JPH09161684A - ガス放電表示パネルおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 断線や短絡が生じにくく、かつ、配線抵抗を
小さくできる電極を具えたガス放電表示パネルを提供す
る。 【解決手段】 ガス放電表示パネル１０の背面基板１１
上に設けられた、複数列の誘電体層１３と、誘電体層１
３の間隙に嵌め込まれた、背面基板１１の熱膨張率と同
一または近似の熱膨張率を有する合金ワイヤをもって構
成された電極１５ａおよび１５ｂと、電極１５ａおよび
１５ｂを背面基板１１に接着固定するためにこれら電極
１５ａおよび１５ｂと背面基板１１との間に、この電極
１５ａおよび１５ｂに少なくとも一部が接触するパター
ンで設けられた接着層１２であって、かつ背面基板１１
の焼成温度よりも軟化点が低い材料の誘電体で構成され
た接着層１２とで少なくとも構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ガス放電表示パ
ネルおよびその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のガス放電表示パネル（以下、単に
パネルとも略称する）の一例が、文献：「信学技報、Ｅ
ＩＤ９３−１２２、ｐｐ．６１−６６」に記載されてい
る。この文献に記載のパネルは、直流型カラーガス放電
表示パネル（反射型）であり、前面基板に合金ワイヤの
陰極を設け、一方、背面基板に陽極とカラー表示のため
の蛍光体とを設けた構造となっている。

【０００３】上述の文献に開示されたパネルのように、
近年、直流型ガス放電表示パネルの前面基板に形成され
ている電極（陰極）には合金ワイヤが用いられている
が、背面基板に形成されている電極（陽極および補助陽
極）は、通常スクリーン印刷法によって形成されたもの
である。これは、背面基板側の電極、隔壁および蛍光体
等の複雑なパターンを有する構成成分においては、容易
なスクリーン印刷法を用いて形成するのが好適なためで
ある。また、合金ワイヤを背面基板上に固定するのが難
しいという理由もあった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、スクリ
ーン印刷を用いて配線電極を形成すると、パネルを高精
細化するために電極のライン幅を狭くするほど、だれや
かすれ等のため、きれいに印刷することが困難になる。
その結果、配線電極の断線や短絡が発生しやすくなると
いう問題点があった。

【０００５】また、パネルを大画面化すると、配線電極
の配線抵抗が大きくなってしまうという問題点があっ
た。配線電極の断面積を増やせば配線抵抗を小さくでき
るが、配線電極の幅を広くすると高精細化に支障を来
す。また、配線電極の厚みを増やすことで配線電極の断
面積の増大を図ろうとした場合、次のような新たな問題
が生じる。スクリーン印刷法を用いた場合は、何層もペ
ースト層を重ねて形成しないと配線電極の厚みを増やす
ことができないが、配線電極を重ねて形成していくと、
上側のペースト層になるにつれ、そのライン幅が狭くな
ってしまう。したがって、電極の断面積を増やすことも
困難であった。その結果、配線抵抗が大きくなるので、
駆動回路から近い部分と遠い部分とでパネルの発光強度
にばらつきが生じる原因となっていた。

【０００６】このため、断線や短絡が生じにくく、か
つ、配線抵抗を小さくできる電極を具えたガス放電表示
パネルの実現が望まれていた。

【０００７】

【課題を解決するための手段】このため、この発明のガ
ス放電表示パネルによれば、以下の〜を少なくとも
具えたことを特徴としている。

【０００８】ガス放電表示パネルの背面基板上に設け
られた、複数列の誘電体層。

【０００９】誘電体層の間隙に嵌め込まれた、基板の
熱膨張率と同一または近似の熱膨張率を有する合金ワイ
ヤをもって構成された電極。

【００１０】電極を基板に接着固定するためにこれら
電極および基板の間に、この電極に少なくとも一部が接
触するパターンで設けられた接着層であって、かつ基板
の焼成温度よりも軟化点が低い材料の誘電体で構成され
た接着層。

【００１１】このように誘電体層および接着層を用いる
ことにより、合金ワイヤの電極を背面基板側にも固定し
て使用することができる。このため、パネルを高精細化
しても、配線電極の断線や短絡の発生を抑えることがで
きる。また、合金ワイヤは配線電極の幅を広げることな
く、その厚みを増やすことが容易にできるため、パネル
が大型化しても配線電極の抵抗を抑えて、発光強度のば
らつきを抑えることができる。電極として用いる合金ワ
イヤは、背面基板の熱膨張率と同一または近似の熱膨張
率を有する材料とすると、背面基板および電極に歪みや
ひび割れが生じにくい。また、接着層の材料は、背面基
板の材質により好適なものとすれば良い。例えば、背面
基板を軟化点が約７３０℃のソーダライムガラス基板と
すると、基板およびパネルの各構成要素の焼成温度は６
００℃以下程度が適当となる。したがって、焼成温度を
例えば５８０℃にすると、接着層はこの温度よりも軟化
点が低い材料で、焼成温度では完全溶融する材料、例え
ば誘電体ペーストＩ−９８１１（商品名、住友金属鉱山
社製、軟化点５２０℃）等が適している。

【００１２】また、この発明のガス放電表示パネルの製
造方法によれば、複数の表示セルを有する背面基板を具
えたガス放電表示パネルを製造するに当たり、以下の
ａ）〜ｄ）の工程を含むことを特徴としている。

【００１３】ａ）前記基板上に、この基板の焼成温度よ
りも軟化点が低い材料の誘電体で構成された接着層を、
この接着層の少なくとも一部が、後工程で形成される電
極に接触可能なパターンで形成する。

【００１４】ｂ）前述のａ）工程が終了した基板上に、
複数列の誘電体層を形成する。

【００１５】ｃ）誘電体層の間隙に、基板の熱膨張率と
同一または近似の熱膨張率を有する合金ワイヤをもって
構成された電極をそれぞれ嵌め込む。

【００１６】ｄ）嵌め込まれた電極に対し、加圧手段を
用いてこの電極を接着層に押しつけるように加圧した状
態を保持しながら、接着層が溶融する温度で焼成するこ
とにより、電極を基板に接着固定する。

【００１７】以上の工程を含むことにより、背面基板側
に合金ワイヤからなる電極を用いても、電極を固定させ
ることができるため、高精細化に適したパネルを得るこ
とができる。また、電極を背面基板に接着固定すると
き、誘電体の間隙に電極をはめ込んだ後、適当な加圧手
段を用いて、電極を接着層に押しつけるように加圧した
状態を保持しながら、基板を焼成して接着層を溶融させ
ている。このため、電極の固定がより確実となり、電極
が背面基板から浮いたり剥がれたりすることに起因す
る、電極の高さばらつきの発生を防ぐことができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施の形態につき説明をする。各図は、発明が理解で
きる程度に各構成成分の大きさ、形状および位置関係等
を概略的に示してあるにすぎず、したがって図示例にの
み限定されるものではない。また、断面を示すハッチン
グは一部分を除き省略してある。

【００１９】図１の（Ａ）は、この発明の実施の形態の
ガス放電パネル１０の構造および配置関係を説明するた
めの概略的な平面図であり、前面基板３１側から見たパ
ネル１０の一部を切り欠いて示してある。また、前面基
板３１側の電極（ここでは陰極３３）に隠れていて見え
ない部分を示すために、陰極３３の一部を途中で切って
示してある。また、この平面図の周縁の部分は、前面基
板３１、電極１５ａおよび１５ｂ、陰極３３を除くパネ
ル１０の構成要素を省略して示してあり、この周縁部分
の電極１５ａおよび１５ｂにおいてはハッチングで強調
して示してある。また、図１の（Ｂ）は図１の（Ａ）を
Ｘ−Ｘで切って矢印の方向にみたときの概略的な断面図
（ただし、切り口の図）である。なお、ここで用いたパ
ネル１０は、直流型カラーガス放電表示パネル（反射
型）である。

【００２０】この発明のガス放電表示パネルによれば、
ガス放電表示パネルの背面基板上に設けられた、複数列
の誘電体層を具えている。ここでは、背面基板１１上
に、電極を嵌め込むことが可能な間隙（距離）をもっ
て、複数列の誘電体層１３が設けられている。背面基板
１１には、例えばソーダライムガラス基板（熱膨張率は
９０×１０^-7／℃）を用いる。

【００２１】また、この発明のガス放電表示パネルによ
れば、誘電体層１３の間隙に嵌め込まれた、基板１１の
熱膨張率と同一または近似の熱膨張率を有する合金ワイ
ヤをもって構成された電極１５を具えている。ここで
は、４２−６合金ワイヤ（４２重量％Ｎｉ−６重量％Ｃ
ｒ−５２重量％Ｆｅ）からなる電極１５ａおよび１５ｂ
を用いた。なお、このパネル１０においては、電極１５
ａは陽極配線、電極１５ｂは補助陽極配線である。ま
た、ここで用いた合金ワイヤは熱膨張率が９５．６×１
０^-7／℃であり、背面基板１１として用いたソーダライ
ムガラス基板と熱膨張率は近似である。

【００２２】また、この発明のガス放電表示パネルによ
れば、電極１５ａおよび１５ｂを基板１１に接着固定す
るために、これら電極および基板の間に、電極１５ａお
よび１５ｂに少なくとも一部が接触するパターンで設け
られた接着層１２であって、かつ基板１１の焼成温度よ
りも軟化点が低い材料の誘電体で構成された接着層１２
を具えている。ここでは、接着層１２を、電極１５ａお
よび１５ｂに直交するパターンで複数行設けて、これら
電極１５ａおよび１５ｂを背面基板１１に接着固定して
ある。ここで、背面基板１１は、軟化点が７３０℃のソ
ーダライムガラス基板としたため、接着層１２の材料は
軟化点が５２０℃の誘電体ペーストＩ−９８１１（商品
名、住友金属鉱山社製）とした。

【００２３】以上のように、このパネル１０は接着層１
２および誘電体層１３で電極１５ａおよび１５ｂを固定
する構造となっているため、背面基板１１側にも合金ワ
イヤからなる電極を用いることができる。このため、断
線や短絡を生じにくく、しかも配線抵抗を小さくするこ
とが可能な電極を具えたパネルを得ることができる。

【００２４】次に、パネル１０を構成するその他の要素
を簡単に説明する。１本の電極１５ｂの両側には、それ
ぞれ１本ずつの電極１５ａが配置されており、この１本
の電極１５ｂおよび２本の電極１５ａを一組とした配線
電極群を並べて表示画面を構成している。また、誘電体
層１３と電極１５ａおよび１５ｂとの表面の段差をなく
して平坦にし、その後の工程を容易にするために、電極
１５ａおよび１５ｂの上を、誘電体で構成されたオーバ
ーコート層１７で覆ってある。このオーバーコート層１
７には複数の貫通孔１８が設けられている。電極１５ａ
のうち、この貫通孔１８から露出した部分が放電陽極１
９ａであり、同様に、電極１５ｂのうち貫通孔１８から
露出した部分は補助放電陽極１９ｂである。さらに、オ
ーバーコート層１７上のそれぞれ一部分には、格子状の
隔壁２１が設けられており、この隔壁２１によって電極
１５ａの上側に表示セル２３が画成されている。また、
各表示セル２３の隔壁２１上およびオーバーコート層１
７上に、蛍光体２４が設けてあり、各表示セル２３のそ
れぞれの中央部に、前述の放電陽極１９ａが露出してい
る。また、補助放電陽極１９ｂ上には、補助放電セル２
５が画成されている。図１の（Ａ）において、放電陽極
１９ａおよび補助放電陽極１９ｂをハッチングで強調し
て示してある。また、背面基板１１と対向して貼り合わ
せてある前面基板３１には、電極１５ａおよび１５ｂと
直交して対向する陰極３３が複数行平行配置されてい
る。また、この陰極３３を含む表示セル２３および補助
放電セル２５を画成する隔壁３５が設けられている。陰
極３３は、電極１５ａおよび１５ｂの配列方向に隣り合
う表示セルの間の隔壁３５に設けられている、陰極はめ
込み溝３５ａにかみ合わせるようにして嵌め込まれてい
る。また同様に、表示セル２３と補助放電セル２５との
間の隔壁３５には、陰極３３の幅よりもわずかに幅広の
陰極嵌め込み溝３５ｂが設けられており、嵌め込まれた
陰極３３の両脇の隙間はプライミングスリット３６とな
っている。このプライミングスリット３６は、パルスメ
モリ駆動を行う際に、補助放電セル２５から表示セル２
３へ供給される荷電粒子の通り道となる。これら背面基
板１１および前面基板３１は、電極１５ａおよび１５ｂ
が陰極３３と直交して対向するように貼り合わせてあ
り、両基板の間隙には、放電ガスが充填されている。ま
た、両基板は鉛ガラス等で封止されている。

【００２５】次に、図２〜図１１を用いて、この発明の
ガス放電表示パネルの製造方法を説明する。ここでは、
すでに説明済みの、パネル１０の製造工程について説明
する。各図において、図７を除き、図１に倣って、パネ
ル１０の一部分における背面基板の平面図および断面図
を、段階的に示す。断面図は、図１で示したＸ−Ｘ線の
部分と同様の部分においてその切り口の図を示し、断面
を示すハッチングは一部分を除き省略してある。また、
平面図において、接着層１２、電極１５ａおよび１５ｂ
（放電陽極１９ａおよび補助放電陽極１９ｂを含む）の
表面に露出している部分についてはハッチングで強調し
て示してある。また、図７は、図６に続く工程図である
が、断面図のみを示してある。なお、ここでは、乾燥
は、すべて１５０℃で１０分間行うものとした。また、
焼成は、５８０℃で行い、ピーク保持時間は１０分間と
した。

【００２６】この発明のガス放電表示パネルの製造方法
は、基本的に、複数の表示セルを有する背面基板を具え
たガス放電表示パネルを製造するに当たり、適用され
る。

【００２７】この発明のガス放電表示パネルの製造方法
によれば、まず、背面基板上に、この基板の焼成温度よ
りも軟化点が低い材料の誘電体で構成された接着層を、
この接着層の少なくとも一部が、後工程で形成される電
極に接触可能なパターンで形成する。ここでは、背面基
板１１を軟化点が７３０℃のソーダライムガラス基板と
し、接着層１２の材料は、軟化点が５２０℃の誘電体ペ
ーストＩ−９８１１（商品名、住友金属鉱山社製）とし
た。この背面基板１１上に、後に形成される複数列の電
極１５ａおよび１５ｂに直交して接触することが可能
な、複数行の接着層１２をスクリーン印刷法により形成
する。まず、接着層１２の印刷と乾燥とを、層の厚みが
２５〜３０μｍ程度に達するまで繰り返す。次に、背面
基板１１を焼成する。焼成後、接着層１２の厚みは１０
〜１５μｍ程度となる（図２の（Ａ）および（Ｂ））。

【００２８】次に、この発明のガス放電表示パネルの製
造方法によれば、接着層１２を形成する工程が終了した
基板１１上に、複数列の誘電体層１３を形成する。

【００２９】ここでは、まず、接着層１２が形成された
背面基板１１上の全面を覆うように、誘電体ペーストＳ
−６１２７１（商品名、昭栄化学工業社製）からなる誘
電体層４０を、スクリーン印刷法により形成する。この
誘電体層４０は、その厚みが７０〜７５μｍ程度に達す
るまで、印刷と乾燥とを繰り返す（図３の（Ａ）および
（Ｂ））。

【００３０】次に、この誘電体層４０のうち、後に電極
１５ａおよび１５ｂを嵌め込むための部分を除去して、
複数列の誘電体層１３を形成する。このため、まず、誘
電体層４０のうち、誘電体層形成予定領域４２上に、サ
ンドブラストマスク（以下、マスク）４４を形成するた
め、ドライフィルムレジストＯＲＤＹＬ、ＢＦ−６０３
（商品名、東京応化社製）を誘電体層４０上の全面に貼
りつける。次に、フオトリソグラフィ技術を用いて、誘
電体層形成予定領域４２上のレジスト部分を除くレジス
ト部分を除去して、マスク４４を形成する（図４の
（Ａ）および（Ｂ））。

【００３１】次に、サンドブラスト法により、マスク４
４から露出している誘電体層部分、すなわち、誘電体層
形成予定領域４２以外の誘電体層部分の切削除去を行
う。ここでサンドブラストに用いる装置は、ＰＤ−１型
微細用ショットブラスト装置（商品名、アルプスエンジ
ニアリング社製）とし、研磨剤はＳｉＣ＃１０００とし
た。除去対象となる誘電体層部分は、その下の背面基板
１１および接着層１２が露出するまで完全に除去され、
誘電体層形成予定領域４２が残存する。その後、マスク
４４を剥離し、再び背面基板１１全体を焼成して、誘電
体層１３を形成する（図５の（Ａ）および（Ｂ））。

【００３２】次に、この発明のガス放電表示パネルの製
造方法によれば、誘電体層１３の間隙に、基板１１の熱
膨張率と同一または近似の熱膨張率を有する合金ワイヤ
をもって構成された電極をそれぞれ嵌め込む。ここで
は、エッチングにより簾状に形成済みの４２−６合金ワ
イヤ（４２重量％Ｎｉ−６重量％Ｃｒ−５２重量％Ｆ
ｅ）からなる電極１５ａおよび１５ｂを、誘電体層１３
の間隙にはめ込む。４２−６合金ワイヤはすでに述べて
あるように背面基板１１に用いたソーダライムガラス基
板と熱膨張率が近似である。また、電極１５ａは陽極配
線、電極１５ｂは補助陽極配線である。このとき、はめ
込まれた電極１５ａおよび１５ｂの一部は接着層１２の
表面に接触しているが、まだ接着固定された状態ではな
い（図６の（Ａ）および（Ｂ））。

【００３３】次に、この発明のガス放電パネルの製造方
法によれば、嵌め込まれた電極１５ａおよび１５ｂに対
し、加圧手段を用いてこの電極を接着層１２に押しつけ
るように加圧した状態を保持しながら、接着層１２が溶
融する温度で焼成することにより、電極１５ａおよび１
５ｂを基板１１に接着固定する。ここでは、電極１５ａ
および１５ｂをはめ込んだ後の背面基板１１を２枚の石
英板４５で挟み、さらに電極を設置してある側におもり
４６を載せて加圧手段とし、電極１５ａおよび１５ｂを
接着層１２に押しつける（図７）。

【００３４】次に、この状態のままで背面基板１１を焼
成する。接着層１２に用いた誘電体ペーストＩ−９８１
１は、５２０℃程度で溶融しはじめ、５８０℃では完全
に溶融した状態となっているため、電極１５ａおよび１
５ｂの一部が接着層１２中に入り込み、電極１５ａおよ
び１５ｂを接着した状態でほぼ確実に固定される（図８
の（Ａ）および（Ｂ））。このように、加圧した状態で
焼成することで、より確実な電極の固定を行うことがで
きる。

【００３５】次に、以上の処理が終了した背面基板１１
上の全面に、誘電体ペーストＳ−６１２７１（商品名、
昭栄化学工業社製）からなるオーバーコート層１７を、
スクリーン印刷により設ける。このオーバーコート層１
７は、その厚みが２０〜２５μｍ程度に達するまで、印
刷と乾燥とを繰り返す。このオーバーコート層１７を設
けたことにより、電極１５ａおよび１５ｂと、誘電体層
１３との段差（図８の（Ｂ）参照）を埋めて、表面を平
坦にする（図９の（Ａ）および（Ｂ）参照）。

【００３６】次に、オーバーコート層１７上の全面に、
ドライフィルムレジストＯＲＤＹＬ、ＢＦ−６０３（商
品名、東京応化社製）を貼りつける。次に、フオトリソ
グラフィ技術を用いて、放電陽極形成予定領域４８ａお
よび補助放電陽極形成予定領域４８ｂのレジスト部分を
除去して、サンドブラストマスク（マスク）５０を形成
する（図１０の（Ａ）および（Ｂ））。

【００３７】次に、サンドブラスト法により、マスク５
０から露出しているオーバーコート層１７部分、すなわ
ち、放電陽極形成予定領域４８ａおよび補助放電陽極形
成予定領域４８ｂの上側のオーバーコート層１７部分の
切削除去をする。ここでサンドブラストに用いる装置
は、前述のＰＤ−１型微細用ショットブラスト装置と
し、研磨剤はＳｉＣ＃１０００とした。除去対象のオー
バーコート層１７部分は、電極１５ａおよび１５ｂの表
面が露出するまで除去し、貫通孔１８を形成する。その
後、マスク５０を剥離し、背面基板１１全体を焼成す
る。オーバーコート層１７の貫通孔１８から露出した電
極１５ａの表面部分は放電陽極１９ａとなり、同様に露
出した電極１５ｂの表面部分は補助放電陽極１９ｂとな
る（図１１の（Ａ）および（Ｂ））。

【００３８】その後、オーバーコート層１７上のそれぞ
れ一部分に、格子状の隔壁２１を好適な方法で設ける。
この隔壁２１を形成することによって電極１５ａの上側
に表示セル２３を、また、補助放電陽極１９ｂ上には、
補助放電セル２５を画成する。また、各表示セル２３の
隔壁２１上およびオーバーコート層１７上に、蛍光体２
４を設け、各表示セル２３のそれぞれの中央部に、前述
の放電陽極１９ａを露出させる。

【００３９】次に、前面基板３１には、複数行の合金ワ
イヤからなる陰極３３と、この陰極３３を含む表示セル
２３および補助放電セル２５を画成する隔壁３５とを、
好適な方法により形成する。次に、電極１５ａおよび１
５ｂの配列方向に隣り合う表示セルの間の隔壁３５に
は、陰極３３とほぼ同じ幅を有する陰極はめ込み溝３５
ａを形成する。また、表示セル２３と補助放電セル２５
との間の隔壁３５には、陰極３３の幅よりもわずかに幅
広の陰極嵌め込み溝３５ｂを形成する。陰極３３は、こ
れら陰極はめ込み溝３５ａおよび３５ｂにかみ合わせて
はめ込まれるが、このとき、陰極はめ込み溝３５ｂには
め込まれた陰極３３の両脇の隙間はプライミングスリッ
ト３６となる。次に、電極１５ａおよび１５ｂと、陰極
３３とが、直交して対向するように、背面基板１１およ
び前面基板３１を貼り合わせて、鉛ガラス等で封止す
る。最後に、背面基板１１および前面基板３１の間隙に
放電ガスを封入し、図１に示すガス放電表示パネル１０
が完成する。

【００４０】この発明は、例示の形態にのみ限定される
ものではないことは明らかである。例えば、上述の形態
例では、パネルを反射型の直流型カラーガス放電表示パ
ネルとしたが、電極にワイヤを用いることが可能なパネ
ルならば、どのようなタイプのガス放電表示パネルに適
用してもよい。

【００４１】

【発明の効果】上述した説明からも明らかなように、こ
の発明のガス放電表示パネルによれば、背面基板に形成
する電極材料に合金ワイヤを用いているため、パネルを
高精細化しても、配線電極の断線や短絡の発生を抑える
ことができる。また、合金ワイヤは配線電極の幅を広げ
ることなく、その厚みを増やすことが容易にできるた
め、パネルが大型化しても配線電極の配線抵抗を抑え
て、発光強度のばらつきを抑えることができる。

【００４２】また、この発明のガス放電表示パネルの製
造方法によれば、接着層および誘電体層を順次に形成し
た後に、誘電体の間隙に電極をはめ込み、接着層を溶融
させて電極を基板に接着固定しているため、背面基板側
に合金ワイヤからなる電極を用いること可能であり、高
精細化に適したパネルを得ることができる。

【００４３】また、電極を背面基板に接着固定すると
き、誘電体の間隙に電極をはめ込んだ後、適当な加圧手
段を用いて、この電極を接着層に押しつけるように加圧
した状態を保持しながら基板を焼成して接着層を溶融さ
せている。このため、電極の固定がより確実となり、電
極が背面基板から浮いたり剥がれたりすることに起因す
る、電極の高さばらつきの発生を防ぐことができる。

【００４４】したがって、断線や短絡を生じにくく、配
線抵抗を小さくできる電極を具えたガス放電表示パネル
を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（Ａ）は実施の形態の説明に供するガス放電表
示パネルの一部を、前面基板側からみた概略的な平面図
であり、（Ｂ）はその断面図である。

【図２】（Ａ）および（Ｂ）はパネルの製造方法の説明
に供する段階的な工程図であり、特に（Ａ）は用いたパ
ネルの一部の平面図、（Ｂ）はその断面図である。

【図３】（Ａ）および（Ｂ）は、図２に続く、段階的な
工程図である。

【図４】（Ａ）および（Ｂ）は、図３に続く、段階的な
工程図である。

【図５】（Ａ）および（Ｂ）は、図４に続く、段階的な
工程図である。

【図６】（Ａ）および（Ｂ）は、図５に続く、段階的な
工程図である。

【図７】図６に続く、段階的な工程図である。

【図８】（Ａ）および（Ｂ）は、図７に続く、段階的な
工程図である。

【図９】（Ａ）および（Ｂ）は、図８に続く、段階的な
工程図である。

【図１０】（Ａ）および（Ｂ）は、図９に続く、段階的
な工程図である。

【図１１】（Ａ）および（Ｂ）は、図１０に続く、段階
的な工程図である。

【符号の説明】

１０：ガス放電表示パネル １１：背面基板 １２：接着層 １３：誘電体層 １５ａ：電極（陽極配線） １５ｂ：電極（補助陽極配線） １７：オーバーコート層 １９ａ：放電陽極 １９ｂ：補助放電陽極 ２１：隔壁 ２３：表示セル ２４：蛍光体 ２５：補助放電セル ３１：前面基板 ３３：陰極 ３５ａ、３５ｂ：陰極嵌め込み溝 ３６：プライミングスリット ４０：誘電体層 ４２：誘電体層形成予定領域 ４４、５０：サンドブラストマスク ４５：石英板 ４６：おもり ４８ａ：放電陽極形成予定領域 ４８ｂ：補助放電陽極形成予定領域

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガス放電表示パネルの背面基板上に設け
   られた、複数列の誘電体層と、 該誘電体層の間隙に嵌め込まれた、前記基板の熱膨張率
   と同一または近似の熱膨張率を有する合金ワイヤをもっ
   て構成された電極と、 前記電極を前記基板に接着固定するためにこれら電極お
   よび基板の間に、該電極に少なくとも一部が接触するパ
   ターンで設けられた接着層であって、かつ前記基板の焼
   成温度よりも軟化点が低い材料の誘電体で構成された接
   着層とを少なくとも具えたことを特徴とするガス放電表
   示パネル。
2. 【請求項２】 複数の表示セルを有する背面基板を具え
   たガス放電表示パネルを製造するに当たり、 ａ）前記基板上に、該基板の焼成温度よりも軟化点が低
   い材料の誘電体で構成された接着層を、該接着層の少な
   くとも一部が、後工程で形成される電極に接触可能なパ
   ターンで形成する工程と、 ｂ）前記ａ）工程が終了した前記基板上に、複数列の誘
   電体層を形成する工程と、 ｃ）該誘電体層の間隙に、前記基板の熱膨張率と同一ま
   たは近似の熱膨張率を有する合金ワイヤをもって構成さ
   れた電極をそれぞれ嵌め込む工程と、 ｄ）嵌め込まれた電極に対し、加圧手段を用いて該電極
   を前記接着層に押しつけるように加圧した状態を保持し
   ながら前記接着層が溶融する温度で焼成することによ
   り、前記電極を前記基板に接着固定する工程とを含むこ
   とを特徴とするガス放電表示パネルの製造方法。