JPH09134901A - 蒸気乾燥を用いた洗浄方法および洗浄機 - Google Patents
蒸気乾燥を用いた洗浄方法および洗浄機Info
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- JPH09134901A JPH09134901A JP28983095A JP28983095A JPH09134901A JP H09134901 A JPH09134901 A JP H09134901A JP 28983095 A JP28983095 A JP 28983095A JP 28983095 A JP28983095 A JP 28983095A JP H09134901 A JPH09134901 A JP H09134901A
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Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 蒸気乾燥を用いた洗浄において、より清浄度
の高い乾燥結果を得る。 【解決手段】 乾燥工程においてポンプ12により水分
離器11内のすすぎ液をシャワーパイプ13から被洗浄
物にシャワーすることにより、洗浄液の混入量が少な
い、水分離器11からのすすぎ液で被洗浄物表面の洗い
流しができる。さらに、温度の低い、水分離器11から
のすすぎ液のシャワーで被洗浄物の温度が下がり、蒸気
温度(沸点)との温度差が広がることによって被洗浄物
表面でのすすぎ液の凝縮を促す。
の高い乾燥結果を得る。 【解決手段】 乾燥工程においてポンプ12により水分
離器11内のすすぎ液をシャワーパイプ13から被洗浄
物にシャワーすることにより、洗浄液の混入量が少な
い、水分離器11からのすすぎ液で被洗浄物表面の洗い
流しができる。さらに、温度の低い、水分離器11から
のすすぎ液のシャワーで被洗浄物の温度が下がり、蒸気
温度(沸点)との温度差が広がることによって被洗浄物
表面でのすすぎ液の凝縮を促す。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、工業用部品等の洗
浄に用いられる、蒸気乾燥を用いた洗浄方法および洗浄
機に関する。
浄に用いられる、蒸気乾燥を用いた洗浄方法および洗浄
機に関する。
【0002】
【従来の技術】図2はこの種の洗浄機の洗浄槽内部と水
分離器を示す図である。
分離器を示す図である。
【0003】洗浄槽上部1は上方が開放され、空気中お
よびベーパーゾーン4中に含まれる水分をとるための上
段冷却コイル2と下段冷却コイル3が冷却ゾーン8に設
けられている。洗浄槽の下部には超音波洗浄槽5とすす
ぎ槽10が設けられている。超音波洗浄槽5内には超音
波振動子6が設けられ、下部にすすぎ液(PFC)が、
上部に洗浄液が2層になっていれられている。すすぎ液
はヒーター7により蒸気化される。超音波洗浄槽5とす
すぎ槽10の上に洗浄およびすすぎの終った被洗浄物
(洗浄バスケット9に入っている)を蒸気化したすすぎ
液で蒸気乾燥させるベーパーゾーン4が設けられてい
る。洗浄槽の外部にはベーパーゾーン4中の空気からす
すぎ液と水を分離し、すすぎ液をすすぎ槽10に戻す水
分離器11が設けられている。
よびベーパーゾーン4中に含まれる水分をとるための上
段冷却コイル2と下段冷却コイル3が冷却ゾーン8に設
けられている。洗浄槽の下部には超音波洗浄槽5とすす
ぎ槽10が設けられている。超音波洗浄槽5内には超音
波振動子6が設けられ、下部にすすぎ液(PFC)が、
上部に洗浄液が2層になっていれられている。すすぎ液
はヒーター7により蒸気化される。超音波洗浄槽5とす
すぎ槽10の上に洗浄およびすすぎの終った被洗浄物
(洗浄バスケット9に入っている)を蒸気化したすすぎ
液で蒸気乾燥させるベーパーゾーン4が設けられてい
る。洗浄槽の外部にはベーパーゾーン4中の空気からす
すぎ液と水を分離し、すすぎ液をすすぎ槽10に戻す水
分離器11が設けられている。
【0004】次に、洗浄動作を説明する。洗浄バスケッ
ト9を手動または搬送機により洗浄槽上部1より超音波
洗浄槽5へ移送し、洗浄液(炭化水素系洗剤)により洗
浄する。このとき、超音波洗浄槽5の下部にあるすすぎ
液をヒーター7で加熱し、蒸気化する。蒸気化したすす
ぎ液は上昇してベーパーゾーン4に移る。所定の時間洗
浄後、洗浄バスケット9をすすぎ槽10に移送し、被洗
浄物に付着した洗浄液を、水分離器11で分離されたす
すぎ液ですすぐ。最後に、被洗浄物をすすぎ液のベーパ
ーゾーン4に移送し、蒸気乾燥を行う。
ト9を手動または搬送機により洗浄槽上部1より超音波
洗浄槽5へ移送し、洗浄液(炭化水素系洗剤)により洗
浄する。このとき、超音波洗浄槽5の下部にあるすすぎ
液をヒーター7で加熱し、蒸気化する。蒸気化したすす
ぎ液は上昇してベーパーゾーン4に移る。所定の時間洗
浄後、洗浄バスケット9をすすぎ槽10に移送し、被洗
浄物に付着した洗浄液を、水分離器11で分離されたす
すぎ液ですすぐ。最後に、被洗浄物をすすぎ液のベーパ
ーゾーン4に移送し、蒸気乾燥を行う。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】すすぎ槽10は蒸気の
減少を防ぐ目的で冷却されておらず、すすぎ槽10の液
温が沸点とほとんど変わらなく被洗浄物の温度がほぼ蒸
気の沸点と同じため、蒸気の凝縮液による洗浄液の洗い
落としが充分にできない。従って、すすぎ液に微量混ざ
っている、すすぎ液より沸点の高い洗浄液がシミとして
残ってしまう欠点があった。
減少を防ぐ目的で冷却されておらず、すすぎ槽10の液
温が沸点とほとんど変わらなく被洗浄物の温度がほぼ蒸
気の沸点と同じため、蒸気の凝縮液による洗浄液の洗い
落としが充分にできない。従って、すすぎ液に微量混ざ
っている、すすぎ液より沸点の高い洗浄液がシミとして
残ってしまう欠点があった。
【0006】本発明の目的は、より清浄度の高い乾燥結
果が得られる、蒸気乾燥を用いた洗浄方法および洗浄機
を提供することにある。
果が得られる、蒸気乾燥を用いた洗浄方法および洗浄機
を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の、蒸気乾燥を用
いた洗浄方法は、被洗浄物を超音波洗浄槽へ移送し、洗
浄液により被洗浄物を所定の時間洗浄するとともに、該
超音波洗浄槽にあるすすぎ液を蒸気化する工程と、蒸気
化したすすぎ液が存在するベーパーゾーン中の空気を吸
引し、水分とすすぎ液に分離する工程と、被洗浄物をす
すぎ槽に移送し、被洗浄物に付着した洗浄液を分離され
たすすぎ液ですすぐ工程と、被洗浄物をベーパーゾーン
に移送し、蒸気乾燥を行なう工程を含む洗浄方法におい
て、蒸気乾燥を行なう工程が、分離されたすすぎ液を被
洗浄物に注ぐ工程を含むことを特徴とする。
いた洗浄方法は、被洗浄物を超音波洗浄槽へ移送し、洗
浄液により被洗浄物を所定の時間洗浄するとともに、該
超音波洗浄槽にあるすすぎ液を蒸気化する工程と、蒸気
化したすすぎ液が存在するベーパーゾーン中の空気を吸
引し、水分とすすぎ液に分離する工程と、被洗浄物をす
すぎ槽に移送し、被洗浄物に付着した洗浄液を分離され
たすすぎ液ですすぐ工程と、被洗浄物をベーパーゾーン
に移送し、蒸気乾燥を行なう工程を含む洗浄方法におい
て、蒸気乾燥を行なう工程が、分離されたすすぎ液を被
洗浄物に注ぐ工程を含むことを特徴とする。
【0008】また、本発明の、蒸気乾燥を用いた洗浄機
は、洗浄槽と、洗浄槽上部の内部に設けられた冷却コイ
ルと、洗浄槽下部に設けられ、被洗浄物を洗浄するとと
もに、すすぎ液を蒸気化する超音波洗浄槽と、蒸気化し
たすすぎ液で、すすぎの終った被洗浄物を蒸気乾燥する
ベーパーゾーンと、洗浄槽の外部に設けられ、ベーパー
ゾーン中の空気を吸引し、水とすすぎ液に分離する水分
離器と、分離されたすすぎ液で被洗浄物をすすぐすすぎ
槽を有する洗浄機において、水分離器で分離されたすす
ぎ液を洗浄槽上部から、乾燥工程においてベーパーゾー
ンにある被洗浄物に注ぐ手段を有することを特徴とす
る。
は、洗浄槽と、洗浄槽上部の内部に設けられた冷却コイ
ルと、洗浄槽下部に設けられ、被洗浄物を洗浄するとと
もに、すすぎ液を蒸気化する超音波洗浄槽と、蒸気化し
たすすぎ液で、すすぎの終った被洗浄物を蒸気乾燥する
ベーパーゾーンと、洗浄槽の外部に設けられ、ベーパー
ゾーン中の空気を吸引し、水とすすぎ液に分離する水分
離器と、分離されたすすぎ液で被洗浄物をすすぐすすぎ
槽を有する洗浄機において、水分離器で分離されたすす
ぎ液を洗浄槽上部から、乾燥工程においてベーパーゾー
ンにある被洗浄物に注ぐ手段を有することを特徴とす
る。
【0009】前記手段は、洗浄槽内上部に設けられたシ
ャワーパイプと、水分離器で分離されたすすぎ液をシャ
ワーパイプまで圧送するポンプとを含むことができる。
ャワーパイプと、水分離器で分離されたすすぎ液をシャ
ワーパイプまで圧送するポンプとを含むことができる。
【0010】
【発明の実施の形態】水分離器で分離されたすすぎ液は
冷却コイルにより冷却されて凝縮された液であるので、
すすぎ液の沸点よりも温度が低く、沸点の高い洗浄液の
混入量も少ない。
冷却コイルにより冷却されて凝縮された液であるので、
すすぎ液の沸点よりも温度が低く、沸点の高い洗浄液の
混入量も少ない。
【0011】そこで、乾燥工程において水分離器内の洗
浄液を洗浄槽上部から被洗浄物にシャワーすることによ
り、洗浄液の混入量が少ない、水分離器からのすすぎ液
で被洗浄物表面の洗い流しができる。さらに、温度の低
い、水分離器からのすすぎ液のシャワーで被洗浄物の温
度が下がり、蒸気温度(沸点)との温度差が広がること
によって被洗浄物表面でのすすぎ液の凝縮を促す。よっ
て、洗浄液の残りを洗い流すことができる。
浄液を洗浄槽上部から被洗浄物にシャワーすることによ
り、洗浄液の混入量が少ない、水分離器からのすすぎ液
で被洗浄物表面の洗い流しができる。さらに、温度の低
い、水分離器からのすすぎ液のシャワーで被洗浄物の温
度が下がり、蒸気温度(沸点)との温度差が広がること
によって被洗浄物表面でのすすぎ液の凝縮を促す。よっ
て、洗浄液の残りを洗い流すことができる。
【0012】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【0013】図1は本発明の一実施例の洗浄機の内部構
造を示す図である。図2中と同じ参照番号は同じものを
示す。
造を示す図である。図2中と同じ参照番号は同じものを
示す。
【0014】本実施例の洗浄機は、洗浄槽上部1に設け
られたシャワーパイプ13と、水分離器11で分離され
たすすぎ液をシャワーパイプ13にまで圧送するポンプ
12が図2の従来例に追加されている。
られたシャワーパイプ13と、水分離器11で分離され
たすすぎ液をシャワーパイプ13にまで圧送するポンプ
12が図2の従来例に追加されている。
【0015】乾燥工程においてポンプ12により水分離
器11内のすすぎ液をシャワーパイプ13から被洗浄物
にシャワーすることにより、洗浄液の混入量が少ない、
水分離器11からのすすぎ液で被洗浄物表面の洗い流し
ができる。さらに、温度の低い、水分離器11からのす
すぎ液のシャワーで被洗浄物の温度が下がり、蒸気温度
(沸点)との温度差が広がることによって被洗浄物表面
でのすすぎ液の凝縮を促す。よって洗浄液の残りを洗い
流すことができる。
器11内のすすぎ液をシャワーパイプ13から被洗浄物
にシャワーすることにより、洗浄液の混入量が少ない、
水分離器11からのすすぎ液で被洗浄物表面の洗い流し
ができる。さらに、温度の低い、水分離器11からのす
すぎ液のシャワーで被洗浄物の温度が下がり、蒸気温度
(沸点)との温度差が広がることによって被洗浄物表面
でのすすぎ液の凝縮を促す。よって洗浄液の残りを洗い
流すことができる。
【0016】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、水分離
器内のすすぎ液を洗浄槽上部から被洗浄物にそそぎ、被
洗浄物を冷却することにより、最も清浄度の高い蒸気の
凝縮液で被洗浄物の表面を洗い流すことができ、より清
浄度の高い乾燥結果が得られる。
器内のすすぎ液を洗浄槽上部から被洗浄物にそそぎ、被
洗浄物を冷却することにより、最も清浄度の高い蒸気の
凝縮液で被洗浄物の表面を洗い流すことができ、より清
浄度の高い乾燥結果が得られる。
【図1】本発明の一実施例の洗浄機の構成図である。
【図2】洗浄機の従来例の構成図である。
1 洗浄槽上部 2 上段冷却コイル 3 下段冷却コイル 4 ベーパーゾーン 5 超音波洗浄槽 6 超音波振動子 7 ヒーター 8 冷却ゾーン 9 洗浄バスケット 10 すすぎ槽 11 水分離器 12 ポンプ 13 シャワーパイプ
Claims (3)
- 【請求項1】 被洗浄物を超音波洗浄槽へ移送し、洗浄
液により被洗浄物を所定の時間洗浄するとともに、該超
音波洗浄槽にあるすすぎ液を蒸気化する工程と、 蒸気化したすすぎ液が存在するベーパーゾーン中の空気
を吸引し、水分とすすぎ液に分離する工程と、 前記被洗浄物をすすぎ槽に移送し、被洗浄物に付着した
洗浄液を分離されたすすぎ液ですすぐ工程と、 前記被洗浄物を前記ベーパーゾーンに移送し、蒸気乾燥
を行なう工程を含む蒸気乾燥を用いた洗浄方法におい
て、 前記蒸気乾燥を行なう工程が、分離された前記すすぎ液
を前記被洗浄物に注ぐ工程を含むことを特徴とする蒸気
乾燥を用いた洗浄方法。 - 【請求項2】 洗浄槽と、洗浄槽上部の内部に設けられ
た冷却コイルと、洗浄槽下部に設けられ、被洗浄物を洗
浄するとともに、すすぎ液を蒸気化する超音波洗浄槽
と、蒸気化したすすぎ液で、すすぎの終った被洗浄物を
蒸気乾燥するベーパーゾーンと、前記洗浄槽の外部に設
けられ、前記ベーパーゾーン中の空気を吸引し、水とす
すぎ液に分離する水分離器と、分離されたすすぎ液で被
洗浄物をすすぐすすぎ槽を有する、蒸気乾燥を用いた洗
浄機において、 前記水分離器で分離されたすすぎ液を洗浄槽上部から、
乾燥工程において前記ベーパーゾーンにある被洗浄物に
注ぐ手段を有することを特徴とする洗浄機。 - 【請求項3】 前記手段が、前記洗浄槽内上部に設けら
れたシャワーパイプと、前記水分離器で分離されたすす
ぎ液を前記シャワーパイプまで圧送するポンプとを含
む、請求項2記載の洗浄機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28983095A JPH09134901A (ja) | 1995-11-08 | 1995-11-08 | 蒸気乾燥を用いた洗浄方法および洗浄機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28983095A JPH09134901A (ja) | 1995-11-08 | 1995-11-08 | 蒸気乾燥を用いた洗浄方法および洗浄機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09134901A true JPH09134901A (ja) | 1997-05-20 |
Family
ID=17748329
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28983095A Pending JPH09134901A (ja) | 1995-11-08 | 1995-11-08 | 蒸気乾燥を用いた洗浄方法および洗浄機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09134901A (ja) |
-
1995
- 1995-11-08 JP JP28983095A patent/JPH09134901A/ja active Pending
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