一辺の長さ(短辺)が0.1mm
以上、5mm以下の粒状、帯状または箔状のアルミニウ
ムまたはアルミニウム合金材料に、直径が0.3mm以
下のアルミニウムまたはアルミニウム合金粉末を5〜4
0%を混合し、得られる混合粉を500〜900℃の純
窒素ガス雰囲気下で窒化することを特徴とするアルミニ
ウムの窒化処理法。乳鉢を使用し人手で図2に示す粒度
分布をもつ窒化アルミニウムが得られる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、アルミニウムの窒化処
理法、特に粉砕の容易なアルミニウムの窒化処理法に関
する。
理法、特に粉砕の容易なアルミニウムの窒化処理法に関
する。
【0002】
【従来の技術】アルミニウムを100%窒化することに
より得られる窒化アルミニウムは、熱伝導性に優れ、か
つ電気絶縁性が良い事より基板材料として使用されてい
る。この窒化アルミニウムは、アルミナの炭素還元また
はアルミニウム粉体の直接窒化により製造されている。
アルミニウム粉体の直接窒化法では、粒径400μm以
下のアルミニウム粉末を使用し、900〜1400℃の
温度で窒化処理し、その後破砕して微細化する方法が工
業的に実用化されている。
より得られる窒化アルミニウムは、熱伝導性に優れ、か
つ電気絶縁性が良い事より基板材料として使用されてい
る。この窒化アルミニウムは、アルミナの炭素還元また
はアルミニウム粉体の直接窒化により製造されている。
アルミニウム粉体の直接窒化法では、粒径400μm以
下のアルミニウム粉末を使用し、900〜1400℃の
温度で窒化処理し、その後破砕して微細化する方法が工
業的に実用化されている。
【0003】また、その窒化性を高めるため、アルミニ
ウム粉末を破砕して燐片状としこれと窒化アルミニウム
粉末とを混合したものを原料とする方法、粒径250μ
m以下の金属アルミ粉末をアルミの融点以下で一度窒化
し、それを平均粒径15μm以下に破砕後さらに130
0〜1400℃で窒化する方法(特開昭61−8360
8)、金属アルミ粉末に弗素含有アンモニウム化合物と
窒化アルミ粉末を混合した原料を一度430〜650℃
で窒化後、さらに900〜1300℃の温度域で窒化す
る方法(特開昭62−3007)が知られている。
ウム粉末を破砕して燐片状としこれと窒化アルミニウム
粉末とを混合したものを原料とする方法、粒径250μ
m以下の金属アルミ粉末をアルミの融点以下で一度窒化
し、それを平均粒径15μm以下に破砕後さらに130
0〜1400℃で窒化する方法(特開昭61−8360
8)、金属アルミ粉末に弗素含有アンモニウム化合物と
窒化アルミ粉末を混合した原料を一度430〜650℃
で窒化後、さらに900〜1300℃の温度域で窒化す
る方法(特開昭62−3007)が知られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】前記した従来の方法で
アルミニウムを窒化した窒化アルミニウム材料を製造し
た場合、得られる窒化物の粉砕が困難であるといった問
題がある。本発明は、粉砕が容易なアルミニウムの窒化
処理法を提供することを目的とする。
アルミニウムを窒化した窒化アルミニウム材料を製造し
た場合、得られる窒化物の粉砕が困難であるといった問
題がある。本発明は、粉砕が容易なアルミニウムの窒化
処理法を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明者は、たまたまサ
イズの大きい金属アルミニウムと細かい金属アルミニウ
ムとを混合した混合粉末が、表面積の大きい400μm
未満の金属アルミニウム粉末より、粉末同士の焼結が小
さく、純度も高くかつ非常に破砕しやすいことを発見し
た。本発明はこの発見に基づくものである。
イズの大きい金属アルミニウムと細かい金属アルミニウ
ムとを混合した混合粉末が、表面積の大きい400μm
未満の金属アルミニウム粉末より、粉末同士の焼結が小
さく、純度も高くかつ非常に破砕しやすいことを発見し
た。本発明はこの発見に基づくものである。
【0006】即ち、本発明のアルミニウムの窒化処理法
は、直径または一辺の長さ(短辺)が0.1mm以上、
5mm以下の粒状、帯状または箔状のアルミニウムまた
はアルミニウム合金材料に、直径が0.3mm以下のア
ルミニウムまたはアルミニウム合金粉末を5〜40%を
混合し、得られる混合粉を500〜900℃の純窒素ガ
ス雰囲気下で窒化することを特徴とする。
は、直径または一辺の長さ(短辺)が0.1mm以上、
5mm以下の粒状、帯状または箔状のアルミニウムまた
はアルミニウム合金材料に、直径が0.3mm以下のア
ルミニウムまたはアルミニウム合金粉末を5〜40%を
混合し、得られる混合粉を500〜900℃の純窒素ガ
ス雰囲気下で窒化することを特徴とする。
【0007】本発明の窒化される混合粉は直径または一
辺の長さ(短辺)が0.1mm以上、5mm以下の粒
状、帯状または箔状のアルミニウムまたはアルミニウム
合金材料と直径が0.3mm以下のアルミニウムまたは
アルミニウム合金粉末とで構成される。直径または一辺
の長さ(短辺)が0.1mm以上、5mm以下の粒状、
帯状または箔状のアルミニウムまたはアルミニウム合金
材料は、サイズの大きい粒子を構成するもので、鋸盤等
の機械加工により出る切粉をそのまま使用できる。例え
ば、アルミサッシュ等の切り屑をこの原料として用いる
ことができる。0.3mm以下のアルミニウムまたはア
ルミニウム合金粉末は、サイズの小さい粒子を構成する
ものでアトマイズ粉を使用できる。
辺の長さ(短辺)が0.1mm以上、5mm以下の粒
状、帯状または箔状のアルミニウムまたはアルミニウム
合金材料と直径が0.3mm以下のアルミニウムまたは
アルミニウム合金粉末とで構成される。直径または一辺
の長さ(短辺)が0.1mm以上、5mm以下の粒状、
帯状または箔状のアルミニウムまたはアルミニウム合金
材料は、サイズの大きい粒子を構成するもので、鋸盤等
の機械加工により出る切粉をそのまま使用できる。例え
ば、アルミサッシュ等の切り屑をこの原料として用いる
ことができる。0.3mm以下のアルミニウムまたはア
ルミニウム合金粉末は、サイズの小さい粒子を構成する
ものでアトマイズ粉を使用できる。
【0008】窒化されるアルミニウム金属は、純粋なア
ルミニウム粒子でも他の金属と合金化されたアルミニウ
ム合金粒子でもよい。特に、0.5重量%(以下、%は
特に断らないかぎり重量%を意味する。)以上のマグネ
シウムを含む合金が好ましい。アルミニウム材料は非常
に酸化されやすい金属であり、その最表面には若干の自
然酸化膜を有しているのが普通であり、この酸化膜が窒
化を妨害する。この場合には被窒化アルミニウム材料と
して、マグネシウムを0.5%以上含む材料を使用する
ことにより解決される。マグネシウムは大変蒸発しやす
い金属であり、大気圧下540℃で300Pa程度の蒸
気減圧を有し、このマグネシウム蒸気が酸素ターゲット
として作用し、窒化が促進されると思われる。
ルミニウム粒子でも他の金属と合金化されたアルミニウ
ム合金粒子でもよい。特に、0.5重量%(以下、%は
特に断らないかぎり重量%を意味する。)以上のマグネ
シウムを含む合金が好ましい。アルミニウム材料は非常
に酸化されやすい金属であり、その最表面には若干の自
然酸化膜を有しているのが普通であり、この酸化膜が窒
化を妨害する。この場合には被窒化アルミニウム材料と
して、マグネシウムを0.5%以上含む材料を使用する
ことにより解決される。マグネシウムは大変蒸発しやす
い金属であり、大気圧下540℃で300Pa程度の蒸
気減圧を有し、このマグネシウム蒸気が酸素ターゲット
として作用し、窒化が促進されると思われる。
【0009】混合粉を構成するサイズの大きい粒状、帯
状または箔状の粒子の配合量は、全体を100%とした
とき、60〜95%を占める。そしてサイズの小さい粉
末は残りの40〜5%を占める。サイズの大きい粒子が
60%に満たないと処理後の破砕性が劣り望ましくな
い。逆に95%を越えると窒化の反応性が劣り望ましく
ない。
状または箔状の粒子の配合量は、全体を100%とした
とき、60〜95%を占める。そしてサイズの小さい粉
末は残りの40〜5%を占める。サイズの大きい粒子が
60%に満たないと処理後の破砕性が劣り望ましくな
い。逆に95%を越えると窒化の反応性が劣り望ましく
ない。
【0010】なお、混合粉に窒化アルミニウム粉を配合
することができる。この窒化アルミニウム粉はアルミニ
ウム粉末同志の固着、焼結防止の機能をもつ。窒化アル
ミニウム粉は、全体を100%としたとき5〜20%程
度配合するのが好ましい。混合粉は、窒素の流入経路が
確保された状態で窒化される。窒化は純窒素ガス雰囲気
下でなされる。ここで純窒素ガスとは純度が99.9%
以上であり、かつ最も重要なことは配管その他から空気
の流入のないことであり、炉内雰囲気の露点を測定する
ことにより管理される。通常露点は−20℃以下で管理
される。
することができる。この窒化アルミニウム粉はアルミニ
ウム粉末同志の固着、焼結防止の機能をもつ。窒化アル
ミニウム粉は、全体を100%としたとき5〜20%程
度配合するのが好ましい。混合粉は、窒素の流入経路が
確保された状態で窒化される。窒化は純窒素ガス雰囲気
下でなされる。ここで純窒素ガスとは純度が99.9%
以上であり、かつ最も重要なことは配管その他から空気
の流入のないことであり、炉内雰囲気の露点を測定する
ことにより管理される。通常露点は−20℃以下で管理
される。
【0011】窒化温度は500〜900℃である。窒化
温度が500℃未満の場合、窒化速度が遅くなり、実質
的に反応が生じない場合がある。逆に900℃を越える
と急速な窒化反応を生じ、原料間の焼結を生じかえって
窒化率は低下する。処理温度は低いほど微細粒が得られ
ることが知られている。窒化時間としては3〜15時間
程度である。
温度が500℃未満の場合、窒化速度が遅くなり、実質
的に反応が生じない場合がある。逆に900℃を越える
と急速な窒化反応を生じ、原料間の焼結を生じかえって
窒化率は低下する。処理温度は低いほど微細粒が得られ
ることが知られている。窒化時間としては3〜15時間
程度である。
【0012】なお、窒化は500〜900℃の温度の1
段回行っても、あるいはアルミニウムまたはアルミニウ
ム合金材料の融点以下の温度で行う第一窒化に引続き第
一窒化より高く、かつ900℃より低い温度で窒化する
第二窒化の2段階で行ってもよい。なお、第一窒化は6
00℃以下の温度で窒化するのが好ましい。本発明のア
ルミニウムの窒化処理法では窒化率が40〜100%の
破砕性に優れる窒化アルミニウムあるいは金属アルミニ
ウムを含む窒化アルミニウムが得られる。窒化アルミニ
ウムはアルミニウムマトリックス中に直径が1μm以下
の窒化アルミ粒子または針状体として存在する。
段回行っても、あるいはアルミニウムまたはアルミニウ
ム合金材料の融点以下の温度で行う第一窒化に引続き第
一窒化より高く、かつ900℃より低い温度で窒化する
第二窒化の2段階で行ってもよい。なお、第一窒化は6
00℃以下の温度で窒化するのが好ましい。本発明のア
ルミニウムの窒化処理法では窒化率が40〜100%の
破砕性に優れる窒化アルミニウムあるいは金属アルミニ
ウムを含む窒化アルミニウムが得られる。窒化アルミニ
ウムはアルミニウムマトリックス中に直径が1μm以下
の窒化アルミ粒子または針状体として存在する。
【0013】なお、得られた窒化アルミニウムあるいは
金属アルミニウムを含む窒化アルミニウムを乾燥空気中
で粉砕し、得られる粉末の酸素量を0.4%以上とする
こともできる。生成した窒化アルミニウム材は空気中の
水分が吸着し易く、これが耐食性を害する。これの防止
には、窒化処理に引続き、速やかに乾燥空気中でボール
ミルまたは振動ミル等で破砕処理を行う事により、得ら
れる粉末の酸素量を0.4%以上とする事が有効であ
る。これにより材料の導電性も防止される。
金属アルミニウムを含む窒化アルミニウムを乾燥空気中
で粉砕し、得られる粉末の酸素量を0.4%以上とする
こともできる。生成した窒化アルミニウム材は空気中の
水分が吸着し易く、これが耐食性を害する。これの防止
には、窒化処理に引続き、速やかに乾燥空気中でボール
ミルまたは振動ミル等で破砕処理を行う事により、得ら
れる粉末の酸素量を0.4%以上とする事が有効であ
る。これにより材料の導電性も防止される。
【0014】
【作用】本発明のアルミニウムの窒化処理法では、50
0〜900℃の純窒素ガス雰囲気下で窒化とともに、窒
化を遅らるサイズの大きいアルミニウム材料と窒化を促
進するサイズの小さいアルミニウム粉末とで混合粉が構
成され、マイルドな窒化が進行する。このため破砕処理
が容易な窒化アルミニウムを得ることが出来る。
0〜900℃の純窒素ガス雰囲気下で窒化とともに、窒
化を遅らるサイズの大きいアルミニウム材料と窒化を促
進するサイズの小さいアルミニウム粉末とで混合粉が構
成され、マイルドな窒化が進行する。このため破砕処理
が容易な窒化アルミニウムを得ることが出来る。
【0015】
【実施例】以下、実施例を示し、本発明の窒化処理法を
さらに詳細に説明する。窒化用の原材料としては、工業
的に大量に発生するアルミサッシュの鋸盤切断で発生す
る切粉を使用した。この切粉はその外形を図1に示すよ
うに0.1〜3mmの粒状体を主体に、0.1〜0.5
mm、厚さの帯状体、箔状体を含むものである。そして
この切粉の材質はJIS 6063材(0.6% M
g、0.4% Si)である。
さらに詳細に説明する。窒化用の原材料としては、工業
的に大量に発生するアルミサッシュの鋸盤切断で発生す
る切粉を使用した。この切粉はその外形を図1に示すよ
うに0.1〜3mmの粒状体を主体に、0.1〜0.5
mm、厚さの帯状体、箔状体を含むものである。そして
この切粉の材質はJIS 6063材(0.6% M
g、0.4% Si)である。
【0016】この原料に混合して使用するアルミニウム
粉末としては急冷凝固法で製造した粒径が10〜150
μmであり、マグネシウムを2.5wt%含む材料を使
用した。また、焼結防止用に窒化アルミニウム粉末の粒
径5〜100μのものを5〜20%添加した。混合粉の
配合組成、処理量を表1に示す。
粉末としては急冷凝固法で製造した粒径が10〜150
μmであり、マグネシウムを2.5wt%含む材料を使
用した。また、焼結防止用に窒化アルミニウム粉末の粒
径5〜100μのものを5〜20%添加した。混合粉の
配合組成、処理量を表1に示す。
【0017】
【表1】
【0018】窒化には耐熱鋼製のマッフルの電気炉(エ
レマ炉)を使用した。この電気炉は通常鉄気焼結材の焼
結に使用されているものである。この電気炉は完全には
密閉されない構造のもので、その中央に中間シャッター
を持つ。導入ガスは中央部の上方から炉内に入り、マッ
フル奥部で横に吹き出し、挿入口より排出される構造の
ものである。なお、炉容積は16リットル程度である。
この電気炉はアルミの中間処理の実験としては最適とは
言えないが、この程度の炉でも処理できなければ工業的
には成立しないと考え、この電気炉を使用した。
レマ炉)を使用した。この電気炉は通常鉄気焼結材の焼
結に使用されているものである。この電気炉は完全には
密閉されない構造のもので、その中央に中間シャッター
を持つ。導入ガスは中央部の上方から炉内に入り、マッ
フル奥部で横に吹き出し、挿入口より排出される構造の
ものである。なお、炉容積は16リットル程度である。
この電気炉はアルミの中間処理の実験としては最適とは
言えないが、この程度の炉でも処理できなければ工業的
には成立しないと考え、この電気炉を使用した。
【0019】表1に示す混合粉をステンレス製の角型パ
ット(17×21cm2 、高さ3cm)に薄く、均一に
敷き詰めた状態とした。そして、そのパットを炉内に挿
入後、炉内を窒素ガスで置換(ガス導入量:30L/
分、所用時間:5Hr)した。その後1時間あたり10
0℃の速度で所定窒化温度に加熱し、表1に示す窒化条
件で窒化した。窒化中の純窒素ガスの導入量は1分間3
0リットルとした。窒化後炉中で冷却し、窒化物を得
た。
ット(17×21cm2 、高さ3cm)に薄く、均一に
敷き詰めた状態とした。そして、そのパットを炉内に挿
入後、炉内を窒素ガスで置換(ガス導入量:30L/
分、所用時間:5Hr)した。その後1時間あたり10
0℃の速度で所定窒化温度に加熱し、表1に示す窒化条
件で窒化した。窒化中の純窒素ガスの導入量は1分間3
0リットルとした。窒化後炉中で冷却し、窒化物を得
た。
【0020】得られた窒化物は、テストNO.7を除い
て、手で荒く破砕後乳鉢(アルミナ製)で所定の粒径ま
で砕いた。一例として、7.5分間乳鉢で破砕した破砕
材(テストNO.2)の粒度分布を図2に示す。なお、
本発明のアルミニウムの窒化処理法では、得られる窒化
物が極めて粉砕し易い。このため手で荒く破砕後乳鉢
(アルミナ製)で所定の粒径まで砕く、極めて簡便な粉
砕方法を採用した。細かいアルミニウム粉末のみを窒化
する場合にはハンマーで粉砕するような粉砕を必要とす
る。
て、手で荒く破砕後乳鉢(アルミナ製)で所定の粒径ま
で砕いた。一例として、7.5分間乳鉢で破砕した破砕
材(テストNO.2)の粒度分布を図2に示す。なお、
本発明のアルミニウムの窒化処理法では、得られる窒化
物が極めて粉砕し易い。このため手で荒く破砕後乳鉢
(アルミナ製)で所定の粒径まで砕く、極めて簡便な粉
砕方法を採用した。細かいアルミニウム粉末のみを窒化
する場合にはハンマーで粉砕するような粉砕を必要とす
る。
【0021】なお、テストNO.7材は炉から取り出し
た後、直ちに150℃の乾燥空気でパージしてあるボー
ルミル中に入れ、10分間粉砕した。テストNO.1〜
5は540℃×3Hrの第一段の窒化処理に引き続き、
第二段の窒化を580〜900℃で実施した例である。
アルミニウム粉末のみの窒化と異なり、第二段の窒化を
650〜900℃とした場合はすべて100%窒化とな
った。なお、アルミニウム粉末のみを窒化した場合に
は、窒化率は60〜95%となる。
た後、直ちに150℃の乾燥空気でパージしてあるボー
ルミル中に入れ、10分間粉砕した。テストNO.1〜
5は540℃×3Hrの第一段の窒化処理に引き続き、
第二段の窒化を580〜900℃で実施した例である。
アルミニウム粉末のみの窒化と異なり、第二段の窒化を
650〜900℃とした場合はすべて100%窒化とな
った。なお、アルミニウム粉末のみを窒化した場合に
は、窒化率は60〜95%となる。
【0022】テストNO.5、6では窒化率62%、4
3%が得られている。また、テストNO.:3の処理材
料からアルミ粉末を取り除いたテストNO.31の窒化
率は19%と低く、アルミ粉末添加の意義が認められ
る。テストNO.31が破砕し易いのは窒化率が低いた
めである。テストNO.7はNO.2と同一混合粉を同
一窒化条件で処理し、炉冷後、直ちに150℃の乾燥空
気でパージしてあるボールミル中に入れ10分間粉砕し
たものである。NO.2の酸素量0.30%に対して、
NO.7の酸素量は0.65%と増加し、導電性も無か
った。なお、NO.2材を乳鉢中で粉砕後、炉中で50
0℃×15時間の酸化処理した粉末の酸素量は0.37
%であった。この事から、ボールミル、振動ミル等での
磨砕処理による表面酸化の効果がわかる。なお、空気中
に水分を含むと表面吸着を起こし、耐食性を害するので
注意が必要である。
3%が得られている。また、テストNO.:3の処理材
料からアルミ粉末を取り除いたテストNO.31の窒化
率は19%と低く、アルミ粉末添加の意義が認められ
る。テストNO.31が破砕し易いのは窒化率が低いた
めである。テストNO.7はNO.2と同一混合粉を同
一窒化条件で処理し、炉冷後、直ちに150℃の乾燥空
気でパージしてあるボールミル中に入れ10分間粉砕し
たものである。NO.2の酸素量0.30%に対して、
NO.7の酸素量は0.65%と増加し、導電性も無か
った。なお、NO.2材を乳鉢中で粉砕後、炉中で50
0℃×15時間の酸化処理した粉末の酸素量は0.37
%であった。この事から、ボールミル、振動ミル等での
磨砕処理による表面酸化の効果がわかる。なお、空気中
に水分を含むと表面吸着を起こし、耐食性を害するので
注意が必要である。
【0023】
【発明の効果】本発明のアルミニウムの窒化処理法でえ
られる窒化物は極めて粉砕が容易である。このため簡単
に所定粒径の窒化物とすることができる。
られる窒化物は極めて粉砕が容易である。このため簡単
に所定粒径の窒化物とすることができる。
【図1】実施例で使用したアルミニウム切粉の粒子構造
の外形を示す写真図である。
の外形を示す写真図である。
【図2】実施例のテストNO.2窒化物の粒度分布を示
す図である。
す図である。
【手続補正書】
【提出日】平成7年7月12日
【手続補正1】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図1
【補正方法】変更
【補正内容】
【図1】
Claims (3)
- 【請求項1】 直径または一辺の長さ(短辺)が0.1
mm以上、5mm以下の粒状、帯状または箔状のアルミ
ニウムまたはアルミニウム合金材料に、直径が0.3m
m以下のアルミニウムまたはアルミニウム合金粉末を5
〜40%を混合し、得られる混合粉を500〜900℃
の純窒素ガス雰囲気下で窒化することを特徴とするアル
ミニウムの窒化処理法。 - 【請求項2】 窒化は、アルミニウムまたはアルミニウ
ム合金材料の融点以下の温度で行う第一窒化に引続き該
第一窒化より高く、かつ900℃より低い温度で窒化す
る第二窒化とからなる請求項1記載のアルミニウムの窒
化処理法。 - 【請求項3】 窒化に引続き、乾燥空気中で粉砕し、得
られる粉末の酸素量を0.4%以上とする請求項1記載
のアルミニウムの窒化処理法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16249195A JP3324721B2 (ja) | 1995-06-28 | 1995-06-28 | アルミニウムの窒化処理法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16249195A JP3324721B2 (ja) | 1995-06-28 | 1995-06-28 | アルミニウムの窒化処理法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0912308A true JPH0912308A (ja) | 1997-01-14 |
| JP3324721B2 JP3324721B2 (ja) | 2002-09-17 |
Family
ID=15755634
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16249195A Expired - Fee Related JP3324721B2 (ja) | 1995-06-28 | 1995-06-28 | アルミニウムの窒化処理法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3324721B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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