JPH09141528A - 電解加工装置 - Google Patents
電解加工装置Info
- Publication number
- JPH09141528A JPH09141528A JP30483195A JP30483195A JPH09141528A JP H09141528 A JPH09141528 A JP H09141528A JP 30483195 A JP30483195 A JP 30483195A JP 30483195 A JP30483195 A JP 30483195A JP H09141528 A JPH09141528 A JP H09141528A
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- Japan
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- electrolytic solution
- workpiece
- sludge
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- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 電極を形状の異なる複数の製品に対して共通
して使用でき、またスラッジ、水素ガスの排出を良好に
行うこと。 【解決手段】 電解液槽2内に配置された被加工物3と
対向配置される電極部4は、スラッジが通過可能な多数
の微細穴またはスリットが形成された有底筒形状をした
回転電極41と、回転電極41の内部に設けられたドリ
ル形状の回転体42とからなる。電解液1中に発生した
スラッジおよび発生ガスは、回転電極41の上方で吸引
ノズル7により吸引され、フィルタ8で濾過され、ポン
プ9により電解液通路42bを介して電解液槽2内に吐
出される。直流電源5は、一定電圧値にパルス電圧を重
畳してなる合成電圧を被加工物3、回転電極41間に印
加し、送り速度制御機構10、11、12、13は、被
加工物3、回転電極41間を流れる電流の最大値に応じ
て、回転電極41、被加工物3間の相対的送り速度を制
御する。
して使用でき、またスラッジ、水素ガスの排出を良好に
行うこと。 【解決手段】 電解液槽2内に配置された被加工物3と
対向配置される電極部4は、スラッジが通過可能な多数
の微細穴またはスリットが形成された有底筒形状をした
回転電極41と、回転電極41の内部に設けられたドリ
ル形状の回転体42とからなる。電解液1中に発生した
スラッジおよび発生ガスは、回転電極41の上方で吸引
ノズル7により吸引され、フィルタ8で濾過され、ポン
プ9により電解液通路42bを介して電解液槽2内に吐
出される。直流電源5は、一定電圧値にパルス電圧を重
畳してなる合成電圧を被加工物3、回転電極41間に印
加し、送り速度制御機構10、11、12、13は、被
加工物3、回転電極41間を流れる電流の最大値に応じ
て、回転電極41、被加工物3間の相対的送り速度を制
御する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電解加工装置、詳
しくは、加工速度低下の原因となるスラッジおよび発生
ガスの排出機能を備えた電解加工装置に関するものであ
る。
しくは、加工速度低下の原因となるスラッジおよび発生
ガスの排出機能を備えた電解加工装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】電解加工の原理は、図6に示すように、
電極20を直流電源30の−側、被加工物40を+側に
それぞれ接続し、電気分解の原理により被加工物40か
ら金属を溶出させて加工を行うことであるが、この加工
時に、溶出金属がスラッジとなるとともに電極20から
水素ガスが発生し、このスラッジおよび水素ガスによっ
て電流の流れが妨げられ加工が阻害されるという不具合
が発生する。
電極20を直流電源30の−側、被加工物40を+側に
それぞれ接続し、電気分解の原理により被加工物40か
ら金属を溶出させて加工を行うことであるが、この加工
時に、溶出金属がスラッジとなるとともに電極20から
水素ガスが発生し、このスラッジおよび水素ガスによっ
て電流の流れが妨げられ加工が阻害されるという不具合
が発生する。
【0003】従来、電解加工は、特開昭63−1963
21号公報に示されるように、型荒加工後の仕上げ加工
などに使用されてきた。しかし、製品の形状に合うよう
に電極の形状を製作しているため、製品の形状ごとに、
異なる形状の電極が必要となり、電極の設計、製作に長
時間を要し、製品の変更に対する迅速な対応ができない
という問題がある。
21号公報に示されるように、型荒加工後の仕上げ加工
などに使用されてきた。しかし、製品の形状に合うよう
に電極の形状を製作しているため、製品の形状ごとに、
異なる形状の電極が必要となり、電極の設計、製作に長
時間を要し、製品の変更に対する迅速な対応ができない
という問題がある。
【0004】また、製品が大型化、複雑化するに従って
電極も大型化、複雑化し、加工時に発生するスラッジ、
水素ガスの排出が難しくなり、加工速度の低速化、加工
停止を招く。そのため、特開平3−32526号公報、
実公平2−61529号公報に示されるようにスラッ
ジ、水素ガスを排除する方法が考え出されているが、い
ずれも上記問題点を解決するまでには至っていない。
電極も大型化、複雑化し、加工時に発生するスラッジ、
水素ガスの排出が難しくなり、加工速度の低速化、加工
停止を招く。そのため、特開平3−32526号公報、
実公平2−61529号公報に示されるようにスラッ
ジ、水素ガスを排除する方法が考え出されているが、い
ずれも上記問題点を解決するまでには至っていない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の点に
かんがみ、電極を形状の異なる複数の製品に対して共通
して使用できるようにするとともにスラッジ、水素ガス
の排出を良好に行うことができる電解加工装置を提供す
ることを目的としてなされたものである。
かんがみ、電極を形状の異なる複数の製品に対して共通
して使用できるようにするとともにスラッジ、水素ガス
の排出を良好に行うことができる電解加工装置を提供す
ることを目的としてなされたものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、電極
を回転電極によって構成し、この回転電極と被加工物と
の相対的送り速度を制御するようにしたため、回転電極
を形状の異なる複数の製品に対して共通して使用するこ
とが可能になる。また、電解液槽内の電解液中に発生し
たスラッジおよび発生ガスを回転電極の上方で吸引し、
濾過し、電解液槽内に吐出するようにしたため、スラッ
ジ、発生ガスの排出が円滑なものとなり、加工速度の低
下を防止することができる。
を回転電極によって構成し、この回転電極と被加工物と
の相対的送り速度を制御するようにしたため、回転電極
を形状の異なる複数の製品に対して共通して使用するこ
とが可能になる。また、電解液槽内の電解液中に発生し
たスラッジおよび発生ガスを回転電極の上方で吸引し、
濾過し、電解液槽内に吐出するようにしたため、スラッ
ジ、発生ガスの排出が円滑なものとなり、加工速度の低
下を防止することができる。
【0007】請求項2の発明は、回転電極を、スラッジ
が通過可能な多数の微細穴またはスリットが形成された
有底筒形状としたため、微細穴またはスリットを介して
スラッジおよび発生ガスは回転電極の内部に流入し、そ
の上方で吸引されるようになり、このため、スラッジ、
発生ガスの排出が円滑になる。
が通過可能な多数の微細穴またはスリットが形成された
有底筒形状としたため、微細穴またはスリットを介して
スラッジおよび発生ガスは回転電極の内部に流入し、そ
の上方で吸引されるようになり、このため、スラッジ、
発生ガスの排出が円滑になる。
【0008】請求項3の発明は、回転電極をドリル形状
としたため、スラッジおよび発生ガスを回転電極の上方
へ導き、円滑に排出することができる。
としたため、スラッジおよび発生ガスを回転電極の上方
へ導き、円滑に排出することができる。
【0009】請求項4の発明は、回転電極を、スラッジ
が通過可能な多数の微細穴またはスリットが形成された
有底筒形状とし、さらに、この回転電極の内部にドリル
形状の回転体を設けたため、回転体の回転動作によりス
ラッジおよび発生ガスを回転電極の内部に流入させ上方
へ導き円滑に排出することができる。
が通過可能な多数の微細穴またはスリットが形成された
有底筒形状とし、さらに、この回転電極の内部にドリル
形状の回転体を設けたため、回転体の回転動作によりス
ラッジおよび発生ガスを回転電極の内部に流入させ上方
へ導き円滑に排出することができる。
【0010】請求項5の発明は、回転体に、濾過された
電解液を下方へ向けて吐出させるための電解液通路を設
けたため、回転電極と被加工物との間の電流の流れが阻
害されず加工速度の高速化を図ることができる。
電解液を下方へ向けて吐出させるための電解液通路を設
けたため、回転電極と被加工物との間の電流の流れが阻
害されず加工速度の高速化を図ることができる。
【0011】請求項6の発明は、直流電源により、一定
電圧値にパルス電圧を重畳してなる合成電圧を被加工物
と回転電極との間に印加し、送り速度制御機構により、
合成電圧の印加により被加工物、回転電極間を流れる電
流の最大値に応じて、回転電極と被加工物との相対的送
り速度を制御するようにしたため、被加工物と回転電極
との間を流れる電流によって被加工物、回転電極間の間
隙を容易に検出でき、この間隙に応じた送り速度制御、
すなわち、回転電極または被加工物の送り速度を低速化
したり、送りを停止することができる。
電圧値にパルス電圧を重畳してなる合成電圧を被加工物
と回転電極との間に印加し、送り速度制御機構により、
合成電圧の印加により被加工物、回転電極間を流れる電
流の最大値に応じて、回転電極と被加工物との相対的送
り速度を制御するようにしたため、被加工物と回転電極
との間を流れる電流によって被加工物、回転電極間の間
隙を容易に検出でき、この間隙に応じた送り速度制御、
すなわち、回転電極または被加工物の送り速度を低速化
したり、送りを停止することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【0013】図1は、実施形態としての一実施例である
電解加工装置の全体構成図を示している。
電解加工装置の全体構成図を示している。
【0014】図1において、電解液例えば硝酸ナトリウ
ム水溶液1の入った電解液槽2の底に、被加工物3が固
定され、被加工物3の上方には、電極部4が被加工物3
に対向して配置されている。また、電極部4と被加工物
3との間には、電極部4が−側、被加工物3が+側とな
るよう直流電源5が接続されている。
ム水溶液1の入った電解液槽2の底に、被加工物3が固
定され、被加工物3の上方には、電極部4が被加工物3
に対向して配置されている。また、電極部4と被加工物
3との間には、電極部4が−側、被加工物3が+側とな
るよう直流電源5が接続されている。
【0015】電極部4は、図2に示すように、有底円筒
形状の回転電極41と、この回転電極41の内部に設け
られたドリル状の回転体42とを有する。回転電極41
には、電解液槽2内の電解液1中に発生するスラッジが
通過可能な微細穴またはスリットが全面または一部に形
成されている。回転電極41は、微細穴またはスリット
を設けたことによって発生する不具合、すなわち、回転
電極41を回転させない場合に微細穴またはスリットの
形状が被加工物3に転写される不具合、を解消しうる程
度の速度で回転装置6によって回転される。一方、回転
体42は、スラッジおよび発生ガス(水素ガス)を回転
電極41の内部に微細穴またはスリットを介して流入さ
せ上昇させるよう回転装置6によって回転される。
形状の回転電極41と、この回転電極41の内部に設け
られたドリル状の回転体42とを有する。回転電極41
には、電解液槽2内の電解液1中に発生するスラッジが
通過可能な微細穴またはスリットが全面または一部に形
成されている。回転電極41は、微細穴またはスリット
を設けたことによって発生する不具合、すなわち、回転
電極41を回転させない場合に微細穴またはスリットの
形状が被加工物3に転写される不具合、を解消しうる程
度の速度で回転装置6によって回転される。一方、回転
体42は、スラッジおよび発生ガス(水素ガス)を回転
電極41の内部に微細穴またはスリットを介して流入さ
せ上昇させるよう回転装置6によって回転される。
【0016】電極部4の上側には、回転体42の回転動
作によって上昇してきたスラッジおよび発生ガスを吸引
する吸引ノズル7が設けられている。この吸引ノズル7
には、吸引されたスラッジを濾過するフィルタ8が接続
され、フィルタ8には、濾過された電解液1を電解液槽
2の内部に圧送するポンプ9が接続されている。電解液
槽2の内部への電解液1の吐出方法の1つとしては、図
2に示すように回転体42の回転軸42aに電解液の通
路42bを設け、回転体42の下方へ電解液1を吐出さ
せる方法がある。この方法によると、スラッジを含まな
い電解液1が回転電極41と被加工物3との間に吐出さ
れることから電流の流れが阻害されることがなくなり加
工速度の高速化を図ることができる。また、電解液1の
吐出により、電解液槽2内の電解液1の乱れが発生し、
スラッジを舞い上がらせ回転電極41の微細穴またはス
リットを介して回転電極41の内部に流入しやすくする
効果も奏する。
作によって上昇してきたスラッジおよび発生ガスを吸引
する吸引ノズル7が設けられている。この吸引ノズル7
には、吸引されたスラッジを濾過するフィルタ8が接続
され、フィルタ8には、濾過された電解液1を電解液槽
2の内部に圧送するポンプ9が接続されている。電解液
槽2の内部への電解液1の吐出方法の1つとしては、図
2に示すように回転体42の回転軸42aに電解液の通
路42bを設け、回転体42の下方へ電解液1を吐出さ
せる方法がある。この方法によると、スラッジを含まな
い電解液1が回転電極41と被加工物3との間に吐出さ
れることから電流の流れが阻害されることがなくなり加
工速度の高速化を図ることができる。また、電解液1の
吐出により、電解液槽2内の電解液1の乱れが発生し、
スラッジを舞い上がらせ回転電極41の微細穴またはス
リットを介して回転電極41の内部に流入しやすくする
効果も奏する。
【0017】電極部4は、加工ヘッド10によって支持
されている。加工ヘッド10は、制御装置11からのZ
軸制御信号に従ってZ軸方向へ移動可能に構成され、電
極部4は加工ヘッド10のZ軸方向への移動に従ってZ
軸方向へ送られる。
されている。加工ヘッド10は、制御装置11からのZ
軸制御信号に従ってZ軸方向へ移動可能に構成され、電
極部4は加工ヘッド10のZ軸方向への移動に従ってZ
軸方向へ送られる。
【0018】電解液槽2は、XYテーブル12の上に固
定されている。XYテーブル12は、制御装置11から
のXY軸制御信号に従ってXY軸方向へ移動可能に構成
され、電解液槽2および被加工物3は、XYテーブル1
2のXY軸方向への移動に従ってXY軸方向へ送られ
る。
定されている。XYテーブル12は、制御装置11から
のXY軸制御信号に従ってXY軸方向へ移動可能に構成
され、電解液槽2および被加工物3は、XYテーブル1
2のXY軸方向への移動に従ってXY軸方向へ送られ
る。
【0019】直流電源5から被加工物3、回転電極41
を経て直流電源5に至る電流通路には、電流を検出する
ための電流検出器13が設けられている。電流検出器1
3には、制御装置11が接続されている。
を経て直流電源5に至る電流通路には、電流を検出する
ための電流検出器13が設けられている。電流検出器1
3には、制御装置11が接続されている。
【0020】制御装置11は、電流検出器13による電
流検出値に基づいて直流電源5、加工ヘッド10、XY
テーブル12および電極交換装置14を制御するもので
あり、具体的には、図3に示すように、直流電源5の電
源電圧が、一定電圧値にパルス電圧を重畳させた合成電
圧となるよう、当該パルス電圧を発生するパルス発生回
路11aと、所定電流値IL、IH が設定された電流設定
回路11bと、電流設定回路11bの電流設定値IL、I
H と電流検出器13から入力されてくる電流検出値とを
比較し、その比較結果に応じて加工ヘッド10およびX
Yテーブル12のモータの駆動回路15に制御信号を出
力する比較演算回路11cとを備えて構成される。比較
演算回路11cは、具体的には、図4に示すように、極
間ギャップすなわち回転電極41と被加工物3との間の
間隙が減少することによって電流検出値Iが電流設定値
IL を超えるようになると回転電極41のZ軸方向への
送り速度を低速にし、また、図4に具体的には図示して
いないが、電流検出値Iが電流設定値IH を超えると回
転電極41のZ軸方向への送りを停止させるよう制御す
る。したがって、本実施例の電解加工装置における制御
系は、図5に示すように構成される。
流検出値に基づいて直流電源5、加工ヘッド10、XY
テーブル12および電極交換装置14を制御するもので
あり、具体的には、図3に示すように、直流電源5の電
源電圧が、一定電圧値にパルス電圧を重畳させた合成電
圧となるよう、当該パルス電圧を発生するパルス発生回
路11aと、所定電流値IL、IH が設定された電流設定
回路11bと、電流設定回路11bの電流設定値IL、I
H と電流検出器13から入力されてくる電流検出値とを
比較し、その比較結果に応じて加工ヘッド10およびX
Yテーブル12のモータの駆動回路15に制御信号を出
力する比較演算回路11cとを備えて構成される。比較
演算回路11cは、具体的には、図4に示すように、極
間ギャップすなわち回転電極41と被加工物3との間の
間隙が減少することによって電流検出値Iが電流設定値
IL を超えるようになると回転電極41のZ軸方向への
送り速度を低速にし、また、図4に具体的には図示して
いないが、電流検出値Iが電流設定値IH を超えると回
転電極41のZ軸方向への送りを停止させるよう制御す
る。したがって、本実施例の電解加工装置における制御
系は、図5に示すように構成される。
【0021】以上説明したように、本実施例の電解加工
装置によると、電極を回転電極41によって構成し、こ
の回転電極41と被加工物3との相対的送り速度を制御
するようにしたため、回転電極41を形状の異なる複数
の製品に対して共通して使用することが可能になる。ま
た、電解液槽2内の電解液1中に発生したスラッジおよ
び発生ガスを回転電極41の上方で吸引し、濾過し、電
解液槽2内に吐出するようにしたため、スラッジ、発生
ガスの排出が円滑なものとなり、加工速度の低下を防止
することができる。また、回転電極41を、スラッジが
通過可能な多数の微細穴またはスリットが形成された有
底筒形状としたため、微細穴またはスリットを介してス
ラッジおよび発生ガスは回転電極41の内部に流入し、
その上方で吸引されるようになり、このため、スラッ
ジ、発生ガスの排出が円滑になる。また、回転電極41
の内部にドリル形状の回転体42を設けたため、回転体
42の回転動作によりスラッジおよび発生ガスを回転電
極41の内部に流入させ上方へ導き円滑に排出すること
ができる。また、回転体42に、濾過された電解液1を
下方へ向けて吐出させるための通路42bを設けたた
め、回転電極41と被加工物3との間の電流の流れが阻
害されず加工速度の高速化を図ることができる。また、
直流電源5により、一定電圧値にパルス電圧を重畳して
なる合成電圧を被加工物3と回転電極41との間に印加
し、送り速度制御機構10、11、12、13、15に
より、合成電圧の印加により被加工物3、回転電極41
間を流れる電流の最大値に応じて、回転電極41と被加
工物3との相対的送り速度を制御するようにしたため、
被加工物3と回転電極41との間を流れる電流によって
被加工物3、回転電極41間の間隙を容易に検出でき、
この間隙に応じた送り速度制御、すなわち、回転電極4
1または被加工物3の送り速度を低速化したり、送りを
停止することができる。
装置によると、電極を回転電極41によって構成し、こ
の回転電極41と被加工物3との相対的送り速度を制御
するようにしたため、回転電極41を形状の異なる複数
の製品に対して共通して使用することが可能になる。ま
た、電解液槽2内の電解液1中に発生したスラッジおよ
び発生ガスを回転電極41の上方で吸引し、濾過し、電
解液槽2内に吐出するようにしたため、スラッジ、発生
ガスの排出が円滑なものとなり、加工速度の低下を防止
することができる。また、回転電極41を、スラッジが
通過可能な多数の微細穴またはスリットが形成された有
底筒形状としたため、微細穴またはスリットを介してス
ラッジおよび発生ガスは回転電極41の内部に流入し、
その上方で吸引されるようになり、このため、スラッ
ジ、発生ガスの排出が円滑になる。また、回転電極41
の内部にドリル形状の回転体42を設けたため、回転体
42の回転動作によりスラッジおよび発生ガスを回転電
極41の内部に流入させ上方へ導き円滑に排出すること
ができる。また、回転体42に、濾過された電解液1を
下方へ向けて吐出させるための通路42bを設けたた
め、回転電極41と被加工物3との間の電流の流れが阻
害されず加工速度の高速化を図ることができる。また、
直流電源5により、一定電圧値にパルス電圧を重畳して
なる合成電圧を被加工物3と回転電極41との間に印加
し、送り速度制御機構10、11、12、13、15に
より、合成電圧の印加により被加工物3、回転電極41
間を流れる電流の最大値に応じて、回転電極41と被加
工物3との相対的送り速度を制御するようにしたため、
被加工物3と回転電極41との間を流れる電流によって
被加工物3、回転電極41間の間隙を容易に検出でき、
この間隙に応じた送り速度制御、すなわち、回転電極4
1または被加工物3の送り速度を低速化したり、送りを
停止することができる。
【0022】なお、回転体42を省略し、濾過機構7、
8、9、42a、42bのみによってスラッジおよび発
生ガスを吸引する構成としてもよい。また、回転体41
を省略するとともに電極として有底筒状の回転電極41
の代わりにドリル形状の回転電極42、42aを用いる
ようにしても、上記実施例と同様な効果を奏することが
できる。また、有底筒状の回転電極41は、図示したよ
うな円筒形状に限定されるものではなく、有底中空な直
方体形状のものであってもよい。また、加工ヘッド10
をXY軸方向にも移動可能に構成してもよい。
8、9、42a、42bのみによってスラッジおよび発
生ガスを吸引する構成としてもよい。また、回転体41
を省略するとともに電極として有底筒状の回転電極41
の代わりにドリル形状の回転電極42、42aを用いる
ようにしても、上記実施例と同様な効果を奏することが
できる。また、有底筒状の回転電極41は、図示したよ
うな円筒形状に限定されるものではなく、有底中空な直
方体形状のものであってもよい。また、加工ヘッド10
をXY軸方向にも移動可能に構成してもよい。
【図1】一実施例による電解加工装置の全体構成図
【図2】電極部の一部切欠斜視図
【図3】制御系統図
【図4】送り速度制御を説明するための波形図
【図5】送り速度制御を説明するためのフローチャート
【図6】電解加工の原理図
1 電解液 2 電解液槽 3 被加工物 5 直流電源 7、8、9、42b 濾過機構 10、11、12、13 送り速度制御機構 41 回転電極 42 回転体
Claims (6)
- 【請求項1】 電解液槽と、 前記電解液槽内に配置された被加工物と対向配置される
回転電極と、 前記電解液槽内の電解液中に発生するスラッジおよび発
生ガスを前記回転電極の上方で吸引し、濾過し、前記電
解液槽内に吐出する濾過機構と、 前記被加工物と前記回転電極との間に電圧を印加する直
流電源と、 前記被加工物と前記回転電極との相対的送り速度を制御
する送り速度制御機構とを備えることを特徴とする電解
加工装置。 - 【請求項2】 前記回転電極は、スラッジが通過可能な
多数の微細穴またはスリットが形成された有底筒形状を
していることを特徴とする請求項1に記載の電解加工装
置。 - 【請求項3】 前記回転電極は、ドリル形状をしている
ことを特徴とする請求項1に記載の電解加工装置。 - 【請求項4】 前記回転電極は、スラッジが通過可能な
多数の微細穴またはスリットが形成された有底筒形状を
しており、この回転電極の内部にドリル形状の回転体が
設けられていることを特徴とする請求項1に記載の電解
加工装置。 - 【請求項5】 前記回転体は、濾過された電解液を下方
へ向けて吐出させるための電解液通路を有することを特
徴とする請求項4に記載の電解加工装置。 - 【請求項6】 前記直流電源は、一定電圧値にパルス電
圧を重畳してなる合成電圧を前記被加工物と前記回転電
極との間に印加し、前記送り速度制御機構は、前記合成
電圧の印加により前記被加工物、回転電極間を流れる電
流の最大値に応じて、前記回転電極と前記被加工物との
相対的送り速度を制御することを特徴とする請求項1〜
5のいずれかに記載の電解加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30483195A JPH09141528A (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | 電解加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30483195A JPH09141528A (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | 電解加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09141528A true JPH09141528A (ja) | 1997-06-03 |
Family
ID=17937791
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30483195A Pending JPH09141528A (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | 電解加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09141528A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004002910A (ja) * | 2002-05-30 | 2004-01-08 | Ebara Corp | 電解加工方法及び装置 |
| JP2004060027A (ja) * | 2002-07-31 | 2004-02-26 | Ebara Corp | 電解加工方法及び装置 |
| JP2011039017A (ja) * | 2009-08-10 | 2011-02-24 | Chemical Yamamoto:Kk | 分析用試料の電解研磨装置 |
| KR20190134225A (ko) * | 2018-05-25 | 2019-12-04 | 조선대학교산학협력단 | 전해액 회수부를 포함하는 전기화학적 가공장치 |
-
1995
- 1995-11-22 JP JP30483195A patent/JPH09141528A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004002910A (ja) * | 2002-05-30 | 2004-01-08 | Ebara Corp | 電解加工方法及び装置 |
| JP2004060027A (ja) * | 2002-07-31 | 2004-02-26 | Ebara Corp | 電解加工方法及び装置 |
| JP2011039017A (ja) * | 2009-08-10 | 2011-02-24 | Chemical Yamamoto:Kk | 分析用試料の電解研磨装置 |
| KR20190134225A (ko) * | 2018-05-25 | 2019-12-04 | 조선대학교산학협력단 | 전해액 회수부를 포함하는 전기화학적 가공장치 |
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