JPH09145812A - 磁電変換器およびそれを用いた磁気センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】検知幅の広い磁気センサを、端子数の少ない磁
電変換器で構成する。 【解決手段】 入力端子と接地端子とが共有された、２
組の二素子三端子型磁電変換素子を用いて、磁気センサ
を構成する。入力端子と接地端子とが共有されているの
で、感磁部の素子に占める割合が大きくなるので、磁気
センサを小形化できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】 本発明は位置の変化に対応
して電気信号を出力する磁電変換器およびそれを用いた
磁気センサに関する。

【０００２】

【従来の技術】 従来から、位置の変化を検出する磁気
センサとして、磁電変換器を利用した装置が実用化され
ている。従来の磁電変換器２０、およびそれを用いた磁
気センサ３０を図３、４を用いて説明する。図３は磁電
変換器２０の平面図、図４は磁気センサ３０の平面図で
ある。

【０００３】磁電変換器２０は、図３に示すように、フ
ェライトなどの磁性体からなる基板２ａ上に二個の長方
形状の磁気抵抗効果膜１ａ、１ｂが互いに平行に配置さ
れて、感磁部３が形成されている。磁気抵抗効果膜１ａ
の一端には入力電極５が、磁気抵抗効果膜１ｂの一端に
は接地電極６がそれぞれ接続されている。磁気抵抗効果
膜１ａの他端と、磁気抵抗効果膜１ｂの他端は、それぞ
れ出力電極４に接続されている。なお図示はしないが磁
気抵抗効果膜１ａ、１ｂを保護するための保護膜がほぼ
全面に形成されている。

【０００４】磁電変換器２０は、外部の磁性体による磁
場の変化を抵抗値の変化として出力するようにはたらく
ので、上述したように２個の磁気抵抗効果膜１ａ、１ｂ
が直列接続され、その接続部分から電気信号を出力する
二素子三端子型磁電変換器として構成される。

【０００５】磁電変換器は、外部の磁性体による磁場の
変化を検知するものであるので、外部の磁性体の幅が広
い場合には、磁気抵抗効果膜を長くする必要がある。し
かしながら長い磁気抵抗効果膜を形成するのは困難であ
るため、図４に示すように、複数個の磁電変換器２０、
２０を基板２ｂ上に並べて配置することにより、検知幅
が広い磁気センサ３０が構成されていた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】 従来の磁気センサ
は、検出幅を広くするためには、複数個の磁電変換器を
基板上に並べて配置して構成されていた。しかしなが
ら、各々の磁電変換器にそれぞれ入力電極、出力電極、
接地電極が必要であり、部品点数が多くなるために、検
出幅に比べて磁気センサが大型化した。

【０００７】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものであり、感磁部としてはたらく２個の二素子三
端子型磁電変換器を用いて、それぞれの入力電極と接地
電極とを共通にした磁電変換器を構成するとともに、前
記磁電変換器を複数個並設することにより、検知幅の広
い磁気センサを構成する。

【０００８】

【課題を解決するための手段】 本発明の請求項１記載
の磁電変換器は、互いに平行な第１および第２の２個の
磁気抵抗効果膜から構成された第１の感磁部と、互いに
平行な第１および第２の２個の磁気抵抗効果膜から構成
された第２の感磁部とが、基板上に並設されてなる磁電
変換器において、第１の感磁部の第１の磁気抵抗効果膜
の一端と、第２の感磁部の第１の磁気抵抗効果膜の一端
とが、入力電極を介して接続され、第１の感磁部の第２
の磁気抵抗効果膜の一端と、第２の感磁部の第２の磁気
抵抗効果膜の一端とが、接地電極を介して接続され、第
１の感磁部の、第１の磁気抵抗効果膜の他端と第２の磁
気抵抗効果膜の他端とが、第１の出力電極を介して接続
され、第２の感磁部の、第１の磁気抵抗効果膜の他端と
第２の磁気抵抗効果膜の他端とが、第２の出力電極を介
して接続されてなることを特徴とする。

【０００９】本発明の請求項２記載の磁気センサは、請
求項１記載の磁電変換器が複数個並設されてなることを
特徴とする。

【００１０】本発明の磁電変換器およびそれを用いた磁
気センサは、磁電変換器を構成する２個の感磁部に共有
されるそれぞれ一個の入力端子と接地端子とを有してい
るので、入力端子と接地端子とを削減できる。したがっ
て検出幅が同じ場合には、磁電変換器上において、削減
した入力端子と接地端子とが形成される部分がいらなく
なり、磁電変換器が小型化できる。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を、図１を用
いて説明する。図１は磁電変換器１０の要部平面図であ
る。

【００１２】図示するように、磁電変換器１０は、第一
の感磁部３ａと第二の感磁部３ｂとが、基板２に互いに
並設され、入力電極５と、二個の出力電極４ａ、４ｂ
と、一個の接地電極６とを有して構成されている。

【００１３】第一の感磁部３ａは磁気抵抗効果膜１ａ、
１ｂが、互いに平行に配置されて構成され、第二の感磁
部３ｂは磁気抵抗効果膜１ｃ、１ｄが、互いに平行に配
置されて構成され、第一の感磁部３ａと第二の感磁部３
ｂとが並設されている。

【００１４】磁気抵抗効果膜１ａの一端と、磁気抵抗効
果膜１ｃの一端とは、入力電極５を介して相互に接続さ
れている。磁気抵抗効果膜１ｂの一端と、磁気抵抗効果
膜１ｄの一端とは、接地電極６を介して相互に接続され
ている。磁気抵抗効果膜１ａの他端と、磁気抵抗効果膜
１ｂの他端とは、第一の出力電極４ａを介して相互に接
続されている。磁気抵抗効果膜１ｃの他端と、磁気抵抗
効果膜１ｄの他端とは、第二の出力電極４ｂを介して相
互に接続されている。

【００１５】すなわち上記構造の磁電変換器１０は、二
個の感磁部３ａ、３ｂが入力電極５および接地電極６を
共有して構成されている。

【００１６】上述した磁電変換器１０は、二個の感磁部
３ａ、３ｂが、入力電極５と接地電極６とを共有してい
るので、入力電極５と接地電極６とが占める部分を減ら
せるため、一対の磁気抵抗効果膜からなる感磁部３ａ、
３ｂの、素子全体に占める長さが長くなる。したがって
磁気センサが、小形化できるとともに入力電極と接地電
極の数を減らせるので、製造工程が簡略になる。

【００１７】なお本実施例においては、電気信号を入力
あるいは出力するために、入力電極と、出力電極と、接
地電極とを有する磁電変換器について説明したが、外部
の部品と電気的に接続するために、入力電極に入力端子
が、出力電極に出力端子が、接地電極に接地端子がそれ
ぞれ接続されていてもよく、このような例においても、
入力電極と入力端子および接地電極と接地端子とを減ら
せるので、磁電変換器を小形化できる。

【００１８】さらに、図２に示すように、より広い検出
幅を有する磁気センサを構成するために、複数個の磁電
変換器を並設した構成の磁気センサ４０を構成すること
もできる。このような例においては、さらに入力電極と
入力端子および接地電極と接地端子が多いので、本発明
の効果はより顕著である。

【００１９】

【発明の効果】 本発明の磁電変換器は、一対の磁気抵
抗効果膜からなる２個の磁電変換器が、基板に並設され
て相互に接続されるとともに、入力電極と接地電極とが
共通である構造を有している。したがって検知幅の広い
磁気センサを少ない入力電極と接地電極によって、構成
できるので、素子の外形寸法に占める感磁部の割合を多
くできる。しかも入力電極および接地電極とを形成する
ための製造工程が簡略になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の磁電変換器の平面図であ
る。

【図２】本発明の磁電変換器を用いた磁気センサの平面
図である。

【図３】従来の磁電変換器の平面図である。

【図４】従来の磁気センサの平面図である。

【符号の説明】

１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ 磁気抵抗効果膜 ２、２ａ、２ｂ 基板 ３、３ａ、３ｂ 感磁部 ４、４ａ、４ｂ 出力電極 ５ 入力電極 ６ 接地電極 １０、２０ 磁電変換器 ３０、４０ 磁気センサ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 互いに平行な第１および第２の２個の磁
   気抵抗効果膜から構成された第１の感磁部と、互いに平
   行な第１および第２の２個の磁気抵抗効果膜から構成さ
   れた第２の感磁部とが、基板上に並設されてなる磁電変
   換器において、 第１の感磁部の第１の磁気抵抗効果膜の一端と、第２の
   感磁部の第１の磁気抵抗効果膜の一端とが、入力電極を
   介して接続され、 第１の感磁部の第２の磁気抵抗効果膜の一端と、第２の
   感磁部の第２の磁気抵抗効果膜の一端とが、接地電極を
   介して接続され、 第１の感磁部の、第１の磁気抵抗効果膜の他端と第２の
   磁気抵抗効果膜の他端とが、第１の出力電極を介して接
   続され、 第２の感磁部の、第１の磁気抵抗効果膜の他端と第２の
   磁気抵抗効果膜の他端とが、第２の出力電極を介して接
   続されてなることを特徴とする磁電変換器。
2. 【請求項２】 請求項１記載の磁電変換器が複数個並設
   されてなることを特徴とする磁気センサ。