JPH09147357A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPH09147357A JPH09147357A JP7305534A JP30553495A JPH09147357A JP H09147357 A JPH09147357 A JP H09147357A JP 7305534 A JP7305534 A JP 7305534A JP 30553495 A JP30553495 A JP 30553495A JP H09147357 A JPH09147357 A JP H09147357A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic layer
- recording medium
- magnetic recording
- magnetic
- layer
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/66—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/851—Coating a support with a magnetic layer by sputtering
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】保磁力が高く、かつノイズの小さい磁気記録媒
体を提供する。 【解決手段】強磁性合金薄膜磁性層４０を二層に形成
し、その第一磁性層４１はＡｒ雰囲気中で成膜し、第二
磁性層４２は第一磁性層４１上にＡｒとＮ2 の混合ガス
雰囲気中にて成膜する。
体を提供する。 【解決手段】強磁性合金薄膜磁性層４０を二層に形成
し、その第一磁性層４１はＡｒ雰囲気中で成膜し、第二
磁性層４２は第一磁性層４１上にＡｒとＮ2 の混合ガス
雰囲気中にて成膜する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、固定磁気ディスク
等、磁気記録を利用した記憶装置に用いられる磁気記録
媒体に関するものである。
等、磁気記録を利用した記憶装置に用いられる磁気記録
媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、コンピュータ等の情報処理装置の
外部記憶装置として固定磁気ディスク装置が多く用いら
れている。図２に従来の代表的な磁気記録媒体の膜構成
を表す模式的断面図を示す。図２に示す磁気記録媒体
は、Ａｌまたはガラス等の基板１上にＮｉ−ＰまたはＡ
ｌ等のような非磁性層２が形成された基体１１の上に、
非磁性金属下地層３、保磁力（Ｈｃ）が０．１３×１０
6 Ａ/ ｍ以上の単層の硬磁性層４（例えばＣｏＣｒＴａ
またはＣｏＣｒＰｔＴａ等）、カーボンを主成分とする
保護層５が順次積層形成されおり、更にその上に液体潤
滑剤からなる潤滑層６が形成されている。
外部記憶装置として固定磁気ディスク装置が多く用いら
れている。図２に従来の代表的な磁気記録媒体の膜構成
を表す模式的断面図を示す。図２に示す磁気記録媒体
は、Ａｌまたはガラス等の基板１上にＮｉ−ＰまたはＡ
ｌ等のような非磁性層２が形成された基体１１の上に、
非磁性金属下地層３、保磁力（Ｈｃ）が０．１３×１０
6 Ａ/ ｍ以上の単層の硬磁性層４（例えばＣｏＣｒＴａ
またはＣｏＣｒＰｔＴａ等）、カーボンを主成分とする
保護層５が順次積層形成されおり、更にその上に液体潤
滑剤からなる潤滑層６が形成されている。
【０００３】このような媒体の製造工程においては、ま
ず、例えばＡｌ合金またはガラス材料からなる所要の平
行度、平面度及び表面粗さに仕上げ加工された非磁性の
基板１の表面に、無電解めっき等の湿式成膜工程、また
はスッパッタ、蒸着等のドライ工程によりＮｉ−Ｐまた
はＡｌ膜からなる非磁性層２を形成し、非磁性の基体１
１とする。この後、機械加工または逆スパッタ等によ
り、平面度及び表面粗さを再度仕上げ加工する場合もあ
る。この基体１１を１５０〜３００℃に加熱し、かつ基
体に直流バイアスを約−３５０Ｖ印加しながら、表面に
Ｃｒからなる膜厚約５０ｎｍの非磁性金属下地層３、Ｃ
ｏを主とするＣｏＣｒＴａ等のような膜厚約３０ｎｍの
硬磁性層４及びカーボンを主成分とする膜厚約１０ｎｍ
の保護層５を順次積層形成し、さらにその上にフロロカ
ーボン系の液体潤滑剤を膜厚１ｎｍ塗布して潤滑層６と
することによって磁気記録媒体７が作製される。
ず、例えばＡｌ合金またはガラス材料からなる所要の平
行度、平面度及び表面粗さに仕上げ加工された非磁性の
基板１の表面に、無電解めっき等の湿式成膜工程、また
はスッパッタ、蒸着等のドライ工程によりＮｉ−Ｐまた
はＡｌ膜からなる非磁性層２を形成し、非磁性の基体１
１とする。この後、機械加工または逆スパッタ等によ
り、平面度及び表面粗さを再度仕上げ加工する場合もあ
る。この基体１１を１５０〜３００℃に加熱し、かつ基
体に直流バイアスを約−３５０Ｖ印加しながら、表面に
Ｃｒからなる膜厚約５０ｎｍの非磁性金属下地層３、Ｃ
ｏを主とするＣｏＣｒＴａ等のような膜厚約３０ｎｍの
硬磁性層４及びカーボンを主成分とする膜厚約１０ｎｍ
の保護層５を順次積層形成し、さらにその上にフロロカ
ーボン系の液体潤滑剤を膜厚１ｎｍ塗布して潤滑層６と
することによって磁気記録媒体７が作製される。
【０００４】このように作製された媒体は、強度、寸法
精度等の機械特性は実用上良好であり、磁気特性もＨｃ
が０．２４×１０6 Ａ/ ｍ程度、かつ残留磁束密度と膜
厚の積（Ｂｒｔ）が２．５×１０-2Ｔμｍ程度と良好で
あるが、磁化曲線のＨｃ近傍の傾きである保磁力角形比
（Ｓ* ）は０．７５程度とやや低い。この点を改良する
ために、保磁力（Ｈｃ）は一定に保ったまま保磁力角形
比（Ｓ* ）を高める技術として、図１に示すようにＣｏ
合金硬磁性層４０を二層化して第一硬磁性層４１をＡｒ
雰囲気中で成膜し、第二硬磁性層４２をＡｒとＯ2 の混
合ガス雰囲気中で成膜する方法が開示されている。（第
１９回日本応用磁気学会概要集，26aA-1）
精度等の機械特性は実用上良好であり、磁気特性もＨｃ
が０．２４×１０6 Ａ/ ｍ程度、かつ残留磁束密度と膜
厚の積（Ｂｒｔ）が２．５×１０-2Ｔμｍ程度と良好で
あるが、磁化曲線のＨｃ近傍の傾きである保磁力角形比
（Ｓ* ）は０．７５程度とやや低い。この点を改良する
ために、保磁力（Ｈｃ）は一定に保ったまま保磁力角形
比（Ｓ* ）を高める技術として、図１に示すようにＣｏ
合金硬磁性層４０を二層化して第一硬磁性層４１をＡｒ
雰囲気中で成膜し、第二硬磁性層４２をＡｒとＯ2 の混
合ガス雰囲気中で成膜する方法が開示されている。（第
１９回日本応用磁気学会概要集，26aA-1）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】近年、情報の多量化、
多様化が急速に進み、情報の大量処理の必要性から固定
磁気ディスク装置の高記録密度化、大容量化が強く望ま
れている。そのため磁気記録媒体には、高い線記録密度
を有し、ノイズ（Ｎ）を小さくし、良好な電磁変換特性
を有することが望まれる。
多様化が急速に進み、情報の大量処理の必要性から固定
磁気ディスク装置の高記録密度化、大容量化が強く望ま
れている。そのため磁気記録媒体には、高い線記録密度
を有し、ノイズ（Ｎ）を小さくし、良好な電磁変換特性
を有することが望まれる。
【０００６】更に、磁気記録媒体は大量に生産し、一個
あたりの値段を安くするために、良品率（歩留り）を大
きくする必要性がある。本発明は上記の点に鑑みてなさ
れたものであって、保磁力（Ｈｃ）及び保磁力角形比
（Ｓ* ）を高くすることにより線記録密度やＰＷ５０等
の電磁変換特性等の向上をはかることを目的とする。
あたりの値段を安くするために、良品率（歩留り）を大
きくする必要性がある。本発明は上記の点に鑑みてなさ
れたものであって、保磁力（Ｈｃ）及び保磁力角形比
（Ｓ* ）を高くすることにより線記録密度やＰＷ５０等
の電磁変換特性等の向上をはかることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、基体上に
非磁性金属下地層、磁性層、その上に保護層を順次スパ
ッタまたは蒸着により積層形成された磁気記録媒体にお
いて、硬磁性層を二層に形成し、その第一の硬磁性層を
Ａｒ雰囲気中で成膜を行い、次に第二硬磁性層をＡｒと
Ｎ2 の混合ガス雰囲気中で成膜することにより達成され
る。特にＡｒにＮ2 を１〜２％混合した雰囲気中で成膜
すると好適である。
非磁性金属下地層、磁性層、その上に保護層を順次スパ
ッタまたは蒸着により積層形成された磁気記録媒体にお
いて、硬磁性層を二層に形成し、その第一の硬磁性層を
Ａｒ雰囲気中で成膜を行い、次に第二硬磁性層をＡｒと
Ｎ2 の混合ガス雰囲気中で成膜することにより達成され
る。特にＡｒにＮ2 を１〜２％混合した雰囲気中で成膜
すると好適である。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１に示すように、まず所定の平
行度、平面度及び表面粗さを有するＡｌまたはガラスか
らなる非磁性の基板１に、メッキにより非磁性金属下地
層２として厚さが約１０μｍのＮｉＰ膜を形成し非磁性
基体１１とする。次に成膜用のＣｒ，Ｃｏ合金およびカ
ーボンの三種類のターゲットが順に並んでいるところを
基体１１を乗せたキャリアが移動し、基体１１上に薄膜
が成膜される。本実施例では各成膜時には基体１１を各
ターゲットの位置で停止した。
行度、平面度及び表面粗さを有するＡｌまたはガラスか
らなる非磁性の基板１に、メッキにより非磁性金属下地
層２として厚さが約１０μｍのＮｉＰ膜を形成し非磁性
基体１１とする。次に成膜用のＣｒ，Ｃｏ合金およびカ
ーボンの三種類のターゲットが順に並んでいるところを
基体１１を乗せたキャリアが移動し、基体１１上に薄膜
が成膜される。本実施例では各成膜時には基体１１を各
ターゲットの位置で停止した。
【０００９】成膜は四層について順次次のように行っ
た。まず真空チャンバー内にＡｒを導入し厚さ約５０ｎ
ｍのＣｒからなる非磁性金属下地層２と厚さ約１０ｎｍ
の第一硬磁性層４１（Ｃo0.72 Ｃr0.13 Ｐt0.1Ｂ0.05）
を成膜し、次にＡｒ＋ｘ％Ｎ2混合ガスを導入して厚さ
約１５ｎｍの第二硬磁性層４２（Ｃo0.72 Ｃr0.13 Ｐt0
.1Ｂ0.05）を成膜、そしてＡｒ＋ＣＨ3 混合ガスを導入
して厚さ約１０ｎｍの保護層としてＤＬＣ(Diamond Lik
e Carbon) 膜５を表１に示す成膜条件にしたがって成膜
した。
た。まず真空チャンバー内にＡｒを導入し厚さ約５０ｎ
ｍのＣｒからなる非磁性金属下地層２と厚さ約１０ｎｍ
の第一硬磁性層４１（Ｃo0.72 Ｃr0.13 Ｐt0.1Ｂ0.05）
を成膜し、次にＡｒ＋ｘ％Ｎ2混合ガスを導入して厚さ
約１５ｎｍの第二硬磁性層４２（Ｃo0.72 Ｃr0.13 Ｐt0
.1Ｂ0.05）を成膜、そしてＡｒ＋ＣＨ3 混合ガスを導入
して厚さ約１０ｎｍの保護層としてＤＬＣ(Diamond Lik
e Carbon) 膜５を表１に示す成膜条件にしたがって成膜
した。
【００１０】
【表１】 第二硬磁性層４２を成膜する際の導入ガス中のＮ2 濃度
が、０，１，２，４％である場合において各々成膜を行
い、４種類の磁気記録媒体を作製した。各磁気記録媒体
の磁気特性について調べた結果を表２に示す。なお、Ｓ
は角形比である。
が、０，１，２，４％である場合において各々成膜を行
い、４種類の磁気記録媒体を作製した。各磁気記録媒体
の磁気特性について調べた結果を表２に示す。なお、Ｓ
は角形比である。
【００１１】
【表２】 表２の実施例１，２及び参考例１は、第二硬磁性層成膜
４２をＡｒとＮ2 の混合ガス雰囲気下で行った場合であ
るが、保磁力角形比（Ｓ* ）は、Ａｒのみを導入して第
二硬磁性層４２を成膜した比較例１の磁気記録媒体に比
べて実施例１，２の方が高い値を示し、Ａｒ＋２％Ｎ2
混合ガスを導入した実施例２の場合に最高の０．９３の
値をとった。一方保磁力（Ｈｃ）は比較例１及び実施例
１，２の場合に０．２×１０6 Ａ／ｍ以上の値を保持し
た。従って、第二硬磁性層４２を成膜する際に、Ａｒに
１％以上、２％以下のＮ2 ガスを混合した場合におい
て、保磁力（Ｈｃ）及び保磁力角形比（Ｓ* ）共に高い
値を示し、電気特性に優れる磁気記録媒体を得ることが
出来た。
４２をＡｒとＮ2 の混合ガス雰囲気下で行った場合であ
るが、保磁力角形比（Ｓ* ）は、Ａｒのみを導入して第
二硬磁性層４２を成膜した比較例１の磁気記録媒体に比
べて実施例１，２の方が高い値を示し、Ａｒ＋２％Ｎ2
混合ガスを導入した実施例２の場合に最高の０．９３の
値をとった。一方保磁力（Ｈｃ）は比較例１及び実施例
１，２の場合に０．２×１０6 Ａ／ｍ以上の値を保持し
た。従って、第二硬磁性層４２を成膜する際に、Ａｒに
１％以上、２％以下のＮ2 ガスを混合した場合におい
て、保磁力（Ｈｃ）及び保磁力角形比（Ｓ* ）共に高い
値を示し、電気特性に優れる磁気記録媒体を得ることが
出来た。
【００１２】
【発明の効果】本発明により、保磁力（Ｈｃ）を低下さ
せることなく保磁力角形比（Ｓ* ）を向上させることに
成功した。従って保磁力（Ｈｃ）が高いので線記録密度
を高く、かつ保磁力角形比（Ｓ* ）の値も高く出来るの
でＰＷ５０等の電磁変換特性等も向上した。
せることなく保磁力角形比（Ｓ* ）を向上させることに
成功した。従って保磁力（Ｈｃ）が高いので線記録密度
を高く、かつ保磁力角形比（Ｓ* ）の値も高く出来るの
でＰＷ５０等の電磁変換特性等も向上した。
【００１３】さらに上記のような高品質媒体の量産が可
能であるため、生産性も良好であった。
能であるため、生産性も良好であった。
【図１】本発明の実施例の磁気記録媒体の断面図
【図２】従来の代表的な磁気記録媒体の断面図
１…基板、１１…基体、２…非磁性層、３…非磁性金属
下地層、４０…硬磁性層、４１…第一硬磁性層、４２…
第二硬磁性層、５…保護層、６…潤滑層、８…磁気記録
媒体。
下地層、４０…硬磁性層、４１…第一硬磁性層、４２…
第二硬磁性層、５…保護層、６…潤滑層、８…磁気記録
媒体。
Claims (2)
- 【請求項１】非磁性基板上に、非磁性金属下地層、強磁
性合金薄膜磁性層及び保護層を順次積層してなり、この
強磁性合金薄膜磁性層を二層に形成する磁気記録媒体の
製造方法において、第一磁性層はＡｒ雰囲気中にて成膜
し、第二磁性層は第一磁性層上にＡｒとＮ2 の混合ガス
雰囲気中にて成膜することを特徴とする磁気記録媒体の
製造方法。 - 【請求項２】請求項１に記載の製造方法において、前記
混合ガスはＡｒに全体の１〜２％のＮ2 を混合したもの
であることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7305534A JPH09147357A (ja) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 磁気記録媒体の製造方法 |
| US08/971,471 US5891514A (en) | 1995-11-24 | 1997-11-17 | Method for manufacturing magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7305534A JPH09147357A (ja) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09147357A true JPH09147357A (ja) | 1997-06-06 |
Family
ID=17946318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7305534A Pending JPH09147357A (ja) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5891514A (ja) |
| JP (1) | JPH09147357A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA2524264A1 (en) * | 2003-05-06 | 2004-11-18 | Sri International | Systems and methods of recording piston rod position information in a magnetic layer on a piston rod |
| US7259553B2 (en) * | 2005-04-13 | 2007-08-21 | Sri International | System and method of magnetically sensing position of a moving component |
| US8970208B2 (en) * | 2010-02-11 | 2015-03-03 | Sri International | Displacement measurement system and method using magnetic encodings |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5232566A (en) * | 1991-05-14 | 1993-08-03 | International Business Machines Corporation | Underlayer doping in thin film magnetic recording media |
-
1995
- 1995-11-24 JP JP7305534A patent/JPH09147357A/ja active Pending
-
1997
- 1997-11-17 US US08/971,471 patent/US5891514A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5891514A (en) | 1999-04-06 |
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