JPH09143686A - 連続真空蒸着装置におけるるつぼの割れ防止方法および装置 - Google Patents
連続真空蒸着装置におけるるつぼの割れ防止方法および装置Info
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- JPH09143686A JPH09143686A JP30602495A JP30602495A JPH09143686A JP H09143686 A JPH09143686 A JP H09143686A JP 30602495 A JP30602495 A JP 30602495A JP 30602495 A JP30602495 A JP 30602495A JP H09143686 A JPH09143686 A JP H09143686A
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 連続真空蒸着装置の停止時にるつぼの割れを
防止する。 【解決手段】 真空チャンバ内を連続走行する帯状の基
板にるつぼから蒸発した蒸発材料を蒸着させる連続真空
蒸着装置に使用されるるつぼの割れ防止方法であって、
るつぼ内に貯留した蒸発材料の加熱を停止した後、蒸発
材料が冷却して凝固する前に、蒸発材料の溶湯をるつぼ
から排出してしまう。
防止する。 【解決手段】 真空チャンバ内を連続走行する帯状の基
板にるつぼから蒸発した蒸発材料を蒸着させる連続真空
蒸着装置に使用されるるつぼの割れ防止方法であって、
るつぼ内に貯留した蒸発材料の加熱を停止した後、蒸発
材料が冷却して凝固する前に、蒸発材料の溶湯をるつぼ
から排出してしまう。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は鋼板やフィルムなど
の基板に真空中で蒸発させた蒸発材料を蒸着させる連続
真空蒸着装置に係り、特に装置を停止して冷却したとき
に発生するるつぼの割れを防止する装置に関する。
の基板に真空中で蒸発させた蒸発材料を蒸着させる連続
真空蒸着装置に係り、特に装置を停止して冷却したとき
に発生するるつぼの割れを防止する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の連続真空蒸着装置は、例えば、特
開昭６２─７０５７６号公報に開示されている。かかる
従来の装置は、図３に側面図（Ａ）と平面図（Ｂ）を示
すように、真空チャンバａ内に設けたるつぼｃに蒸発材
料ｆを入れ、これに基板ｂの走行方向と直角方向に伸び
る壁面ｉに設けられた電子銃ｄより電子ビームｅを照射
して、蒸発材料を溶融・蒸発させ、連続的にガイドロー
ルｈを介して供給される鋼板等の帯状の基板ｂに蒸発材
料を蒸着するようになっている。真空チャンバａ内は真
空排気装置（図示せず）により１０-3〜１０-5Ｔｏｒｒ
に維持されている。なお、ｇは蒸発材料ｆの蒸気を示し
ている。
開昭６２─７０５７６号公報に開示されている。かかる
従来の装置は、図３に側面図（Ａ）と平面図（Ｂ）を示
すように、真空チャンバａ内に設けたるつぼｃに蒸発材
料ｆを入れ、これに基板ｂの走行方向と直角方向に伸び
る壁面ｉに設けられた電子銃ｄより電子ビームｅを照射
して、蒸発材料を溶融・蒸発させ、連続的にガイドロー
ルｈを介して供給される鋼板等の帯状の基板ｂに蒸発材
料を蒸着するようになっている。真空チャンバａ内は真
空排気装置（図示せず）により１０-3〜１０-5Ｔｏｒｒ
に維持されている。なお、ｇは蒸発材料ｆの蒸気を示し
ている。
【０００３】電子銃ｄからほぼ水平に出された電子ビー
ムｅは、るつぼｃの上方近傍に設けられ、磁力線がるつ
ぼの長手方向に沿って発生する偏向電磁石（図示せず）
により、ほぼ９０°に曲げられ、るつぼに照射するよう
になっている。なお、蒸発材料ｆは図示しない蒸発材料
供給装置によりるつぼｃの端部に供給される。るつぼｃ
の形状は略直方体で上面がくり抜かれており、そこが蒸
発材料ｆの溶湯を収容する貯留部となっている。またる
つぼｃの材質はアルミナが主に用いられる。アルミナ製
のるつぼｃはステンレス鋼製の容器内にアルミナの砂を
介して収容される。
ムｅは、るつぼｃの上方近傍に設けられ、磁力線がるつ
ぼの長手方向に沿って発生する偏向電磁石（図示せず）
により、ほぼ９０°に曲げられ、るつぼに照射するよう
になっている。なお、蒸発材料ｆは図示しない蒸発材料
供給装置によりるつぼｃの端部に供給される。るつぼｃ
の形状は略直方体で上面がくり抜かれており、そこが蒸
発材料ｆの溶湯を収容する貯留部となっている。またる
つぼｃの材質はアルミナが主に用いられる。アルミナ製
のるつぼｃはステンレス鋼製の容器内にアルミナの砂を
介して収容される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した連続真空蒸着
装置を修理などのため止める場合にはるつぼｃに蒸発材
料ｆの溶湯を貯留したまま放冷しているがそのときるつ
ぼｃが割れる場合がある。またアルミナ製のるつぼｃは
内部に含まれる空気等の不純物が蒸発材料ｆの溶湯に混
入し、スプラッシュを発生するので、不純物を含まない
カーボン製のるつぼｃを使用したいが、カーボンは更に
割れやすいので使用することができない。
装置を修理などのため止める場合にはるつぼｃに蒸発材
料ｆの溶湯を貯留したまま放冷しているがそのときるつ
ぼｃが割れる場合がある。またアルミナ製のるつぼｃは
内部に含まれる空気等の不純物が蒸発材料ｆの溶湯に混
入し、スプラッシュを発生するので、不純物を含まない
カーボン製のるつぼｃを使用したいが、カーボンは更に
割れやすいので使用することができない。
【０００５】冷却時にるつぼｃが割れる原因は必ずしも
明らかではないが、蒸発材料ｆの溶湯とるつぼｃの貯留
部内面との濡特性がよい場合に溶湯が冷却して凝固して
から収縮し、蒸発材料ｆとるつぼｃとの間の熱膨張係数
の差のためるつぼｃに引張応力が発生するためと考えら
れている。また冷却時るつぼｃに発生する温度勾配によ
る熱応力が原因の１つとも考えられている。
明らかではないが、蒸発材料ｆの溶湯とるつぼｃの貯留
部内面との濡特性がよい場合に溶湯が冷却して凝固して
から収縮し、蒸発材料ｆとるつぼｃとの間の熱膨張係数
の差のためるつぼｃに引張応力が発生するためと考えら
れている。また冷却時るつぼｃに発生する温度勾配によ
る熱応力が原因の１つとも考えられている。
【０００６】本発明は従来技術のかかる問題点に鑑み案
出されたもので連続真空蒸着装置を止めて放冷する場合
に発生するるつぼｃの割れを防止する方法および装置を
提供することを目的とする。
出されたもので連続真空蒸着装置を止めて放冷する場合
に発生するるつぼｃの割れを防止する方法および装置を
提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本願第１発明は、真空チャンバ内を連続走行する帯
状の基板にるつぼから蒸発した蒸発材料を蒸着させる連
続真空蒸着装置に使用されるるつぼの割れ防止方法であ
って、るつぼ内に貯留した蒸発材料の加熱を停止した
後、蒸発材料が冷却して凝固する前に、蒸発材料の溶湯
をるつぼから排出してしまうことを特徴としている。
め、本願第１発明は、真空チャンバ内を連続走行する帯
状の基板にるつぼから蒸発した蒸発材料を蒸着させる連
続真空蒸着装置に使用されるるつぼの割れ防止方法であ
って、るつぼ内に貯留した蒸発材料の加熱を停止した
後、蒸発材料が冷却して凝固する前に、蒸発材料の溶湯
をるつぼから排出してしまうことを特徴としている。
【０００８】また本願第２発明は、真空チャンバ内を連
続走行する帯状の基板にるつぼから蒸発した蒸発材料を
蒸着させる連続真空蒸着装置に使用されるるつぼの割れ
防止装置であって、るつぼの溶湯貯留部の底部に穿設さ
れた貫通孔を閉止する栓と、栓の抜き差しを行うアクチ
ュエータと、栓を抜いたときに流出する溶湯を受取る受
けるつぼとからなる。
続走行する帯状の基板にるつぼから蒸発した蒸発材料を
蒸着させる連続真空蒸着装置に使用されるるつぼの割れ
防止装置であって、るつぼの溶湯貯留部の底部に穿設さ
れた貫通孔を閉止する栓と、栓の抜き差しを行うアクチ
ュエータと、栓を抜いたときに流出する溶湯を受取る受
けるつぼとからなる。
【０００９】さらに本願第３発明は、真空チャンバ内を
連続走行する帯状の基板にるつぼから蒸発した連続材料
を蒸着させる連続真空蒸着装置に使用されるるつぼの割
れ防止装置であって、傾動可能に支持されたるつぼと、
るつぼを傾動させてるつぼ内に貯留している溶湯を排出
させるアクチュエータと、傾動したときに流出する溶湯
を受取る受けるつぼとからなる。
連続走行する帯状の基板にるつぼから蒸発した連続材料
を蒸着させる連続真空蒸着装置に使用されるるつぼの割
れ防止装置であって、傾動可能に支持されたるつぼと、
るつぼを傾動させてるつぼ内に貯留している溶湯を排出
させるアクチュエータと、傾動したときに流出する溶湯
を受取る受けるつぼとからなる。
【００１０】次に作用を説明する。蒸発材料の溶湯が冷
却し、凝固する前に溶湯を排出してしまうので、従来の
ように蒸発材料とるつぼの熱膨張係数の差によりるつぼ
に発生する引張応力が発生することがない。また同様に
冷却時にるつぼに温度勾配が発生することもない。従っ
て冷却時に割れやすいカーボンるつぼを使用することも
できる。
却し、凝固する前に溶湯を排出してしまうので、従来の
ように蒸発材料とるつぼの熱膨張係数の差によりるつぼ
に発生する引張応力が発生することがない。また同様に
冷却時にるつぼに温度勾配が発生することもない。従っ
て冷却時に割れやすいカーボンるつぼを使用することも
できる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下本発明の１実施形態について
図面を参照しつつ説明する。尚連続真空蒸着装置につい
ては図３を用いて既に説明したので説明を省略する。図
１は本願第２発明の連続真空蒸着装置におけるるつぼの
割れ防止装置に対応する実施形態を示す側断面図であ
り、図（Ａ）は蒸発材料の溶湯がるつぼ内に貯留された
状態を示し、図１（Ｂ）は蒸発材料の溶湯を受けるるつ
ぼに排出した状態を示している。
図面を参照しつつ説明する。尚連続真空蒸着装置につい
ては図３を用いて既に説明したので説明を省略する。図
１は本願第２発明の連続真空蒸着装置におけるるつぼの
割れ防止装置に対応する実施形態を示す側断面図であ
り、図（Ａ）は蒸発材料の溶湯がるつぼ内に貯留された
状態を示し、図１（Ｂ）は蒸発材料の溶湯を受けるるつ
ぼに排出した状態を示している。
【００１２】図１において、１はるつぼで略直方体形状
をしており、アルミナまたはカーボン等でできている。
るつぼ１は上面がくり抜かれていて、その部分が蒸発材
料の溶湯３の貯留部１ａとなっている。２はるつぼの支
持台である。３は蒸発材料の溶湯である。蒸発材料２と
しては亜鉛，錫，アルミニウム，アルミマンガン等が使
用される。４は溶湯３の貯留部１ａの底部に穿設された
貫通孔である。５は貫通孔４を閉止する栓である。６は
栓５に接続され、栓５を貫通孔４に抜き差しするアクチ
ュエータであり、図のようにエヤシリンダ等でもよい
し、モータ駆動のスクリュージャッキ等でもよい。７は
受けるつぼである。受けるつぼ７はアルミナ等で製作さ
れるのが好ましい。
をしており、アルミナまたはカーボン等でできている。
るつぼ１は上面がくり抜かれていて、その部分が蒸発材
料の溶湯３の貯留部１ａとなっている。２はるつぼの支
持台である。３は蒸発材料の溶湯である。蒸発材料２と
しては亜鉛，錫，アルミニウム，アルミマンガン等が使
用される。４は溶湯３の貯留部１ａの底部に穿設された
貫通孔である。５は貫通孔４を閉止する栓である。６は
栓５に接続され、栓５を貫通孔４に抜き差しするアクチ
ュエータであり、図のようにエヤシリンダ等でもよい
し、モータ駆動のスクリュージャッキ等でもよい。７は
受けるつぼである。受けるつぼ７はアルミナ等で製作さ
れるのが好ましい。
【００１３】次に作用を説明する。連続真空蒸着装置を
修理等のため止める場合には図３に示す電子銃ｄから放
射される電子ビームｅの放射を止める。その状態で放置
すると自然放冷によりるつぼ１内の蒸発材料の溶湯は冷
却し、凝固するが、凝固前にアクチュエータ６を作動さ
せて栓５を抜く。そうすると溶湯３は貫通孔４を通って
流れ出し、受けるつぼ７内に収容される。溶湯は受ける
つぼ内で放冷される。
修理等のため止める場合には図３に示す電子銃ｄから放
射される電子ビームｅの放射を止める。その状態で放置
すると自然放冷によりるつぼ１内の蒸発材料の溶湯は冷
却し、凝固するが、凝固前にアクチュエータ６を作動さ
せて栓５を抜く。そうすると溶湯３は貫通孔４を通って
流れ出し、受けるつぼ７内に収容される。溶湯は受ける
つぼ内で放冷される。
【００１４】上述のように溶湯３の放冷・凝固はるつぼ
１内では行われないのでるつぼ１が割れることはない。
１内では行われないのでるつぼ１が割れることはない。
【００１５】次に本願第３発明の連続真空蒸着装置にお
けるるつぼの割れ防止装置に対応する他の実施形態につ
いて説明する。図２は他の実施形態を示す側断面図であ
る。図２（Ａ）はるつぼ内に溶湯を貯留した状態を示
し、図２（Ｂ）は溶湯を受けるつぼに排出した状態を示
している。図２において１１はるつぼである。るつぼ１
１の溶湯の貯留部１１ａは、傾けたときに溶湯３を排出
しやすいように一端から他端に向って滑らかに浅くなっ
ている。１２はるつぼ１１の他端底部を枢支する支持台
であり、るつぼ１１は支持部を中心に傾動可能になって
いる。１３はるつぼ１１を傾動させてるつぼ１１内に貯
留している溶湯を排出させるアクチュエータである。７
は受けるつぼである。
けるるつぼの割れ防止装置に対応する他の実施形態につ
いて説明する。図２は他の実施形態を示す側断面図であ
る。図２（Ａ）はるつぼ内に溶湯を貯留した状態を示
し、図２（Ｂ）は溶湯を受けるつぼに排出した状態を示
している。図２において１１はるつぼである。るつぼ１
１の溶湯の貯留部１１ａは、傾けたときに溶湯３を排出
しやすいように一端から他端に向って滑らかに浅くなっ
ている。１２はるつぼ１１の他端底部を枢支する支持台
であり、るつぼ１１は支持部を中心に傾動可能になって
いる。１３はるつぼ１１を傾動させてるつぼ１１内に貯
留している溶湯を排出させるアクチュエータである。７
は受けるつぼである。
【００１６】次に作用を説明する。加熱を停止した後、
アクチュエータ１３を作動させて、るつぼ１１を傾け、
貯留している溶湯を受けるつぼ７内に排出する。
アクチュエータ１３を作動させて、るつぼ１１を傾け、
貯留している溶湯を受けるつぼ７内に排出する。
【００１７】本発明は以上説明した実施形態に限定され
るものではなく本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の
変更が可能である。
るものではなく本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の
変更が可能である。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明の連続真空蒸
着装置におけるるつぼの割れ防止方法および装置は、装
置を停止し、装置を放冷するときにるつぼ内に貯留して
いる溶湯を排出してしまうので次のような効果がある。 （１）るつぼが冷却時に割れることがないので、るつぼ
を取替える必要が少く、経済的に有利である。 （２）るつぼを性能的に優れたカーボンで製作すること
ができるので、操業時にスプラッシュの発生を抑制する
ことができる。
着装置におけるるつぼの割れ防止方法および装置は、装
置を停止し、装置を放冷するときにるつぼ内に貯留して
いる溶湯を排出してしまうので次のような効果がある。 （１）るつぼが冷却時に割れることがないので、るつぼ
を取替える必要が少く、経済的に有利である。 （２）るつぼを性能的に優れたカーボンで製作すること
ができるので、操業時にスプラッシュの発生を抑制する
ことができる。
【図１】本発明の連続真空蒸着装置におけるるつぼの割
れ防止装置の側断面図である。
れ防止装置の側断面図である。
【図２】本発明の他の実施形態の側断面図である。
【図３】従来の連続真空蒸着装置の概要図である。
１ るつぼ ３ 蒸発材料の溶湯 ４ 貫通孔 ５ 栓 ６ アクチュエータ ７ 受けるつぼ １１ るつぼ １３ アクチュエータ ａ 真空チャンバ ｂ 基板 ｃ るつぼ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 野村 昭博 神奈川県横浜市磯子区新中原町１番地 石 川島播磨重工業株式会社技術研究所内 (72)発明者 松田 至康 神奈川県横浜市磯子区新中原町１番地 石 川島播磨重工業株式会社横浜エンジニヤリ ングセンタ内
Claims (3)
- 【請求項１】 真空チャンバ内を連続走行する帯状の基
板にるつぼから蒸発した蒸発材料を蒸着させる連続真空
蒸着装置に使用されるるつぼの割れ防止方法であって、
るつぼ内に貯留した蒸発材料の加熱を停止した後、蒸発
材料が冷却して凝固する前に、蒸発材料の溶湯をるつぼ
から排出してしまうことを特徴とする連続真空蒸着装置
におけるるつぼの割れ防止方法。 - 【請求項２】 真空チャンバ内を連続走行する帯状の基
板にるつぼから蒸発した蒸発材料を蒸着させる連続真空
蒸着装置に使用されるるつぼの割れ防止装置であって、
るつぼの溶湯貯留部の底部に穿設された貫通孔を閉止す
る栓と、栓の抜き差しを行うアクチュエータと、栓を抜
いたときに流出する溶湯を受取る受けるつぼとからなる
ことを特徴とする連続真空蒸着装置におけるるつぼの割
れ防止装置。 - 【請求項３】 真空チャンバ内を連続走行する帯状の基
板にるつぼから蒸発した連続材料を蒸着させる連続真空
蒸着装置に使用されるるつぼの割れ防止装置であって、
傾動可能に支持されたるつぼと、るつぼを傾動させてる
つぼ内に貯留している溶湯を排出させるアクチュエータ
と、傾動したときに流出する溶湯を受取る受けるつぼと
からなることを特徴とする連続真空蒸着装置におけるる
つぼの割れ防止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30602495A JPH09143686A (ja) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 連続真空蒸着装置におけるるつぼの割れ防止方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30602495A JPH09143686A (ja) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 連続真空蒸着装置におけるるつぼの割れ防止方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09143686A true JPH09143686A (ja) | 1997-06-03 |
Family
ID=17952164
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30602495A Pending JPH09143686A (ja) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 連続真空蒸着装置におけるるつぼの割れ防止方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09143686A (ja) |
-
1995
- 1995-11-24 JP JP30602495A patent/JPH09143686A/ja active Pending
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Legal Events
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