JPH09170088A - エッチング用搬送ガイドローラ及びフォトレジスト膜除去方法 - Google Patents
エッチング用搬送ガイドローラ及びフォトレジスト膜除去方法Info
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- JPH09170088A JPH09170088A JP7332397A JP33239795A JPH09170088A JP H09170088 A JPH09170088 A JP H09170088A JP 7332397 A JP7332397 A JP 7332397A JP 33239795 A JP33239795 A JP 33239795A JP H09170088 A JPH09170088 A JP H09170088A
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- roller
- guide roller
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- 238000005530 etching Methods 0.000 title claims abstract description 24
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Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明の課題は、ガイドロールの外周に絡み付
いたフォトレジスト膜を効率的に且つガイドロールその
ものに傷つけることのないエッチング用搬送ガイドロー
ラ及びフォトレジスト膜除去方法を提供することにあ
る。 【解決手段】本発明は次の２点にある。 円周面上に長手方向に沿って軸芯方向に開口された
ローラ溝部が設けられて成ることを特徴とするエッチン
グ用搬送ガイドローラ。 円周面上に長手方向に沿って軸芯方向に開口された
ローラ溝部が設けられて成るエッチング用搬送ガイドロ
ーラ上に巻き付いたフォトレジスト膜の上から前記ロー
ラ溝部内に切込ナイフにて切込みを入れ、然る後該切れ
目に沿って前記フォトレジスト膜を除去することを特徴
とするフォトレジスト膜除去方法。
いたフォトレジスト膜を効率的に且つガイドロールその
ものに傷つけることのないエッチング用搬送ガイドロー
ラ及びフォトレジスト膜除去方法を提供することにあ
る。 【解決手段】本発明は次の２点にある。 円周面上に長手方向に沿って軸芯方向に開口された
ローラ溝部が設けられて成ることを特徴とするエッチン
グ用搬送ガイドローラ。 円周面上に長手方向に沿って軸芯方向に開口された
ローラ溝部が設けられて成るエッチング用搬送ガイドロ
ーラ上に巻き付いたフォトレジスト膜の上から前記ロー
ラ溝部内に切込ナイフにて切込みを入れ、然る後該切れ
目に沿って前記フォトレジスト膜を除去することを特徴
とするフォトレジスト膜除去方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はエッチング用搬送ガ
イドローラ及びフォトレジスト膜除去方法に関するもの
である。
イドローラ及びフォトレジスト膜除去方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】近年における半導体の進歩には著しいも
のがある。
のがある。
【０００３】この種の半導体の基板材としてリードフレ
ームが大量に生産されている。
ームが大量に生産されている。
【０００４】このリードフレームの一般的な製造方法
は、例えば特開平５−１７５３８８号公報、特開平５−
２２６８０９号公報、特開平５−２４７６７１号公報等
で公知である。
は、例えば特開平５−１７５３８８号公報、特開平５−
２２６８０９号公報、特開平５−２４７６７１号公報等
で公知である。
【０００５】即ち、一般的なリードフレームの製造方法
は次のように行われている。
は次のように行われている。
【０００６】 長尺の金属条上にフォトレジスト材の
塗布作業 塗布されたフォトレジスト膜の上から所定のマスク
を当てて露光による焼付、現像作業 エッチング工程 フォトレジスト膜の剥離工程 こののフォトレジスト膜の剥離工程を経たものは実質
的にリードフレームの完成品となる。
塗布作業 塗布されたフォトレジスト膜の上から所定のマスク
を当てて露光による焼付、現像作業 エッチング工程 フォトレジスト膜の剥離工程 こののフォトレジスト膜の剥離工程を経たものは実質
的にリードフレームの完成品となる。
【０００７】さて、これら〜の工程は長尺の金属条
の加工工程であることから、長尺の金属条はガイドロー
ル、例えばプラスチック製ロール、金属製ロール等を介
して送り出される。
の加工工程であることから、長尺の金属条はガイドロー
ル、例えばプラスチック製ロール、金属製ロール等を介
して送り出される。
【０００８】ここにおいてのフォトレジスト膜の剥離
工程ではこれらのガイドロールは、特開平５−２４７６
７１号公報第４図に見られるように、複数個が用いられ
ている。
工程ではこれらのガイドロールは、特開平５−２４７６
７１号公報第４図に見られるように、複数個が用いられ
ている。
【０００９】ところでこのようなのフォトレジスト膜
の剥離工程では当然ながら剥離したフォトレジスト膜が
これらのガイドロールに絡み付くというトラブルが避け
られない。
の剥離工程では当然ながら剥離したフォトレジスト膜が
これらのガイドロールに絡み付くというトラブルが避け
られない。
【００１０】このようにガイドロールの外周に絡み付い
たフォトレジスト膜は長尺の金属条の送り出し性を悪化
させ、リードフレーム製品の外観を悪化させ、そしてフ
ォトレジスト膜除去に伴う作業性を低下させる等の難点
があった。
たフォトレジスト膜は長尺の金属条の送り出し性を悪化
させ、リードフレーム製品の外観を悪化させ、そしてフ
ォトレジスト膜除去に伴う作業性を低下させる等の難点
があった。
【００１１】従来、このガイドロールの外周に絡み付い
たフォトレジスト膜の除去作業は水を掛けながら手作業
で行うもので極めて非能率的なものであった。
たフォトレジスト膜の除去作業は水を掛けながら手作業
で行うもので極めて非能率的なものであった。
【００１２】この際フォトレジスト膜除去の作業性を向
上させるためナイフ等の刃物で傷をつけてから手作業で
除去するときには、ガイドロールに傷をつける懸念があ
って好ましい手段ではなかった。
上させるためナイフ等の刃物で傷をつけてから手作業で
除去するときには、ガイドロールに傷をつける懸念があ
って好ましい手段ではなかった。
【００１３】このような訳でガイドロールの外周に絡み
付いたフォトレジスト膜を効率的に且つガイドロールそ
のものに傷つけることのないエッチング用搬送ガイドロ
ーラ及びフォトレジスト膜除去方法が望まれていた。
付いたフォトレジスト膜を効率的に且つガイドロールそ
のものに傷つけることのないエッチング用搬送ガイドロ
ーラ及びフォトレジスト膜除去方法が望まれていた。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる点に立
って為されたものであって、その目的とするところは前
記した従来技術の欠点を解消し、ガイドロールの外周に
絡み付いたフォトレジスト膜を効率的に且つガイドロー
ルそのものに傷つけることのないエッチング用搬送ガイ
ドローラ及びフォトレジスト膜除去方法を提供すること
にある。
って為されたものであって、その目的とするところは前
記した従来技術の欠点を解消し、ガイドロールの外周に
絡み付いたフォトレジスト膜を効率的に且つガイドロー
ルそのものに傷つけることのないエッチング用搬送ガイ
ドローラ及びフォトレジスト膜除去方法を提供すること
にある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨とするとこ
ろは、次の２点にある。
ろは、次の２点にある。
【００１６】 円周面上に長手方向に沿って軸芯方向
に開口されたローラ溝部が設けられて成ることを特徴と
するエッチング用搬送ガイドローラ。
に開口されたローラ溝部が設けられて成ることを特徴と
するエッチング用搬送ガイドローラ。
【００１７】 円周面上に長手方向に沿って軸芯方向
に開口されたローラ溝部が設けられて成るエッチング用
搬送ガイドローラ上に巻き付いたフォトレジスト膜の上
から前記ローラ溝部内に切込ナイフにより切込みを入
れ、然る後該切込線に沿って前記フォトレジスト膜を開
口しなから除去することを特徴とするフォトレジスト膜
除去方法。
に開口されたローラ溝部が設けられて成るエッチング用
搬送ガイドローラ上に巻き付いたフォトレジスト膜の上
から前記ローラ溝部内に切込ナイフにより切込みを入
れ、然る後該切込線に沿って前記フォトレジスト膜を開
口しなから除去することを特徴とするフォトレジスト膜
除去方法。
【００１８】本発明においてローラ溝部の溝幅を切込ナ
イフの幅の１０２〜１４５％とするのが望ましい。
イフの幅の１０２〜１４５％とするのが望ましい。
【００１９】また、ローラ溝部は１個でもよいが、円周
方向に間隔をおいて複数個設けることもできる。
方向に間隔をおいて複数個設けることもできる。
【００２０】
【発明の実施の形態】次に、本発明のエッチング用搬送
ガイドローラ及びフォトレジスト膜除去方法の実施の形
態について説明する。
ガイドローラ及びフォトレジスト膜除去方法の実施の形
態について説明する。
【００２１】図１は本実施の形態に係るエッチング用搬
送ガイドローラの拡大横断面図を示したものである。ま
た、図２は図１の正面図である。
送ガイドローラの拡大横断面図を示したものである。ま
た、図２は図１の正面図である。
【００２２】図１及び図２において１はローラ本体部、
２はゴムライニング層、３は軸芯、４はローラ溝部であ
る。
２はゴムライニング層、３は軸芯、４はローラ溝部であ
る。
【００２３】即ち、ローラ溝部４はローラ本体部１の外
周面から軸芯３に向かって開口され、その溝幅は切り込
みナイフの刃幅より僅かに大きく、またその溝深さは切
込ナイフの刃部より僅かに長くすることが適当である。
周面から軸芯３に向かって開口され、その溝幅は切り込
みナイフの刃幅より僅かに大きく、またその溝深さは切
込ナイフの刃部より僅かに長くすることが適当である。
【００２４】ここにおいてローラ溝部４の溝幅を極端に
大きくするとフォトレジスト膜やリードフレーム製品が
入り込み、更に除去作業を厄介にしたり、リードフレー
ム製品のピン曲がり不良を発生する懸念がある。
大きくするとフォトレジスト膜やリードフレーム製品が
入り込み、更に除去作業を厄介にしたり、リードフレー
ム製品のピン曲がり不良を発生する懸念がある。
【００２５】そこで切込ナイフはできるだけ薄い刃のも
のを用い、またローラ溝部４の溝幅もその刃幅より僅か
に大きく、例えばローラ溝部４の溝幅は切込ナイフ刃幅
の１０２〜１４５％にするのが望ましい。
のを用い、またローラ溝部４の溝幅もその刃幅より僅か
に大きく、例えばローラ溝部４の溝幅は切込ナイフ刃幅
の１０２〜１４５％にするのが望ましい。
【００２６】なお、図１のエッチング用搬送ガイドロー
ラではローラ溝部４は１箇所であるが、円周方向に適宜
ずらして数箇所、例えば円周方向に１８０度ずらして２
箇所、円周方向に９０度ずらして４箇所等となるように
設けることもできる。
ラではローラ溝部４は１箇所であるが、円周方向に適宜
ずらして数箇所、例えば円周方向に１８０度ずらして２
箇所、円周方向に９０度ずらして４箇所等となるように
設けることもできる。
【００２７】図３は図１のエッチング用搬送ガイドロー
ラの外周にフォトレジスト膜５が巻き付いた状態を示し
た部分拡大横断面を示したものである。
ラの外周にフォトレジスト膜５が巻き付いた状態を示し
た部分拡大横断面を示したものである。
【００２８】また図４は切込ナイフの正面図である。
【００２９】図４において６は柄部、７は刃先部であ
る。
る。
【００３０】いま、図３のようにエッチング用搬送ガイ
ドローラの外周にフォトレジスト膜５が巻き付いた状態
のとき、図４のような切込ナイフを用いてローラ溝部４
の上層からフォトレジスト膜５を軸芯３の方向に沿って
切り込むと、フォトレジスト膜５はその切れ目より容易
にゴムライニング層２から除去することができる。
ドローラの外周にフォトレジスト膜５が巻き付いた状態
のとき、図４のような切込ナイフを用いてローラ溝部４
の上層からフォトレジスト膜５を軸芯３の方向に沿って
切り込むと、フォトレジスト膜５はその切れ目より容易
にゴムライニング層２から除去することができる。
【００３１】図５はそのゴムライニング層２から除去し
たフォトレジスト膜の斜視図である。 図５において８
は除去したフォトレジスト膜、９、９は切れ目である。
たフォトレジスト膜の斜視図である。 図５において８
は除去したフォトレジスト膜、９、９は切れ目である。
【００３２】このようなエッチング用搬送ガイドローラ
及びフォトレジスト膜除去方法によれば、ガイドロール
の外周に絡み付いたフォトレジスト膜を極めて効率的に
且つガイドロールそのものに傷つけるなくフォトレジス
ト膜を除去できる。
及びフォトレジスト膜除去方法によれば、ガイドロール
の外周に絡み付いたフォトレジスト膜を極めて効率的に
且つガイドロールそのものに傷つけるなくフォトレジス
ト膜を除去できる。
【００３３】
【発明の効果】本発明のエッチング用搬送ガイドローラ
及びフォトレジスト膜除去方法によれば、ガイドロール
の外周に絡み付いたフォトレジスト膜を極めて効率的に
且つガイドロールそのものに傷つけるなくフォトレジス
ト膜を除去できるものであり、工業上有用である。
及びフォトレジスト膜除去方法によれば、ガイドロール
の外周に絡み付いたフォトレジスト膜を極めて効率的に
且つガイドロールそのものに傷つけるなくフォトレジス
ト膜を除去できるものであり、工業上有用である。
【図１】図１は本発明の実施の形態に係るエッチング用
搬送ガイドローラの拡大横断面図である。
搬送ガイドローラの拡大横断面図である。
【図２】同ローラの正面図である。
【図３】エッチング用搬送ガイドローラの外周にフォト
レジスト膜が巻き付いた状態を示した部分拡大横断面で
ある。
レジスト膜が巻き付いた状態を示した部分拡大横断面で
ある。
【図４】切込ナイフの正面図である。
【図５】ゴムライニング層から除去したフォトレジスト
膜の斜視図である。
膜の斜視図である。
１ ローラ本体部 ２ ゴムライニング層 ３ 軸芯 ４ ローラ溝部 ５ 巻き付いたフォトレジスト膜 ６ 柄部 ７ 刃先部 ８ 除去したフォトレジスト膜 ９ 切れ目
Claims (4)
- 【請求項１】円周面上Ｉ長手方向に沿って軸芯方向に開
口されたローラ溝部が設けられて成ることを特徴とする
エッチング用搬送ガイドローラ。 - 【請求項２】ローラ溝部の溝幅を切込ナイフの幅の１０
２〜１４５％としたことを特徴とする請求項１記載のエ
ッチング用搬送ガイドローラ。 - 【請求項３】ローラ溝部を円周方向に間隔をおいて複数
個設けて成ることを特徴とする請求項１記載のエッチン
グ用搬送ガイドローラ。 - 【請求項４】円周面上に長手方向に沿って軸芯方向に開
口されたローラ溝部が設けられて成るエッチング用搬送
ガイドローラ上に巻き付いたフォトレジスト膜の上から
前記ローラ溝部内に切込ナイフにより切込みを入れ、然
る後該切れ目に沿って前記フォトレジスト膜を開口しな
から除去することを特徴とするフォトレジスト膜除去方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7332397A JPH09170088A (ja) | 1995-12-20 | 1995-12-20 | エッチング用搬送ガイドローラ及びフォトレジスト膜除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7332397A JPH09170088A (ja) | 1995-12-20 | 1995-12-20 | エッチング用搬送ガイドローラ及びフォトレジスト膜除去方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09170088A true JPH09170088A (ja) | 1997-06-30 |
Family
ID=18254521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7332397A Pending JPH09170088A (ja) | 1995-12-20 | 1995-12-20 | エッチング用搬送ガイドローラ及びフォトレジスト膜除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09170088A (ja) |
-
1995
- 1995-12-20 JP JP7332397A patent/JPH09170088A/ja active Pending
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Legal Events
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