JPH09146032A - ガルバノミラーおよびこれを用いた光ディスク装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】従来のガルバノミラーは質量が大きく、光学ヘ
ッドの高速シークが阻害されてしまっていた。 【解決手段】本発明のガルバノミラー9 は第１のプレー
ト21，第２のプレート22の２つのプレートが積層された
構造をなしている。第１のプレート21には固定部24、揺
動部25、および２枚の弾性部26a,26b からなり、シリコ
ンを主体とする半導体の異方性エッチングにより一体成
形されている。また第２のプレート22は、例えばガラス
板等の電気的絶縁材料で形成され、第１のプレート21の
固定部24に対して静電接合等の手段で接合されている。
さらに反射ミラー24の中心には孔23が設けられ、対応す
る第２のプレート22にはフォトディテクタ27が設けられ
ている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光を所定の
方向に反射するためのガルバノミラー、およびこのガル
バノミラーを搭載し、対物レンズへの入射光の向きを変
化させながら光ディスクへの情報の記録再生を行う光デ
ィスク装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】周知のとおり、コンパクトディスク（Ｃ
Ｄ）やレーザディスク（ＬＤ）に代表されるように、レ
ーザ光を用いて情報の再生を行う光ディスク装置が広く
普及している。また最近では、光ディスク装置はコンピ
ュータの記憶装置として利用されるようになっている。

【０００３】また、併せてデータの高速記録再生が可能
となるように、光学系を搭載する光学ヘッドの高速移動
が要求されるようになった。このような光学ヘッドの高
速移動の要求に対し、光学ヘッドの質量をできるだけ小
さくして素早いシークを実現する方式が提案されてい
る。このような方式として、半導体レーザ（光源）やフ
ォトディテクタ（検出器）などを光学ヘッドに搭載せ
ず、光ディスクに焦点を形成する対物レンズのみを光学
ヘッドに搭載して移動させる分離光学方式が採用されて
いる。

【０００４】以下、分離光学方式の一例を図10を参照し
て説明する。半導体レーザ111 やフォトディテクタ112
などの固定光学系113 は、図示しないベースなどに固定
されている。半導体レーザ111 から照射されたレーザ光
L は、同じく固定配置されたガルバノミラー114 を介し
て光学ヘッド115 内に搭載された対物レンズ116 に与え
られている。対物レンズ116 は光ディスクD 上のピット
に焦点を形成し、その反射光を再び逆の経路でフォトデ
ィテクタ112 に導く。光学ヘッド115 は図示しない駆動
手段によってトラッキング方向Ｘおよびフォーカシング
方向Ｙにそれぞれ駆動される。

【０００５】このような方式によれば、光学ヘッド115
をトラッキング方向Ｘへ駆動する際に発生する微小な光
路の傾き（対物レンズ116 へのレーザ光の入射角度の変
化）を、固定配置されたガルバノミラー114 の揺動角度
の制御によって補正することができる。そのため対物レ
ンズ116 自体を傾ける手段などを光学ヘッド115 に搭載
する必要がなくなり、光学ヘッド115 全体の質量を低減
することができ、素早いシークを実現している。

【０００６】このようにして利用される従来のガルバノ
ミラー114 は、具体的には図11乃至図13に示す構造とな
っている。ここで、図11はガルバノミラー114 の平面
図、図12は図11中のＡ−Ａ線断面図、図13は図11中のＢ
−Ｂ線断面図である。

【０００７】ガルバノミラー114 は、レーザ光を反射す
るための反射ミラー117 と、この反射ミラー117 を固定
した揺動体118 と、この揺動体118 を固定部119 に対し
て支持する２枚の支持体120a,120b とを備えている。固
定部119 は、ヨーク121 と磁石122 とから構成されてお
り、揺動体118 の側面に固定されたコイル123 に対して
磁界を作用させることにより、反射ミラー117 を支持体
120a,120b の軸回りに揺動させることができる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ガルバ
ノミラー114 の反射ミラー117 表面は、温度変化や経年
変化によって徐々に傾いてしまう危険性がある。このよ
うな傾きが発生すると、ガルバノミラー114 からの反射
光を正確に対物レンズ116 へ導くことが困難となってし
まうため、トラッキングオフセットの要因となり、正確
なトラッキング動作を阻害してしまう危険性がある。ま
た、この傾きの影響は、ガルバノミラー114 から対物レ
ンズ116 までの距離に応じて変化するため、ガルバノミ
ラー114 の揺動角度の補正を光学ヘッド115 の現在位置
によってさらに補正するといった複雑な制御が必要とな
ってしまう。

【０００９】したがって、ガルバノミラー114 のみ光学
ヘッド115 に搭載し、ガルバノミラー114 と対物レンズ
116 との距離を一定に保った状態の固定光学方式が望ま
れている。

【００１０】ところが、上述のとおり、従来のガルバノ
ミラー114 はヨーク121 ，磁石122，コイル123 などを
備えているため質量が大きく、光学ヘッド115 に搭載す
ると光学ヘッド115 の高速シークが阻害されてしまい実
質的には不可能であった。そこで本発明は、軽量・小形
な構成のガルバノミラー、および高速シークが可能な光
ディスク装置を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明では、反射ミラーを備えた揺動体と、一端が
前記揺動体に接続され、前記揺動体を揺動可能に吊設支
持する支持部材と、前記支持部材の他端が接続されると
ともに前記揺動体と対向配置される固定部と、前記揺動
体を静電力で駆動するための電極とを有するガルバノミ
ラーにおいて、前記反射ミラーに孔を設けてなるガルバ
ノミラーとした。

【００１２】ここで、前記孔は、前記反射ミラーに照射
される光のほぼ中心位置となるように形成されているこ
とが好ましい。また、前記孔は楕円形状に形成されてい
ることが好ましい。また、前記孔の対向位置付近に光検
出素子を配置することができる。

【００１３】また、反射ミラーを備えた揺動体と、一端
が前記揺動体に接続され、前記揺動体を揺動可能に吊設
支持する支持部材と、前記支持部材の他端が接続される
とともに前記揺動体と対向配置される固定部と、前記揺
動体を静電力で駆動するための電極とを有するガルバノ
ミラーにおいて、前記反射ミラーに到達する光の一部を
取り込む構造を備えてなるガルバノミラーとした。

【００１４】なお、取り込まれた光が光検出素子に送ら
れるように構成することができる。さらに、レーザ光を
発生する光源と、前記光源からのレーザ光を反射するガ
ルバノミラーと、前記ガルバノミラーにより反射したレ
ーザ光を受け、光ディスクに焦点を形成する対物レンズ
と、前記対物レンズを前記光ディスクの径方向および厚
み方向に駆動する駆動手段と、前記光ディスクからの反
射光を処理して前記駆動手段への駆動信号および前記光
ディスクからの再生信号を生成する信号処理手段とを有
する光ディスク装置において、前記ガルバノミラーは、
反射ミラーを備えた揺動体と、前記揺動体を揺動可能に
支持する支持部材と、前記支持部材を挟んで対向配置さ
れる帯電可能な電極とを具備してなるとともに、前記反
射ミラーに孔を設けて前記レーザ光を取り込み、前記信
号処理手段の補正信号を生成する光ディスク装置とし
た。

【００１５】なお、前記孔は、前記反射ミラーに照射さ
れる光のほぼ中心位置となるように形成されていること
がこのましい。また、前記孔は楕円形状に形成されてい
ることが好ましい。また、前記孔の対向位置付近に光検
出素子を配置することができる。

【００１６】また、レーザ光を発生する光源と、前記光
源からのレーザ光を反射するガルバノミラーと、前記ガ
ルバノミラーにより反射したレーザ光を受け、光ディス
クに焦点を形成する対物レンズと、前記対物レンズを前
記光ディスクの径方向および厚み方向に駆動する駆動手
段と、前記光ディスクからの反射光を処理して前記駆動
手段への駆動信号および前記光ディスクからの再生信号
を生成する信号処理手段とを有する光ディスク装置にお
いて、前記ガルバノミラーは、反射ミラーを備えた揺動
体と、一端が前記揺動体に接続され、前記揺動体を揺動
可能に吊設支持する支持部材と、前記支持部材の他端が
接続されるとともに前記揺動体と対向配置される固定部
と、前記揺動体を静電力で駆動するための電極とを有
し、前記反射ミラーに到達する光の一部を取り込み、前
記信号処理手段の補正信号の生成に利用する光ディスク
装置とした。

【００１７】なお、取り込まれた光が光検出素子に送ら
れるように構成することができる。以上のような本発明
によれば、ヨーク，磁石，コイルなど質量の大きい要素
を含むことなく、軽量・小形な構成のガルバノミラー、
および高速シークが可能な光ディスク装置が実現する。

【００１８】また本発明では、対物レンズに向かうレー
ザ光は、その径の中心部分が孔内を通過するため、周辺
部分のみが到達することになる。そのため、いわゆる
「アポタイズ効果」によってディスク面に集束されるレ
ーザ光のスポット径を小さくすることができ、記録情報
の高密度化を図ることが可能となる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施例を説明する。まず、図１から図４を用いて本発明の
ガルバノミラーを搭載した光ディスク装置について説明
する。ここで、図１は光ディスク装置の内部構造を示す
断面図、図２は光学ヘッドを含む駆動系の平面図、図３
は光学ヘッドの断面図、図４は光学ユニットの断面図で
ある。

【００２０】情報の記録再生に供されるディスク1 （光
ディスク，光磁気ディスクなど）は、図示しないベース
に固定されたスピンドルモータ2 に対してマグネットチ
ャック等のチャッキング手段により保持されており、記
録再生時にはこのスピンドルモータ2 によって安定に回
転駆動される。

【００２１】ディスク1 に照射するためのレーザ光を生
成する半導体レーザ3 は、フォトディテクタ4 とHOE(Ho
logramic Optical Element) 素子5 などと共に光学ユニ
ット6 を構成しており、この光学ユニット6 は光学ヘッ
ド7 の下部に固定されている。なお、光学ユニット6 の
下部には放熱性を高める目的で複数の凹凸が形成されて
いる。

【００２２】半導体レーザ3 より発せられたレーザ光
は、ガラス面に形成されたHOE 素子5を通過し、HOE 素
子5 の反対面に固定されたプリズム8 で90゜向きを変
え、ガルバノミラー9 （詳細は後述する）で再び90゜向
きを変え、光学ヘッド7 の上部に配置された対物レンズ
10に導かれる。そして、この対物レンズ10よりディスク
1の記録トラック上にレーザ光を集光させ焦点を形成す
る。

【００２３】またディスク1 からの反射光は、対物レン
ズ10に戻り、ガルバノミラー9 ，プリズム8 を経由し、
HOE 素子5 で向きを変えてフォトディテクタ4 に戻され
る。フォトディテクタ4 に取り込まれた反射光から、記
録情報信号，フォーカスオフセット信号，トラックオフ
セット信号等が生成される。そして、フォーカスオフセ
ット信号を用いることにより対物レンズ10のフォーカス
方向の位置ズレが検出され、この位置ズレを補正するよ
うにフォーカスコイル11に電流を流す制御動作を行う。
また、トラックオフセット信号を用いることにより対物
レンズ10のトラック方向の位置ズレが検出され、この位
置ズレを補正するようにリニアモータコイル12とガルバ
ノミラー9 に電圧を加えて制御動作を行う。

【００２４】対物レンズ10は、プラスチックマグネット
で形成された対物レンズホルダ13に保持されている。ま
た平行板バネ14の一端が対物レンズホルダ13に固定さ
れ、平行板バネ14の他端は光学ヘッド7 に固定されるこ
とにより、対物レンズ10はその光軸方向に移動可能に支
持されている。プラスチックマグネットからなる対物レ
ンズホルダ13と、光学ヘッド7 に巻装固定されたフォー
カスコイル11に流れる電流との間に電磁作用が作用し、
対物レンズ10にフォーカス駆動力を発生させる。

【００２５】リニアモータコイル12は筒状に形成されて
おり、光学ヘッド7 の両側面に各１個が固定されてい
る。光学ヘッド7 のリニアモータコイル12を挟んで両側
には、計４個の滑り軸受15が形成されており、ディスク
1 の径方向に延設された２本のガイドシャフト16とそれ
ぞれ係合している。これにより光学ヘッド7 はディスク
1 の半径方向に移動できるように支持されている。

【００２６】ガイドシャフト16は磁性体で形成されてお
り、磁気回路のヨークとしての役割も果たしている。そ
して、ガイドシャフト16の両端にはコ字形のバックヨー
ク17が固定されている。また磁気ギャップを挟んでリニ
アモータコイル12と対向する位置にはラジアル磁石18が
配置され、バックヨーク17に固定されている。これらガ
イドシャフト16，バックヨーク17，ラジアル磁石18がラ
ジアル磁気回路19を形成しており、リニアモータコイル
12に磁界を作用させ、リニアモータコイル12に流れる電
流との電磁作用により、光学ヘッド7 にディスク1 の半
径方向への駆動力を発生させている。

【００２７】図５は、前述のトラックオフセット信号の
処理手順を示すブロック図である。まず、トラックオフ
セット信号は第１のフィルタ41および第２のフィルタ42
にそれぞれ入力される。ここで第１のフィルタ41は一種
のローパスフィルタが採用されている。したがって、第
１のフィルタ41を通過する信号は低周波数領域の信号と
なり、リニアモータドライバ43およびリニアモータコイ
ル12のための信号として利用される。また、第２のフィ
ルタ42を通過する信号は高周波数領域の信号となり、ガ
ルバノミラーユニットドライバ44およびガルバノミラー
9 のための信号として利用される。このように処理され
た信号は、リニアモータコイル12を付勢して光学ヘッド
7 の駆動信号として、またガルバノミラー9 の揺動角度
の制御信号として、それぞれ利用される。このようにし
てディスク1 の記録トラック上に情報が記録され、また
ディスク1 の記録トラック上から情報が読み取られる。

【００２８】続いて図６乃至図８を参照してガルバノミ
ラー9 の具体的な構造を説明する。図６はガルバノミラ
ーの第１実施例を示す分解斜視図、図７はその断面図、
図８は第２のプレートの平面図である。

【００２９】ガルバノミラー9 は図５に示されるよう
に、第１のプレート21と第２のプレート22が積層された
構造をなしている。第１のプレート21は、ロ字形をなす
中空構造を有している。この中空部には、半導体レーザ
3 からのレーザ光を反射するための反射ミラー24と、こ
の反射ミラー24を表面に形成してなる揺動体25と、この
揺動体25を第１のプレート21に接続する２枚の弾性体
（支持部材）26とが配置されている。

【００３０】また、反射ミラー24の中心位置には楕円形
状の孔23が設けられている。この場合の楕円形状は、図
６中の右下から左上に向かう軸にその短半径がくるよう
に設定される。揺動体25はレーザ光の光軸に対して傾い
た状態（ここでは45°）で固定されているため、光軸方
向から孔23を見た場合にちょうど真円に近い状態となっ
ている。

【００３１】ここで、反射ミラー24と揺動体25を合計し
た可動部分の質量の重心は、ちょうど２枚の弾性体26を
結ぶ線上の中間付近、すなわち孔23が形成された位置と
なるように構成されている。

【００３２】そして、これら反射ミラー24，揺動体25，
弾性体26は、シリコンを主体とする半導体の異方性エッ
チングにより一体的に形成されており、反射ミラー24の
部分は半導体の鏡面加工により揺動体25上に直接的に製
作されている。

【００３３】なお、反射ミラー24は、揺動体25に対して
２〜３μm 突出して形成されている。また、弾性体26
は、揺動体25と第１のプレート21とを電気的に絶縁する
材料で形成されている。

【００３４】第２のプレート22は、第１のプレート21に
対して拡散接合や陽極酸化接合等の手段によって接合さ
れている。第２のプレート22はガラス系の部材で形成さ
れており、第１のプレート21に対して電気的に絶縁され
ている。

【００３５】また、第１のプレート21および揺動体25と
第２のプレート22とは、熱膨張係数のほぼ同じ材料で形
成されており、これによって温度変化が揺動体25に与え
る熱歪みの影響を極力防止できるようにしてある。すな
わち第２のプレート22としては、第１のプレート21とほ
ぼ同じ熱膨張係数を持ったガラス系の部材が選択され
る。

【００３６】また、第２のプレート22は、その中心部に
第２のフォトディテクタ（光検出素子）27が固定されて
いる。第２のフォトディテクタ27は、第１のプレート22
に設けられた孔23を通過するレーザ光を受光することが
できる位置に配置されている。

【００３７】一方、第２のプレート22の揺動体25と対向
する部位には、２枚の弾性体26を結ぶ線（第１のプレー
ト21の中心線）に対して対称な関係に、計２枚の電極2
8,29が設けられている。これらの電極28,29 は第２のプ
レート22に対して蒸着やスパッタなどの手段により形成
されている。なお、電極28,29 は透明電極で構成されて
いてもよい。

【００３８】以上のように構成されたガルバノミラー9
の駆動方法について説明する。まず、半導体で形成され
た揺動体25を＋極に帯電させ、また電極29を−極に、電
極28を＋極に帯電させる。すると、揺動体25と電極29と
が静電力によって引きつけ合い、２枚の弾性体26がねじ
れ変形することにより揺動体25が回転する。同様に、揺
動体25を−極に帯電させ、また電極29を＋極に、電極28
を−極に帯電させる。すると２枚の弾性体26がねじれ変
形することにより揺動体25が今度は逆方向に回転する。

【００３９】なお、上述の例では、揺動体25を＋に帯電
させ、第１の電極28および第２の電極29を−に帯電させ
る場合を説明したが、例えば揺動体25を−に帯電させ、
第１の電極28および第２の電極29を＋に帯電させても同
様の効果が得られる。さらに、揺動体25をグランドに接
続して電位ゼロの状態に設定した場合には、電極28,29
は共に＋に帯電させるか、あるいは共に−に帯電させて
も同様の効果が得られる。

【００４０】ここで、揺動体25と電極28,29 の間の静電
容量を測定することにより、揺動体25と第２プレート22
とのギャップ長を検出することができ、これによって揺
動体25の回転（揺動）角度を正確に検出することができ
る。そして、その検出値を用いてトラッキングオフセッ
トを電気的に補正するすることにより、ガルバノミラー
特有の回転角度の制約をほとんどなくすことができ、安
定かつ精度の高いトラッキング制御を行うことができ
る。

【００４１】また、静電容量の変化から測定された揺動
体25と第２のプレート22とのギャップ長の変化を用い
て、温度上昇や経時変化による反射ミラー24面の傾きを
補正することもできる。

【００４２】このような構成を採用した本発明のガルバ
ノミラー9 によれば、ヨーク，磁石，コイルなど質量の
大きい要素を具備していないために従来よりも大幅に軽
量化が図られている。そのため、光学ヘッド7 にガルバ
ノミラー9 を搭載しても光学ヘッド7 は軽量・小形を維
持することができ、光学ヘッド7 の高速シークが可能と
なる。

【００４３】また、静電力を利用して駆動力を発生する
構成であるため、消費電力を少なくすることができ、光
学ヘッド7 に搭載される光学ユニット6 や対物レンズ10
などに与える熱的悪影響を極力回避することができる。

【００４４】さらに、本発明では、半導体レーザ3 から
対物レンズ10に向かうレーザ光は、その径の中心部分が
孔23内を通過するため、周辺部分のみが到達することに
なる。そのため、いわゆる「アポタイズ効果」によって
ディスク1 面に集束されるレーザ光のスポット径を小さ
くすることができ、記録情報の高密度化を図ることが可
能となる。

【００４５】また、揺動体25の反射ミラー24面に設けら
れた孔23を通過するレーザ光を、第２のフォトディテク
タ27に取り込むことができる構造を採用している。第２
のフォトディテクタ27に取り込まれるレーザ光は、半導
体レーザ3 から出射されて対物レンズ10を通過し、ディ
スク1 の記録層に達する光の量に厳密に比例したもので
ある。そのため、このレーザ光の信号出力を補正信号と
して利用し、図示しないレーザ駆動回路（フロントＡＰ
Ｃ）にフィードバックすることにより、記録・再生動作
の安定化を図ることができる。すなわち、レーザ光はそ
の戻り光の影響で出力レベルが変動してしまい、その変
動がノイズ発生の原因となるが、レーザ光の出力そのも
のをレーザ駆動回路（フロントＡＰＣ）に戻すようなフ
ィードバック回路を構成しておくことにより、安定した
出力を得ることができるようになり、ノイズを確実に低
減することができる。

【００４６】また、揺動体25の回転軸上、すなわち２枚
の弾性体26を結ぶ線上に揺動体25の重心が配置され、こ
れら弾性体26のねじれ変形により回転（揺動）が実現し
ているため、外乱加速度が作用しても回転変形に影響を
及ぼすことがない。

【００４７】さらに、対物レンズ10を駆動するために用
いられているコイルや磁石といった電磁駆動要素に対し
て、電磁力を全く必要としない静電駆動要素からなるガ
ルバノミラーを用いている。すなわち、電磁力と静電力
とを用いることにより、互いの駆動力が干渉し合うなど
といった不具合をほぼ完全に防止することができる。そ
のため、ガルバノミラー9 を光学ヘッド7 へ搭載するこ
とによる悪影響が排除できるとともに、ガルバノミラー
9 と対物レンズ10とを極めて近接した位置（例えば図１
に示すように対物レンズの真下など）に配置することも
容易となり、装置設計の自由度が大幅に改善される。そ
して、ガルバノミラーを揺動し傾けることによる光軸中
心の対物レンズ位置での移動を抑制することが可能とな
り、結果としてトラッキングおよびフォーカス制御信号
に発生するオフセットを小さくすることができ、スポッ
ト位置をより高精度に定めることが可能となる。

【００４８】また、従来はガルバノミラーと揺動体との
接合、およびコイルと揺動体との接合が接着剤などで行
われていたが、本発明では接着剤などの介在物が一切用
いられていない。そのため、コイルや磁石などで発生す
るトルクが接着層を介して伝達されることがなく、振周
波数を極めて高く設定することが可能となる。つまり、
接着部分の剛性不足によってガルバノミラーの駆動周波
数特性が劣化すること（例えば20kHz 付近に共振点を持
ち、高域までサーボをかけることができなくなってしま
うというような不都合）がないため、高周波帯域まで制
御動作を行うことが極めて容易となり、精度の高い位置
決め動作が可能になる。

【００４９】また、揺動体25の回転軸と弾性体26の長手
方向とがほぼ一致しており、しかも揺動部25（可動部
分）の質量の重心がちょうど２枚の弾性部26を結ぶ線上
の中間付近となるように構成されている。そのため、装
置に外乱加速度が作用したとしても、揺動体25の回転動
作に影響を及ぼすことがない。

【００５０】なお、上述した実施例においては、第２の
プレート22はガラス板等の電気的絶縁材料で形成されて
いるが、例えばシリコンを主体とする半導体の表面に酸
化膜による絶縁層を設けたものを用いてもよい。このよ
うな構成であっても同様な効果が得られる。

【００５１】続いて図９を参照して本発明の第２の実施
例を説明する。なお、以下の各実施例においては、前述
の実施例と同一構成要素には同一符号を付して重複する
説明を省略する。

【００５２】本実施例では、揺動体25の裏側、すなわち
反射ミラー24とは反対の面に凹部30が設けられている。
この凹部30は、孔23よりも大きな面積に孔設されてお
り、孔23に連続して設けられている。

【００５３】このような凹部30を設けることにより、揺
動体25が回転している状態であっても、孔23を通過して
第２のフォトディテクタ27に到達するレーザ光の光量が
大きく変化することがなくなる。つまり、レーザ光が孔
23の側面に照射されて第２のフォトディテクタ27に到達
しないといった不具合を防止することができる。そのた
め、上述したフィードバック回路を構成した場合にレー
ザ光の光量制御が極めて安定化する。

【００５４】また、揺動体25の質量が低下するため、ガ
ルバノミラー9 に衝撃が加わった場合に弾性体26に作用
する応力が低減され、耐衝撃性を向上させることができ
るといった実用上多大な効果を期待することができる。
なお、本発明は上述した各実施例および変形例に限定さ
れるものではなく、その主旨を逸脱しない範囲で種々変
形して実施できることは言うまでもない。

【００５５】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、軽
量・小形な構成のガルバノミラー、および高速シークが
可能な光ディスク装置が実現する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る光ディスク装置の内部構造を示す
断面図。

【図２】光学ヘッドを含む駆動系の平面図。

【図３】光学ヘッドを含む駆動系の平面図。

【図４】光学ユニットの断面図。

【図５】トラックオフセット信号の処理手順を示すブロ
ック図。

【図６】ガルバノミラーの第１実施例を示す分解斜視
図。

【図７】ガルバノミラーの断面図。

【図８】第２のプレートの平面図。

【図９】ガルバノミラーの第２実施例を示す断面図。

【図１０】従来の分離光学方式の一例を示す構成図。

【図１１】従来のガルバノミラーを示す平面図。

【図１２】図11中のＡ−Ａ線断面図。

【図１３】図11中のＢ−Ｂ線断面図。

【符号の説明】

１…ディスク ２…スピンドルモータ ３…半導体レーザ ４…フォトディテクタ ５…ＨＯＥ素子 ６…光学ユニット ７…光学ヘッド ８…プリズム ９…ガルバノミラー 10…対物レンズ 11…フォーカスコイル 12…リニアモータコイル 13…対物レンズホルダ 14…平行板バネ 15…滑り軸受 16…ガイドシャフト 17…バックヨーク 18…ラジアル磁石 19…ラジアル磁気回 21…第１のプレート 22…第２のプレート 23…孔 24…反射ミラー 25…揺動体 26…弾性体（支持部材） 27…第２のフォトディテクタ（光検出素子） 28,29 …電極 30…凹部 41…第１のフィルタ 42…第２のフィルタ 43…リニアモータドライバ 44…ガルバノミラーユニット

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】反射ミラーを備えた揺動体と、 一端が前記揺動体に接続され、前記揺動体を揺動可能に
   吊設支持する支持部材と、 前記支持部材の他端が接続されるとともに前記揺動体と
   対向配置される固定部と、 前記揺動体を静電力で駆動するための電極と、を有する
   ガルバノミラーにおいて、 前記反射ミラーに孔を設けてなることを特徴とするガル
   バノミラー。
2. 【請求項２】前記孔は、前記反射ミラーに照射される光
   のほぼ中心位置となるように形成されていることを特徴
   とする請求項１記載のガルバノミラー。
3. 【請求項３】前記孔は楕円形状に形成されていることを
   特徴とする請求項１記載のガルバノミラー。
4. 【請求項４】前記孔の対向位置付近に光検出素子が配置
   されていることを特徴とする請求項１記載のガルバノミ
   ラー。
5. 【請求項５】反射ミラーを備えた揺動体と、 一端が前記揺動体に接続され、前記揺動体を揺動可能に
   吊設支持する支持部材と、 前記支持部材の他端が接続されるとともに前記揺動体と
   対向配置される固定部と、 前記揺動体を静電力で駆動するための電極と、を有する
   ガルバノミラーにおいて、 前記反射ミラーに到達する光の一部を取り込む構造を備
   えてなることを特徴とするガルバノミラー。
6. 【請求項６】取り込まれた光が光検出素子に送られてな
   ることを特徴とする請求項５記載のガルバノミラー。
7. 【請求項７】レーザ光を発生する光源と、 前記光源からのレーザ光を反射するガルバノミラーと、 前記ガルバノミラーにより反射したレーザ光を受け、光
   ディスクに焦点を形成する対物レンズと、 前記対物レンズを前記光ディスクの径方向および厚み方
   向に駆動する駆動手段と、 前記光ディスクからの反射光を処理して前記駆動手段へ
   の駆動信号および前記光ディスクからの再生信号を生成
   する信号処理手段と、を有する光ディスク装置におい
   て、前記ガルバノミラーは、 反射ミラーを備えた揺動体と、 前記揺動体を揺動可能に支持する支持部材と、 前記支持部材を挟んで対向配置される帯電可能な電極
   と、を具備してなるとともに、 前記反射ミラーに孔を設けて前記レーザ光を取り込み、
   前記信号処理手段の補正信号を生成することを特徴とす
   る光ディスク装置。
8. 【請求項８】前記孔は、前記反射ミラーに照射される光
   のほぼ中心位置となるように形成されていることを特徴
   とする請求項７記載の光ディスク装置。
9. 【請求項９】前記孔は楕円形状に形成されていることを
   特徴とする請求項７記載の光ディスク装置。
10. 【請求項１０】前記孔の対向位置付近に光検出素子が配
    置されていることを特徴とする請求項７記載の光ディス
    ク装置。
11. 【請求項１１】レーザ光を発生する光源と、 前記光源からのレーザ光を反射するガルバノミラーと、 前記ガルバノミラーにより反射したレーザ光を受け、光
    ディスクに焦点を形成する対物レンズと、 前記対物レンズを前記光ディスクの径方向および厚み方
    向に駆動する駆動手段と、 前記光ディスクからの反射光を処理して前記駆動手段へ
    の駆動信号および前記光ディスクからの再生信号を生成
    する信号処理手段と、を有する光ディスク装置におい
    て、前記ガルバノミラーは、 反射ミラーを備えた揺動体と、 一端が前記揺動体に接続され、前記揺動体を揺動可能に
    吊設支持する支持部材と、 前記支持部材の他端が接続されるとともに前記揺動体と
    対向配置される固定部と、 前記揺動体を静電力で駆動するための電極とを有し、 前記反射ミラーに到達する光の一部を取り込み、前記信
    号処理手段の補正信号の生成に利用することを特徴とす
    る光ディスク装置。
12. 【請求項１２】取り込まれた光が光検出素子に送られて
    なることを特徴とする請求項１１記載の光ディスク装
    置。