JPH03127322A - 磁気記録体 - Google Patents
磁気記録体Info
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- JPH03127322A JPH03127322A JP26550989A JP26550989A JPH03127322A JP H03127322 A JPH03127322 A JP H03127322A JP 26550989 A JP26550989 A JP 26550989A JP 26550989 A JP26550989 A JP 26550989A JP H03127322 A JPH03127322 A JP H03127322A
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、面内記録型のハードディスクを媒体等に利用
される、特に高保持力を有し、かつ低ノイズで高密度記
録ができることを特徴とする磁気記録体に関する。
される、特に高保持力を有し、かつ低ノイズで高密度記
録ができることを特徴とする磁気記録体に関する。
(従来の技術)
近年、情報量の増大に伴い、記録密度の高い磁気記録体
の要望が高く、合金磁性薄膜を有する磁気記録体の研究
開発が活発である。磁気記録体には大別して面内方向に
磁気異方性を有する面内記録型と垂直方向に磁気異方性
を有する垂直記録型とがある。しかしながら垂直記録型
は磁気ヘッドの浮上量、C3S特性、耐久性などにおい
て現状技術では対応できないため、面内記録型の方が実
用レベルではすぐれている。
の要望が高く、合金磁性薄膜を有する磁気記録体の研究
開発が活発である。磁気記録体には大別して面内方向に
磁気異方性を有する面内記録型と垂直方向に磁気異方性
を有する垂直記録型とがある。しかしながら垂直記録型
は磁気ヘッドの浮上量、C3S特性、耐久性などにおい
て現状技術では対応できないため、面内記録型の方が実
用レベルではすぐれている。
この種の面内磁気記録媒体としては非磁性基板上にCr
層を介してCo磁性合金層を形成してなるものが知られ
ており、その合金組成について種々検討され、高保持力
を有するCoCrNL磁性合金層が提案されている(特
開昭61−120330号公報)。
層を介してCo磁性合金層を形成してなるものが知られ
ており、その合金組成について種々検討され、高保持力
を有するCoCrNL磁性合金層が提案されている(特
開昭61−120330号公報)。
このCo Cr Ni系磁性合金の場合、下地Cr層の
厚さが3000人でCo Cr Ni磁性膜の厚さが5
00人の磁気記録体ではNi15原子%の含有量で最高
の保持力800エールステツド(以下、Oeと略す)が
得られている。
厚さが3000人でCo Cr Ni磁性膜の厚さが5
00人の磁気記録体ではNi15原子%の含有量で最高
の保持力800エールステツド(以下、Oeと略す)が
得られている。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、最近の磁気記録分野では、ますます高密
度記録化が要求され、さらに高保持力を有し、かつ低ノ
イズのものが要求されるようになってきた。しかしなが
ら、上記従来の技術ではその保持力は800 (Oe)
程度であり、かつノイズが大きく、これらの要求を満す
ことができない。
度記録化が要求され、さらに高保持力を有し、かつ低ノ
イズのものが要求されるようになってきた。しかしなが
ら、上記従来の技術ではその保持力は800 (Oe)
程度であり、かつノイズが大きく、これらの要求を満す
ことができない。
本発明は上記目的を達成するために、磁気記録体の磁性
合金層の組成について鋭意検討した結果、CoCrtl
f、、CoCrZr、 CoCrZrHf組威の磁性合
金層によって、より高性能のものが得られることを見出
し、本発明を完成するに至った。
合金層の組成について鋭意検討した結果、CoCrtl
f、、CoCrZr、 CoCrZrHf組威の磁性合
金層によって、より高性能のものが得られることを見出
し、本発明を完成するに至った。
(課題を解決するための手段)
すなわち、本発明は以下を要旨とするものである。非磁
性基材面上にCr層を介して磁性金属層を介してなる磁
気記録体において、前記磁性金属層は、X、Y、Wを原
子%としたとき、Co 、。。〜(x*V+w) Cr
、 Flfy Zrwで表わされ、5.0≦X≦18.
0.0.2≦Y≦3.0.0.2≦W≦3.0.0.2
≦Y+W≦3.0の組成比をもつことを特徴とする磁気
記録体(以下合金の組成含有量は原子%で示す)。
性基材面上にCr層を介して磁性金属層を介してなる磁
気記録体において、前記磁性金属層は、X、Y、Wを原
子%としたとき、Co 、。。〜(x*V+w) Cr
、 Flfy Zrwで表わされ、5.0≦X≦18.
0.0.2≦Y≦3.0.0.2≦W≦3.0.0.2
≦Y+W≦3.0の組成比をもつことを特徴とする磁気
記録体(以下合金の組成含有量は原子%で示す)。
以下、さらに本発明について詳しく説明する。
本発明の非磁性基材はアルごニウム合金、ガラス、セラ
ミック等強度と平滑性が出せるものを使用する。
ミック等強度と平滑性が出せるものを使用する。
該基材上に必要により、ニッケル・リンなどからなる硬
質層を設けてもよい。その表面をポリッシングマシンな
どの精密研磨機で研磨し、表面粗さをRa30人程度の
ものとする。次に磁性合金層が異方性配向しやすいよう
に、間怠円状の数100入程度の溝をつける。この上に
、スパッタリング等によりCr層を作製する。例えばD
Cマグネトロンスパッタリングの場合、電圧300〜8
00 V T:Arガス圧10−”−10−3Torr
で実施する。下地Cr層の膜厚は500〜4000Åが
好ましい。500人未満では保持力が低下し、4000
人をこえてはスパッタリング時間がかかるので好ましく
ない。
質層を設けてもよい。その表面をポリッシングマシンな
どの精密研磨機で研磨し、表面粗さをRa30人程度の
ものとする。次に磁性合金層が異方性配向しやすいよう
に、間怠円状の数100入程度の溝をつける。この上に
、スパッタリング等によりCr層を作製する。例えばD
Cマグネトロンスパッタリングの場合、電圧300〜8
00 V T:Arガス圧10−”−10−3Torr
で実施する。下地Cr層の膜厚は500〜4000Åが
好ましい。500人未満では保持力が低下し、4000
人をこえてはスパッタリング時間がかかるので好ましく
ない。
本発明における磁性合金層はスパッタリング法により、
付着させることが好ましい。Cr、 Hf、 ZrO組
成はターゲットの材質を変えることによって変化させる
ことができ、又その膜厚はスパッタリングの時間によっ
て変えることができるが、磁性合金層の組成はCo 1
00− +x*y+w>CrXHfy Zr、で表わさ
れ、5.0≦X≦18.0.0.2≦Y≦3.0.、O
,,2≦W≦3.0.0.2≦Y十W≦3.0であると
きに、800 (Os)以上の高い保持力を有し、かつ
低ノイズの高密度磁気記録体を得ることができる。さら
に好ましくは10≦X≦17.0.4≦Y≦1.5.0
.4≦W≦1.5.0.4≦Y+W≦1.5であり、そ
れによってより高い保持力を有する磁気記録体を得るこ
とができる。
付着させることが好ましい。Cr、 Hf、 ZrO組
成はターゲットの材質を変えることによって変化させる
ことができ、又その膜厚はスパッタリングの時間によっ
て変えることができるが、磁性合金層の組成はCo 1
00− +x*y+w>CrXHfy Zr、で表わさ
れ、5.0≦X≦18.0.0.2≦Y≦3.0.、O
,,2≦W≦3.0.0.2≦Y十W≦3.0であると
きに、800 (Os)以上の高い保持力を有し、かつ
低ノイズの高密度磁気記録体を得ることができる。さら
に好ましくは10≦X≦17.0.4≦Y≦1.5.0
.4≦W≦1.5.0.4≦Y+W≦1.5であり、そ
れによってより高い保持力を有する磁気記録体を得るこ
とができる。
これらの組成範囲外ではいずれも保持力が小さく高密度
記録には適していない。
記録には適していない。
又、磁性合金層の膜厚は200〜3000人が好ましい
。膜厚200人未満では磁荷が小さく所定の出力が出な
い。3000人をこえてはスパッタリング時間が長くか
かるとともに、記録密度が小さくなる。
。膜厚200人未満では磁荷が小さく所定の出力が出な
い。3000人をこえてはスパッタリング時間が長くか
かるとともに、記録密度が小さくなる。
次に磁性合金層の保護層としてカーボン膜をスパッタリ
ングにより被着させる。この保護層の厚さは50〜50
0人位が好ましい。
ングにより被着させる。この保護層の厚さは50〜50
0人位が好ましい。
このようにして、第1図に示す構成の磁気記録体が得ら
れる。
れる。
第1図中、lはニッケル・リンメツキ膜などを有するア
ルミニウム合金の非磁性基材であり、2は下地層として
のCr層、3は磁性金属層、4は保護膜としてのカーボ
ン保護層を示す。
ルミニウム合金の非磁性基材であり、2は下地層として
のCr層、3は磁性金属層、4は保護膜としてのカーボ
ン保護層を示す。
磁気記録体の保持力は試料振動型磁力計を用いて膜面に
平行及び垂直に磁界を印加し、測定する。
平行及び垂直に磁界を印加し、測定する。
通常磁気記録体の記録密度(BPl、ビット・パー・イ
ンチ)は保持力(Hc)と残留磁束密度(Br)、と磁
性合金層の膜厚(δ)に大きく依各周波数の信号を記録
し、その再生時に生じるノイズスペクトルをスペクトル
アナライザーを用いて測定することができる。ノイズは
Hc、 Br、δによって異なるのでHc及びBr・δ
の値が同じ条件で比較する必要がある。
ンチ)は保持力(Hc)と残留磁束密度(Br)、と磁
性合金層の膜厚(δ)に大きく依各周波数の信号を記録
し、その再生時に生じるノイズスペクトルをスペクトル
アナライザーを用いて測定することができる。ノイズは
Hc、 Br、δによって異なるのでHc及びBr・δ
の値が同じ条件で比較する必要がある。
これを第2図に従ってさらに説明すると、第2図は実施
例7と比較例5の磁性合金m戒を有する磁気記録体につ
いて、第3表の測定条件で測定したスペクトルを示す。
例7と比較例5の磁性合金m戒を有する磁気記録体につ
いて、第3表の測定条件で測定したスペクトルを示す。
すなわち、曲線AはCoCr1.5Ni、。(比較例5
)の磁性合金層を有する磁気記録体のノイズスペクトル
の測定データを示し、曲線BはCoCr++Hfzの磁
性合金層を有する磁性記録体のノイズスペクトルの測定
データを示す。曲線Cはシステムノイズを示す。従って
、磁気記録体のノイズは磁気記録体のノイズスペクトル
とシステムノイズスペクトルとの間で囲まれた面積が磁
気記録体のノイズであり、その面積が小さい程、ノイズ
レベルが低いことを意味する。
)の磁性合金層を有する磁気記録体のノイズスペクトル
の測定データを示し、曲線BはCoCr++Hfzの磁
性合金層を有する磁性記録体のノイズスペクトルの測定
データを示す。曲線Cはシステムノイズを示す。従って
、磁気記録体のノイズは磁気記録体のノイズスペクトル
とシステムノイズスペクトルとの間で囲まれた面積が磁
気記録体のノイズであり、その面積が小さい程、ノイズ
レベルが低いことを意味する。
〈実施例〉
以下に実施例をあげて、本発明を具体的に説明する。
(実施例1〜24、比較例1〜5)
アルミニウム合金基板(外径95mm、肉厚25帥、厚
さ1.3mm)の表面に無電解メツキ法により膜厚20
amのN1−Pメツキ膜を形威し、その表面をラッピン
グマシンで精密研磨し、非磁性基板を作製した。この非
磁性基板上にDCマグネトロンスパッタリング法により
、下地層としてCr層、磁性金属1JcocrHf又は
CoCrZr又はCoCrHfZr、保護膜としてのカ
ーボン層を順次、次の製造条件で形成し、磁気記録体を
作製した。
さ1.3mm)の表面に無電解メツキ法により膜厚20
amのN1−Pメツキ膜を形威し、その表面をラッピン
グマシンで精密研磨し、非磁性基板を作製した。この非
磁性基板上にDCマグネトロンスパッタリング法により
、下地層としてCr層、磁性金属1JcocrHf又は
CoCrZr又はCoCrHfZr、保護膜としてのカ
ーボン層を順次、次の製造条件で形成し、磁気記録体を
作製した。
スパッタリングは直径20cmのターゲット3個を用い
、初期排気の到達真空度7.OXl0−’ Torr、
Arガス圧5X10−’ Torr 、基板温度230
’Cで実施した。
、初期排気の到達真空度7.OXl0−’ Torr、
Arガス圧5X10−’ Torr 、基板温度230
’Cで実施した。
磁性金属層の組成を変えるためにペース合金であるCa
1l? Cr13のターゲット(直径20cm)上に添
加成分であるH「のチップ(5mmX5mm )の個数
を変化させてのせた。
1l? Cr13のターゲット(直径20cm)上に添
加成分であるH「のチップ(5mmX5mm )の個数
を変化させてのせた。
これによって得られた磁気記録体は、N1−Pメ。
ツキ膜厚20μmのアルミニウム合金の非磁性基材、1
500大の下地Cr層、600人の磁性金属層、300
人の保護膜としてのカーボン層から構成されていた。
500大の下地Cr層、600人の磁性金属層、300
人の保護膜としてのカーボン層から構成されていた。
また比較のため、ターゲットを変えた以外は実施例1〜
24と同じ条件で磁気記録体を製造し、比較例1〜4の
Hf、 Zr又はHf+Zrは0.4%のもの及び比較
例5の従来の磁性金属層Iv、cocr7.5Ni :
l。の磁気記録体を得た。実施例1〜24、比較例1〜
5の磁気記録体は試料振動型磁力計を用いて、膜面に平
行及び垂直に磁界を印加して、得られた磁気特性を比較
して判断した結果、すべて面内方向に磁気異方性を持っ
ていることを確認するこができた。
24と同じ条件で磁気記録体を製造し、比較例1〜4の
Hf、 Zr又はHf+Zrは0.4%のもの及び比較
例5の従来の磁性金属層Iv、cocr7.5Ni :
l。の磁気記録体を得た。実施例1〜24、比較例1〜
5の磁気記録体は試料振動型磁力計を用いて、膜面に平
行及び垂直に磁界を印加して、得られた磁気特性を比較
して判断した結果、すべて面内方向に磁気異方性を持っ
ていることを確認するこができた。
またこれらの磁気記録体の保持力を測定した結果、ll
f及びZrの含有量と保持力の測定結果を第1表に示す
。
f及びZrの含有量と保持力の測定結果を第1表に示す
。
このとき、残留磁束密度と膜厚の積Br・δが500ガ
ウス・ミクロン(G・μm)となるように膜厚を調整し
た。その結果、0.2≦Y≦3.OSo、2≦W≦3.
0.0.2≦y十w≦3.0(7)範囲で保持力が80
0 (Os)より大きく、特ニ0.4≦Y≦2.0.0
.5≦W≦1.5.0.2:Y+W≦2.0ノ範囲では
1000(Oe)以上の高保持力を示した。これに対し
、比較例1〜4のY、、W又はy+wが0.4%のもの
は保持力の800 (Oe)より低く、高密度記録には
適さないことがわかった。比較例5の従来の磁性金属組
成C(ICr7.s N15o(D磁気記録体の保持力
は800 (Oe)であった。
ウス・ミクロン(G・μm)となるように膜厚を調整し
た。その結果、0.2≦Y≦3.OSo、2≦W≦3.
0.0.2≦y十w≦3.0(7)範囲で保持力が80
0 (Os)より大きく、特ニ0.4≦Y≦2.0.0
.5≦W≦1.5.0.2:Y+W≦2.0ノ範囲では
1000(Oe)以上の高保持力を示した。これに対し
、比較例1〜4のY、、W又はy+wが0.4%のもの
は保持力の800 (Oe)より低く、高密度記録には
適さないことがわかった。比較例5の従来の磁性金属組
成C(ICr7.s N15o(D磁気記録体の保持力
は800 (Oe)であった。
それらの磁気記録体のノイズについて、前記した方法に
よってスペクトルアナライザーを用いて第2表に示す条
件で測定した周波数2MHz〜l0M1(zの範囲でノ
イズスペクトルを測定し、前記した方法により、磁気記
録体の測定ノイズスペクトルとシステムノイズスペクト
ルで囲まれた面積より磁気記録体のノイズを算出した。
よってスペクトルアナライザーを用いて第2表に示す条
件で測定した周波数2MHz〜l0M1(zの範囲でノ
イズスペクトルを測定し、前記した方法により、磁気記
録体の測定ノイズスペクトルとシステムノイズスペクト
ルで囲まれた面積より磁気記録体のノイズを算出した。
その結果を第3表に示す。
この結果から明からなように実施例2.7、l。
I4.18のものは高い周波数まで、低ノイズを維持す
ることが可能であるのに対し、従来の磁性金属層成であ
る比較例5のものは高いノイズを示した。
ることが可能であるのに対し、従来の磁性金属層成であ
る比較例5のものは高いノイズを示した。
第
1
表
注
磁性合金組成CoCr1.、HfyZrw (z !刀
i子2)。
i子2)。
但し比較例5はCoCr、 5Ni3゜第
表
(実施例25〜29、比較例6〜7)
実施例1〜24と同様、DCマグネトロンスパッターを
用い、1500人の下地Cr層を形成し、その上にCo
Crx Hfl、。となるように、C,llf合金のタ
ーゲットの上にCrのチップをのせて、Crの含有量を
変えて、600大の磁性金属層を作製し、さら4こ30
0人のカーボン層を作製した。
用い、1500人の下地Cr層を形成し、その上にCo
Crx Hfl、。となるように、C,llf合金のタ
ーゲットの上にCrのチップをのせて、Crの含有量を
変えて、600大の磁性金属層を作製し、さら4こ30
0人のカーボン層を作製した。
また比較のため、実施例25〜29と同じ条件で磁気記
録体を製造し第2表比較例6〜7のCr含有量0.20
%のものを得た。
録体を製造し第2表比較例6〜7のCr含有量0.20
%のものを得た。
これらの磁気記録体の保持力を測定した結果を第4表に
示す。Crの含有量が約13%で保持力は最大となり、
Cr含有量が5.0≦X≦18.0の範囲で保持力80
0 (Oe)より高いものが得られた。
示す。Crの含有量が約13%で保持力は最大となり、
Cr含有量が5.0≦X≦18.0の範囲で保持力80
0 (Oe)より高いものが得られた。
第
表
注、磁性合金組成CoCr、Hf+、。(%は原子%)
。
。
(発明の効果)
本願発明による磁気記録体は面内方向で高い保持力を有
し、かつノイズの低減をはかることが可能であり、高密
度記録に好適であることが判明した。
し、かつノイズの低減をはかることが可能であり、高密
度記録に好適であることが判明した。
第1図は本発明の磁気記録体の断面図。
lは非磁性基材、2はCr層、3は磁性金属層、4はカ
ーボン保護層。 第2図はスペクトルアナライザーによるノイズスペクト
ルの測定例である。 曲線AはCoCr?、5 N15oの磁性金属を有する
磁気記録体のノイズスペクトル。 曲線BはCoCr+Jfz、。の磁性金属を有する磁気
記録体のノイズスペクトル。 曲線Cはシステムノイズスペクトル。
ーボン保護層。 第2図はスペクトルアナライザーによるノイズスペクト
ルの測定例である。 曲線AはCoCr?、5 N15oの磁性金属を有する
磁気記録体のノイズスペクトル。 曲線BはCoCr+Jfz、。の磁性金属を有する磁気
記録体のノイズスペクトル。 曲線Cはシステムノイズスペクトル。
Claims (1)
- 1、非磁性基材面上にCr層を介して磁性金属層を形成
してなる磁気記録体において、前記磁性金属層は、X、
Y、Wを原子%としたとき、Co_1_0_0_−_(
_x_+_y_+_w)Cr_XHf_YZr_Wで表
わされ、5.0≦X≦18.0、0.2≦Y≦3.0、
0.2≦W≦3.0、0.2≦Y+W≦3.0の組成比
をもつことを特徴とする磁気記録体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26550989A JP2906480B2 (ja) | 1989-10-12 | 1989-10-12 | 磁気記録体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26550989A JP2906480B2 (ja) | 1989-10-12 | 1989-10-12 | 磁気記録体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03127322A true JPH03127322A (ja) | 1991-05-30 |
| JP2906480B2 JP2906480B2 (ja) | 1999-06-21 |
Family
ID=17418150
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26550989A Expired - Fee Related JP2906480B2 (ja) | 1989-10-12 | 1989-10-12 | 磁気記録体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2906480B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06196323A (ja) * | 1992-10-30 | 1994-07-15 | Nec Corp | 磁気記録媒体 |
-
1989
- 1989-10-12 JP JP26550989A patent/JP2906480B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06196323A (ja) * | 1992-10-30 | 1994-07-15 | Nec Corp | 磁気記録媒体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2906480B2 (ja) | 1999-06-21 |
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