JPH09147699A

JPH09147699A - 真空バルブ

Info

Publication number: JPH09147699A
Application number: JP30083395A
Authority: JP
Inventors: Hiromichi Somei; 宏通染井; Mitsutaka Honma; 三孝本間; Kenji Watanabe; 憲治渡辺; Junichi Sato; 純一佐藤; Yoshimasa Kagenaga; 宜賢影長; Eiji Kaneko; 英治金子; Takumi Uchiyama; 工美内山; Keisei Seki; 経世関; Atsushi Yamamoto; 敦史山本; Takashi Kusano; 貴史草野
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1995-11-20
Filing date: 1995-11-20
Publication date: 1997-06-06

Abstract

(57)【要約】【課題】アークを集中させずに遮断容量を増大させる
ことが可能となる接触子および電極構造を提供する。【解決手段】真空バルブの接点近傍に軸方向磁界を発
生する電極を、中心部３１と周辺部３２とにそれぞれ独
立して構成し、中心部電極３１には円板状接触子３４
を、周辺部電極３２にはリング状接触子３３を配置する
ことにより、電極間に発生したアークは、電極全体に均
一に広がり、電極の局部的な過大な熱入力を防止でき、
遮断性能の優れた電極構造とすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、真空バルブに係わ
り、特に遮断性能を向上させる真空バルブの電極構造に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の真空遮断器に用いられる真空バル
ブの構成を図６に示す。同図に示す様に、従来の真空バ
ルブ１０は、絶縁円筒１１の両端を固定フランジ１２お
よび可動フランジ１３により閉止して構成される真空容
器内に、接離可能な固定電極１４および可動電極１５を
配置して構成している。ここで、固定電極１４は、固定
通電軸１６の先端に固着されており、真空容器の外部と
はこの固定通電軸１６により電気的に接続される。ま
た、可動電極１５は、可動通電軸１７の先端に固着され
ており、真空容器の外部とはこの可動通電軸１７により
電気的に接続される。また、可動通電軸１７は、ベロー
ズ１８を介して可動フランジ１３に固着されており、真
空容器内の真空を維持した状態で図示しない操作機構部
により電極１４，１５の接離を可能にしている。電極１
４，１５の周囲で、絶縁円筒１１の内面には、アークシ
ールド２０が取り付けられている。

【０００３】ところで、真空バルブは、真空の優れた絶
縁耐力を利用しているため、他の絶縁媒体を使用した例
えばＳＦ₆ ガス遮断器に比べ、電極間距離を小さくで
き、小形にすることができる。また、遮断容量に対して
も、電極構造の改良により大きくすることができる。真
空バルブの遮断性能を向上させるためには、電極１４，
１５間に発生するアークによる電極の局部加熱を抑える
必要がある。これより、電極の局部加熱による異常な荷
電粒子の発生及び金属蒸気の発生を抑えられ、遮断性能
を向上させることができる。このための電極構造として
は、電流遮断時に電極間に発生するアークに対して、磁
界により力を加える方法が一般的である。

【０００４】磁界の印加方法の一つとして、電極間に発
生するアークに対して、直行する磁界を印加する方法が
ある。この方法を採用した電極構造としては、一般的に
スパイラル電極およびコントレート電極と呼ばれてい
る。この様な電極構造で発生する磁界は、電極中心から
放射方向の磁界である。従って、電極間に発生したアー
クに対して、直行する磁界が印加されるため、アークに
は円周方向にローレンツ力が働く。この力により、アー
クは円周方向に回転駆動され、電極表面を回転する。ア
ークを回転させることにより、局部的な熱入力を防止で
き、電極の溶融を防止することができる。

【０００５】しかしながら、真空遮断器の進歩により、
近年、高電圧の回路にも適用される様になってきてい
る。高電圧に適用するためには、電極間の耐電圧を向上
するために、電極間距離を増加させる必要がある。この
様な場合に、上記した電極間に発生するアークに対して
直行する磁界を印加する電極構造を用いると、アークが
電極表面を回転する時に、アークが円周方向に伸ばさ
れ、電極より放射方向に飛び出す場合がある。この様な
場合では、電極から発生しているアークが、電極周囲に
取り付けられているアークシールドへ点弧する。この様
にアークがアークシールドに点弧した状態になると、ア
ークはその位置に停滞し、局部的に過大な熱入力が発生
する。この過大な熱入力により電極およびアークシール
ドが溶融し、遮断性能を低下させる場合があった。さら
に、この様な方式の電極構造では、前述した様に、アー
クの状態は高温の集中アークであるため、接触子の消耗
が大きく、大電流遮断時の開閉寿命を低下させる場合が
あった。

【０００６】電流遮断時に発生するアークに対して、磁
界を印加する他の方法として、電極間に発生するアーク
に対して、平行な軸方向の磁界を印加する方法がある。
この様な方法を採用した電極構造は、一般的に縦磁界電
極と呼ばれている。この場合での電極間に発生したアー
クは、電極全体に均一に広がり、電極の局部的な過大な
熱入力を防止でき、遮断性能の優れた電極構造とするこ
とができる。また、高電圧に対して電極間距離の大きな
場合でも、磁界強度を適正にすることにより、電極間に
安定したアークを点弧することができ、遮断性能を向上
させることができる。さらに、アーク形態が分散アーク
であるため、大電流遮断時においても、接触子の消耗が
少なく、開閉寿命を長くさせることができる。

【０００７】代表的な軸方向磁界を発生させる従来の縦
磁界電極構造について説明する。平板状の電極の前面に
は接触子を配置している。電極の背面には、中心から放
射状に伸びる腕部と各々の腕部の先端から円弧状に伸び
るコイル部より形成されるコイル電極を配置している。
コイル電極のコイル部に流れる電流により、電極間のア
ークに対して平行な磁界を発生させることができる。ま
た、コイル部の数を変化させ、軸方向の磁界の強さを変
化させることができる。

【０００８】軸方向磁界を発生させる他の縦磁界電極構
造として、特公平３−２２００７号に示される様に、カ
ップ状の電極の円筒部分にらせん状のスリットを形成
し、軸方向磁界を発生させる構造が提案されている。こ
の場合、円筒部の電流経路をらせん状になる様にするこ
とにより、電流の円弧方向成分が発生し、これにより電
極間に軸方向磁界を発生させる。軸方向の磁界強度は、
円筒部のスリットの傾きを変える等の方法により変化さ
せることができる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】近年、真空バルブを使
用した真空遮断器が広く使用される様になってきてい
る。それに伴い、系統の大きな場合にも適用する場合が
でてきた。このため、遮断容量の増加および通電容量の
増加が必要になってきている。

【００１０】この様な要求に対して、電極構造および接
触子材料の改良が進められている。遮断性能を向上する
接触子材料としては、ＣｕＣｒ合金等の特殊な合金が開
発されている。一方、接触子間に発生するアークと平行
に磁界を発生させる縦磁界電極構造の研究から、磁界強
度とアーク電圧の関係を調査した結果、ある磁界強度で
アーク電圧が最小値を示すことが明かになっている。こ
のアーク電圧が最小値を示す磁界強度を印加することに
より、接触子間で消費されるエネルギーが最小となり、
遮断性能が最大となる。

【００１１】また、アーク電圧が最小になる磁界強度
は、電極径や遮断電流・接触子材料等により異なる。磁
界強度を変更するためには、腕部の本数を少なくするこ
とによって、磁界強度を強くすることができる。例え
ば、腕部の本数を４本から、３本、２本と減らすことに
より、磁界強度は、約１．３倍、２倍と増加し、最適な
磁界強度とすることができ、遮断性能を向上させること
ができる。

【００１２】しかしながら、径方向に対する軸方向の磁
界分布は、中心部分が高くなる分布である。この様な磁
界分布の場合、アークの広がりは、電極の周辺部より中
心部分の方が若干分担する電流密度が大きくなる。通常
の定格遮断電流付近では電極の溶融等は抑えられ、遮断
可能である。しかしながら、さらに遮断する電流が大き
くなると、軸方向の磁界の効果により拡散アークであっ
たアーク状態に、自己ピンチ力が働き、アークが一層中
心部分に集中してくる。この様にアークが集中し出すこ
とにより、接触子が溶融し、電流遮断能力に限度があっ
た。これより本発明の目的は、遮断容量を増大させるこ
とが可能となる接触子および電極構造を備えた真空バル
ブ提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、真空バルブの電極を、中心部と周辺部とにそれぞれ
独立して軸方向磁界を発生させる縦磁界電極により構成
し、中心部電極には円板状接触子を、周辺部電極にはリ
ング状接触子を配置したものである。請求項２に記載の
発明は、さらに中心部電極が発生する軸方向磁界の方向
と前記周辺部電極が発生する軸方向磁界の方向とが逆向
きとなるように配置するものである。

【００１４】請求項３に記載の発明は、真空バルブの電
極を、軸の中心から放射状に伸びる腕部と腕部の先端よ
り円弧状に伸びる第１のコイル部からなる第１のコイル
電極と、この第１のコイル電極のコイル部の先端より軸
側に伸びる第２の腕部とこの第２の腕部より円弧状に伸
びる第２のコイル部より形成される第２のコイル電極と
から構成し、第１のコイル電極の前面にリング状の接触
子を配置してこのリング状の接触子と第１のコイル電極
のコイル部の先端とを電気的に接続し、リング状接触子
の内側に円板状接触子を配置してこの円板状接触子と第
２のコイル電極のコイル部の先端部とを電気的に接続し
たものである。また、請求項４に記載の発明は、第１の
コイル電極に流れる電流により発生する軸方向磁界の方
向と、第２のコイル電極に流れる電流により発生する軸
方向磁界の方向とが逆向きとなるように配置したもので
ある。

【００１５】このような請求項１乃至４に記載した構成
によれば、接触子間にアークが点弧した場合に、その位
置により発生する磁界を異なる分布にすることが可能に
なり、接触子間に発生するアークを効率的に拡散状態に
安定して制御できるため、遮断性能を向上させることが
できる。

【００１６】さらに、請求項５に記載の発明は、リング
状接触子の表面高さより、円板状接触子の表面高さを１
mm以上低くしたものであり、請求項６に記載の発明は、
電極部の外径をＤ１、円板状接触子の外径をＤ２とした
ときに、円板状接触子の外径Ｄ２が、０．１×Ｄ１ ≦ Ｄ２ ≦ ０．７×Ｄ１を満足するように構成したものであり、請求項７に記載
の発明は、第１のコイル電極の軸方向の断面の中心位置
より第２のコイル電極の軸方向の断面の中心位置を、軸
方向で電極の対向面側になる位置に配置したものであ
る。

【００１７】このような請求項５乃至７に記載した構成
によれば、アークの分割化、発生磁界の最適化が可能に
なり、遮断性能を向上することができる。また、請求項
８に記載の発明は、真空バルブの各電極に接触子を複数
配置するとともに、これら各接触子に対応してそれぞれ
独立に軸方向磁界を発生させる縦磁界電極を配置し、接
触子間に点弧するアークの位置により縦磁界電極か発生
する磁界を異なる分布にしたものである。そしてこのよ
うに構成することにより、接触子間にアークが点弧した
場合に、その位置により発生する磁界を異なる分布にす
ることが可能になり、接触子間に発生するアークを効率
的に拡散状態に安定して制御できるため、遮断性能を向
上させることができる。

【００１８】さらにまた、請求項９に記載の発明は、接
触子の材質を、ＣｕまたはＡｇを主成分とし、Ｃｏ，Ｃ
ｒ，Ｆｅ，Ｍｏ，Ｗまたはその化合物を少なくとも１種
以上含みその合計が２０〜７０重量％である合金とした
ものであり、請求項１０に記載の発明は、接触子の材料
を、リング状接触子より円板状接触子のアーク電圧が高
くなるように選定したもので、請求項１１に記載の発明
は、円板状接触子には、Cuを使用したものである。

【００１９】このように請求項８乃至１１に記載した材
料により接触子を構成すれば、接触子の消耗を抑制する
ことが出来る。請求項１２に記載の発明は、真空バルブ
の電極を、軸の中心から放射状に伸びる第１の腕部と第
１の腕部の先端より円弧状に伸びる第１のコイル部と、
第１のコイル部より中心方向に伸びる第２の腕部と第２
の腕部の先端より円弧状に伸びる第２のコイル部より第
２のコイル電極とを形成し、コイル電極の全面には円板
状の接触子を配置し、円板状の接触子とコイル電極とは
第１のコイル部の先端および第２のコイル部の先端で電
気的に接続し、円板状接触子の表面は、中心部を外周部
より凹形状としたものである。

【００２０】このように構成することにより、接触子間
にアークが点弧した場合に、その位置により発生する磁
界を異なる分布にすることが可能になり、接触子間に発
生するアークを効率的に拡散状態に安定して制御できる
ため、遮断性能を向上させることができる。

【００２１】

【発明の実施の形態】真空バルブ全体の構造は、電極部
分を除いて図７に示す従来と同一のため、説明を省略す
る。以下、本発明による電極部分の一実施例を図面を参
照して説明する。

【００２２】図１は請求項１及び請求項２に記載した発
明に対応した実施態様を示す断面図である。通電軸３０
の先端には、それぞれ独立して周辺部のコイル電極３１
および中心部のコイル電極３２が接続されている。そし
て、中心部のコイル電極３２の電極外径は、周辺部のコ
イル電極３３のコイルの内径より小さくなっている。そ
れぞれの電極の前面には独立して接触子が電気的に接続
されており、周辺部のコイル電極３１には中空の環状の
接触子３３が配設され、中心部のコイル電極３２には、
板状の接触子３４が電気的に接続されている。

【００２３】この様な構成の実施形態による作用および
効果を以下に述べる。真空バルブにより電流を開閉する
場合には、真空バルブの外部に接続される操作機構によ
り通電軸を駆動し、真空バルブの接触子を開閉すること
により行なわれる。

【００２４】ここで、第１のコイルと第２のコイルの向
きが逆向きである場合に、電流を遮断する際に接触子近
傍に発生する磁界について図２を参照して説明する。電
流しゃ断時にはアークがリング状に形成された接触子３
３に最初に点弧する。このとき、電流は周辺部のコイル
電極３１の先端まで流れ、接触子３３に至るので、中心
部のコイル電極３２は働かない。従って、アークがリン
グ状に形成された接触子３３に点弧しているときは、従
来の縦磁界電極と同等の磁界（図２（ａ））が発生し、
アークに印加される。

【００２５】しかし、電流が増加して行くにつれて、ア
ークに自己ピンチ力が働き、中心への集中が開始する。
アークの集中が生じると、それまでリング状の接触子に
点弧していたアークが中心部の接触子３４への移行が生
じる。接触子３４へアークが点弧すると、電流は第２の
コイル部を流れるので、第２のコイル部による磁界も発
生し、接触子間の磁界は第１のコイルによる磁界と第２
のコイルによる磁界との和（図２（ｂ））となる。

【００２６】このような磁界分布によりアークを拡散さ
せるのに有効であることが、我々の研究から明らかにな
っている。従って、従来の縦磁界電極にくらべてアーク
を拡散状態に保つこことができる電流領域が増大するの
で、遮断性能も向上させることができる。

【００２７】図３は、請求項３及び請求項４に記載した
発明に対応した実施形態の正面図であり、図４はその断
面図である。通電軸３０の先端にはコイル電極３５が電
気的に接続されている。このコイル電極３５は、中心か
ら放射状に伸びる第１の腕部３５ａと、第１の腕部３５
ａから円弧状に伸びる第１のコイル部３５ｂと、第１の
コイル部の先端３５ｃから軸側に伸びる第２の腕部３５
ｄと、第２の腕部３５ｄより円弧状に伸びる第２のコイ
ル部３５ｅおよび第２のコイル部の先端３５ｆとからな
っている。第１のコイルの前面にはリング状の接触子３
３が、第１のコイル部の先端３５ｃを介して接続されて
いる。第１のコイル部の先端３５ｃ、第２のコイル部の
先端３５ｆは、接触子３３，３４側に突出している。第
２のコイル部３５ｅの前面には第２のコイルの先端３５
ｆを介して円板状の接触子３４が接続されている。

【００２８】各接触子の高さについては、リング状接触
子３３の高さよりも板状接触子３４の表面高さを１mm以
上低くする。これより、電流を遮断するために接触子を
開極する瞬間は、リング状接触子３３のみに接触点が形
成されているため、この接触点は３点以上に分散され
る。そして接触点を分散することにより、各接触点での
電流密度を低減させることができる。

【００２９】従って、３点で均一に接触している場合に
は、従来の板状接触子の様に接触点が中心の１点であっ
た場合に比べ、接触部に流れる分担電流は各々１／３と
なる。さらに、エネルギーは電流の２乗に比例するため
各々の部分では、１／９となり、３箇所の合計でも従来
の場合に比べ１／３となる。これより、電流を開極する
瞬時のエネルギーにより、電極を損傷し、開閉寿命を低
下させる場合があったが、本発明ではエネルギーが小さ
くできることから、電極での開極時の損傷を低減でき、
開閉寿命を長くすることができる。

【００３０】円板状接触子３４の大きさについては、次
の通りとなる。電極の中心にアークが集中する場合、中
心部分が２０A/mm² 〜３０A/mm² 以上の電流密度に達す
ると急激に集中が促進される。この様な電流集中は、電
極全体でのアークに対して、中心の１０％以上の範囲で
発生する。このため、接触子の中空部分の径（Ｄ２）
は、電極部の外径（Ｄ１）の１０％以上にするのが望ま
しい。また、接触子の中空部分を大きくすると接触子全
体の面積が減少する。そこで、接触子の面積を減少し過
ぎると、電流密度が増加し局部的な溶融を引き起こす。
一方、全面積が１／２以下となると、中心部の溶融を抑
制し全体を有効に使用した効果と、接触子表面積の減少
分の遮断性能低下の要因が相殺され、本発明の効果がな
くなる。従って、接触子の中空部分の径は電極部の外径
の７０％以下とする必要がある。以上の結果より、リン
グ状の接触子の中空部分の外径（Ｄ２）と電極部分の外
径（Ｄ１）とは０．１×Ｄ１ ≦ Ｄ２ ≦ ０．７×Ｄ１の関係を満足することにより、遮断性能を向上させるこ
とができる。

【００３１】さらに、電極と接触子との位置関係につい
ては、第２のコイル部の位置を第１のコイル部よりも、
接触子側に近づけることにより、アークが中心部の円板
状接触子に点弧したときの、第２コイルによる磁界強度
を強くすることができる。

【００３２】従って、アークが集中したときは、中心部
の磁界を電極端部に比べてより小さくできるので、遮断
性能を向上することができる。さらに接触子に用いられ
る材料としては、ＣｕまたはＡｇを主成分とし、Ｃｏ，
Ｃｒ，Ｆｅ，Ｍｏ，Ｗまたはその化合物を少なくとも１
種以上含みその合計が２０〜７０重量％であり、電極に
はＣｕまたはＣｕを主成分としその含有量が９０重量％
以上含む合金を使用するのが良い。

【００３３】つまり、接触子には、Ｃｕに高蒸気圧材を
添加した材料や、Ｃｕと金属間化合物を形成する材料を
添加した材料では、消耗量が上記材料に比べ大きくな
る。この様に消耗量が大きい場合には、負荷電流を開閉
することにより、接触子の電極表面より突出している部
分が消耗し、電極と同一の高さになる場合がある。そう
すると、電流遮断時の開極瞬時に、電極部で発弧が開始
するため、アークの広がりを著しく低下させる。一方、
本発明以外の上記した様な材料を使用した場合には、電
極部分で発弧が発生しないようにするために、接触子の
高さを増加する必要があり、この様に接触子を高くする
と、縦磁界発生電極間の距離が大きくなり、磁界の効果
を低減させる。これより、上述の材料を使用することに
より、電流を開閉しても中心の電極で発弧が開始するこ
とはなく、開閉寿命を長くすることができる。さらに、
中心部分を主成分がＣｕで構成される材料を使用するこ
とにより、若干のアークが電極部分に点弧するため、電
流の一部が電極部分で処理されるため、遮断性能を向上
させることができる。

【００３４】また、リング状接触子３３のアーク電圧よ
り円板状接触子３４のアーク電圧が高くなる様に材料を
選択された接触子を配置すると、アークが集中したとき
アーク電圧がより高くなる。従って、アーク電圧を低く
するような力がアークに働くので、アークの集中は抑制
され、遮断性能を向上できる。例えば、円板状接触子に
銅材を使用し、リング状接触子を銅クロム合金とした場
合には、リング状接触子のアーク電圧は高くなり、遮断
性能を向上できる。

【００３５】図５に請求項１２の発明に関連する実施形
態の断面図を示す。図５のコイル電極３５は、図３に示
されているものと同等のものが使われており、その前面
には中心部に凹部を有する接触子３６が接続されてい
る。このコイル電極３５と接触子３６とは、コイル部先
端３５ｃ、３５ｆを介して接続されている。

【００３６】接触子３６を開極している場合には、接触
子３６の中心部が外周部に比べ凹形状になっているの
で、接触しているは外周部のみである。従って、接触子
３６の開極時には外周部が最初に点弧する。接触子３６
の外周部でアークが点弧した場合は、第１のコイルの端
部３５ｃを通って電流が流れる。従って、コイルは従来
の縦磁界電極と同等の磁界を発生する。その後アークが
中心部に集中してくると、第２のコイルの先端３５ｆが
近くなるので、電流は、第２のコイルにも分流するよう
になる。従って、磁界は周辺部で強く中心部で弱い分布
となる。この磁界分布の変化により、アークの集中を抑
制し、遮断性能を向上することができる。

【００３７】

【発明の効果】以上説明した本発明では、真空バルブ内
部の電極構造において、アークの点弧位置によりアーク
に印加される軸方向磁界の分布を変化させることによ
り、接触子間に発生するアークを電極の中心部分に集中
することなく、効率的にアークを拡散状態に安定して制
御できるため、遮断性能を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態を示す断面図。

【図２】アークの点弧位置による磁界分布の変化の説明
図

【図３】請求項３及び請求項４に対応した実施形態の正
面図

【図４】請求項３及び請求項４に対応した実施形態の断
面図

【図５】請求項１２に対応した実施形態の断面図

【図６】従来の真空バルブを示す図

【符号の説明】

１１…絶縁円筒、１４…固定電極、１５…可動電
極、１６…固定通電軸、１７…可動通電軸、１８…
ベローズ、３０…通電軸、３１…第１の縦磁界電極、
３２…第２の縦磁界電極、３３…リング状接触子、
３４…円板状接触子、３５…コイル電極、３６…接触
子。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者佐藤純一東京都府中市東芝町１番地株式会社東芝府中工場内 (72)発明者影長宜賢東京都府中市東芝町１番地株式会社東芝府中工場内 (72)発明者金子英治東京都府中市東芝町１番地株式会社東芝府中工場内 (72)発明者内山工美東京都府中市東芝町１番地株式会社東芝府中工場内 (72)発明者関経世東京都府中市東芝町１番地株式会社東芝府中工場内 (72)発明者山本敦史東京都府中市東芝町１番地株式会社東芝府中工場内 (72)発明者草野貴史東京都府中市東芝町１番地株式会社東芝府中工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】真空容器内に導電棒を介して接離可能に
一対の電極を設け、これらのそれぞれの電極に接触子を
備えてなる真空バルブにおいて、前記一対の電極は中心部と周辺部とにそれぞれ独立して
軸方向磁界を発生させる縦磁界電極からなり、前記中心
部電極には円板状接触子を、前記周辺部電極にはリング
状接触子を配置したことを特徴とする真空バルブ。
【請求項２】前記中心部電極が発生する軸方向磁界の
方向と前記周辺部電極が発生する軸方向磁界の方向とが
逆向きとなるように配置したことを特徴とする請求項１
に記載の真空バルブ。
【請求項３】真空容器内に導電棒を介して接離可能に
一対の電極を設け、これらのそれぞれの電極に接触子を
備えてなる真空バルブにおいて、前記電極を軸の中心から放射状に伸びる第１の腕部とこ
の第１の腕部の先端より円弧状に伸びる第１のコイル部
からなる第１のコイル電極と、この第１のコイル電極の
コイル部の先端より前記通電軸側に伸びる第２の腕部と
この第２の腕部より円弧状に伸びる第２のコイル部より
形成される第２のコイル電極とにより形成し、前記第１
のコイル電極の前面にリング状の接触子を配置してこの
リング状の接触子と前記第１のコイル電極のコイル部の
先端とを電気的に接続し、前記リング状接触子の内側に
円板状接触子を配置してこの円板状接触子と前記第２の
コイル電極のコイル部の先端部とを電気的に接続したこ
とを特徴とする真空バルブ。
【請求項４】前記第１のコイル電極に流れる電流によ
り発生する軸方向磁界の方向と、前記第２のコイル電極
に流れる電流により発生する軸方向磁界の方向とが逆向
きとなるように配置したことを特徴とする請求項３に記
載の真空バルブ。
【請求項５】前記リング状接触子の表面高さより、前
記円板状接触子の表面高さを１mm以上低くしたことを特
徴とする請求項１乃至請求項４のいづれかに記載の真空
バルブ。
【請求項６】前記電極部の外径をＤ１とし、前記円板
状接触子の外径をＤ２としたとき、０．１×Ｄ１ ≦ Ｄ２ ≦ ０．７×Ｄ１を満足することを特徴とする請求項１乃至請求項５のい
づれかに記載の真空バルブ。
【請求項７】前記第１のコイル電極の軸方向の断面の
中心位置より、前記第２のコイル電極の軸方向の断面の
中心位置を、軸方向で電極の対向面側になる位置に配置
したことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいづれか
に記載の真空バルブ。
【請求項８】真空容器内に導電棒を介して接離可能に
一対の電極を設け、これらのそれぞれの電極に接触子を
備えてなる真空バルブにおいて、前記接触子を複数配置するとともに、これら各接触子に
対応してそれぞれ独立に軸方向磁界を発生させる縦磁界
電極を配置し、接触子間に点弧するアークの位置により
発生する磁界を異なる分布にすることを特徴とする真空
バルブ。
【請求項９】前記接触子には、ＣｕまたはＡｇを主成
分とし、Ｃｏ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｍｏ，Ｗまたはその化合物
を少なくとも１種以上含みその合計が20〜70重量％であ
る合金を使用したことを特徴とする請求項１乃至請求項
８のいづれかに記載の真空バルブ。
【請求項１０】前記リング状接触子のアーク電圧より
前記円板状接触子のアーク電圧が高くなる材料の接触子
を配置したことを特徴とする請求項９に記載の真空バル
ブ。
【請求項１１】前記円板状接触子には、Ｃｕを使用し
たことを特徴とする請求項９に記載の真空バルブ。
【請求項１２】真空容器内に導電棒を介して接離可能
に一対の電極を設け、これらのそれぞれの電極に接触子
を備えてなる真空バルブにおいて、前記電極を軸の中心から放射状に伸びる第１の腕部とこ
の第１の腕部の先端より円弧状に伸びる第１のコイル部
と、この第１のコイル部より中心方向に伸びる第２の腕
部とこの第２の腕部の先端より円弧状に伸びる第２のコ
イル部よりコイル電極を形成し、このコイル電極の前面
には表面が中心部を外周部より凹形状とした円板状の接
触子を配置し、前記円板状の接触子と前記第１のコイル
部の先端および前記第２のコイル部の先端で電気的に接
続したことを特徴とする真空バルブ。