JPS5946564A - 磁気検出装置 - Google Patents
磁気検出装置Info
- Publication number
- JPS5946564A JPS5946564A JP57156302A JP15630282A JPS5946564A JP S5946564 A JPS5946564 A JP S5946564A JP 57156302 A JP57156302 A JP 57156302A JP 15630282 A JP15630282 A JP 15630282A JP S5946564 A JPS5946564 A JP S5946564A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- film
- main surface
- semiconductor substrate
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
- G01R33/09—Magnetoresistive devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、外部雑音による影響を充分に軽減し、よシ
高感度な磁気検出特性が設定されるようにする磁気検出
装置に関する。
高感度な磁気検出特性が設定されるようにする磁気検出
装置に関する。
磁気検出手段として、Ｎｉ −Ｃｏ ＊ Ｎｉ −Ｆｅ
等の強磁性材料による薄膜回路ノＪ？ターンを利用した
磁気抵抗効果素子が知られている。すなわち、磁界を与
えることによって抵抗値が変化する性質を利用し、上記
強磁性材料でなる回路ｉ４ターンに定電圧、定電流の電
源を接続して、回路パターンの両端間の電位差を検出信
号として出力させるものである。
等の強磁性材料による薄膜回路ノＪ？ターンを利用した
磁気抵抗効果素子が知られている。すなわち、磁界を与
えることによって抵抗値が変化する性質を利用し、上記
強磁性材料でなる回路ｉ４ターンに定電圧、定電流の電
源を接続して、回路パターンの両端間の電位差を検出信
号として出力させるものである。
しかし、一般的にこの種の磁気抵抗効果素子からの出力
信号は、ｍＶ／／ｍ八単位の非単位小さなものである。
信号は、ｍＶ／／ｍ八単位の非単位小さなものである。
したがって、この磁気抵抗効果素子からの出力信号は、
別置の増幅回路に導いて適宜増幅し、この増幅された信
号を磁気検出信号として用いるものである。しかしなが
ら、上記したように磁気抵抗効果素子部からの出力信号
レヘルは非常に小さなものであるため、この信号を増幅
回路まで伝送する伝送回路において外部から雑音信号の
混入するおそれが非常に大きいものである。そして、外
部雑音信号の混入した場合は、それが直接的に検出信号
に影響を与えるものであり、必然的に検出感度を低下さ
せる要因となっていた。
別置の増幅回路に導いて適宜増幅し、この増幅された信
号を磁気検出信号として用いるものである。しかしなが
ら、上記したように磁気抵抗効果素子部からの出力信号
レヘルは非常に小さなものであるため、この信号を増幅
回路まで伝送する伝送回路において外部から雑音信号の
混入するおそれが非常に大きいものである。そして、外
部雑音信号の混入した場合は、それが直接的に検出信号
に影響を与えるものであり、必然的に検出感度を低下さ
せる要因となっていた。
この発明は上記のような点に鑑みなされたもので、増幅
回路を含み充分小型化して構成し、検出機構部に対して
効果的に組み付は設定を容易にするばかシか、特に検出
信号に悪影響を与える外部雑音信号に対して効果的に保
護することができ、高出力、高感度の磁気検出作用が朽
なわれるようにする磁気検出装置を提供しようとするも
のである。
回路を含み充分小型化して構成し、検出機構部に対して
効果的に組み付は設定を容易にするばかシか、特に検出
信号に悪影響を与える外部雑音信号に対して効果的に保
護することができ、高出力、高感度の磁気検出作用が朽
なわれるようにする磁気検出装置を提供しようとするも
のである。
以下図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。第
１図はその断面構造を示したもので、シリコンウェハ等
の半導体基板１１の１つの主面に対して、ＩＣ回路網１
２が埋め込み形成されるもので、このＩＣ回路網１２を
含む半導体基板１ノの主面上には、全面にわたシ例えば
酸化シリコン（５１０２）による絶縁被膜１３を形成す
る。
１図はその断面構造を示したもので、シリコンウェハ等
の半導体基板１１の１つの主面に対して、ＩＣ回路網１
２が埋め込み形成されるもので、このＩＣ回路網１２を
含む半導体基板１ノの主面上には、全面にわたシ例えば
酸化シリコン（５１０２）による絶縁被膜１３を形成す
る。
そして、この絶縁被膜１３上にＮ１−ｃｏ金合金なる強
磁性材料による薄膜を蒸着形成し、フォトエツチング処
理によって磁気抵抗回路パターン１４を形成し、その上
面に絶縁物による保護層１５を被覆形成するようにして
なる。
磁性材料による薄膜を蒸着形成し、フォトエツチング処
理によって磁気抵抗回路パターン１４を形成し、その上
面に絶縁物による保護層１５を被覆形成するようにして
なる。
ここで、磁気抵抗回路・やターン１４は、詳細は図示し
てないが、それぞれ複数の直線部を折り返し接続した第
１および第２の回路パターンからなシ、この第１および
第２の回路／４’ターンの直線部は、互に直角の関係と
なるように設定し、この２つの回路パターンを直列状に
接続するようにして構成しである。
てないが、それぞれ複数の直線部を折り返し接続した第
１および第２の回路パターンからなシ、この第１および
第２の回路／４’ターンの直線部は、互に直角の関係と
なるように設定し、この２つの回路パターンを直列状に
接続するようにして構成しである。
第２図は上記磁気検出装置の等価回路を示すもので、磁
気抵抗回路パターン１４は、それぞれ作用する磁界によ
って抵抗値の変化する上記第１および第２の回路パター
ンに対応する磁気抵抗体１４ａ、１４ｂからなる。そし
て、この磁気抵抗体１４ａ、１４ｂは、他の固定的な抵
抗１６．１７と共にブリップ接続されるもので、磁気抵
抗体１４ａ、１４ｂに対応する端子ａ。
気抵抗回路パターン１４は、それぞれ作用する磁界によ
って抵抗値の変化する上記第１および第２の回路パター
ンに対応する磁気抵抗体１４ａ、１４ｂからなる。そし
て、この磁気抵抗体１４ａ、１４ｂは、他の固定的な抵
抗１６．１７と共にブリップ接続されるもので、磁気抵
抗体１４ａ、１４ｂに対応する端子ａ。
ｂ、ｃは、それぞれ絶縁被膜１３上に導出して設定され
、端子ａおよびｂｌｌ′ｉ電源Ｖ。を接続し、また接地
回路に導く電極として、保護層１５を介して導出できる
ように構成されるようにしである。
、端子ａおよびｂｌｌ′ｉ電源Ｖ。を接続し、また接地
回路に導く電極として、保護層１５を介して導出できる
ように構成されるようにしである。
そして、ブリッヂ接続された磁気抵抗１４ａ。
１４ｂの接続的Ｃおよび抵抗１６．１７の接続点ｄは、
それぞれ抵抗１８．１９を介して差動増幅器２０１１Ｃ
，接続するもので、この差動増幅器２０の出力端子２ノ
から磁気検出信号ＶＯｕｔを出力するものである。２２
は差動増幅器２０の帰矢 還抵抗、２３は践側入力端の接地抵抗である。
それぞれ抵抗１８．１９を介して差動増幅器２０１１Ｃ
，接続するもので、この差動増幅器２０の出力端子２ノ
から磁気検出信号ＶＯｕｔを出力するものである。２２
は差動増幅器２０の帰矢 還抵抗、２３は践側入力端の接地抵抗である。
そして、上記抵抗１６〜１９．２２．２３および差動増
幅器２０は、第１図で示したＩＣ回路網１２部で構成さ
れるもので、点Ｃは絶縁被膜１３を介して共通に接続さ
れるようにしてなる。
幅器２０は、第１図で示したＩＣ回路網１２部で構成さ
れるもので、点Ｃは絶縁被膜１３を介して共通に接続さ
れるようにしてなる。
すなわち、上記のように構成される磁気検出装置によれ
ば、１つの半導体基板上に１チツプ化して磁気抵抗効果
素子部と、その検出信号を増幅する増幅部とが一体的に
構成され、充分に小型化して取り扱い、組み付は性を良
好にして、しかも充分に高感度で高出力の得られる磁気
センサとして構成することができる。
ば、１つの半導体基板上に１チツプ化して磁気抵抗効果
素子部と、その検出信号を増幅する増幅部とが一体的に
構成され、充分に小型化して取り扱い、組み付は性を良
好にして、しかも充分に高感度で高出力の得られる磁気
センサとして構成することができる。
しかも、この場合磁器の強さ等を検出する磁気抵抗１４
ａ、１４ｂ部と、この抵抗と共にプリップを構成する抵
抗Ｊ ６ 、 Ｊ ７、さらに差動＝５− 微小電流でなる磁気抵抗検出信号に対して、外部から雑
音信号の混入されることを確実に防止することができる
。そして、外部雑音に対して充分高レベルの信号として
出力伝送するようなものであシ、磁気検出感度、精度を
充分なものとすることができるもので、その効果は著し
いものである。
ａ、１４ｂ部と、この抵抗と共にプリップを構成する抵
抗Ｊ ６ 、 Ｊ ７、さらに差動＝５− 微小電流でなる磁気抵抗検出信号に対して、外部から雑
音信号の混入されることを確実に防止することができる
。そして、外部雑音に対して充分高レベルの信号として
出力伝送するようなものであシ、磁気検出感度、精度を
充分なものとすることができるもので、その効果は著し
いものである。
以上のようにこの発明によれば、取υ扱いを非常に簡便
ガものとし寿から、雑音等の混入に対して充分保護する
ことができ、且つ高出力、高感度の磁気検出装置が得ら
れるものである。
ガものとし寿から、雑音等の混入に対して充分保護する
ことができ、且つ高出力、高感度の磁気検出装置が得ら
れるものである。
第１図はこの発明の一実施例に係る磁気検出装置を説明
する断面構成図、第２図は上記装置の等価回路図である
。 １１・・・半導体基板、１２・・・ＩＣ回路網、１３・
・・絶縁被膜、１４・・・磁気抵抗回゛蕗゛・母ターン
、１４ａ、１４ｂ・・・磁気抵抗、２０・・・差動増幅
器。 ６一
する断面構成図、第２図は上記装置の等価回路図である
。 １１・・・半導体基板、１２・・・ＩＣ回路網、１３・
・・絶縁被膜、１４・・・磁気抵抗回゛蕗゛・母ターン
、１４ａ、１４ｂ・・・磁気抵抗、２０・・・差動増幅
器。 ６一
Claims (1)
- 半導体基板の一方の主面部に対応して、検出信号増幅回
路を形成すると共に、この増幅回路の形成された上記半
導体基板主面上に絶縁物被膜を形成し、この絶縁物被覆
上に強磁性薄膜による磁気抵抗回路パターンを形成し、
この回路パターンの端子部と上記増幅回路端子部は半導
体基板上で相互に接続されるようにしたことを特徴とす
る磁気検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57156302A JPS5946564A (ja) | 1982-09-08 | 1982-09-08 | 磁気検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57156302A JPS5946564A (ja) | 1982-09-08 | 1982-09-08 | 磁気検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5946564A true JPS5946564A (ja) | 1984-03-15 |
Family
ID=15624834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57156302A Pending JPS5946564A (ja) | 1982-09-08 | 1982-09-08 | 磁気検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5946564A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5967669A (ja) * | 1982-10-12 | 1984-04-17 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 磁気抵抗素子集積回路 |
| JP2003525528A (ja) * | 2000-03-02 | 2003-08-26 | フォルシュングツェントルム・ユーリッヒ・ゲーエムベーハー | 磁場を測定する装置および磁場を測定する装置を作製する方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4826433A (ja) * | 1971-08-11 | 1973-04-07 |
-
1982
- 1982-09-08 JP JP57156302A patent/JPS5946564A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4826433A (ja) * | 1971-08-11 | 1973-04-07 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5967669A (ja) * | 1982-10-12 | 1984-04-17 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 磁気抵抗素子集積回路 |
| JP2003525528A (ja) * | 2000-03-02 | 2003-08-26 | フォルシュングツェントルム・ユーリッヒ・ゲーエムベーハー | 磁場を測定する装置および磁場を測定する装置を作製する方法 |
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