JPH09162265A - ピッチ切替形ウェハ移載機 - Google Patents
ピッチ切替形ウェハ移載機Info
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- JPH09162265A JPH09162265A JP32454395A JP32454395A JPH09162265A JP H09162265 A JPH09162265 A JP H09162265A JP 32454395 A JP32454395 A JP 32454395A JP 32454395 A JP32454395 A JP 32454395A JP H09162265 A JPH09162265 A JP H09162265A
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】カセットとボートとの間でピッチ切替えとウェ
ハ移載をする移載機の提供。 【解決手段】支持台６にピッチ２ｐのウェハ・カセット
２かピッチｐの移送ボート３かが選択的に載る移載位置
6Aを設ける。移載位置6Aに対するボート３又はカセット
２のずれ無し又はピッチｐずれ割出しを割出し機構４に
より行う。移載位置6Aの上方にウェハ挟持機構８を固定
し、この機構８にピッチ２ｐの対向保持溝60及び隣接保
持溝60の間におけるピッチ２ｐのウェハ通過用深溝62が
穿たれた下部挟持ユニット51、ピッチｐの対向保持溝60
が穿たれた上部挟持ユニット52、並びに各挟持ユニット
の対向溝間の間隔を調整する間隔調整ユニットを設け
る。移載位置6Aで移送ボート３又はカセット２とウェハ
挟持機構８との間にｐ以上のピッチのウェハ10を昇降さ
せる押上げ機構９を支持台６に取付ける。
ハ移載をする移載機の提供。 【解決手段】支持台６にピッチ２ｐのウェハ・カセット
２かピッチｐの移送ボート３かが選択的に載る移載位置
6Aを設ける。移載位置6Aに対するボート３又はカセット
２のずれ無し又はピッチｐずれ割出しを割出し機構４に
より行う。移載位置6Aの上方にウェハ挟持機構８を固定
し、この機構８にピッチ２ｐの対向保持溝60及び隣接保
持溝60の間におけるピッチ２ｐのウェハ通過用深溝62が
穿たれた下部挟持ユニット51、ピッチｐの対向保持溝60
が穿たれた上部挟持ユニット52、並びに各挟持ユニット
の対向溝間の間隔を調整する間隔調整ユニットを設け
る。移載位置6Aで移送ボート３又はカセット２とウェハ
挟持機構８との間にｐ以上のピッチのウェハ10を昇降さ
せる押上げ機構９を支持台６に取付ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はピッチ切替形ウェハ移載
機に関し、とくにキャリア・カセット（以下、カセット
という。）内のウェハを倍密度で移送ボートへ移載する
ピッチ切替形ウェハ移載機に関する。
機に関し、とくにキャリア・カセット（以下、カセット
という。）内のウェハを倍密度で移送ボートへ移載する
ピッチ切替形ウェハ移載機に関する。
【０００２】
【従来の技術】図１〜図４を参照するに半導体ウェハ10
を各種処理ステーションの間に移送するため、移載機１
によりステーション内のカセット２と移送ボート３との
相互間でウェハ10を移し替えることが行われている。カ
セット２はその対向側壁15に複数の溝16を有し、その隣
接溝間の間隔に等しいウェハ保持ピッチ（以下、ピッチ
という。）で複数枚のウェハ10を保持する。移送ボート
３では、一対の横部材31によって長い２本の側杆32が平
行に保持され、平行側杆32に穿たれた溝33の対に各ウェ
ハ10の周縁上の２点が嵌入して保持され、保持されるウ
ェハ10のピッチが溝33の間隔によって定まる。
を各種処理ステーションの間に移送するため、移載機１
によりステーション内のカセット２と移送ボート３との
相互間でウェハ10を移し替えることが行われている。カ
セット２はその対向側壁15に複数の溝16を有し、その隣
接溝間の間隔に等しいウェハ保持ピッチ（以下、ピッチ
という。）で複数枚のウェハ10を保持する。移送ボート
３では、一対の横部材31によって長い２本の側杆32が平
行に保持され、平行側杆32に穿たれた溝33の対に各ウェ
ハ10の周縁上の２点が嵌入して保持され、保持されるウ
ェハ10のピッチが溝33の間隔によって定まる。
【０００３】カセット２のピッチと移送ボート３のピッ
チが等しい場合には、両者間におけるウェハ10の移載は
比較的簡単である。処理ステーション側の必要により、
標準的な移送ボート３のピッチより広いピッチのカセッ
ト２を使う場合のピッチ切替形移載機を、本出願人は実
公平2ー25236号公報に開示した。
チが等しい場合には、両者間におけるウェハ10の移載は
比較的簡単である。処理ステーション側の必要により、
標準的な移送ボート３のピッチより広いピッチのカセッ
ト２を使う場合のピッチ切替形移載機を、本出願人は実
公平2ー25236号公報に開示した。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】移送ボート３は石英等
の耐熱性材料によって製作され、加熱炉内での熱処理時
にウェハ10を保持するために使われる場合がある。この
場合には、移送ボート３上にウェハ10を高密度で、即ち
標準的なピッチよりも短いピッチで保持すれば熱処理の
効率を挙げることができる。しかし、標準的なピッチの
カセット２に保持されたウェハ10を、標準より短いピッ
チの移送ボート３に移し替える機能を有する実用的な移
載機はなかった。
の耐熱性材料によって製作され、加熱炉内での熱処理時
にウェハ10を保持するために使われる場合がある。この
場合には、移送ボート３上にウェハ10を高密度で、即ち
標準的なピッチよりも短いピッチで保持すれば熱処理の
効率を挙げることができる。しかし、標準的なピッチの
カセット２に保持されたウェハ10を、標準より短いピッ
チの移送ボート３に移し替える機能を有する実用的な移
載機はなかった。
【０００５】従って、本発明の目的は、標準ピッチのカ
セットとその半分のピッチの移送ボートとの間でウェハ
を移載するピッチ切替形ウェハ移載機を提供するにあ
る。
セットとその半分のピッチの移送ボートとの間でウェハ
を移載するピッチ切替形ウェハ移載機を提供するにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】図１〜図５を参照する
に、本発明のピッチ切替形ウェハ移載機１は、ピッチ２
ｐでウェハ10が入るカセット２とピッチｐでウェハ10が
載る移送ボート３とが順次載置される移載位置6Aを有す
る支持台６；移送ボート３又はカセット２の移載位置6A
へのずれ無し割出し及びカセット２の移載位置6Aへのピ
ッチｐずれ割出しを選択的に行う割出し機構４；移載位
置6Aの上方に移送ボート３及びカセット２の高い方の高
さ以上隔てて支持台６に固定され、ピッチ２ｐの対向保
持溝60と隣接する該保持溝60の間におけるピッチ２ｐの
ウェハ通過用対向深溝62とが穿たれた１対の可動平行挟
持腕53A、54Aを有する下部挟持ユニット51、ピッチｐの
対向保持溝60が穿たれた１対の可動平行挟持腕53B、54B
を有する上部挟持ユニット52、及び各可動平行挟持腕対
53A、54A；53B、54Bの挟持腕間隔を調整する間隔調整ユ
ニット56A、57A；56B、57Bからなるウェハ挟持機構８；
並びに支持台６の移載位置6Aに設けられ、移載位置6Aに
おける移送ボート３又はカセット２とウェハ挟持機構８
との間にｐ以上のピッチのウェハ10の列を昇降させる押
上げ機構９を備えてなるものである。
に、本発明のピッチ切替形ウェハ移載機１は、ピッチ２
ｐでウェハ10が入るカセット２とピッチｐでウェハ10が
載る移送ボート３とが順次載置される移載位置6Aを有す
る支持台６；移送ボート３又はカセット２の移載位置6A
へのずれ無し割出し及びカセット２の移載位置6Aへのピ
ッチｐずれ割出しを選択的に行う割出し機構４；移載位
置6Aの上方に移送ボート３及びカセット２の高い方の高
さ以上隔てて支持台６に固定され、ピッチ２ｐの対向保
持溝60と隣接する該保持溝60の間におけるピッチ２ｐの
ウェハ通過用対向深溝62とが穿たれた１対の可動平行挟
持腕53A、54Aを有する下部挟持ユニット51、ピッチｐの
対向保持溝60が穿たれた１対の可動平行挟持腕53B、54B
を有する上部挟持ユニット52、及び各可動平行挟持腕対
53A、54A；53B、54Bの挟持腕間隔を調整する間隔調整ユ
ニット56A、57A；56B、57Bからなるウェハ挟持機構８；
並びに支持台６の移載位置6Aに設けられ、移載位置6Aに
おける移送ボート３又はカセット２とウェハ挟持機構８
との間にｐ以上のピッチのウェハ10の列を昇降させる押
上げ機構９を備えてなるものである。
【０００７】カセット２から移送ボート３への移載時に
は、移載位置6Aへずれ無し割出しされたカセット２内の
ピッチ２ｐのウェハ10を押上げ機構９により上昇させて
下部挟持ユニット51の保持溝60で挟持し、次に移載位置
6Aへピッチｐずれ割出しされたカセット２のウェハを押
上げ機構９により下部挟持ユニット51の深溝62を介して
上昇させ保持溝60で挟持したウェハ10の間に１枚おきに
差込み同一高さで心合わせした後、上部挟持ユニット52
の保持溝60にピッチｐで挟持し、さらに押上げ機構９に
より移送ボート３へピッチｐで下降させることにより、
ピッチを２ｐからｐへ半減させながら移載する。この場
合、移載位置6Aへの「ずれ無し割出し」とは、下部挟持
ユニット51の平行挟持腕53A、54Aの一端の保持溝60とカ
セット２の一端の溝16又は移送ボート３の一端の溝33と
を位置合わせした割出しである。また、移載位置6Aへの
「ピッチｐずれ割出し」とは、下部挟持ユニット51の平
行挟持腕53A、54Aの一端の保持溝60とカセット２の一端
の溝16又は移送ボート３の一端の溝33とをピッチｐだけ
づらして位置合わせした割出しである。
は、移載位置6Aへずれ無し割出しされたカセット２内の
ピッチ２ｐのウェハ10を押上げ機構９により上昇させて
下部挟持ユニット51の保持溝60で挟持し、次に移載位置
6Aへピッチｐずれ割出しされたカセット２のウェハを押
上げ機構９により下部挟持ユニット51の深溝62を介して
上昇させ保持溝60で挟持したウェハ10の間に１枚おきに
差込み同一高さで心合わせした後、上部挟持ユニット52
の保持溝60にピッチｐで挟持し、さらに押上げ機構９に
より移送ボート３へピッチｐで下降させることにより、
ピッチを２ｐからｐへ半減させながら移載する。この場
合、移載位置6Aへの「ずれ無し割出し」とは、下部挟持
ユニット51の平行挟持腕53A、54Aの一端の保持溝60とカ
セット２の一端の溝16又は移送ボート３の一端の溝33と
を位置合わせした割出しである。また、移載位置6Aへの
「ピッチｐずれ割出し」とは、下部挟持ユニット51の平
行挟持腕53A、54Aの一端の保持溝60とカセット２の一端
の溝16又は移送ボート３の一端の溝33とをピッチｐだけ
づらして位置合わせした割出しである。
【０００８】ピッチｐの移送ボート３からピッチ２ｐの
カセット２への移載は、上記のカセット２から移送ボー
ト３への移載操作を逆順で行えばよい。こうして、本発
明の目的である「標準ピッチのカセットと半分のピッチ
の移送ボートとの間でウェハを移載するピッチ切替形ウ
ェハ移載機の提供」を達成することができる。
カセット２への移載は、上記のカセット２から移送ボー
ト３への移載操作を逆順で行えばよい。こうして、本発
明の目的である「標準ピッチのカセットと半分のピッチ
の移送ボートとの間でウェハを移載するピッチ切替形ウ
ェハ移載機の提供」を達成することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１〜図５の実施例において、割
出し機構４は、移載位置6Aから距離Ｓだけ離れた回転中
心Ｃを有する水平割出しボード５を有する。割出しボー
ド５上でその回転中心Ｃから第１半径方向に距離Ｓの位
置にボート保持孔11Bを設け、その形状を移送ボート３
内のウェハ・ピッチの方向が第１半径方向になる如くし
て移送ボート３を離脱可能に保持できるようにする。こ
のボート保持孔11Bはボート保持手段であるが、本発明
のボート保持手段はこの様な孔に限定されない。また、
割出しボード５上の回転中心Ｃから第２半径方向に距離
Ｓの位置に第１カセット保持孔11Rを設け、その形状を
カセット２内のウェハ・ピッチの方向が第２半径方向と
なる如くしてカセット２を離脱可能に保持できるように
する。第１カセット保持孔11Rは第１カセット保持手段
であるが、本発明の第１カセット保持手段はこの様な孔
に限定されない。更に、割出しボード５上の回転中心Ｃ
から第３半径方向に距離（Ｓーｐ）の位置に第２カセッ
ト保持孔11Lを設け、その形状をカセット２内のウェハ
・ピッチの方向が第３半径方向となる如くしてカセット
２を離脱可能に保持できるようにする。第２カセット保
持孔11Lは第２カセット保持手段であるが、第２カセッ
ト保持手段はこの様な孔に限定されない。
出し機構４は、移載位置6Aから距離Ｓだけ離れた回転中
心Ｃを有する水平割出しボード５を有する。割出しボー
ド５上でその回転中心Ｃから第１半径方向に距離Ｓの位
置にボート保持孔11Bを設け、その形状を移送ボート３
内のウェハ・ピッチの方向が第１半径方向になる如くし
て移送ボート３を離脱可能に保持できるようにする。こ
のボート保持孔11Bはボート保持手段であるが、本発明
のボート保持手段はこの様な孔に限定されない。また、
割出しボード５上の回転中心Ｃから第２半径方向に距離
Ｓの位置に第１カセット保持孔11Rを設け、その形状を
カセット２内のウェハ・ピッチの方向が第２半径方向と
なる如くしてカセット２を離脱可能に保持できるように
する。第１カセット保持孔11Rは第１カセット保持手段
であるが、本発明の第１カセット保持手段はこの様な孔
に限定されない。更に、割出しボード５上の回転中心Ｃ
から第３半径方向に距離（Ｓーｐ）の位置に第２カセッ
ト保持孔11Lを設け、その形状をカセット２内のウェハ
・ピッチの方向が第３半径方向となる如くしてカセット
２を離脱可能に保持できるようにする。第２カセット保
持孔11Lは第２カセット保持手段であるが、第２カセッ
ト保持手段はこの様な孔に限定されない。
【００１０】図示例の割出し機構４は、割出しボード５
に対する回転機構を有する。割出しボード５に回転中心
Ｃと同心的に回転歯車40を取付け、これを軸受け装置41
によって支持台６に保持する。回転歯車40に駆動ピニオ
ン42を噛合させ、伝動装置43を介して割出しモータ44か
らピニオン42、回転歯車40及び割出しボード５を所望角
度位置へ回転して割出す。
に対する回転機構を有する。割出しボード５に回転中心
Ｃと同心的に回転歯車40を取付け、これを軸受け装置41
によって支持台６に保持する。回転歯車40に駆動ピニオ
ン42を噛合させ、伝動装置43を介して割出しモータ44か
らピニオン42、回転歯車40及び割出しボード５を所望角
度位置へ回転して割出す。
【００１１】図示例のウェハ挟持機構８は、図１(Ｃ)の
ブラケット7Aにより支持台６の上方に十分な間隔をおい
て固定され、支持台６とウェハ挟持機構８との間に移送
ボート３及びカセット２を選択的に載置できるようにす
る。図示してない案内部材により、下部挟持ユニット51
の１対の可動平行挟持腕53A、54Aを相互に平行に保持
し、また上部挟持ユニット52の可動平行挟持腕53B、54B
をも相互に平行に保持する。可動平行挟持腕の対53A、5
4A又は53B、54Bの対内の平行挟持腕の間には、挟持ばね
55A又は55Bの圧縮力が働き、それらの平行挟持腕の間隔
は、例えば空気圧シリンダ等の流体圧シリンダからなる
間隔調整ユニット56A、57Aの対又は56B、57Bの対によっ
てそれぞれ調整される。下部挟持ユニット51の腕53A、5
4Aには、図８に示すようにピッチ２ｐの対向保持溝60及
び隣接する保持溝60の間におけるピッチ２ｐのウェハ通
過用対向深溝62の穿たれた下部挟持溝部材58R、58Lがそ
れらの溝60、62を相互に対向させて取付けられる。さら
に、上部挟持ユニット52の腕53B、54Bには、図９に示す
ようにピッチｐの対向保持溝60の穿たれた上部挟持溝部
材59R、59Lがそれらの溝60を相互に対向させて取付けら
れる。
ブラケット7Aにより支持台６の上方に十分な間隔をおい
て固定され、支持台６とウェハ挟持機構８との間に移送
ボート３及びカセット２を選択的に載置できるようにす
る。図示してない案内部材により、下部挟持ユニット51
の１対の可動平行挟持腕53A、54Aを相互に平行に保持
し、また上部挟持ユニット52の可動平行挟持腕53B、54B
をも相互に平行に保持する。可動平行挟持腕の対53A、5
4A又は53B、54Bの対内の平行挟持腕の間には、挟持ばね
55A又は55Bの圧縮力が働き、それらの平行挟持腕の間隔
は、例えば空気圧シリンダ等の流体圧シリンダからなる
間隔調整ユニット56A、57Aの対又は56B、57Bの対によっ
てそれぞれ調整される。下部挟持ユニット51の腕53A、5
4Aには、図８に示すようにピッチ２ｐの対向保持溝60及
び隣接する保持溝60の間におけるピッチ２ｐのウェハ通
過用対向深溝62の穿たれた下部挟持溝部材58R、58Lがそ
れらの溝60、62を相互に対向させて取付けられる。さら
に、上部挟持ユニット52の腕53B、54Bには、図９に示す
ようにピッチｐの対向保持溝60の穿たれた上部挟持溝部
材59R、59Lがそれらの溝60を相互に対向させて取付けら
れる。
【００１２】図１０(Ａ)は、間隔調整ユニット56B、57B
の対により上部挟持ユニット52の可動平行挟持腕53B、5
4Bの間隔を広げた後押上げ機構９によりウェハ10を高位
置へ一旦押上げ、その間隔を狭めてウェハ10を保持溝60
の保持底61に保持した状態を示す。下部挟持ユニット51
の対向保持溝60も図１０(Ａ)に示す態様でウェハ10を保
持する。図１０(Ｂ)は、間隔調整ユニット56A、57Aの対
により下部挟持ユニット51の可動平行挟持腕53A、54Aの
間隔調整と押上げ機構９の押上げとによりウェハ10を上
記のように保持溝60で保持した時に、他のウェハ10が深
溝62の対向貫通底63の間を自由に通過できることを示
す。
の対により上部挟持ユニット52の可動平行挟持腕53B、5
4Bの間隔を広げた後押上げ機構９によりウェハ10を高位
置へ一旦押上げ、その間隔を狭めてウェハ10を保持溝60
の保持底61に保持した状態を示す。下部挟持ユニット51
の対向保持溝60も図１０(Ａ)に示す態様でウェハ10を保
持する。図１０(Ｂ)は、間隔調整ユニット56A、57Aの対
により下部挟持ユニット51の可動平行挟持腕53A、54Aの
間隔調整と押上げ機構９の押上げとによりウェハ10を上
記のように保持溝60で保持した時に、他のウェハ10が深
溝62の対向貫通底63の間を自由に通過できることを示
す。
【００１３】図５の押上げ機構９は、支持台６に取付け
られる固定枠19、この固定枠19上の駆動モータ21から伝
動装置22を介して駆動される可動枠20用の昇降装置23を
有する。可動枠20の上端には、昇降時に複数のウェハ10
を確実に保持するための把持ユニット24を設けることが
できる。
られる固定枠19、この固定枠19上の駆動モータ21から伝
動装置22を介して駆動される可動枠20用の昇降装置23を
有する。可動枠20の上端には、昇降時に複数のウェハ10
を確実に保持するための把持ユニット24を設けることが
できる。
【００１４】
【実施例】従来のカセット２における標準的なピッチは
4.76mmであるが、移送ボートのウェハ密度を倍加すると
ピッチは2.38mmと狭くなる。下部挟持ユニット51の対向
保持溝60に標準的ピッチで挟持されたウェハ10の間に別
のウェハ10を差込むためには後者のウェハ10を直立させ
ることが望ましい。図６、図７に示す把持ユニット24
は、可動枠20に設けた一対の垂直板20aの各々の頂部に
取付けた固定フォーク25及び可動の締付けフォーク26か
らなる。両フォーク25、26は、図７に示すようにそれぞ
れの頂部に形成された同一形状の溝39の列を有する。締
付けフォーク26は、垂直板20a上で固定フォーク25と並
行に往復するスライダー27に固定され、ばね28がスライ
ダー27を常時図７(Ｂ)の矢印Ｍの方向、即ち固定フォー
ク25の溝39の谷間に締付けフォーク26の溝39の山が重な
る向きに一定張力で引張る。ピン29がクランクプレート
35を枢支し、クランクプレート35上の第１ローラ36及び
第２ローラ37が、それぞれクランクプレート35の切欠き
27a及び操作杆38の頂面に係合する。適当な制御手段
（図示せず）により操作杆38が矢印Ｕのように押上げら
れると、クランクプレート35が矢印Ｒのように反時計方
向に回転し、第１ローラ36と切欠き27aとの係合により
スライダー27及び締付けフォーク26をばね28に抗して図
７(Ａ)の矢印Ｈの方向、即ち固定フォーク25の溝39の谷
間と締付けフォーク26の溝39の谷間とが重なる向きに動
かす。
4.76mmであるが、移送ボートのウェハ密度を倍加すると
ピッチは2.38mmと狭くなる。下部挟持ユニット51の対向
保持溝60に標準的ピッチで挟持されたウェハ10の間に別
のウェハ10を差込むためには後者のウェハ10を直立させ
ることが望ましい。図６、図７に示す把持ユニット24
は、可動枠20に設けた一対の垂直板20aの各々の頂部に
取付けた固定フォーク25及び可動の締付けフォーク26か
らなる。両フォーク25、26は、図７に示すようにそれぞ
れの頂部に形成された同一形状の溝39の列を有する。締
付けフォーク26は、垂直板20a上で固定フォーク25と並
行に往復するスライダー27に固定され、ばね28がスライ
ダー27を常時図７(Ｂ)の矢印Ｍの方向、即ち固定フォー
ク25の溝39の谷間に締付けフォーク26の溝39の山が重な
る向きに一定張力で引張る。ピン29がクランクプレート
35を枢支し、クランクプレート35上の第１ローラ36及び
第２ローラ37が、それぞれクランクプレート35の切欠き
27a及び操作杆38の頂面に係合する。適当な制御手段
（図示せず）により操作杆38が矢印Ｕのように押上げら
れると、クランクプレート35が矢印Ｒのように反時計方
向に回転し、第１ローラ36と切欠き27aとの係合により
スライダー27及び締付けフォーク26をばね28に抗して図
７(Ａ)の矢印Ｈの方向、即ち固定フォーク25の溝39の谷
間と締付けフォーク26の溝39の谷間とが重なる向きに動
かす。
【００１５】使用時には、操作杆38を常時押上げて固定
フォーク25の溝39の谷間が締付けフォーク26の溝39の谷
間と重なった状態におき、ウェハ10の下縁が溝39の谷間
に入り込めるようにする。入り込んだウェハ10を把持す
るには、操作杆38を下げてクランクプレート35をばね28
の弾性で矢印Ｒと反対向きに回し、締付けフォーク26を
前記矢印Ｍの方向へ送り、固定フォーク25の溝39の谷間
に締付けフォーク26の溝39の山が重なるようにする。こ
の時、ウェハ10の下縁が２ヶ所で（図１０参照）固定フ
ォーク25の溝39の垂直壁39aと締付けフォーク26の溝39
の垂直壁39aとによって締付けられる。従って、ウェハ1
0は、把持ユニット24に確実に把持され、垂直壁39aが十
分に長ければウェハ10を直立させて把持することができ
る。
フォーク25の溝39の谷間が締付けフォーク26の溝39の谷
間と重なった状態におき、ウェハ10の下縁が溝39の谷間
に入り込めるようにする。入り込んだウェハ10を把持す
るには、操作杆38を下げてクランクプレート35をばね28
の弾性で矢印Ｒと反対向きに回し、締付けフォーク26を
前記矢印Ｍの方向へ送り、固定フォーク25の溝39の谷間
に締付けフォーク26の溝39の山が重なるようにする。こ
の時、ウェハ10の下縁が２ヶ所で（図１０参照）固定フ
ォーク25の溝39の垂直壁39aと締付けフォーク26の溝39
の垂直壁39aとによって締付けられる。従って、ウェハ1
0は、把持ユニット24に確実に把持され、垂直壁39aが十
分に長ければウェハ10を直立させて把持することができ
る。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明のピッチ切替
形ウェハ移載機は、カセット及び移送ボートの割出し機
構とウェハ挟持機構と押上げ機構との組合わせにより、
ピッチを切替えながらウェハを移載するので、次の顕著
な効果を奏する。 (イ)ウェハを標準ピッチのカセットから移送ボートへ倍
密度で移載することができる。 (ロ)操作を完全に自動化して動作を確実にすることがで
きる。 (ハ)構造が比較的簡単で低コスト製作が可能である。
形ウェハ移載機は、カセット及び移送ボートの割出し機
構とウェハ挟持機構と押上げ機構との組合わせにより、
ピッチを切替えながらウェハを移載するので、次の顕著
な効果を奏する。 (イ)ウェハを標準ピッチのカセットから移送ボートへ倍
密度で移載することができる。 (ロ)操作を完全に自動化して動作を確実にすることがで
きる。 (ハ)構造が比較的簡単で低コスト製作が可能である。
【図１】は、本発明の一実施例の平面図、正面図、及び
側面図である。
側面図である。
【図２】は、カセットの一例の斜視図である。
【図３】は、移送ボートの一例の端面図である。
【図４】は、図３の移送ボートの平面図である。
【図５】は、本発明の移載機の分解斜視図である。
【図６】は、把持ユニットの斜視図である。
【図７】は、把持ユニットの要部拡大図である。
【図８】は、下部挟持ユニットの平面図である。
【図９】は、上部挟持ユニットの平面図である。
【図１０】は、上部及び下部挟持ユニットの動作時の断
面図である。
面図である。
１…移載機 ２…カセット ３…移送ボート ４…割出し機構 ５…割出しボード ６…支持台 ７…上部支持板 ８…ウェハ挟持機構 ９…押上げ機構 10…ウェハ 11R、11L…カセット保持孔 11B…ボート保持孔 15…対向側壁 16、33、39…溝 19…固定枠 20…可動枠 21…駆動モータ 22、43…伝動装置 24…把持ユニット 25…固定フォーク 26…締付けフォーク 27…スライダー 28…ばね 29…枢支ピン 31…横部材 32…側杆 35…クランクプレート 36…第１ローラ 37…第２ローラ 38…操作杆 40…回転歯車 41…軸受装置 42…ピニオン 44…割出しモータ 51…下部挟持ユニット 52…上部挟持ユニット 53、54…平行挟持腕 55…挟持ばね 56、57…間隔調整ユニット 58…下部挟持溝部材 59…上部挟持溝部材 60…保持溝 61…保持底 62…深溝 63…貫通底。
Claims (5)
- 【請求項１】ピッチ２ｐでウェハが入るカセットとピッ
チｐでウェハが載る移送ボートとが順次載置される移載
位置を有する支持台；前記移送ボート又はカセットの移
載位置へのずれ無し割出し及び前記カセットの移載位置
へのピッチｐずれ割出しを選択的に行う割出し機構；前
記移載位置の上方に移送ボート及びカセットの高い方の
高さ以上隔てて支持台に固定され、ピッチ２ｐの対向保
持溝と隣接する該保持溝の間におけるピッチ２ｐのウェ
ハ通過用対向深溝とが穿たれた１対の可動平行挟持腕を
有する下部挟持ユニット、ピッチｐの対向保持溝が穿た
れた１対の可動平行挟持腕を有する上部挟持ユニット、
及び前記各可動平行挟持腕対の挟持腕間隔を調整する間
隔調整ユニットからなるウェハ挟持機構；並びに前記支
持台の移載位置に設けられ、該移載位置における移送ボ
ート又はカセットと前記ウェハ挟持機構との間にｐ以上
のピッチのウェハ列を昇降させる押上げ機構を備え、ず
れ無し割出しされたカセット内のピッチ２ｐのウェハを
上昇させ下部挟持ユニットの保持溝で挟持し、次にピッ
チｐずれ割出しされたカセットのウェハを下部挟持ユニ
ットの深溝を介して上昇させ保持溝挟持のウェハと心合
わせした後上部挟持ユニットの保持溝にピッチｐで挟持
し、さらに移送ボートへピッチｐで下降させてなるピッ
チ切替形ウェハ移載機。 - 【請求項２】請求項１のウェハ移載機において、前記割
出し機構に、前記移載位置から距離Ｓだけ離れた位置に
回転中心を有する水平割出しボード、前記回転中心から
第１半径方向に距離Ｓの前記ボード上の位置に設けられ
ウェハ・ピッチの方向が第１半径方向になる如く移送ボ
ートを離脱可能に保持するボート保持手段、前記回転中
心から第２半径方向に距離Ｓの前記ボード上の位置に設
けられウェハ・ピッチの方向が第２半径方向となる如く
前記カセットを離脱可能に保持する第１カセット保持手
段、前記回転中心から第３半径方向に距離（Ｓーｐ）の
前記ボード上の位置に設けられウェハ・ピッチの方向が
第３半径方向となる如く前記カセットを離脱可能に保持
する第２カセット保持手段、及び前記割出しボードの回
転装置を設けてなるピッチ切替形ウェハ移載機。 - 【請求項３】請求項２のウェハ移載機において、前記割
出し機構のボート保持手段に対する第１半径方向を、前
記第１カセット保持手段に対する第２半径方向と前記第
２カセット保持手段に対する第３半径方向との中間とし
てなるピッチ切替形ウェハ移載機。 - 【請求項４】請求項１、２、又は３のウェハ移載機にお
いて、前記押上げ機構にウェハの下方部分を選択的に把
持する把持ユニットを含めてなるピッチ切替形ウェハ移
載機。 - 【請求項５】請求項１、２、３、又は４のウェハ移載機
において、前記間隔調整ユニットに各可動平行挟持腕対
内の各挟持腕へ結合した流体圧シリンダーを含めてなる
ピッチ切替形ウェハ移載機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32454395A JP3139951B2 (ja) | 1995-12-13 | 1995-12-13 | ピッチ切替形ウェハ移載機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32454395A JP3139951B2 (ja) | 1995-12-13 | 1995-12-13 | ピッチ切替形ウェハ移載機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09162265A true JPH09162265A (ja) | 1997-06-20 |
| JP3139951B2 JP3139951B2 (ja) | 2001-03-05 |
Family
ID=18166987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32454395A Expired - Fee Related JP3139951B2 (ja) | 1995-12-13 | 1995-12-13 | ピッチ切替形ウェハ移載機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3139951B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6138695A (en) * | 1997-03-07 | 2000-10-31 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate processing apparatus |
| KR101106100B1 (ko) * | 2009-08-28 | 2012-01-18 | 주식회사 포틱스 | 솔라 셀 웨이퍼 피치조절장치 |
| CN113628993A (zh) * | 2021-08-18 | 2021-11-09 | 昆山冠昂智能科技有限公司 | 一种整体式晶圆调距传片机 |
| WO2024060277A1 (zh) * | 2022-09-20 | 2024-03-28 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 夹持装置、机械手以及机械装置 |
-
1995
- 1995-12-13 JP JP32454395A patent/JP3139951B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6138695A (en) * | 1997-03-07 | 2000-10-31 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate processing apparatus |
| WO2004075285A1 (ja) * | 1997-03-07 | 2004-09-02 | Takuya Shibao | 基板処理装置 |
| KR101106100B1 (ko) * | 2009-08-28 | 2012-01-18 | 주식회사 포틱스 | 솔라 셀 웨이퍼 피치조절장치 |
| CN113628993A (zh) * | 2021-08-18 | 2021-11-09 | 昆山冠昂智能科技有限公司 | 一种整体式晶圆调距传片机 |
| WO2024060277A1 (zh) * | 2022-09-20 | 2024-03-28 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 夹持装置、机械手以及机械装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3139951B2 (ja) | 2001-03-05 |
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