JPH0917342A - Ｘ線管の焦点寸法測定方法及び測定装置 - Google Patents
Ｘ線管の焦点寸法測定方法及び測定装置Info
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- JPH0917342A JPH0917342A JP7161628A JP16162895A JPH0917342A JP H0917342 A JPH0917342 A JP H0917342A JP 7161628 A JP7161628 A JP 7161628A JP 16162895 A JP16162895 A JP 16162895A JP H0917342 A JPH0917342 A JP H0917342A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は、計測のばらつきがなく、測定精度
が向上し作業時間の短いＸ線管の焦点寸法測定方法及び
測定装置を提供することを目的とする。 【構成】この発明のＸ線管の焦点寸法測定方法及び測定
装置は、Ｘ線管１０から発生されたＸ線をカメラ部４で
取込み、この取込んだ信号を画像処理部６で画像処理
し、Ｘ線管の陰極から発生した電子が陽極タ−ゲットに
衝突した部分の焦点像の寸法を測定し、この寸法値が規
定値範囲内にあるかどうかをコンピュ−タ１５で自動的
に判定することにより、上記の目的を達成することが出
来る。
が向上し作業時間の短いＸ線管の焦点寸法測定方法及び
測定装置を提供することを目的とする。 【構成】この発明のＸ線管の焦点寸法測定方法及び測定
装置は、Ｘ線管１０から発生されたＸ線をカメラ部４で
取込み、この取込んだ信号を画像処理部６で画像処理
し、Ｘ線管の陰極から発生した電子が陽極タ−ゲットに
衝突した部分の焦点像の寸法を測定し、この寸法値が規
定値範囲内にあるかどうかをコンピュ−タ１５で自動的
に判定することにより、上記の目的を達成することが出
来る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、Ｘ線管の焦点寸法測
定方法及び測定装置に関する。
定方法及び測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に回転陽極型Ｘ線管は図５に示すよ
うに構成され、真空外囲器２０内に陰極１７と陽極タ−
ゲット１８とが対向配設されている。動作時には、陰極
１７−陽極タ−ゲット１８間に、陽極タ−ゲット１８が
プラスになるよう高電圧を印加する。その状態で、陰極
１７の集束カップ２１内にあるフィラメント１６に通電
することにより、その温度を上昇させることで陰極１７
から電子を発生させ、陽極タ−ゲット１８に高速で衝突
させてＸ線を発生させている。この時、陽極タ−ゲット
１８に電子が当たる面積（以後、焦点寸法と呼ぶ）に
は、それぞれの管球ごとに規定値があり、これ以下でな
いと撮影したＸ線像がぼやける等の不具合を生じ、正し
い映像が得られない。
うに構成され、真空外囲器２０内に陰極１７と陽極タ−
ゲット１８とが対向配設されている。動作時には、陰極
１７−陽極タ−ゲット１８間に、陽極タ−ゲット１８が
プラスになるよう高電圧を印加する。その状態で、陰極
１７の集束カップ２１内にあるフィラメント１６に通電
することにより、その温度を上昇させることで陰極１７
から電子を発生させ、陽極タ−ゲット１８に高速で衝突
させてＸ線を発生させている。この時、陽極タ−ゲット
１８に電子が当たる面積（以後、焦点寸法と呼ぶ）に
は、それぞれの管球ごとに規定値があり、これ以下でな
いと撮影したＸ線像がぼやける等の不具合を生じ、正し
い映像が得られない。
【０００３】従って、焦点寸法を規定する必要がある
が、従来の焦点寸法測定方法は図６のブロック線図に示
す通り、Ｘ線管１０の焦点からＸ線をＸ線感光フィルム
１９に照射し、これを図示しない機械で現像液を用いて
現像する。現像されたフィルム１９には図７（ａ），
（ｂ）に示すような形状の焦点像がフィルムに黒く写る
ため、この縦横の最大値（図中のＡ，Ｂ寸法）を作業者
が図示しないマイクロメーター等で測定し、規定寸法内
に入っているかどうか測定し判断していた。
が、従来の焦点寸法測定方法は図６のブロック線図に示
す通り、Ｘ線管１０の焦点からＸ線をＸ線感光フィルム
１９に照射し、これを図示しない機械で現像液を用いて
現像する。現像されたフィルム１９には図７（ａ），
（ｂ）に示すような形状の焦点像がフィルムに黒く写る
ため、この縦横の最大値（図中のＡ，Ｂ寸法）を作業者
が図示しないマイクロメーター等で測定し、規定寸法内
に入っているかどうか測定し判断していた。
【０００４】又、焦点からフィルム１９の間の一定距離
の所に、ピンホール９又はスリット８が設置されてい
る。そして、この位置を調節することで、ピンホールカ
メラの原理により像の倍率を変えることが出来るが、作
業者は測定の際、この倍率についても考慮に入れて計算
し判断を行う必要がある。
の所に、ピンホール９又はスリット８が設置されてい
る。そして、この位置を調節することで、ピンホールカ
メラの原理により像の倍率を変えることが出来るが、作
業者は測定の際、この倍率についても考慮に入れて計算
し判断を行う必要がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来技術
によると、次のような不都合がある。即ち、焦点寸法の
計測，判断を作業者が行っているため、計測結果に作業
者ごとのばらつきが生じ、品質的に安定しない。更に、
測定精度は１／１００ｍｍの精度が要求されているた
め、測定結果をある一定の計算により補正し、１／１０
０ｍｍの値を算出しているが、前述したような測定結果
のばらつきから計算結果にも信頼性に欠ける部分があ
る。又、測定の度にフィルム１９が必要になるが、顧客
の要求がある場合以外は、管球ごとにフィルム１９を残
す必要はないので、従来は測定したフィルム１９の大半
を捨てていた。このため、無駄なフィルム１９を多く消
費していた。更に、測定の度に現像作業が必要になる
が、この作業とこれにかかる現像液も無駄であり、現像
液の廃液処理をも伴うため環境的にも好ましくない。
又、このように測定以外の本来不必要な関連作業を、作
業者は数多くとり行う必要があった。 この発明は、計
測のばらつきがなく、測定精度が向上し作業時間の短い
Ｘ線管の焦点寸法測定方法及び測定装置を提供すること
を目的とする。
によると、次のような不都合がある。即ち、焦点寸法の
計測，判断を作業者が行っているため、計測結果に作業
者ごとのばらつきが生じ、品質的に安定しない。更に、
測定精度は１／１００ｍｍの精度が要求されているた
め、測定結果をある一定の計算により補正し、１／１０
０ｍｍの値を算出しているが、前述したような測定結果
のばらつきから計算結果にも信頼性に欠ける部分があ
る。又、測定の度にフィルム１９が必要になるが、顧客
の要求がある場合以外は、管球ごとにフィルム１９を残
す必要はないので、従来は測定したフィルム１９の大半
を捨てていた。このため、無駄なフィルム１９を多く消
費していた。更に、測定の度に現像作業が必要になる
が、この作業とこれにかかる現像液も無駄であり、現像
液の廃液処理をも伴うため環境的にも好ましくない。
又、このように測定以外の本来不必要な関連作業を、作
業者は数多くとり行う必要があった。 この発明は、計
測のばらつきがなく、測定精度が向上し作業時間の短い
Ｘ線管の焦点寸法測定方法及び測定装置を提供すること
を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、Ｘ線管から
発生されたＸ線をカメラ部で取込み、この取込んだ信号
を画像処理し、Ｘ線管の陰極から発生した電子が陽極タ
−ゲットに衝突した部分の焦点像の寸法を測定し、この
寸法値が規定値範囲内にあるかどうかをコンピュ−タで
自動的に判定するＸ線管の焦点寸法測定方法である。
発生されたＸ線をカメラ部で取込み、この取込んだ信号
を画像処理し、Ｘ線管の陰極から発生した電子が陽極タ
−ゲットに衝突した部分の焦点像の寸法を測定し、この
寸法値が規定値範囲内にあるかどうかをコンピュ−タで
自動的に判定するＸ線管の焦点寸法測定方法である。
【０００７】又、この発明は、Ｘ線管を駆動する電源
と、Ｘ線管が発生するＸ線を取込むカメラ部と、このカ
メラ部を制御するカメラ制御部と、カメラ部からの信号
を取込み処理を行う画像処理部と、この画像処理部で画
像処理した焦点像の寸法を測定しその寸法値が規定値範
囲内であるかどうか判定するコンピュータと、電源，カ
メラ部，カメラ制御部，画像処理部，コンピュータを制
御するコントロ−ラ−とを具備してなるＸ線管の焦点寸
法測定装置である。
と、Ｘ線管が発生するＸ線を取込むカメラ部と、このカ
メラ部を制御するカメラ制御部と、カメラ部からの信号
を取込み処理を行う画像処理部と、この画像処理部で画
像処理した焦点像の寸法を測定しその寸法値が規定値範
囲内であるかどうか判定するコンピュータと、電源，カ
メラ部，カメラ制御部，画像処理部，コンピュータを制
御するコントロ−ラ−とを具備してなるＸ線管の焦点寸
法測定装置である。
【０００８】
【作用】この発明によれば、焦点像の撮影と規定寸法に
対する判断を、フィルムを用いずに自動で行うため、判
断の基準が毎回一定になって計測のばらつきがなくな
り、その結果、測定精度も向上し作業時間も短くなる。
又、フィルム現像等の関連作業もなくなるため、それに
付随する廃フィルム，廃液等の処理も不要になり、それ
らにかかるコストの削減も図ることが出来る。
対する判断を、フィルムを用いずに自動で行うため、判
断の基準が毎回一定になって計測のばらつきがなくな
り、その結果、測定精度も向上し作業時間も短くなる。
又、フィルム現像等の関連作業もなくなるため、それに
付随する廃フィルム，廃液等の処理も不要になり、それ
らにかかるコストの削減も図ることが出来る。
【０００９】
【実施例】以下、図面を参照して、この発明の一実施例
を詳細に説明する。この発明は図１〜図４に示すように
構成され、図１はＸ線管の焦点寸法測定装置を示す斜視
図、図２は図１の装置においてＸ線管の固定方法を示す
斜視図、図３は図１の装置のブロック線図、図４は図１
の装置の動作フローチャートである。 即ち、従来例
（図６）と同一箇所は同一符号を付すと、電源コントロ
ーラー１３はＸ線管１０に高電圧を印加するＸ線管動作
用電源１４に接続されており、この電源１４はＸ線管１
０を搬入する装置本体１に接続されている。そして、電
源１４は、内部的にはＸ線管１０の図示しない陰極−陽
極タ−ゲット間に高電圧を印加する高圧電源部と、図示
しない陰極内のフィラメントに通電し、陽極タ−ゲット
に向けて電子を発生させるフィラメント電源部とからな
っている。装置本体１内にはＸ線管１０が収容されてい
るが、このＸ線管１０の前方にはピンホ−ル９又はスリ
ット８が設けられている。この装置本体１の外部には、
ピンホ−ル９又はスリット８に対応してカメラ部４が取
付けられている。このカメラ部４はＸ線ビジコンカメラ
等のＸ線に感度があり、焦点からのＸ線を取込むもの
で、カメラ部４を制御するカメラ制御部５に接続されて
いる。このカメラ制御部５は焦点像を映し出すモニター
部３に接続されると共に、カメラ部４からの信号を取込
み画像処理を行う画像処理部６に接続されている。この
画像処理部６は、測定・判定結果及び焦点像を出力する
ビデオプリンタ７に接続されると共に、処理された画像
の寸法を測定し結果を計算により補正するコンピュータ
ー１５に接続されている。そして、モニター部３とビデ
オプリンタ７は互いに接続されるている。更に、コンピ
ューター１５はコントローラー２に内蔵されており、上
記の各部全てはコントローラー２により一括制御されて
いる。
を詳細に説明する。この発明は図１〜図４に示すように
構成され、図１はＸ線管の焦点寸法測定装置を示す斜視
図、図２は図１の装置においてＸ線管の固定方法を示す
斜視図、図３は図１の装置のブロック線図、図４は図１
の装置の動作フローチャートである。 即ち、従来例
（図６）と同一箇所は同一符号を付すと、電源コントロ
ーラー１３はＸ線管１０に高電圧を印加するＸ線管動作
用電源１４に接続されており、この電源１４はＸ線管１
０を搬入する装置本体１に接続されている。そして、電
源１４は、内部的にはＸ線管１０の図示しない陰極−陽
極タ−ゲット間に高電圧を印加する高圧電源部と、図示
しない陰極内のフィラメントに通電し、陽極タ−ゲット
に向けて電子を発生させるフィラメント電源部とからな
っている。装置本体１内にはＸ線管１０が収容されてい
るが、このＸ線管１０の前方にはピンホ−ル９又はスリ
ット８が設けられている。この装置本体１の外部には、
ピンホ−ル９又はスリット８に対応してカメラ部４が取
付けられている。このカメラ部４はＸ線ビジコンカメラ
等のＸ線に感度があり、焦点からのＸ線を取込むもの
で、カメラ部４を制御するカメラ制御部５に接続されて
いる。このカメラ制御部５は焦点像を映し出すモニター
部３に接続されると共に、カメラ部４からの信号を取込
み画像処理を行う画像処理部６に接続されている。この
画像処理部６は、測定・判定結果及び焦点像を出力する
ビデオプリンタ７に接続されると共に、処理された画像
の寸法を測定し結果を計算により補正するコンピュータ
ー１５に接続されている。そして、モニター部３とビデ
オプリンタ７は互いに接続されるている。更に、コンピ
ューター１５はコントローラー２に内蔵されており、上
記の各部全てはコントローラー２により一括制御されて
いる。
【００１０】さて、上記の測定装置を使用して、Ｘ線管
の焦点寸法を測定するには、先ず、図２に示すように搬
送台車１２上でＸ線管１０を固定治具１１にて固定す
る。この時、固定治具１１によりＸ線管１０のＸ線出力
窓は常に一定の方向に向くように固定する。搬送台車１
２上に固定したＸ線管１０は、固定治具１１により位置
出しした状態で、搬送台車１２ごと装置本体１に搬入・
固定される。
の焦点寸法を測定するには、先ず、図２に示すように搬
送台車１２上でＸ線管１０を固定治具１１にて固定す
る。この時、固定治具１１によりＸ線管１０のＸ線出力
窓は常に一定の方向に向くように固定する。搬送台車１
２上に固定したＸ線管１０は、固定治具１１により位置
出しした状態で、搬送台車１２ごと装置本体１に搬入・
固定される。
【００１１】尚、図１では対象が回転陽極型Ｘ線管であ
るが、この時、対象が固定陽極型Ｘ線管の場合は、装置
本体１内に図示しない固定治具があり、この中にＸ線管
１０を固定する。
るが、この時、対象が固定陽極型Ｘ線管の場合は、装置
本体１内に図示しない固定治具があり、この中にＸ線管
１０を固定する。
【００１２】Ｘ線管１０の図示しない出力窓から出たＸ
線は、ピンホール９又はスリット８を通りカメラ部４に
入る。カメラ部４に入ったＸ線像はカメラ制御部５を介
して画像処理部６に入り、積分処理などによる画像の鮮
明化、２値化によるぼやけた部分の強調等の処理を行い
モニター部３に入る。
線は、ピンホール９又はスリット８を通りカメラ部４に
入る。カメラ部４に入ったＸ線像はカメラ制御部５を介
して画像処理部６に入り、積分処理などによる画像の鮮
明化、２値化によるぼやけた部分の強調等の処理を行い
モニター部３に入る。
【００１３】この処理されたＸ線像の寸法をコントロー
ラー２内のコンピューター１５にて測定するが、Ｘ線管
１０の焦点面積の大きさに対して、モニター部３上の映
像は拡大されて写るため、これを測定すると実際の焦点
像に対して数倍に拡大された像を測定することになって
しまう。
ラー２内のコンピューター１５にて測定するが、Ｘ線管
１０の焦点面積の大きさに対して、モニター部３上の映
像は拡大されて写るため、これを測定すると実際の焦点
像に対して数倍に拡大された像を測定することになって
しまう。
【００１４】このため、フィルム像に対するモニター像
の拡大率を予めコントローラー２内に登録しておき、測
定結果をこの拡大率にて補正する。この後、ピンホール
位置による拡大が行われていれば、これについても補正
計算を行い、その測定結果を出力する。
の拡大率を予めコントローラー２内に登録しておき、測
定結果をこの拡大率にて補正する。この後、ピンホール
位置による拡大が行われていれば、これについても補正
計算を行い、その測定結果を出力する。
【００１５】更に、各図面を参照して、装置の動作につ
いて詳細に説明する。図４のフローチャートに示すよう
に、動作を開始すると、先ず、コントローラー２から画
像処理部６には品種名，拡大率等補正計算，出力結果へ
の付加表示に必要なデータを、又、電源コントローラー
１３には爆射時間，管電圧，管電流等の情報をそれぞれ
転送する。
いて詳細に説明する。図４のフローチャートに示すよう
に、動作を開始すると、先ず、コントローラー２から画
像処理部６には品種名，拡大率等補正計算，出力結果へ
の付加表示に必要なデータを、又、電源コントローラー
１３には爆射時間，管電圧，管電流等の情報をそれぞれ
転送する。
【００１６】ここで装置全体に異常がなければ、続いて
コントローラー２より電源コントローラー１３に爆射信
号を送る。電源コントローラー１３が爆射信号を受信す
ると、電源１４からＸ線管１０に高電圧を印加し、Ｘ線
を発生する。発生したＸ線はピンホール９又はスリット
８を通過してカメラ部４に入り、カメラ制御部５を介し
て画像処理部６に入る。
コントローラー２より電源コントローラー１３に爆射信
号を送る。電源コントローラー１３が爆射信号を受信す
ると、電源１４からＸ線管１０に高電圧を印加し、Ｘ線
を発生する。発生したＸ線はピンホール９又はスリット
８を通過してカメラ部４に入り、カメラ制御部５を介し
て画像処理部６に入る。
【００１７】ここで、カメラ部４はリアルタイムに映像
を取込んでいるが、画像処理部６では、内部メモリーに
映像信号を取込むのは爆射中のみとなるように、爆射信
号に同期して映像を取込んでいる。又、画像処理部６で
は、測定した画像に含まれるノイズ成分を除去するため
に、複数映像の積分処理等を行い計測に不要な像を取除
いている。従って、これらの処理に必要な枚数の映像を
取込んでから画像処理を行い、更にコンピューター１５
にて焦点寸法を測定し、補正計算，規定値に対する良否
判定等を行い、測定・判定結果，焦点像をビデオプリン
タ７で出力する。 この時、動作終了としてコントロー
ラー２に終了信号を送り、コントローラー２ではブザー
等で作業者に終了を知らせる。又、焦点を複数持つ管球
については、図４のフローチャートに示すような一連の
処理終了後、再び焦点を変えて爆射動作から行う。
を取込んでいるが、画像処理部６では、内部メモリーに
映像信号を取込むのは爆射中のみとなるように、爆射信
号に同期して映像を取込んでいる。又、画像処理部６で
は、測定した画像に含まれるノイズ成分を除去するため
に、複数映像の積分処理等を行い計測に不要な像を取除
いている。従って、これらの処理に必要な枚数の映像を
取込んでから画像処理を行い、更にコンピューター１５
にて焦点寸法を測定し、補正計算，規定値に対する良否
判定等を行い、測定・判定結果，焦点像をビデオプリン
タ７で出力する。 この時、動作終了としてコントロー
ラー２に終了信号を送り、コントローラー２ではブザー
等で作業者に終了を知らせる。又、焦点を複数持つ管球
については、図４のフローチャートに示すような一連の
処理終了後、再び焦点を変えて爆射動作から行う。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、焦点像の撮影と規定寸法に対する判断をフィルムを
用いずに行うため、計測のばらつきがなくなる。その結
果、測定精度が向上し作業時間も短くなる。
ば、焦点像の撮影と規定寸法に対する判断をフィルムを
用いずに行うため、計測のばらつきがなくなる。その結
果、測定精度が向上し作業時間も短くなる。
【図１】この発明の一実施例に係るＸ線管の焦点寸法測
定方法で用いる測定装置を示す斜視図。
定方法で用いる測定装置を示す斜視図。
【図２】図１の装置においてＸ線管の固定方法を示す斜
視図。
視図。
【図３】図１の装置のブロック線図。
【図４】図１の装置の動作フローチャート。
【図５】一般的な回転陽極型Ｘ線管を示す断面図。
【図６】従来装置の内部構成を簡略に示したブロック線
図。
図。
【図７】ピンホール法、スリット法それぞれの方法での
焦点像形状と計測方法を簡略的に示した図。
焦点像形状と計測方法を簡略的に示した図。
１…装置本体、２…コントローラー、３…モニター、４
…カメラ部、５…カメラ制御部、６…画像処理部、７…
ビデオプリンタ、８…スリット、９…ピンホール、１０
…Ｘ線管、１１…Ｘ線固定治具、１２…搬送台車、１３
…電源、１４…Ｘ線管動作用電源、１５…寸法測定コン
ピューター、１６…フィラメント、１７…陰極、１８…
陽極、１９…Ｘ線感光フィルム。
…カメラ部、５…カメラ制御部、６…画像処理部、７…
ビデオプリンタ、８…スリット、９…ピンホール、１０
…Ｘ線管、１１…Ｘ線固定治具、１２…搬送台車、１３
…電源、１４…Ｘ線管動作用電源、１５…寸法測定コン
ピューター、１６…フィラメント、１７…陰極、１８…
陽極、１９…Ｘ線感光フィルム。
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｘ線管から発生されたＸ線をカメラ部で
取込み、この取込んだ信号を画像処理し、上記Ｘ線管の
陰極から発生した電子が陽極タ−ゲットに衝突した部分
の焦点像の寸法を測定し、この寸法値が規定値範囲内に
あるかどうかをコンピュ−タで自動的に判定することを
特徴とするＸ線管の焦点寸法測定方法。 - 【請求項２】 Ｘ線管を駆動する電源と、上記Ｘ線管か
ら発生されたＸ線を取込むカメラ部と、このカメラ部を
制御するカメラ制御部と、上記カメラ部からの信号を取
込み処理を行う画像処理部と、この画像処理部で画像処
理した焦点像の寸法を測定しその寸法値が規定値範囲内
であるかどうか判定するコンピュータと、上記電源，カ
メラ部，カメラ制御部，画像処理部，コンピュータを制
御するコントロ−ラ−とを具備してなることを特徴とす
るＸ線管の焦点寸法測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7161628A JPH0917342A (ja) | 1995-06-28 | 1995-06-28 | Ｘ線管の焦点寸法測定方法及び測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7161628A JPH0917342A (ja) | 1995-06-28 | 1995-06-28 | Ｘ線管の焦点寸法測定方法及び測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0917342A true JPH0917342A (ja) | 1997-01-17 |
Family
ID=15738805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7161628A Pending JPH0917342A (ja) | 1995-06-28 | 1995-06-28 | Ｘ線管の焦点寸法測定方法及び測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0917342A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023276927A1 (ja) * | 2021-06-28 | 2023-01-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線焦点形状評価装置およびｘ線焦点形状評価方法 |
| WO2024219012A1 (ja) * | 2023-04-18 | 2024-10-24 | 株式会社リガク | Ｘ線発生装置、ｘ線分析装置、ｘ線発生装置の制御方法及びｘ線発生装置の制御システム |
| JP2025105365A (ja) * | 2023-12-28 | 2025-07-10 | 株式会社エム・ディ・インスツルメンツ | Ｘ線管の焦点寸法測定方法 |
-
1995
- 1995-06-28 JP JP7161628A patent/JPH0917342A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023276927A1 (ja) * | 2021-06-28 | 2023-01-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線焦点形状評価装置およびｘ線焦点形状評価方法 |
| JP2023004560A (ja) * | 2021-06-28 | 2023-01-17 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線焦点形状評価装置およびｘ線焦点形状評価方法 |
| US12498335B2 (en) | 2021-06-28 | 2025-12-16 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray focal spot shape evaluation device and x-ray focal spot shape evaluation method |
| WO2024219012A1 (ja) * | 2023-04-18 | 2024-10-24 | 株式会社リガク | Ｘ線発生装置、ｘ線分析装置、ｘ線発生装置の制御方法及びｘ線発生装置の制御システム |
| JP2025105365A (ja) * | 2023-12-28 | 2025-07-10 | 株式会社エム・ディ・インスツルメンツ | Ｘ線管の焦点寸法測定方法 |
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