JPH1114933A - ガルバノミラーおよびこれを用いた光ディスク装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単な構成により安定な制御を実現できるガ
ルバノミラーにより外力が加えられても充分な耐性を有
する薄型の光ディスク装置を提供する。 【解決手段】 ガルバノミラー９Ａは、表面に反射ミラ
ー２４を有する揺動部２３の周囲に固定部２２を配置
し、揺動部２３の外周の対向する任意の２点を一対の弾
性部２５ａ，２５ｂにより固定部２２に吊設支持すると
共に、揺動部２３の裏面に弾性部２５ａ，２５ｂと連続
させて凸部２６を形成いている。また、揺動部２３の裏
面およびこれに対向する面３７のいずれか一方に、前記
一対の弾性部２５ａ，２５ｂを結ぶ直線を少なくとも横
切る部分を含む凹部３４を形成してもよい。また、揺動
部２３の表面に反射ミラーの代わりにＨＯＥ５６を形成
してもよい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光を所定の
方向に反射するガルバノミラーおよびこれを用いた光デ
ィスク装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、コンパクトディスク（ＣＤ）やレ
ーザディスク（ＬＤ）に代表されるように、レーザ光を
用いて情報の記録再生を行なう光ディスク装置が広く普
及している。また、最近では、この光ディスク装置はコ
ンピュータの外部記録装置として利用されるようになっ
ている。このような光ディスク装置の普及に伴い、情報
の記録再生を高速で行なえるように、光学系を搭載した
光学ヘッドを高速で駆動できる技術が要求されるように
なっている。

【０００３】この光学ヘッドの高速移動の要求に対し、
光の向きを変えるガルバノミラーをシリコンにより形成
して小型化し、これを光学ヘッドに搭載して光学ヘッド
の質量をできるだけ小さくすることにより素速いシーク
を実現する方式が提案されている。

【０００４】以下、このガルバノミラーおよびこれを用
いた光ディスク装置の一例を図１３から図１７を参照し
て説明する。なお、図１３から図１７においては、説明
の便宜のために図中にＸ，Ｙ，Ｚ軸が付記されている。

【０００５】図１３において、情報の記録再生に用いら
れるディスク１は、図示しないベースに固定されたスピ
ンドルモータ２に対してマグネットチャック等のチャッ
キング手段により保持されており、記録再生時にはこの
スピンドルモータ２によって安定に回転駆動される。な
お、本明細書においては、ディスク１は、例えば光ディ
スク、光磁気ディスク等の光スポットにより情報の記録
再生を行なうディスク状の全ての情報記録媒体をいうも
のとする。

【０００６】前記ディスク１に照射するためのレーザ光
を発生させる半導体レーザ３は、図１６に示すように、
フォトディテクタ４とホログラム光学素子（以下、ＨＯ
Ｅ―Holographic Optical Element ―と略記する）５等
と共に光学ユニット６を構成している。光学ユニット６
は、図１３に示すように光学ヘッド７の下部に固定され
ている。なお、光学ユニット６の底面には放熱性を高め
る目的で複数の凹凸６ａが形成されている。

【０００７】半導体レーザ３より発せられたレーザ光
は、ガラス面に形成されたＨＯＥ５を通過し、ＨＯＥ５
の反対面に固定されたプリズム８で９０°向きを変えた
後、ガルバノミラー９で再び９０°向きを変えて光学ヘ
ッド７の上部に配置された対物レンズ１０に導かれる。
そして、この対物レンズ１０よりディスク１の記録トラ
ック上にレーザ光を集光させて焦点を形成する。

【０００８】また、ディスク１からの反射光は対物レン
ズ１０に戻り、ガルバノミラー９、プリズム８を経由
し、図１６に示すように、ＨＯＥ５で向きを変えてフォ
トディテクタ４に戻される。フォトディテクタ４に取り
込まれた反射光から、記録情報信号、フォーカスオフセ
ット信号、トラックオフセット信号等が生成される。そ
して、フォーカスオフセット信号を用いることにより対
物レンズ１０のフォーカス方向の位置ズレが検出され、
この位置ズレを補正するようにフォーカスコイル１１に
電流を流す制御動作を行なう。また、トラックオフセッ
ト信号を用いることにより対物レンズ１０のトラック方
向の位置ズレが検出され、この位置ズレを補正するよう
にリニアモータコイル１２とガルバノミラー９に電圧を
加えて制御動作を行なう。このようにしてディスク１の
記録トラック上に情報が記録され、またディスク１の記
録トラック上から情報が読み取られる。

【０００９】対物レンズ１０は、図１３に示すように、
プラスチックマグネットで形成された対物レンズホルダ
１３に保持されている。また、平行板バネ１４の一端が
対物レンズホルダ１３に固定され、平行板バネ１４の他
端は光学ヘッド７に固定されることにより、対物レンズ
１０はその光軸方向に移動可能に支持されている。プラ
スチックマグネットからなる対物レンズホルダ１３と、
光学ヘッド７に巻装固定されたフォーカスコイル１１に
流れる電流との間に電磁作用が作用し、対物レンズ１０
にフォーカス駆動力を発生させる。

【００１０】リニアモータコイル１２は筒状に形成され
ており、光学ヘッド７の両側面に各１個が固定されてい
る。光学ヘッド７のリニアモータコイル１２を挟んで両
側には、計４個の滑り軸受１５が形成されている。この
滑り軸受け１５は、図１４，図１５に示すように、ディ
スク１の径方向（Ｘ軸方向）に延設された２本のガイド
シャフト１６とそれぞれ係合している。これにより、光
学ヘッド７はディスク１の半径方向に移動できるように
支持されている。

【００１１】ガイドシャフト１６は磁性体で形成されて
おり、磁気回路のヨークとしての役割も果たしている。
図１４に示すように、ガイドシャフト１６の両端にはコ
字形のバックヨーク１７が固定されている。また、磁気
ギャップを挟んでリニアモータコイル１２と対向する位
置にはラジアル磁石１８が配置され、バックヨーク１７
に固定されている。これらガイドシャフト１６、バック
ヨーク１７、ラジアル磁石１８がラジアル磁気回路１９
を形成しており、リニアモータコイル１２に磁界を作用
させ、リニアモータコイル１２に流れる電流との電磁作
用により、光学ヘッド７にディスク１の半径方向への駆
動力を発生させている。

【００１２】上記構成において、図１７を参照しながら
従来のガルバノミラー９０の構成について説明する。図
１７において、ガルバノミラー９０は第１のプレート９
１，第２のプレート９６，第３のプレート９８を接合し
て構成されている。第１のプレート９１は、枠部材９２
に一対の弾性部９３を介してシリコン等の半導体よりな
る揺動部９４を接続配置しており、揺動部９４には反射
ミラー９５が形成されている。

【００１３】第１のプレート９１の上下には、第２及び
第３のプレート９６，９８がそれぞれ電気絶縁された状
態に接合されている。第２，第３のプレート９６，９８
の揺動部９４と対向する各部位には、それぞれ対象な位
置で電極９７ａ，９７ｂと電極９９ａ，９９ｂが設けら
れている。このような構成において揺動部９４を＋極
（または−極）に帯電させ、また電極９７ｂ，９９ａを
−極（または＋極）、電極９７ａ，９９ｂを＋極（また
は−極）にそれぞれ帯電させると、一対の弾性部９３の
ねじれ変形を伴いながら揺動部９４が回転（揺動）され
る。

【００１４】光学ヘッド７の内部で、ガルバノミラー９
は、半導体レーザ３と対物レンズ１０の中間に配置され
ており、しかも半導体レーザ３から出光されたレーザ光
は対物レンズ１０に向かって拡大していくように設定さ
れている。

【００１５】これにより、対物レンズ１０に入射する前
の光の直径に比べて、ガルバノミラー９の反射ミラー９
５を小さくすることができる。

【００１６】このような配置を有する光学系により構成
された光学ヘッドは、一般に有限光学系ヘッドと呼ばれ
ており、半導体レーザから出光された光が対物レンズに
達する前にコリメートレンズで平行光にする無限光学系
ヘッドと区別している。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】コイルに流れる電流と
この電流により発生させられる磁束の作用・反作用によ
り物体を運動させるアクチュエータにおいては、コイル
に＋方向と−方向の電流を流すことにより、逆転する力
が得られるので、通常１つのアクチュエータ用のアンプ
は１つあれば充分である。

【００１８】これに対して、電極と揺動部とに作用する
クーロン力で、揺動部を運動させる上記従来のガルバノ
ミラーの場合、クーロン力では引力しか発生しないた
め、複数の電極を用いて、反対側から引くことにより逆
方向の力を発生させる必要がある。このようなクーロン
力により揺動部を駆動するアクチュエータにおいては、
例えば、電極９７ａ，９９ｂを帯電させて揺動部９４を
一方向に回転させた状態から、この逆方向に揺動部９４
を回転させようとすれば、電極９７ａ，９９ｂとは別の
電極９７ｂ，９９ａを帯電させて、このクーロン力によ
り揺動部９４にトルクを加えるしかない。

【００１９】したがって、上記従来のガルバノミラーの
アクチュエータにおいては、異なる極性の複数の電極を
必要とするが、複数の電極を用いるということは、必ず
複数の出力、つまり増幅器（アンプ）が必要になる。よ
って、これら複数のアンプのオフセットや増幅率のバラ
ツキにより、揺動部９４においては、揺動部９４に取り
付けられた反射ミラー９５の反射面に対して垂直方向に
力が加えられることになる。

【００２０】また、上記従来のガルバノミラーにおいて
は４個の電極を用いているが、電極を４つも設けると、
反射ミラー９５に対し揺動部９４を大きくする必要があ
り、揺動部９４の駆動感度の低下を招いていた。

【００２１】また、電極９９ａ，９９ｂだけで揺動部９
４を駆動しようとすると、バイアス電圧を電極９９ａ，
９９ｂにかけて揺動部９４を第３のプレート９８側に引
きつけて、駆動入力に対して前記電圧のバランスを変え
て揺動部９４に回転トルクを与えるように構成してもよ
い。しかしながら、このような構成とした場合でも、前
記揺動部９４を第３のプレート９８に引きつける力が、
前記駆動入力により変化してしまい、安定した制御を行
なうことができないという問題があった。

【００２２】従来のガルバノミラー９０では、反射ミラ
ー９５を有する揺動部９４よりも弾性体９３の厚みが薄
いか、もしくは同じ厚みであるので、揺動部９４を反射
ミラー９５の反射面と垂直方向に支持する剛性が低かっ
た。

【００２３】また、有限光学系のヘッドでは、ガルバノ
ミラー９０の反射ミラー９５が反射面と垂直方向に移動
すると、半導体レーザ３と対物レンズ１０の距離が変化
するため対物レンズ１０によって集光されたビームスポ
ットの焦点位置が、フォーカス方向に移動してしまうと
ともに、対物レンズに入射する光の位置にもオフセット
が発生するため、前記ビームスポットがディスク１のト
ラッキング方向にも移動してしまう。

【００２４】したがって、従来のガルバノミラーでは、
揺動部９４を反射ミラー９５の反射面と垂直方向に支持
する剛性が低いため、揺動部９４を回転させると、揺動
部９４が反射ミラー９５の反射面と垂直方向に振動して
しまい、これにより、安定な制御を実現することが困難
であった。

【００２５】また、光ヘッド７を有する光ディスク装置
そのものに、外力が加わったとき、揺動部９４を反射ミ
ラー９５の反射面と垂直方向に支持する剛性が低いと、
揺動部９４が反射ミラー９５の反射面と垂直方向に振動
しやすく、これにより、外乱に対する耐性を確保するこ
とが困難であった。

【００２６】揺動部９４が反射ミラー９５の反射面と垂
直方向に振動したとき、対物レンズ１０により集光され
たビームスポットの焦点位置がフォーカス方向に移動せ
ず、しかも、前記ビームスポットがディスク１のトラッ
キング方向にも移動しないようにするため、光学ヘッド
７を無限光学系により構成することが考えられる。しか
しながら、光学ヘッド７を無限光学系にするためには、
コリメートレンズなどが新たに必要になりコストの上昇
を招くばかりか、対物レンズ１０に入射する前の光の直
径に比べて、ガルバノミラー９０の反射面９５を小さく
することができるという有限光学系の利点である構成に
することができないので、光ディスク装置の薄型化を阻
害していた。

【００２７】そこで本発明は、簡単な構成により安定な
制御を実現することが可能なガルバノミラー、および外
力が加えられても充分な耐性を有する薄型の光ディスク
装置を提供することを目的とする。

【００２８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項１に係るガルバノミラーは、表面に反射ミラ
ーを有する揺動部と、この揺動部の周囲に配置される固
定部と、前記揺動部を前記固定部に吊設支持する一対の
弾性部と、前記揺動部の裏面に前記弾性部と連続して形
成された凸部と、を備えることを特徴としている。

【００２９】また、請求項２に係るガルバノミラーは表
面に反射ミラーを有する揺動部と、この揺動部の周囲に
配置される固定部と、前記揺動部を前記固定部に吊設支
持する一対の弾性部と、前記揺動部の裏面およびこれに
対向する前記固定部の面のいずれか一方に形成されると
共に、前記一対の弾性部を結ぶ直線を少なくとも横切る
部分を含む凹部と、を備えることを特徴としている。

【００３０】また、請求項３に係るガルバノミラーは、
ホログラフィック光学素子が表面に形成された備えた揺
動部と、この揺動部の周囲に配置される固定部と、前記
揺動部を前記固定部に吊設支持する一対の弾性部と、を
備えることを特徴とする。

【００３１】また、請求項４に係るガルバノミラーは表
面の一部に反射ミラーが形成され、この反射ミラーが形
成されていない部分に所定形状の穴部を有する揺動部
と、この揺動部の周囲に配置される固定部と、前記揺動
部を前記固定部に吊設支持する一対の弾性部と、を備え
ることを特徴とする。

【００３２】また、請求項５に係るガルバノミラーは、
請求項４に記載のものにおいて、前記所定形状の穴部
は、楕円形状の揺動部の中心に穿設されていることを特
徴とする。

【００３３】また、請求項６に係るガルバノミラーは、
請求項４に記載のものにおいて、前記反射ミラーは楕円
形状の揺動部の略中心に形成され、前記所定形状の穴部
は前記反射ミラーを囲むように複数穿設されていること
を特徴とする。

【００３４】請求項７に係る光ディスク装置は、光源
と、この光源より出射されるレーザ光を光ディスクの情
報記録面に収束させて光スポットを形成する対物レンズ
と、前記光源と前記対物レンズとの間に設けられ、表面
に反射ミラーが形成された揺動部，この揺動部の周囲に
位置する固定部，前記揺動部の外周を前記固定部に吊設
支持する一対の弾性部，前記揺動部の裏面に前記弾性部
と連続して形成された凸部，を具備するガルバノミラー
と、を備え、前記一対の弾性部を結ぶ直線が、前記光デ
ィスクの情報記録トラックと前記対物レンズの光軸を含
む平面に含まれるとともに、前記情報記録面に対して交
点を有することを特徴としている。

【００３５】請求項８に係る光ディスク装置は、光ディ
スクを回転させる回転駆動手段と、前記光ディスクを前
記回転駆動手段に着脱可能に固定する固定手段と、光源
と前記対物レンズとの間に設けられ、表面に反射ミラー
が形成された揺動部，この揺動部の周囲に位置する固定
部，前記揺動部を前記固定部に吊設支持する一対の弾性
部，前記揺動部の裏面に前記弾性部と連続して形成され
た凸部，を具備するガルバノミラーと、前記ガルバノミ
ラーを含む光ヘッドを前記光ディスクの半径方向に移動
可能に支持する送り機構と、前記固定手段に前記光ディ
スクの情報記録トラックの中心と、前記回転駆動手段の
回転中心との間を調整する自動調芯機構と、を備えるこ
とを特徴としている。

【００３６】以上のような本発明によれば、揺動部の質
量に比べて、揺動部と反射ミラーの反射面と垂直方向に
支持する剛性が高いので、揺動部が反射ミラーの反射面
と垂直方向に振動し難くく、これにより、簡単な構成
で、外乱に対する耐性が高いガルバノミラーを実現でき
る。

【００３７】また、ガルバノミラーと光ヘッドの送り機
構と自動調芯装置を組み合わせることで、装置に加わる
外乱に対して、十分な耐性を有する光ディスク装置が実
現する。

【００３８】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
に係るガルバノミラーおよびこれを用いた光ディスク装
置の好適な実施形態を説明する。本発明に係るガルバノ
ミラーが取り付けられる光学ヘッドの構成は、図１３か
ら図１６を用いて従来の装置において説明した構成と全
く同様であるため重複説明を省略する。本発明に特有の
構成は図１３におけるガルバノミラー９を図１に示すよ
うな構成のガルバノミラー９Ａとした点である。

【００３９】図１３において、光学ヘッド７の内部で、
ガルバノミラー９は、半導体レーザ３と対物レンズ１０
の中間に配置されており、しかも半導体レーザ３から出
光されたレーザ光は対物レンズ１０に向かい拡大するよ
うに設定されている。これにより、対物レンズ１０に入
射する前の光の直径に比べて、ガルバノミラー９のミラ
ー面を小さくすることができ、結果として、光学ヘッド
７を薄型に形成することができる。

【００４０】このような有限光学系のヘッドは、構成が
簡単で、光ディスク装置の薄型化に適しているが、ガル
バノミラー９の反射ミラーがミラー面と垂直方向に移動
すると、半導体レーザ３と対物レンズ１０の距離が変化
するため対物レンズ１０によって集光されたビームスポ
ットの焦点位置が、フォーカス方向に移動してしまうと
共に、対物レンズに入射する光の位置にもオフセットが
発生するため、前記ビームスポットがディスク１のトラ
ッキング方向にも移動してしまう欠点も有している。

【００４１】このような欠点を補完するため、図１に示
すようなガルバノミラー９Ａが、対物レンズの下側に設
けられている。ガルバノミラー９Ａは、図１に示すよう
に、第１のプレート２０、第２のプレート３０の２つの
プレートが積層された構造となっている。第１のプレー
ト２０は、図２に示されるように、ガード部２１，固定
部２２，揺動部２３，一対の弾性部２５ａ，２５ｂから
構成されている。

【００４２】固定部２２は、第２のプレート３０に接合
されることによって第１のプレート２０全体を固定保持
している。揺動部２３は、第１のプレート２０のガード
部２１，固定部２２に包囲されるように形成されてお
り、その表面には半導体レーザ３からのレーザ光を反射
するミラー面２４が、鏡面加工などによって一体形成さ
れている。さらに、ミラー面２４は、揺動部２３の表面
に、金属薄膜や誘電体多層膜等を蒸着して形成される。
第１のプレート２０、第２のプレート３０を例えばシリ
コンウェハ等から形成するため、揺動部２３は５０から
５００μｍ程度の厚さを有している。

【００４３】弾性部２５ａ，２５ｂは、その一端が揺動
部２３に、他端が固定部２２にそれぞれ接続されること
により、揺動部２３と固定部２２とを連結して吊設支持
している。ここで、揺動部２３の質量の重心は、一対の
弾性部２５ａ，２５ｂを結ぶ線上の丁度中間となるよう
に構成されている。揺動部２３のミラー面２４の裏側に
は、弾性部２５ａ，２５ｂと同じ厚さの凸部２６が一対
の揺動部２３を連絡する梁のように設けられている。

【００４４】換言すると、凸部２６を形成するため固定
部２２、弾性部２５ａ，２５ｂ、揺動部２３をミラー面
２４側からエッチングする前に、揺動部２３はミラー面
２４の反対側から予めエッチングされている。その際、
図２に示すように、凸部２６の横幅ｔ₁ が、弾性部２５
ａ，２５ｂの横幅よりも広いことにより、上記エッチン
グを第１のプレート２０のミラー面２４側とその反対側
の両側から行なうときの誤差によって、凸部２６と弾性
部２５ａ，２５ｂとが連続しなくなってしまう可能性を
低減させている。

【００４５】このように、揺動部２３が裏面に凸部２６
を有し、凸部２６が弾性部２５ａ，２５ｂと連続してい
ると、揺動部２３の弾性部２５ａ，２５ｂ回りの慣性モ
ーメントを増加させないで、弾性部２５ａ，２５ｂの厚
みを確保することができる。さらに、凸部２６に弾性体
２５ａ，２５ｂが引っ張り圧縮力を伝えることができる
ので、揺動部２３を反射ミラー２４と垂直な方向に振動
させる力に対して、剛性が高くなるばかりか、揺動部２
３の慣性質量が低減するため、揺動部２３が反射ミラー
２４と垂直な方向に振動するモードの共振周波数を引き
上げ、外乱によるミラー面２４の垂直方向の振動を低減
することができる。

【００４６】なお、凸部２６は揺動部２３のミラー面２
４の裏側の面上で、必ずしも連続している必要はない。
また、第１のプレート２０を構成する固定部２４、揺動
部２３、一対の弾性部２５ａ，２５ｂの形状は、反応性
イオンエッチング（以下、ＲＩＥ―Reactive Ion Etchi
ng―と略記する。）により形成されている。

【００４７】一方、第２のプレート３０は、例えばガラ
ス板等の電気的絶縁材料で形成されるか、あるいは表面
に電気的絶縁材料（または酸化膜）がコーティングされ
たシリコンで形成されており、第１のプレート２０の固
定部２２に対して静電接合、拡散接合、陽極酸化接合、
水ガラスを介した接合等のいずれかの方法で接合されて
いる。また、図３に示すように、第２のプレート３０上
の揺動部２３と対向する部位には、電極３１ａ，３１ｂ
が形成され、この電極３１ａ，３１ｂには端子３２ａ，
３２ｂが接続されている。さらに、第２のプレート２０
には、揺動部２３の中央部と周縁の対向する２点をそれ
ぞれ２対１程度に分ける点、３３ａ，３３ｂを中心に、
揺動部２３の外周に向かって、放射状および環状に形成
された凹部３４が形成されている。これらの凹部３４の
深さは、例えば１０ミクロンから３００ミクロンの範囲
に設定される。

【００４８】図１に示すように、凹部３４を揺動部２３
の第２のプレート３０に対向する部分から、第２のプレ
ート３０上で揺動部２３と対向しない部分まで連続させ
るとともに、さらに、一部の凹部３１を弾性部２５ａ，
２５ｂに対向する第２のプレート２２上の直線と交差す
るように連続させると、揺動部２３の揺動によって発生
する正圧および負圧を大気中に放出して、正圧と負圧を
相殺する。

【００４９】これにより、揺動部２３の揺動により発生
する圧力が低減され、結果として、揺動部２３が揺動の
際に受ける抵抗力を低減し、同じ駆動力に対する揺動部
２３の偏角を大きくでき、駆動感度を向上させることが
できる。揺動部２３が弾性部２５ａ，２５ｂを中心軸と
して回転すると、例えば点３３ａに発生する圧力が正圧
であるとすると、点３３ｂに発生する圧力は負圧にな
る。また、揺動部２３を反射ミラー２４の垂直方向に移
動させるときに発生する圧力は、例えば点３３ａに発生
する圧力が正であるとすると、点３３ｂに発生する圧力
も正になる。

【００５０】そこで、前述のように、一部の凹部３４を
弾性部２５ａ，２５ｂに対向する第２のプレート３０上
の直線と交差するように連続させると、点３３ａ，３３
ｂの間に圧力抜けの流路が形成されるので、揺動部２３
を回転させるときに発生する圧力は低下させられるが、
揺動部２３を反射ミラー２４の垂直方向に移動させると
きに発生する圧力は、点３３ａ，３３ｂの間に流れが発
生しないので、低下することはない。

【００５１】したがって、揺動部２３を弾性部２５ａ，
２５ｂ回りに回転させるときには抵抗力が小さく、揺動
部２３を反射ミラー２４の垂直方向に移動させるときに
は、空気の圧力により高い抵抗力を発生する。よって、
ガルバノミラー９Ａは高い駆動感度を維持するととも
に、装置に加わる外力により、揺動部２３が反射ミラー
２４の垂直方向には移動され難い構成となっている。

【００５２】また、第２のプレート３０には凸部３５，
３６が形成されている。これは、換言すると、電極３１
ａ，３１ｂが形成されている面３７は、ウェハからなる
第２のプレート３０をエッチングすることにより凸部３
５，３６の上面から掘り下げられている。前述のよう
に、固定部２１，２２は第２のプレート３０に接合され
ることにより第１のプレート２０全体を固定保持してい
るが、第１，第２のプレート２０，３０は、固定部２１
と凸部３５，固定部２２と凸部３６とをそれぞれ介して
接合される。

【００５３】また、凸部３６は、固定部２２に比べて、
揺動部２３の反射面と垂直な方向から見たときの面積が
小さくなっている。さらに、凸部３６には凸部３５の内
部から第２のプレート３０の端部に向かって、切欠き溝
３８が形成されている。凸部３６を固定部２２より小さ
くし、凹部３８を設けることにより、例えば、前述のミ
ラー面２４を金属の蒸着により形成する際に、揺動部２
３のみを穴のあいたマスクで囲み、揺動部２３だけに金
属を蒸着する必要が無い。

【００５４】つまり、マスクを使用しないでプレート全
体に金属を蒸着しても、固定部２２よりも凸部３６が小
さいので、揺動部２３と電極３１ａ，３１ｂがショート
することが無く、さらに固定部２２の周囲において、弾
性体２５ａ，２５ｂの下の第２のプレート３０上には金
属は蒸着されず、さらに切欠き溝３８により、固定部２
２の外側でも第２プレート３０が分離されているので、
電極に３１ａ，３１ｂが電気的に短絡することが無い。
これにより、マスクをプレートと位置合わせする必要が
無くなり、工数を低減することができる。

【００５５】また、電極３１ａ，３１ｂはそれぞれ、端
子３２ａ，３２ｂにより電気的に接続されている。そし
て、外部より端子３２ａ，３２ｂに電圧を印加すること
により電極３１ａ，３１ｂに電圧を印加することができ
るようになっている。

【００５６】一方、固定部２２の表面には端子２７ａ，
２７ｂが形成されている。これら端子２７ａ，２７ｂは
接地レベルに接続されることにより、揺動部２３は常に
接地レベルに接続されている。そのため、チリ等の浮遊
物が揺動部２３上の反射ミラー２４に吸着してしまう危
険性が大幅に低下し、ガルバノミラー９Ａの性能が長期
間維持される。ただし、電極３１ａ，３１ｂと端子３２
ａ，３２ｂは第１のプレート２０側とは電気的に接続さ
れないように設計されている。

【００５７】具体的には、電極３１ａ，３１ｂと第１の
プレート２０には、前記凸部３６によって１ミクロンか
ら２０ミクロン程度の隙間が形成されるようになってい
る。また、電極３１ａ，３１ｂを形成する面３７上で、
電極３１ａ，３１ｂを形成した面とその周囲の一部だけ
を、図３の上方に形成するようにし、揺動部２３の凸部
２６と面３７の隙間と、揺動部２３の凸部２６以外の面
と電極３１ａ，３１ｂの隙間を独立に調整できるように
構成してもかまわない。なお、第１のプレート２０と第
２のプレート３０の材料は、ほぼ同じ熱膨張係数を有す
るものが選択されていることが好ましい。

【００５８】上記構成の第１実施形態に係るガルバノミ
ラー９Ａは、光学ヘッド７の一部に設けられた端子と、
ガルバノミラー９Ａに設けられた端子３５ａ，３５ｂ，
３６ａ，３６ｂとが半田などにより電気的に接続され、
また機械的にも強固に接続されている。

【００５９】次に、第１実施形態に係るガルバノミラー
９Ａの具体的な動作について説明する。まず、端子３２
ａ，３２ｂに初期電位を与えることにより、接地レベル
との間に電位差を生じさせ、電位が接地レベルである揺
動部２３と電極３１ａ，３１ｂがクーロン力により引き
合うようにする。ここで、端子３２ａと端子３２ｂに印
加される電圧を変化させると、揺動部２３と電極３１ａ
と電極３１ｂとが引き合う力が変化して偶力が作用する
ので、２枚の弾性部２５ａ，２５ｂが捻れ変形を起こ
し、揺動部２３は図１におけるＹ軸回りに回転する。

【００６０】揺動部２３が図１のＹ軸回りに回転する
と、半導体レーザ３から図中Ｚ方向に出光し、プリズム
８で９０°曲げられて図中Ｘ方向に進行した光は、ガル
バノミラー９Ａで図中Ｙ軸回りに回転させられるので、
ディスク１上でビームスポットがディスク１のトラッキ
ング方向に移動することになる。コイルに流れる電流と
磁束の作用・反作用により物体を運動させるアクチュエ
ータにおいては、電流をコイルに正電位（＋）方向また
は負電位（−）方向に流すことにより、逆転する力が得
られので、通常１つのアクチュエータにアンプは１つし
か用いない。

【００６１】これに対して、電極と揺動部に作用するク
ーロン力で、揺動体を運動させる場合、クーロン力では
引力しか発生しないため、複数の電極を用いて、反対側
から引くことにより逆方向の力を発生させる必要があ
る。クーロン力により揺動部２３を駆動する本発明のア
クチュエータにおいては、例えば、電極３１ａを帯電さ
せて揺動部２３を回転させた状態から、この逆方向に揺
動部２３を高速で回転させようとすれば、電極３１ｂを
帯電させてクーロン力により揺動部２３にトルクを加え
るしかない。したがって、前記アクチュエータにおいて
は、必ず複数の電極を必要とし、ディスク１のトラッキ
ングエラー信号から得られた１つの制御入力を、何らか
の方法により、接地レベルに対する端子３２ａ，３２ｂ
に加える電圧として振り分ける必要があるが、通常は各
端子毎にオペアンプを接続して各端子の電位を調整す
る。

【００６２】しかし、オペアンプや抵抗のバラツキがな
くとも、電極３１ａ，３１ｂが揺動部２３を第２のプレ
ート３０方向に引く力が変化する。また、仮に上記のよ
うなバラツキがなくとも、以下の原理により揺動部２３
には第２のプレート３０方向に変動する力が加わる。

【００６３】揺動部２３と電極３１ａ，３１ｂのあいだ
に介在する媒質（通常は空気）の誘電率をε、電極３１
ａ，３１ｂの面積をＳ、揺動部２３と電極３１ａ，３１
ｂの距離をｄ、電極３１ａ，３１ｂに加える初期電位を
Ｖo 、トラッキングオフセット信号から送出された電極
３１ａ，３１ｂに差分電圧として加える制御入力量を△
Ｖ、電極３１ａ，３１ｂの作用位置の、一対の弾性部２
５ａ，２５ｂを結ぶ直線を第２のプレート３０に投影し
た直線との距離をｒ、とすると、揺動部２３に働くトル
クＴと、揺動部２３を第２のプレート３０方向に引きつ
ける力Ｆは、下式（１）（２）のようになる。 Ｔ＝２・ε・Ｓ・Ｖo ・△Ｖ・ｒ／ｄ² …… （１） Ｆ＝ε・Ｓ・（Ｖo²＋△Ｖ²）／ｄ² …… （２） 力Ｆを算出する式（２）の右辺には、制御入力量△Ｖが
存在するので、力Ｆは制御入力量△Ｖの変動により変化
し、揺動部２３は制御入力により第２のプレート３０方
向に変動する力をかけられることになる。

【００６４】前述のように、このような構成のガルバノ
ミラー９Ａによれば、揺動部２３が凸部２６を有し、し
かも凸部２６が弾性部２５ａ，２５ｂと連続しているの
で、揺動部２３の弾性部２５ａ，２５ｂ回りの慣性モー
メントを増加させることがなく、弾性部２５ａ，２５ｂ
の厚みを確保することができ、しかも凸部２６に弾性部
２５ａ，２５ｂが引っ張り力および圧縮力を伝えること
ができるので、揺動部２３を反射ミラー２４と垂直な方
向に振動させる力に対して、剛性が高くなる。そればか
りでなく、揺動部２３の慣性質量が低減するため、揺動
部２３が反射ミラー２４と垂直な方向に振動するモード
の共振周波数を引き上げ、外乱によるミラー面の垂直方
向の振動を低減することができる。したがって、揺動部
２３に第２のプレート３０方向に変動する力が加えられ
ても、その振幅を低減させることができる。

【００６５】また、リニアモータコイル１２により光学
ヘッド７が図中Ｘ方向に高速で移動しても、対物レンズ
１０を図中Ｚ方向に高速で移動させることにより、光学
ヘッド７に接合されたフォーカスコイル１１が反作用に
よる力を受けても、光ディスク装置に外力が作用するこ
とにより、光学ヘッド７に力が作用しても、これらの外
乱によるミラー面の垂直方向の振動が少ない。

【００６６】その結果、光学ヘッド７が半導体レーザ３
から対物レンズ１０に向かってレーザ光が拡大する有限
光学系であっても、半導体レーザ３と対物レンズ１０の
距離が変化し難いため対物レンズ１０によって集光され
たビームスポットの焦点位置が、フォーカス方向にずれ
難いとともに、対物レンズに入射する光の位置にもオフ
セットが発生し難いため、前記ビームスポットがディス
ク１のトラッキング方向にも移動し難い。したがって、
構成が簡単で、光ディスク装置の薄型化に適した構成で
ありながら、外乱に強く、安定した制御を実現すること
ができる。

【００６７】また、静電力を利用して駆動力を発生する
構成であるため、消費電力を少なくすることができ、光
学ヘッド７に搭載される光学ユニット６や対物レンズ１
０などに与える熱的悪影響を極力回避することができ
る。また、第１のプレート２０と第２のプレート３０は
反射ミラー２４の反射面と平行な平面を（１，０，０）
面となるようにすれば、第１のプレート２０と第２のプ
レート３０を構成するウェハとして、最も市場流通量の
多い（１，０，０）ウェハをそれぞれ用いることができ
る。

【００６８】次に、本発明の第２実施形態に係るガルバ
ノミラーおよびこれを用いた光ディスク装置について説
明する。なお、以下の各実施形態の説明においては、前
述の第１実施形態と同一構成要素には同一符号を付して
重複する説明を省略する。

【００６９】本第２実施形態が第１実施形態と異なる点
は、図３における凹部３４の断面形状にある。すなわ
ち、第１実施形態における凹部３４は、図４の（ａ）に
概略を断面表示するように、面３７より所定の深さの単
純な溝状に形成されている。これに対して、第２実施形
態においては、図４の（ｂ）に示すように、第２のプレ
ート３０における面３７の裏面より空隙部状の凹部３９
が形成されている。

【００７０】具体的には、第１実施形態の凹部３４が、
例えば図４（ａ）のように、第２のプレート３０に、例
えば１０ミクロンから２００ミクロンの深さだけエッチ
ングすることにより形成されているとすると、第２実施
形態においては、凹部３４が揺動部２３と対向する面か
らエッチングされているとすると、この反対側、つまり
第２のプレート３０の揺動部２３と対向していない側か
ら凹部３９をエッチングし、両者を第２のプレート３０
の内部で連続させている。

【００７１】また、凹部３９のエッチングは、第２のプ
レート３０の厚みから凹部３９の深さを除いた長い深さ
にわたって行なうエッチングであるので、水酸化カリウ
ムなどによる異方性エッチングが適している。第２実施
形態では、凹部５１と複数の凹部５０が連続している
が、１個の凹部３４に対し、１個の凹部３９を設けても
かまわない。

【００７２】上記のように、凹部３４が凹部３９により
大気中に解放されていると、凹部３４の圧力低減効果が
増大し、揺動部２３を駆動する際の抵抗力が低減するこ
とにより、揺動部２３の駆動感度が大きくなる。その結
果、トラッキング方向のみには、トラッキング方向の駆
動感度の大きさにより、対物レンズに入射する光の位置
のオフセットによる、前記ビームスポットがディスク１
のトラッキング方向にずれることによる影響を低減する
ことができる。

【００７３】次に、本発明の第３実施形態に係るガルバ
ノミラーを用いた集積光学装置を説明する。この第３実
施形態に係る集積光学装置は、図５に示すＸ，Ｙ，Ｚ軸
が、図１３から図１６に示すＸ，Ｙ，Ｚ軸と一致するよ
うに配置されている。第３実施形態が第１実施形態と異
なる点は、特に、ガルバノミラー４０をＨＯＥ５よりも
半導体レーザ３の近くに配置し、図１３の光学ユニット
６を集積光学装置４１として再構成した点である。

【００７４】集積光学装置４１は、フォトディテクタ４
を形成したシリコンプレート４２をエッチングし、底面
が２段に形成された凹部４３を有する。凹部４３の上段
底面４４に半導体レーザ３を貼り付け、凹部４３の下段
底面４５と、フォトディテクタ４が設けられた面と４５
度の角度をなす面４６との交線に、ガルバノミラー４０
の第２のプレート３０の底面の端が一致するように接合
して形成している。

【００７５】また、第１実施形態でガルバノミラー９Ａ
が配置されていた場所には、図中Ｘ方向に進行してくる
光を図中Ｚ方向に９０°折り曲げるために、ガラス板に
よる立ち上げミラーが配置されている。

【００７６】半導体レーザ３を出光したレーザ光はガル
バノミラー４０の揺動部２３の回転により図中Ｙ軸回り
に回転するが、光ビームがＹ軸回りに回転することによ
り、プリズム８、立ち上げミラー２４で９０°曲げら
れ、図中Ｚ方向に進行する光は図中Ｙ軸回りに回転させ
られ、ディスク１上で対物レンズ１０により集光された
ビームスポットがディスク１のトラッキング方向に移動
することになる。

【００７７】ガルバノミラー４０は、半導体レーザ３に
近接させて配置することにより、揺動部２３を非常に小
さく形成できるが、逆に、揺動部２３が小さくなると、
揺動部２３を変形させる力に対する剛性を十分に確保す
ることができるので、揺動部２３の厚みは薄くても良い
ことになる。

【００７８】揺動部２３は、図６に示すように、スパッ
タ装置、気相成長装置、液相成長装置等の薄膜形成装置
により形成するので、揺動部２３の厚さは、例えば０．
１ミクロンから１０ミクロン程度に限定される。

【００７９】次に、第３実施形態に係るガルバノミラー
４０の製造方法について説明する。図６（ａ）に示すよ
うに、ガルバノミラー４０の第２のプレート３０を形成
するガラスなどの不導体または表面に窒化シリコン等の
絶縁膜を形成したシリコンなどの半導体もしくは金属な
どの導体からなるウェハ５０を用意し、このウェハ５０
に、図６（ｂ）に示すように、駆動電極３１ａ，３１ｂ
を形成する。この際、第１実施形態と同じように凹部３
４を形成してもよい。

【００８０】次に、図６（ｃ）に示すように、例えば窒
化シリコン等の犠牲層５１を全面に形成し、さらに図６
（ｄ）に示すように、ポリイミド等からなる犠牲層５２
をやはり全面に形成し、図６（ｅ）に示すように、犠牲
層５２の表面を研磨して平坦化する。

【００８１】さらに、図６（ｆ）に示すように、犠牲層
５２に、ガルバノミラー４０の反射面２４と垂直な方向
からみて、凸部２６の幅ｔ１と同じ幅で、弾性部２５
ａ，２５ｂの端から端までの長さで犠牲層５２をエッチ
ングして溝５３を形成し、さらに固定部２１，２２にあ
たる部分を、犠牲層５１，５２ともにエッチングする。
なお、図６においては、固定部２１，２２に相当する部
分については図示されていない。この際、固定部２４に
あたる部分のエッチングは、犠牲層５２のエッチングだ
けでも良い。

【００８２】次に、図６（ｇ）に示すように、揺動部２
３の材料となる、例えば金属やシリコン、誘電体等から
なる薄膜５４を、スパッタ装置、気相成長装置、液相成
長装置等の薄膜形成装置により形成する。この薄膜５４
は、図６（ｈ）に示すように研磨されて平坦化される。
次に、図６（ｉ）に示すように、揺動部２３，固定部２
１，２２，弾性部２５ａ，２５ｂ等をＲＩＥ等によるド
ライエッチングにより形成する。

【００８３】さらに、図６（ｊ）に示すように、犠牲層
５２を除去し、また、図６（ｋ）に示すように、ウェハ
５０を切断・分離（ダイシング）することによりウェハ
５０から個別の第２のプレート３０に分離する。最後
に、図６（ｌ）に示すように、犠牲層５１を除去して、
ガルバノミラー４０が完成する。

【００８４】図６に示す製造工程は、順番を入れ替えて
行なってもかまわないが、ダイシングを行なう前に、犠
牲層５１もしくは犠牲層５２を完全に除去してしまう
と、切断時の振動により弾性部２５ａ，２５ｂが破損す
る恐れがあるので、揺動部２３を少なくとも第１の犠牲
層５１により第２のプレート３０に接合した状態でダイ
シングを行なうのが好ましい。

【００８５】このような構造のガルバノミラー６０であ
っても、前述の第１実施形態と同様の効果を得ることが
できる。さらに、第１実施形態に対し、揺動部２３を小
さく形成できるので、駆動感度を高くすることができ
る。また、同様に第１実施形態に対し、揺動部２３を小
さくできるので、ウェハ５０から第２のプレート３０を
数多く形成することができ、コストを低減することがで
きる。

【００８６】さらに、ＨＯＥ５により、特別なガラス部
品を用いなくとも、半導体レーザ３とフォトディテクタ
４とともにガルバノミラー４０を外部環境から隔絶する
ことができるので、ガルバノミラー４０に湿度や、ゴミ
の影響が及ぶことが無く、しかもガラス部品の分だけコ
ストを低減させることができる。

【００８７】また、本第３実施形態では、集積光学装置
４１を１枚のシリコンプレート４２から構成するように
記述したが、面４４，４５，４６の位置を正確に形成す
るため、集積光学装置４１を複数のプレートの張り合わ
せにより構成してもよい。

【００８８】次に、本発明の第４実施形態を説明する。
図７は本発明の第４実施形態に係るガルバノミラー５５
を示す斜視図である。

【００８９】この第４実施形態においては、ガルバノミ
ラー５５の揺動部２３の上にＨＯＥ５６が形成されてい
る。揺動部２３は、前述のようにシリコンなどで形成さ
れているので、ガラスよりもむしろエッチング時の形状
変形が少なく、ガラスよりも微細な溝５７を形成するこ
とができ、ホログラム形状を精密に加工することができ
る。また、ＨＯＥ５の分だけコストを低減することがで
きると共に、光学ヘッド７を軽量化することができ、こ
のため、リニアモーターコイル１２が発生する力に対し
て光学ヘッド７を高加速度でディスク１のトラッキング
方向に追従させることができるので、光ディスク装置に
加わる外力に対して余裕を確保することができる。

【００９０】次に、本発明の第５実施形態を説明する。
図８は本発明の第５実施形態に係るガルバノミラー６０
の斜視図である。図８において、ガルバノミラー６０の
揺動部２３の周縁に複数の穴部６２が設けられている。
揺動部２３の穴部６１が無い中央部には反射ミラー６２
が形成されている。

【００９１】穴部６１のある揺動部２３を形成すると、
揺動部２３を駆動する電極３１ａ，３１ｂを相対的に大
きくすることができるが、揺動部２３に穴部６１を形成
することにより、揺動部２３の慣性モーメントは大きく
増加することはない。これにより、揺動部２３のトラッ
キング方向の駆動感度が向上するので、結果として、対
物レンズに入射する光の位置のオフセットにより前記ビ
ームスポットがディスク１のトラッキング方向にずれる
不具合を低減できる。

【００９２】次に、本発明の第６実施形態を説明する。
図９は本発明の第６実施形態に係るガルバノミラー６５
の斜視図である。図９において、ガルバノミラー６５の
揺動部２３の中央に穴部６６が設けられている。穴部６
６に対向する第２のプレート３０上と、穴部の側壁６７
と、穴部の縁６８には、反射防止膜６９が塗布されてい
る。

【００９３】揺動部２３をこのように形成すると、対物
レンズ１０に入射する高速の対物レンズ１０の中央部に
ガルバノミラー６５からの反射光が到達しないので、対
物レンズ１０によりディスク１上に集光されるビームス
ポットを小さく形成することができる。これにより、少
なくともディスク１のトラッキング方向にもビームスポ
ットが小さくなるので、トラッキング方向に制御をかけ
る際に許容される誤差に対する余裕が拡大する。その結
果、前記ビームスポットがディスク１のトラッキング方
向にずれることによる影響を低減できる。

【００９４】次に、図１０から図１２を用いて本発明の
第７実施形態を説明する。なお、図１０から図１２には
説明の便宜のためＸ，Ｙ，Ｚ軸を付記しているが、図１
３から図１７と図５に示したＸ，Ｙ，Ｚ軸とは関係な
い。

【００９５】第７実施形態に係る光ディスク装置７０で
は、ディスク１を安定駆動する回転駆動手段としてのス
ピンドルモータ２に、ディスク１をクランプする磁性体
で形成される永久磁石が接合された固定手段としてのタ
ーンテーブル７１を、ロータ７２の回転中心からＸＹ平
面内で自由に移動させ、ディスク１のトラック７３に対
してロータ７２の回転中心を位置させることが可能な自
動調芯装置を有する光ディスク装置としている。

【００９６】ディスク１はターンテーブル７１に安定的
にクランプされている。このクランプは、例えば、ター
ンテーブル７１に固定された永久磁石７４と、ディスク
１に固定された磁性体とによる磁気吸引力により行なわ
れる。ターンテーブル７１には、例えば、樹脂や硬質ゴ
ム等の摩擦係数が比較的大きな板材を介して、ロータ７
２にコイルバネ７５の引っ張り力により予圧力が与えら
れている。この引っ張り力は磁性体などにより与えても
よい。

【００９７】ターンテーブル７１、ロータ７２の回りに
は、ヨーク７６ａ，７６ｂとコイル７７ａ，７７ｂから
なる磁気回路７８ａ，７８ｂが形成されており、コイル
７７ａ，７７ｂに通電することにより、磁性体で形成さ
れるか永久磁石が接合されたターンテーブル７４を図の
Ｙ方向のどちらにでも移動させることができる。

【００９８】ロータ７２の回転角度は駆動基盤７９上に
形成されたホールセンサ８０によりロータ７２の内側に
貼り付けられた図示されない回転用の駆動磁石の磁性を
検出することにより得られる。なお、回転角度の検出
は、コイル７７ａ，７７ｂの電磁誘電により行なっても
かまわない。

【００９９】自動調芯機構による自動調芯は、ロータ７
２を回転させることによってターンテーブル７１とディ
スク１を回転させ、フォトディテクタ４により検出され
るトラッキングエラー信号からのトラッククロス数をカ
ウントするとともに、ホールセンサ８０の信号を検出す
ることにより、ディスク１の偏芯量の絶対量と方向を算
出する演算回路８１により検出する。

【０１００】ロータ７２を回転させて、ホールセンサ８
０によりロータ７２の回転角度を検出しながら、コイル
７７ａ，７７ｂに通電することにより、ターンテーブル
７１を、ディスク１の偏芯方向と反対方向に駆動し、偏
芯量が１ミクロン程度になるまでこの作業を続け、偏芯
量が所定の量以下になったら、コイル７７ａ，７７ｂに
通電するのをやめ、光学ヘッドを動作させる。

【０１０１】ディスク１とターンテーブル７１、および
ターンテーブル７１とロータ７２には、光ディスク装置
７０に定められた耐振動・衝撃の仕様の範囲内で、ずれ
が発生しない程度のクランプ力と予圧力とが与えられて
いる。また、上記クランプ力と予圧力は遠心クラッチ等
により、回転数の増加とともに増加する構成となってい
てもよい。

【０１０２】光ヘッド８２は、第１実施形態と同じ光学
ユニット６を用いているが、半導体レーザ３からＸＹ平
面内に出光されたレーザ光は、ＨＯＥ５を通り、このレ
ーザ光に対して４５°に傾いたガルバノミラー８３によ
り、図中略Ｚ方向に光が反射される。

【０１０３】ガルバノミラー９Ｂは、図１２に示すよう
に、楕円の斜め方向に一対の弾性部２５ａ，２５ｂが形
成されている。この一対の弾性部２５ａ，２５ｂを結ぶ
直線は、トラック７３の方向と対物レンズ１０の光軸を
含む平面である図中ＹＺ平面と、ガルバノミラー９Ｂの
反射面に平行な平面の交線と平行になるように形成され
ている。

【０１０４】この一対の弾性部２５ａ，２５ｂを結ぶ直
線は、半導体レーザ３から出光した光が、図中Ｘ方向に
進行してガルバノミラー９Ｂに照射される場合を除いて
必ずディスク１と交点を有する関係にある。

【０１０５】前記光がＸ方向に進行する場合には、前記
直線はＹ軸に平行になり、前記光がＹ方向に進行する場
合には、前記直線はＹＺ平面内に存在し、ディスク１の
再生もしくは記録・再生面と４５°の角度をなす直線と
なる。

【０１０６】第２のプレート３０上には電極３１ａ，３
１ｂが設けられ、この電極３１ａ，３１ｂも、一対の弾
性部２５ａ，２５ｂを結ぶ直線に沿って分割されてい
る。電極３１ａ，３１ｂと連続した端子３２ａ，３２ｂ
と接地レベルに接続された端子２７ａ，２７ｂに電圧を
かけ、端子３２ａ，３２ｂに印加される電圧に差をもた
せると、揺動部２３は弾性部２５ａ，２５ｂ回りに回転
する。この揺動部２３の回転により、揺動部２３に形成
された反射ミラー２４が光を図中略Ｚ方向に反射すと共
に、対物レンズ１０がディスク１上に集光されたビーム
スポットを図１０中のＸ方向であるトラッキング方向に
移動させることができる。

【０１０７】このように、対物レンズ１０の下に光を導
く光路８３を、図１０中のトラッキング方向であるＸ方
向に対して傾けるようにして光ヘッド８２を構成するこ
とにより、光ヘッド８２をコンパクトにすることができ
る。また、図１０に示すように、四角形形状である光デ
ィスク装置７０の対角線方向にトラッキング方向を設定
することにより、光ディスク装置７０をディスク１とほ
とんど寸法が変わらない、いわゆるジャケットサイズに
相当する小型にすることができる。

【０１０８】このとき、光学ヘッド８２のトラッキング
送りは、ネジが切られて図示しないベースに回転自在に
支持された送り軸８４と、送り軸８４を回転させるベー
スに取り付けられた駆動モータ８５と、ネジが切られて
おらずベースに固定された軸８６と、送り軸８４，８６
にトラッキング方向に摺動自在に填める嵌合され、光学
ヘッド８２と樹脂などで一体に成型された軸受８７と、
送り軸８４のネジの谷と摺動自在に嵌合し、光学ヘッド
８２から図示しないバネなどで予圧力を受け、送り軸８
４に押しあてられた爪８８の作用により行なわれる。

【０１０９】具体的には、光学ヘッド８２は軸受８７と
送り軸８４、軸８６によりトラッキング方向（Ｘ方向）
に移動自在に支持されているが、駆動モーター８５が回
転することにより、送り軸８４が回転し、トラッキング
方向の駆動力が爪８８から光学ヘッド８２に伝えられ
る。

【０１１０】上記構成の光ディスク装置７０によれば、
対物レンズ１０によってディスク１上に集光されるビー
ムスポットのトラッキング方向の制御において、予めデ
ィスク１の偏芯を自動調芯機構により１ミクロン程度に
低減するとともに、この１ミクロン程度の偏芯は静電気
により駆動されるガルバノミラー９Ｂが修正しているた
め消費電力が少ない。

【０１１１】光ディスク装置に衝撃等が加えられたと
き、図１０中のＸ，Ｚ方向に移動可能な２軸のアクチュ
エータによりディスク１の偏芯を取り除く一般的な機構
では、この２軸アクチュエータの振幅がトラッキング方
向に５００ミクロン程度あるため、記録中に衝撃が加え
られると、数１００トラックのデーターを破壊する恐れ
がある。

【０１１２】これに対して、本発明の光ディスク装置で
は、送り軸８４と爪８８の嵌合により光ヘッド８２はト
ラッキング方向への移動が阻止され、ガルバノミラー９
Ｂは第１実施形態で説明したように、揺動部２３と電極
３１ａ，３１ｂの隙間が１ミクロンから２０ミクロン程
度なので、揺動部２３の回転に起因して数１００トラッ
クものデーターを破壊することはあり得ない。したがっ
て、簡単な構成により消費電力が少なく、装置に加わる
外力に対して十分な耐性を有する光ディスク装置を提供
することができる。

【０１１３】なお、本発明は上述した各実施形態および
変形例に限定されるものではなく、その主旨を逸脱しな
い範囲で種々変形して実施できることは言うまでもな
い。

【０１１４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば簡
単な構成で、安定な制御を実現することが可能なガルバ
ノミラー、および装置に加わる外力に対して十分な耐性
を有する光ディスク装置を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係るガルバノミラーを
示す斜視面図。

【図２】第１実施形態における第１のプレートの裏面を
示す斜視図。

【図３】第１実施形態における第２のプレートの表面を
示す斜視図。

【図４】（ａ）第１実施形態の第２のプレートの断面
図、および（ｂ）第２実施形態の第２のプレートの断面
図。

【図５】本発明の第３実施形態に係るガルバノミラーを
含む集積光学装置の斜視図。

【図６】第３実施形態に係るガルバノミラーの製造工程
をそれぞれ示す断面図。

【図７】本発明の第４実施形態に係るガルバノミラーを
示す斜視図。

【図８】本発明の第５実施形態に係るガルバノミラーを
示す斜視図。

【図９】本発明の第６実施形態に係るガルバノミラーを
示す斜視図。

【図１０】本発明の第７実施形態に係るガルバノミラー
を用いた光ディスク装置を示す平面図。

【図１１】第７実施形態に用いられる自動調芯装置を示
す斜視図。

【図１２】第７実施形態に適用されるガルバノミラーを
示す平面図。

【図１３】本発明を含む一般的な光ディスク装置の内部
構造を示す断面図。

【図１４】本発明を含む一般的な光学ヘッドを含む駆動
系を示す平面図。

【図１５】本発明を含む一般的な光学ヘッドを示す断面
図。

【図１６】本発明を含む一般的な光学ユニットを示す断
面図。

【図１７】従来のガルバノミラーを示す分解斜視図。

【符号の説明】

１ 光ディスク ２ 回転駆動手段（スピンドルモータ） ３ 半導体レーザ ９，９Ａ，９Ｂ ガルバノミラー １０ 対物レンズ ２２ 固定部 ２３ 揺動部 ２４ 反射ミラー ２５ａ，２５ｂ 弾性部 ２６ 凸部 ３４ 凹部 ３７ 面 ５６ ＨＯＥ ７１ 固定手段（ターンテーブル）

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】表面に反射ミラーを有する揺動部と、 この揺動部の周囲に配置される固定部と、 前記揺動部を前記固定部に吊設支持する一対の弾性部
   と、 前記揺動部の裏面に前記弾性部と連続して形成された凸
   部と、 を備えることを特徴とするガルバノミラー。
2. 【請求項２】表面に反射ミラーを有する揺動部と、 この揺動部の周囲に配置される固定部と、 前記揺動部を前記固定部に吊設支持する一対の弾性部
   と、 前記揺動部の裏面およびこれに対向する前記固定部の面
   のいずれか一方に形成されると共に、前記一対の弾性部
   を結ぶ直線を少なくとも横切る部分を含む凹部と、 を備えることを特徴とするガルバノミラー。
3. 【請求項３】ホログラフィック光学素子が表面に形成さ
   れた揺動部と、 この揺動部の周囲に配置される固定部と、 前記揺動部を前記固定部に吊設支持する一対の弾性部
   と、 を備えることを特徴とするガルバノミラー。
4. 【請求項４】表面の一部に反射ミラーが形成され、この
   反射ミラーが形成されていない部分に所定形状の穴部を
   有する揺動部と、 この揺動部の周囲に配置される固定部と、 前記揺動部を前記固定部に吊設支持する一対の弾性部
   と、 を備えることを特徴とするガルバノミラー。
5. 【請求項５】前記所定形状の穴部は、楕円形状の揺動部
   の中心に穿設されていることを特徴とする請求項４に記
   載のガルバノミラー。
6. 【請求項６】前記反射ミラーは、楕円形状の揺動部の略
   中心に形成され、前記所定形状の穴部は、前記反射ミラ
   ーを囲むように複数穿設されていることを特徴とする請
   求項４に記載のガルバノミラー。
7. 【請求項７】光源と、 この光源より出射されるレーザ光を光ディスクの情報記
   録面に収束させて光スポットを形成する対物レンズと、 前記光源と前記対物レンズとの間に設けられると共に、
   表面に反射ミラーが形成された揺動部，この揺動部の周
   囲に位置する固定部，前記揺動部を前記固定部に吊設支
   持する一対の弾性部，前記揺動部の裏面に前記弾性部と
   連続して形成された凸部を具備するガルバノミラーと、 を備え、 前記一対の弾性部を結ぶ直線が、前記光ディスクの情報
   記録トラックと前記対物レンズの光軸を含む平面に含ま
   れるとともに、前記情報記録面に対して交点を有するこ
   とを特徴とする光ディスク装置。
8. 【請求項８】光ディスクを回転させる回転駆動手段と、 前記光ディスクを前記回転駆動手段に着脱可能に固定す
   る固定手段と、 光源と前記対物レンズとの間に設けられると共に、表面
   に反射ミラーが形成された揺動部，この揺動部の周囲に
   位置する固定部，前記揺動部を前記固定部に吊設支持す
   る一対の弾性部，前記揺動部の裏面に前記弾性部と連続
   して形成された凸部，を具備するガルバノミラーと、 前記ガルバノミラーを含む光ヘッドを前記光ディスクの
   半径方向に移動可能に支持する送り機構と、 前記固定手段に前記光ディスクの情報記録トラックの中
   心と、前記回転駆動手段の回転中心との間を調整する自
   動調芯機構と、 を備えることを特徴とする光ディスク装置。