JPH09137980A - クリーンルーム用冷却装置 - Google Patents
クリーンルーム用冷却装置Info
- Publication number
- JPH09137980A JPH09137980A JP31968595A JP31968595A JPH09137980A JP H09137980 A JPH09137980 A JP H09137980A JP 31968595 A JP31968595 A JP 31968595A JP 31968595 A JP31968595 A JP 31968595A JP H09137980 A JPH09137980 A JP H09137980A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean room
- air
- tester
- cooling device
- discharged
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＩＣテスタの増設等に容易に対応して、クリ
ーンルームに設置されたＩＣテスタから放出される排熱
により、クリーンルーム内の空気の温度が異常に上昇し
たり、不均一になることを防止することができるクリー
ンルーム用冷却装置を提供すること。 【解決手段】 熱交換機８１と送風機８２を備え、特定
のＩＣテスタ６から放出される温度の高い空気の一部又
は全部を吸入して冷却した後、冷却した空気をクリーン
ルーム１の本体空調機２の吸入側ダクト３ｂを接続した
アクセスフロア５の下方空間１１に放出するようにす
る。
ーンルームに設置されたＩＣテスタから放出される排熱
により、クリーンルーム内の空気の温度が異常に上昇し
たり、不均一になることを防止することができるクリー
ンルーム用冷却装置を提供すること。 【解決手段】 熱交換機８１と送風機８２を備え、特定
のＩＣテスタ６から放出される温度の高い空気の一部又
は全部を吸入して冷却した後、冷却した空気をクリーン
ルーム１の本体空調機２の吸入側ダクト３ｂを接続した
アクセスフロア５の下方空間１１に放出するようにす
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム用
冷却装置に関し、特に、クリーンルームに設置したＩＣ
テスタから放出される排熱により、クリーンルーム内の
空気の温度が異常に上昇したり、不均一になることを防
止するためのクリーンルーム用冷却装置に関するもので
ある。
冷却装置に関し、特に、クリーンルームに設置したＩＣ
テスタから放出される排熱により、クリーンルーム内の
空気の温度が異常に上昇したり、不均一になることを防
止するためのクリーンルーム用冷却装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＩＣテスタ６を設置したクリーン
ルーム１には、図５に示すように、クリーンルーム１内
の空調を行う本体空調機２を配設し、この本体空調機２
により空調した空気を放出側ダクト３ａからＨＥＰＡフ
ィルタ等の空気清浄装置４を通すことによって清浄化し
てクリーンルーム１内に放出するとともに、クリーンル
ーム１内の空気をアクセスフロア５の下方空間に接続し
た吸入側ダクト３ｂから吸入することによりクリーンル
ーム１内の空気を循環させながら、空調及び清浄化を行
うようにしていた。上記クリーンルーム１に設置したＩ
Ｃテスタ６は、ＩＣテスタ６内にファン７を備えること
により、クリーンルーム１内の空気（例えば、２５℃、
５０％ＲＨ）を吸入して、ＩＣテスタ６の発熱部を冷却
した後、温度の高い空気（例えば、３２℃、３５％Ｒ
Ｈ）をクリーンルーム１内に放出するようにしていた。
ルーム１には、図５に示すように、クリーンルーム１内
の空調を行う本体空調機２を配設し、この本体空調機２
により空調した空気を放出側ダクト３ａからＨＥＰＡフ
ィルタ等の空気清浄装置４を通すことによって清浄化し
てクリーンルーム１内に放出するとともに、クリーンル
ーム１内の空気をアクセスフロア５の下方空間に接続し
た吸入側ダクト３ｂから吸入することによりクリーンル
ーム１内の空気を循環させながら、空調及び清浄化を行
うようにしていた。上記クリーンルーム１に設置したＩ
Ｃテスタ６は、ＩＣテスタ６内にファン７を備えること
により、クリーンルーム１内の空気（例えば、２５℃、
５０％ＲＨ）を吸入して、ＩＣテスタ６の発熱部を冷却
した後、温度の高い空気（例えば、３２℃、３５％Ｒ
Ｈ）をクリーンルーム１内に放出するようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、クリーンル
ーム１内の空調を行う本体空調機２には、予めクリーン
ルーム１に設置するＩＣテスタ６の台数を想定し、この
複数台のＩＣテスタ６から放出される総排熱量に対応し
た冷却能力を有する空調機を採用するようにしている。
このため、ＩＣテスタ６の増設等により、クリーンルー
ム１に設置するＩＣテスタ６の台数が予め想定した台数
よりも多くなると、ＩＣテスタ６から放出される総排熱
量が本体空調機２の冷却能力を超え、クリーンルーム１
内の空気の温度が基準値（例えば、２５℃、５０％Ｒ
Ｈ）から外れて異常に上昇し、これにより、ＩＣテスタ
６の測定条件が変動してＩＣの信頼性に影響を与えると
いう問題点を有していた。なお、これに対処するため、
予め本体空調機２に冷却能力に余裕のある空調機を採用
することやＩＣテスタ６の増設等の際に本体空調機２を
冷却能力が大きい空調機に交換することも考えられる
が、設備のコスト及びスペースの点でいずれも問題点を
有していた。このほか、本体空調機２の冷却能力に余裕
がある場合でも、ＩＣテスタ６の配置等によっては、Ｉ
Ｃテスタ６から放出される排熱により、クリーンルーム
１内の温度が不均一になり、これにより、ＩＣテスタ６
の測定条件が変動してＩＣの信頼性に影響を与えるとい
う問題点を有していた。
ーム１内の空調を行う本体空調機２には、予めクリーン
ルーム１に設置するＩＣテスタ６の台数を想定し、この
複数台のＩＣテスタ６から放出される総排熱量に対応し
た冷却能力を有する空調機を採用するようにしている。
このため、ＩＣテスタ６の増設等により、クリーンルー
ム１に設置するＩＣテスタ６の台数が予め想定した台数
よりも多くなると、ＩＣテスタ６から放出される総排熱
量が本体空調機２の冷却能力を超え、クリーンルーム１
内の空気の温度が基準値（例えば、２５℃、５０％Ｒ
Ｈ）から外れて異常に上昇し、これにより、ＩＣテスタ
６の測定条件が変動してＩＣの信頼性に影響を与えると
いう問題点を有していた。なお、これに対処するため、
予め本体空調機２に冷却能力に余裕のある空調機を採用
することやＩＣテスタ６の増設等の際に本体空調機２を
冷却能力が大きい空調機に交換することも考えられる
が、設備のコスト及びスペースの点でいずれも問題点を
有していた。このほか、本体空調機２の冷却能力に余裕
がある場合でも、ＩＣテスタ６の配置等によっては、Ｉ
Ｃテスタ６から放出される排熱により、クリーンルーム
１内の温度が不均一になり、これにより、ＩＣテスタ６
の測定条件が変動してＩＣの信頼性に影響を与えるとい
う問題点を有していた。
【０００４】本発明は、上記従来のクリーンルームの冷
却装置の有する問題点を解決し、ＩＣテスタの増設等に
容易に対応して、クリーンルームに設置されたＩＣテス
タから放出される排熱により、クリーンルーム内の空気
の温度が異常に上昇したり、不均一になることを防止す
ることができるクリーンルーム用冷却装置を提供するこ
とを目的とする。
却装置の有する問題点を解決し、ＩＣテスタの増設等に
容易に対応して、クリーンルームに設置されたＩＣテス
タから放出される排熱により、クリーンルーム内の空気
の温度が異常に上昇したり、不均一になることを防止す
ることができるクリーンルーム用冷却装置を提供するこ
とを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本第１発明のクリーンルーム用冷却装置は、熱交換
機と送風機を備え、特定のＩＣテスタから放出される温
度の高い空気の一部又は全部を吸入して冷却した後、冷
却した空気をクリーンルーム内に放出するようにしたこ
とを特徴とする。ここで、「特定のＩＣテスタ」とは、
必ずしも１台のＩＣテスタを意味せず、１台のクリーン
ルーム用冷却装置を２台以上のＩＣテスタで共用する場
合を含むものとする。
め、本第１発明のクリーンルーム用冷却装置は、熱交換
機と送風機を備え、特定のＩＣテスタから放出される温
度の高い空気の一部又は全部を吸入して冷却した後、冷
却した空気をクリーンルーム内に放出するようにしたこ
とを特徴とする。ここで、「特定のＩＣテスタ」とは、
必ずしも１台のＩＣテスタを意味せず、１台のクリーン
ルーム用冷却装置を２台以上のＩＣテスタで共用する場
合を含むものとする。
【０００６】本第１発明のクリーンルーム用冷却装置
は、ＩＣテスタから放出される温度の高い空気（例え
ば、３２℃、３５％ＲＨ）の一部又は全部を吸入して、
好ましくは、クリーンルーム内の空気の温度の基準値
（例えば、２５℃、５０％ＲＨ）になるまで冷却した
後、冷却した空気をクリーンルーム内に放出する。
は、ＩＣテスタから放出される温度の高い空気（例え
ば、３２℃、３５％ＲＨ）の一部又は全部を吸入して、
好ましくは、クリーンルーム内の空気の温度の基準値
（例えば、２５℃、５０％ＲＨ）になるまで冷却した
後、冷却した空気をクリーンルーム内に放出する。
【０００７】この場合において、冷却した空気をクリー
ンルームの本体空調機の吸入側ダクトを接続したアクセ
スフロアの下方空間に放出するように構成することがで
きる。
ンルームの本体空調機の吸入側ダクトを接続したアクセ
スフロアの下方空間に放出するように構成することがで
きる。
【０００８】これにより、ＩＣテスタから放出された空
気（ただし、空気の温度は、クリーンルーム内の空気の
温度の基準値まで低下している。）を吸入側ダクトから
本体空調機に吸入し、空気清浄装置を通すことによって
清浄化してクリーンルーム内に放出する。
気（ただし、空気の温度は、クリーンルーム内の空気の
温度の基準値まで低下している。）を吸入側ダクトから
本体空調機に吸入し、空気清浄装置を通すことによって
清浄化してクリーンルーム内に放出する。
【０００９】本第２発明のクリーンルーム用冷却装置
は、熱交換機と送風機を備え、クリーンルーム内の空気
を吸入して冷却した後、冷却した空気を特定のＩＣテス
タに供給するようにしたことを特徴とする。ここで、
「特定のＩＣテスタ」とは、必ずしも１台のＩＣテスタ
を意味せず、１台のクリーンルーム用冷却装置を２台以
上のＩＣテスタで共用する場合を含むものとする。
は、熱交換機と送風機を備え、クリーンルーム内の空気
を吸入して冷却した後、冷却した空気を特定のＩＣテス
タに供給するようにしたことを特徴とする。ここで、
「特定のＩＣテスタ」とは、必ずしも１台のＩＣテスタ
を意味せず、１台のクリーンルーム用冷却装置を２台以
上のＩＣテスタで共用する場合を含むものとする。
【００１０】また、本第２発明のクリーンルーム用冷却
装置は、好ましくは、ＩＣテスタから放出される空気の
温度が、クリーンルーム内の空気の温度の基準値（例え
ば、２５℃、５０％ＲＨ）となるように、クリーンルー
ム内の空気（例えば、２５℃、５０％ＲＨ）を冷却した
後、冷却した空気をＩＣテスタに供給する。
装置は、好ましくは、ＩＣテスタから放出される空気の
温度が、クリーンルーム内の空気の温度の基準値（例え
ば、２５℃、５０％ＲＨ）となるように、クリーンルー
ム内の空気（例えば、２５℃、５０％ＲＨ）を冷却した
後、冷却した空気をＩＣテスタに供給する。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明のクリーンルーム用
冷却装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。な
お、図面中の矢印は、空気の流れを示している。
冷却装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。な
お、図面中の矢印は、空気の流れを示している。
【００１２】図１は、本発明のクリーンルーム用冷却装
置８の第１実施例を示す。クリーンルーム用冷却装置８
は、熱交換機８１と送風機８２を備え、クリーンルーム
１のアクセスフロア５上に設置したＩＣテスタ６の下方
のアクセスフロア５の下方空間１１に設置することによ
り、ＩＣテスタ６の下面から放出される温度の高い空気
（例えば、３２℃、３５％ＲＨ）を吸入して、好ましく
は、クリーンルーム１内の空気の温度の基準値（例え
ば、２５℃、５０％ＲＨ）になるまで冷却した後、冷却
した空気をクリーンルーム１の本体空調機２の吸入側ダ
クト３ｂを接続したアクセスフロア５の下方空間１１に
放出するようにしたものである。
置８の第１実施例を示す。クリーンルーム用冷却装置８
は、熱交換機８１と送風機８２を備え、クリーンルーム
１のアクセスフロア５上に設置したＩＣテスタ６の下方
のアクセスフロア５の下方空間１１に設置することによ
り、ＩＣテスタ６の下面から放出される温度の高い空気
（例えば、３２℃、３５％ＲＨ）を吸入して、好ましく
は、クリーンルーム１内の空気の温度の基準値（例え
ば、２５℃、５０％ＲＨ）になるまで冷却した後、冷却
した空気をクリーンルーム１の本体空調機２の吸入側ダ
クト３ｂを接続したアクセスフロア５の下方空間１１に
放出するようにしたものである。
【００１３】このクリーンルーム用冷却装置８には、対
象とするＩＣテスタ６から放出される排熱量に対応した
冷却能力を有する冷却装置を使用する。
象とするＩＣテスタ６から放出される排熱量に対応した
冷却能力を有する冷却装置を使用する。
【００１４】この場合、クリーンルーム１に設置したＩ
Ｃテスタ６は、従来と同様、ＩＣテスタ６内にファン
（図示省略）を備えることにより、クリーンルーム１内
の空気（例えば、２５℃、５０％ＲＨ）を吸入して、Ｉ
Ｃテスタ６の発熱部を冷却した後、温度の高い空気（例
えば、３２℃、３５％ＲＨ）をＩＣテスタ６の下面から
クリーンルーム１のアクセスフロア５の下方空間１１内
に放出するようにしている。そして、ＩＣテスタ６から
放出され、クリーンルーム用冷却装置８を経由してアク
セスフロア５の下方空間１１に放出された冷却した空気
は、アクセスフロア５の下方空間１１の空気と共にその
まま吸入側ダクト３ｂから本体空調機２に吸入されて空
調されるとともに、放出側ダクト３ａからＨＥＰＡフィ
ルタ等の公知の空気清浄装置４を通ることによって清浄
化された後、クリーンルーム１内に放出される。なお、
本実施例においては、ＩＣテスタ６の下面とクリーンル
ーム用冷却装置８との間に隙間が形成されているため、
ＩＣテスタ６から放出された空気の一部がクリーンルー
ム用冷却装置８を経由せずに直接アクセスフロア５の下
方空間１１に放出されるようになっているが（この場
合、クリーンルーム用冷却装置８は、対象とするＩＣテ
スタ６から放出される排熱量に対応した冷却能力を有し
ているため、クリーンルーム用冷却装置８を経由した空
気と、経由せずに直接アクセスフロア５の下方空間１１
に放出された空気とが合わさったものが、クリーンルー
ム１内の空気の温度の基準値（例えば、２５℃、５０％
ＲＨ）になるようにする。）、必要に応じて、ＩＣテス
タ６の下面とクリーンルーム用冷却装置８との間を密閉
してＩＣテスタ６から放出された空気の全部がクリーン
ルーム用冷却装置８を経由してアクセスフロア５の下方
空間１１に放出されるように構成することができる。
Ｃテスタ６は、従来と同様、ＩＣテスタ６内にファン
（図示省略）を備えることにより、クリーンルーム１内
の空気（例えば、２５℃、５０％ＲＨ）を吸入して、Ｉ
Ｃテスタ６の発熱部を冷却した後、温度の高い空気（例
えば、３２℃、３５％ＲＨ）をＩＣテスタ６の下面から
クリーンルーム１のアクセスフロア５の下方空間１１内
に放出するようにしている。そして、ＩＣテスタ６から
放出され、クリーンルーム用冷却装置８を経由してアク
セスフロア５の下方空間１１に放出された冷却した空気
は、アクセスフロア５の下方空間１１の空気と共にその
まま吸入側ダクト３ｂから本体空調機２に吸入されて空
調されるとともに、放出側ダクト３ａからＨＥＰＡフィ
ルタ等の公知の空気清浄装置４を通ることによって清浄
化された後、クリーンルーム１内に放出される。なお、
本実施例においては、ＩＣテスタ６の下面とクリーンル
ーム用冷却装置８との間に隙間が形成されているため、
ＩＣテスタ６から放出された空気の一部がクリーンルー
ム用冷却装置８を経由せずに直接アクセスフロア５の下
方空間１１に放出されるようになっているが（この場
合、クリーンルーム用冷却装置８は、対象とするＩＣテ
スタ６から放出される排熱量に対応した冷却能力を有し
ているため、クリーンルーム用冷却装置８を経由した空
気と、経由せずに直接アクセスフロア５の下方空間１１
に放出された空気とが合わさったものが、クリーンルー
ム１内の空気の温度の基準値（例えば、２５℃、５０％
ＲＨ）になるようにする。）、必要に応じて、ＩＣテス
タ６の下面とクリーンルーム用冷却装置８との間を密閉
してＩＣテスタ６から放出された空気の全部がクリーン
ルーム用冷却装置８を経由してアクセスフロア５の下方
空間１１に放出されるように構成することができる。
【００１５】本実施例によれば、クリーンルーム用冷却
装置８をアクセスフロア５の下方空間１１に設置するよ
うにしているため、クリーンルーム用冷却装置８をＩＣ
テスタ６と無関係に設置することができ、特に、既設の
ＩＣテスタ６にクリーンルーム用冷却装置８を付設する
場合に、ＩＣテスタ６を移動等せずにクリーンルーム用
冷却装置８を設置することができ、好適である。
装置８をアクセスフロア５の下方空間１１に設置するよ
うにしているため、クリーンルーム用冷却装置８をＩＣ
テスタ６と無関係に設置することができ、特に、既設の
ＩＣテスタ６にクリーンルーム用冷却装置８を付設する
場合に、ＩＣテスタ６を移動等せずにクリーンルーム用
冷却装置８を設置することができ、好適である。
【００１６】図２は、本発明のクリーンルーム用冷却装
置８の第２実施例を示す。クリーンルーム用冷却装置８
は、熱交換機８１と送風機８２を備え、クリーンルーム
１のアクセスフロア５上に設置したＩＣテスタ６を載置
する架台９内に設置することにより、ＩＣテスタ６の下
面から放出される温度の高い空気（例えば、３２℃、３
５％ＲＨ）を吸入して、好ましくは、クリーンルーム１
内の空気の温度の基準値（例えば、２５℃、５０％Ｒ
Ｈ）になるまで冷却した後、冷却した空気をクリーンル
ーム１内に放出するようにしたものである。なお、その
他のクリーンルーム１の基本的な構成は、上記第１実施
例と同様である。
置８の第２実施例を示す。クリーンルーム用冷却装置８
は、熱交換機８１と送風機８２を備え、クリーンルーム
１のアクセスフロア５上に設置したＩＣテスタ６を載置
する架台９内に設置することにより、ＩＣテスタ６の下
面から放出される温度の高い空気（例えば、３２℃、３
５％ＲＨ）を吸入して、好ましくは、クリーンルーム１
内の空気の温度の基準値（例えば、２５℃、５０％Ｒ
Ｈ）になるまで冷却した後、冷却した空気をクリーンル
ーム１内に放出するようにしたものである。なお、その
他のクリーンルーム１の基本的な構成は、上記第１実施
例と同様である。
【００１７】図３は、本発明のクリーンルーム用冷却装
置８の第３実施例を示す。クリーンルーム用冷却装置８
は、熱交換機８１と送風機８２を備え、クリーンルーム
１のアクセスフロア５上に設置したＩＣテスタ６の上方
から側方にかけて設置することにより、ＩＣテスタ６の
上面から放出される温度の高い空気（例えば、３２℃、
３５％ＲＨ）を吸入して、好ましくは、クリーンルーム
１内の空気の温度の基準値（例えば、２５℃、５０％Ｒ
Ｈ）になるまで冷却した後、冷却した空気をクリーンル
ーム１の本体空調機２の吸入側ダクト３ｂを接続したア
クセスフロア５の下方空間１１に放出するようにしたも
のである。なお、その他のクリーンルーム１の基本的な
構成は、上記第１実施例と同様である。
置８の第３実施例を示す。クリーンルーム用冷却装置８
は、熱交換機８１と送風機８２を備え、クリーンルーム
１のアクセスフロア５上に設置したＩＣテスタ６の上方
から側方にかけて設置することにより、ＩＣテスタ６の
上面から放出される温度の高い空気（例えば、３２℃、
３５％ＲＨ）を吸入して、好ましくは、クリーンルーム
１内の空気の温度の基準値（例えば、２５℃、５０％Ｒ
Ｈ）になるまで冷却した後、冷却した空気をクリーンル
ーム１の本体空調機２の吸入側ダクト３ｂを接続したア
クセスフロア５の下方空間１１に放出するようにしたも
のである。なお、その他のクリーンルーム１の基本的な
構成は、上記第１実施例と同様である。
【００１８】図４は、本発明のクリーンルーム用冷却装
置８の第４実施例を示す。クリーンルーム用冷却装置８
は、熱交換機８１と送風機８２を備え、クリーンルーム
１のアクセスフロア５上に設置したＩＣテスタ６の上方
に設置することにより、ＩＣテスタ６の上面から放出さ
れる温度の高い空気（例えば、３２℃、３５％ＲＨ）を
吸入して、好ましくは、クリーンルーム１内の空気の温
度の基準値（例えば、２５℃、５０％ＲＨ）になるまで
冷却した後、冷却した空気をクリーンルーム１内に放出
するようにしたものである。
置８の第４実施例を示す。クリーンルーム用冷却装置８
は、熱交換機８１と送風機８２を備え、クリーンルーム
１のアクセスフロア５上に設置したＩＣテスタ６の上方
に設置することにより、ＩＣテスタ６の上面から放出さ
れる温度の高い空気（例えば、３２℃、３５％ＲＨ）を
吸入して、好ましくは、クリーンルーム１内の空気の温
度の基準値（例えば、２５℃、５０％ＲＨ）になるまで
冷却した後、冷却した空気をクリーンルーム１内に放出
するようにしたものである。
【００１９】なお、上記第２実施例及び第４実施例に示
すように、クリーンルーム用冷却装置８により冷却した
空気をアクセスフロア５の下方空間１１を除くクリーン
ルーム１内に放出する場合には、必要に応じて、クリー
ンルーム用冷却装置８にＨＥＰＡフィルタ等の公知の空
気清浄装置（図示省略）を付設することができ、これに
よって、クリーンルーム用冷却装置８により冷却した空
気を清浄化した後、クリーンルーム１内に放出すること
ができる。
すように、クリーンルーム用冷却装置８により冷却した
空気をアクセスフロア５の下方空間１１を除くクリーン
ルーム１内に放出する場合には、必要に応じて、クリー
ンルーム用冷却装置８にＨＥＰＡフィルタ等の公知の空
気清浄装置（図示省略）を付設することができ、これに
よって、クリーンルーム用冷却装置８により冷却した空
気を清浄化した後、クリーンルーム１内に放出すること
ができる。
【００２０】ところで、上記第１実施例〜第４実施例の
クリーンルーム用冷却装置８は、いずれも、クリーンル
ーム用冷却装置８をＩＣテスタ６の空気の放出側に設け
ることにより、ＩＣテスタ６から放出される温度の高い
空気（例えば、３２℃、３５％ＲＨ）の一部又は全部を
吸入して、好ましくは、クリーンルーム１内の空気の温
度の基準値（例えば、２５℃、５０％ＲＨ）になるまで
冷却した後、冷却した空気をクリーンルーム１内に放出
するように構成した例を示したが、同様の熱交換機と、
送風機とを備えたクリーンルーム用冷却装置をＩＣテス
タの空気の吸入側に設けることにより、好ましくは、Ｉ
Ｃテスタから放出される空気の温度が、クリーンルーム
内の空気の温度の基準値（例えば、２５℃、５０％Ｒ
Ｈ）となるように、クリーンルーム内の空気（例えば、
２５℃、５０％ＲＨ）を冷却した後、冷却した空気をＩ
Ｃテスタに供給するように構成することができる。
クリーンルーム用冷却装置８は、いずれも、クリーンル
ーム用冷却装置８をＩＣテスタ６の空気の放出側に設け
ることにより、ＩＣテスタ６から放出される温度の高い
空気（例えば、３２℃、３５％ＲＨ）の一部又は全部を
吸入して、好ましくは、クリーンルーム１内の空気の温
度の基準値（例えば、２５℃、５０％ＲＨ）になるまで
冷却した後、冷却した空気をクリーンルーム１内に放出
するように構成した例を示したが、同様の熱交換機と、
送風機とを備えたクリーンルーム用冷却装置をＩＣテス
タの空気の吸入側に設けることにより、好ましくは、Ｉ
Ｃテスタから放出される空気の温度が、クリーンルーム
内の空気の温度の基準値（例えば、２５℃、５０％Ｒ
Ｈ）となるように、クリーンルーム内の空気（例えば、
２５℃、５０％ＲＨ）を冷却した後、冷却した空気をＩ
Ｃテスタに供給するように構成することができる。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、個々のＩＣテスタから
放出される排熱による熱負荷をこれに対応したクリーン
ルーム用冷却装置により相殺することができ、これによ
り、クリーンルームの本体空調機の冷却能力を変更する
ことなく、ＩＣテスタの増設等に容易に対応することが
でき、クリーンルームに設置されたＩＣテスタから放出
される排熱により、クリーンルーム内の空気の温度が異
常に上昇したり、ＩＣテスタの配置等によって、クリー
ンルーム内の温度が不均一になることを防止することが
でき、信頼性の高いクリーンルームを提供することがで
きる。また、本発明は、高精度で、高価なＩＣテスタの
設計変更を必要としないため、既存のＩＣテスタにも容
易に対応することができる。
放出される排熱による熱負荷をこれに対応したクリーン
ルーム用冷却装置により相殺することができ、これによ
り、クリーンルームの本体空調機の冷却能力を変更する
ことなく、ＩＣテスタの増設等に容易に対応することが
でき、クリーンルームに設置されたＩＣテスタから放出
される排熱により、クリーンルーム内の空気の温度が異
常に上昇したり、ＩＣテスタの配置等によって、クリー
ンルーム内の温度が不均一になることを防止することが
でき、信頼性の高いクリーンルームを提供することがで
きる。また、本発明は、高精度で、高価なＩＣテスタの
設計変更を必要としないため、既存のＩＣテスタにも容
易に対応することができる。
【００２２】また、冷却した空気をクリーンルームの本
体空調機の吸入側ダクトを接続したアクセスフロアの下
方空間に放出するように構成することにより、ＩＣテス
タから放出され、クリーンルーム用冷却装置を経由して
アクセスフロアの下方空間に放出された冷却した空気
を、吸入側ダクトから本体空調機に吸入し、空気清浄装
置を通すことによって清浄化してクリーンルーム内に放
出することができ、これにより、クリーンルームの清浄
度を高い状態に維持することができる。
体空調機の吸入側ダクトを接続したアクセスフロアの下
方空間に放出するように構成することにより、ＩＣテス
タから放出され、クリーンルーム用冷却装置を経由して
アクセスフロアの下方空間に放出された冷却した空気
を、吸入側ダクトから本体空調機に吸入し、空気清浄装
置を通すことによって清浄化してクリーンルーム内に放
出することができ、これにより、クリーンルームの清浄
度を高い状態に維持することができる。
【図１】本発明のクリーンルーム用冷却装置の設置例
（第１実施例）を示す概念図である。
（第１実施例）を示す概念図である。
【図２】本発明のクリーンルーム用冷却装置の設置例
（第２実施例）を示す概念図である。
（第２実施例）を示す概念図である。
【図３】本発明のクリーンルーム用冷却装置の設置例
（第３実施例）を示す概念図である。
（第３実施例）を示す概念図である。
【図４】本発明のクリーンルーム用冷却装置の設置例
（第４実施例）を示す概念図である。
（第４実施例）を示す概念図である。
【図５】従来のクリーンルームの設備を示す概念図であ
る。
る。
１ クリーンルーム １１ 下方空間 ２ 本体空調機 ３ａ 放出側ダクト ３ｂ 吸入側ダクト ４ 空気清浄装置 ５ アクセスフロア ６ ＩＣテスタ ８ クリーンルーム用冷却装置
Claims (3)
- 【請求項１】 熱交換機と送風機を備え、特定のＩＣテ
スタから放出される温度の高い空気の一部又は全部を吸
入して冷却した後、冷却した空気をクリーンルーム内に
放出するようにしたことを特徴とするクリーンルーム用
冷却装置。 - 【請求項２】 前記冷却した空気をクリーンルームの本
体空調機の吸入側ダクトを接続したアクセスフロアの下
方空間に放出するようにしたことを特徴とする請求項１
記載のクリーンルーム用冷却装置。 - 【請求項３】 熱交換機と送風機を備え、クリーンルー
ム内の空気を吸入して冷却した後、冷却した空気を特定
のＩＣテスタに供給するようにしたことを特徴とするク
リーンルーム用冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31968595A JPH09137980A (ja) | 1995-11-13 | 1995-11-13 | クリーンルーム用冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31968595A JPH09137980A (ja) | 1995-11-13 | 1995-11-13 | クリーンルーム用冷却装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09137980A true JPH09137980A (ja) | 1997-05-27 |
Family
ID=18113049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31968595A Pending JPH09137980A (ja) | 1995-11-13 | 1995-11-13 | クリーンルーム用冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09137980A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1163577A (ja) * | 1997-08-14 | 1999-03-05 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | クリーンルーム用局所冷却装置 |
-
1995
- 1995-11-13 JP JP31968595A patent/JPH09137980A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1163577A (ja) * | 1997-08-14 | 1999-03-05 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | クリーンルーム用局所冷却装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5377915B2 (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
| CN113966142B (zh) | 一种基于热管换热器和空调的机房制冷机柜及其控制方法 | |
| WO2013021466A1 (ja) | 喫煙室の換気方法 | |
| JPH09137980A (ja) | クリーンルーム用冷却装置 | |
| CN111895556A (zh) | 一种通风降温空调冷循环装置 | |
| JPH09275289A (ja) | 電子装置の冷却構造 | |
| JP3516507B2 (ja) | クリーンルームシステム | |
| JP3105655B2 (ja) | クリーンルームの空調方式 | |
| JPH10281537A (ja) | 空気調和装置 | |
| JPS6124933A (ja) | 空気調和システム | |
| JPH05288378A (ja) | クリーンルーム | |
| JP4275969B2 (ja) | 乱流式クリーンルーム | |
| JP4334863B2 (ja) | 二重床内設置型空調機及び二重床内設置型空調機の使用方法 | |
| US20250305702A1 (en) | Air-conditioning system | |
| JP3353295B2 (ja) | ファンコイルユニット | |
| JP2984529B2 (ja) | Ｉｃテスタ | |
| JP2003025990A (ja) | 鉄道車両用空調装置の電気品冷却方式 | |
| JPH04189670A (ja) | 車輌用空気調和機 | |
| JP2000337675A (ja) | 低露点のクリーンルーム装置 | |
| JPH0411749A (ja) | Ｉｃ試験装置の排熱冷却方法 | |
| JP7637847B2 (ja) | 換気制御システム | |
| JP2002250538A (ja) | 室内ユニット及び空気調和機 | |
| JP4557533B2 (ja) | 電子製品製造設備 | |
| JPH1030832A (ja) | 空気調和装置 | |
| JP2004156803A (ja) | 空調システム及び冷凍装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20010508 |