JPH09177780A - 直動転がり案内ユニット装置 - Google Patents

直動転がり案内ユニット装置

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JPH09177780A
JPH09177780A JP7349984A JP34998495A JPH09177780A JP H09177780 A JPH09177780 A JP H09177780A JP 7349984 A JP7349984 A JP 7349984A JP 34998495 A JP34998495 A JP 34998495A JP H09177780 A JPH09177780 A JP H09177780A
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rolling guide
track
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、固定側の軌道レールに対して一対
のスライダを介して可動側の軌道レールを相対移動させ
ると共に、軌道レールの移動に対して一方のスライダを
静止状態に維持してスムースな安定した摺動をさせる直
動転がり案内ユニット装置を提供する。 【解決手段】 可動側の軌道レール１と固定側の軌道レ
ール２の間に、互いに独立して相対移動する一対のスラ
イダ３，４を介在させる。両軌道レール１，２のそれぞ
れのスライダ摺動端に連結部材１１，１２，１３，１４
をそれぞれ設け、両スライダ３，４に各連結部材１１，
１２，１３，１４に係脱可能にそれぞれ連結される被連
結部９．１０，１９，２０をそれぞれ設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、一対の軌道レールに
跨がってそれぞれ相対摺動する一対のスライダから構成
され、作業ロボット、半導体製造装置、搬送装置、精密
工作機械等に適用される直動転がり案内ユニット装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、メカトロ技術の発展が目覚まし
く、当該技術を支える基礎的且つ汎用的な装置として直
動転がり案内ユニットがある。直動転がり案内ユニット
は、現在では、半導体製造装置、検査装置、移載装置、
搬送装置、産業用ロボット等の各技術分野に組み込まれ
て使用されているが、技術の発展と共にその用途は拡大
している。そして、直動転がり案内ユニット自体に対し
ても高精度、高速摺動化、小型化等の要求が益々高まっ
ている。例えば、組立ロボットは、用途の拡大が求めら
れ、大型のものから小型のものまで製作されている。こ
れらの組立ロボットに組み込まれる直動転がり案内ユニ
ットとしては、特に、高精度、高速化、小型化或いはフ
レキシブルな案内に対応できる装置が要求されている。
【０００３】従来、実公平６−２４５７５号公報には、
産業ロボットの腕などの工作用機械器具を移動するため
の移送装置が開示されている。該移送装置は、上部トラ
ックレールと下部トラックレールとに跨架して相対移動
するスライダを設け、上部トラックレールと下部トラッ
クレールとの対向する面にラック歯列をそれぞれ形成
し、スライダに両ラック歯列にラック駆動関係に係合す
るピニオンを設けたものである。
【０００４】また、テーブル移送装置として、特公昭６
２−１１２０９号公報に開示されたものがある。該テー
ブル移送装置は、ワークを保持して往復動する産業用ロ
ボットのロボットアームに使用されるものであり、ベッ
ド上に平行に取り付けた一対の下位軌道台、該下位軌道
台に軸方向に移動自在に搭載された左右一対で前後２組
のベアリング本体、該ベアリング本体に相対移動可能に
取り付けられた左右一対の上位軌道台、及び該上位軌道
台に取り付けられた可動テーブルから成る。
【０００５】また、図１２に示された直動転がり案内ユ
ニットが知られている。該直動転がり案内ユニットは、
軌道レール２２の長手方向両側面２３には軌道溝２４が
形成されている。スライダ２１は、軌道レール２２に跨
架した状態で載置し、軌道レール２２の軌道溝２４に沿
って循環する転動体２７の介在で自在に摺動する。軌道
レール２２には、長手方向上面３４に隔置して複数個の
取付孔３３が形成されている。スライダ２１は、軌道レ
ール２２に対して相対移動可能なケーシング２５、及び
ケーシング２５の両端にそれぞれ取り付けたエンドキャ
ップ２６を有している。ケーシング２５の上部には、他
の機器、部品等を取り付けるためのねじ穴３９が形成さ
れている。ケーシング２５及びエンドキャップ２６の各
下面には、ケーシング２５及びエンドキャップ２６とが
軌道レール２２に跨がって移動するように凹部３０が各
々形成され、軌道レール２２の各軌道溝２４に対向する
位置における凹部３０の対向面にそれぞれ軌道溝２９が
形成されている。対向する軌道溝２４，２９で構成され
る軌道路にはボール等の転動体２７が転走するように組
み込まれている。また、ケーシング２５から転動体２７
が脱落するのを防止するために、保持バンド３８が多数
の転動体２７を囲むようにケーシング２５に設けられて
いる。軌道レール２２の長手方向上面３４に形成されて
いる取付孔３３には、ボルト（図示せず）が挿通され、
ボルトを取付体に形成されたねじ穴に螺入することによ
って軌道レール２２をベッド、機台、加工台等の取付体
（図示せず）に固定することができる。
【０００６】エンドキャップ２６には、転動体２７が軌
道レール２２との負荷軌道である軌道溝２４からすくわ
れる爪、及び転動体２７の循環のために転動体２７を方
向転換させる方向転換路が両側に形成されている。ま
た、エンドキャップ２６には、軌道レール２２とスライ
ダ２１の長手方向両端部との間のシールを達成する側面
シール３７が取り付けられ、軌道レール２２とスライダ
２１間の摺動面に潤滑剤を供給するためのグリースニッ
プル４０が取り付けられている。エンドキャップ２６
は、複数の取付孔に貫通させたねじ４２等によりケーシ
ング２５の両端面に取り付けられる。軌道レール２２の
軌道溝２４を転走する負荷域の転動体２７は、エンドキ
ャップ２６内に形成された方向転換路に導かれ、次い
で、ケーシング２５の上部に軌道溝２９と平行して形成
されたリターン通路孔４３に移動し、転動体２７は無限
循環路内を転走する。スライダ２１に形成した軌道溝２
９と軌道レール２２に形成した軌道溝２４との間を転走
する負荷された転動体２７の転動により、軌道レール２
２とスライダ２１とがスムースに相対移動することがで
きる。
【０００７】また、図１１に示すように、図１２に示す
直動転がり案内ユニットをコンパクトに複合化した直動
転がり案内ユニット装置が知られている。図１１では図
１２に示す部品と同様の部品には同一符号を付し、重複
する説明を省略する。該直動転がり案内ユニット装置
は、一対のスライダ２１を背中合わせに一体化した構造
のスライダを一対の軌道レール２２に跨架させ、軌道レ
ールを互いに相対移動可能に構成したものである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようなテーブル移送装置は、一方の軌道レールの移動に
従ってスライダが拘束されることなく、軌道レール上を
自由に移動し、例えば、作業ロボットや半導体製造装置
のための移送装置として適用し難いという問題があっ
た。また、軌道レールの移動に伴ってスライダが自由状
態であるため、例えば、移動側の軌道レールに取り付け
られたテーブルの安定性が悪化し、正確な或いは高精度
の移動ができないという問題があった。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明の目的は、一対
の直動転がり案内ユニットを一対組み合わせたり又は一
体構造に構成した一対のスライダを介して一方の軌道レ
ールに対して他方の軌道レールを相対摺動させる直動転
がり案内ユニット装置において、一方の軌道レールに対
して他方の軌道レールを高精度に且つ安定して相対移動
させ、半導体製造装置、作業ロボット、搬送装置、精密
工作機械等に適用して好ましい直動転がり案内ユニット
装置を提供することである。
【００１０】この発明は、長手方向両側面にそれぞれ延
びる軌道溝をそれぞれ形成した一対の軌道レール、前記
両軌道レールの間に配置されて前記両軌道溝にそれぞれ
対応する軌道溝をそれぞれ備え且つ前記両軌道レールに
跨架して相対摺動すると共に互いに独立して相対移動す
る一対のスライダ、前記両軌道レールのそれぞれのスラ
イダ摺動端にそれぞれ設けられた連結部材、及び前記両
スライダにそれぞれ設けられ且つ前記各連結部材に係脱
可能にそれぞれ連結される被連結部材、から成る直動転
がり案内ユニット装置に関する。
【００１１】また、前記連結部材はチャックから構成さ
れ且つ前記被連結部材は前記チャックに係止するフック
や鉤部材の被チャックで構成されているか、又は前記被
連結部材はチャックから構成され且つ前記連結部材は前
記チャックに係止するフックや鉤部材の被チャックで構
成されているものである。
【００１２】又は、前記連結部材は先端にローラを備え
たばね部材から構成され且つ前記被連結部材は前記ロー
ラを係止する凹部を備えた係止部材で構成されている
か、又は前記被連結部材は先端にローラを備えたばね部
材から構成され且つ前記連結部材は前記ローラを係止す
る凹部を備えた係止部材で構成されている。
【００１３】或いは、前記連結部材は磁石から構成され
且つ前記被連結部材は前記磁石に吸着する磁性体で構成
されているか、又は前記被連結部材は磁石から構成され
且つ前記連結部材は前記磁石に吸着する磁性体で構成さ
れている。
【００１４】又は、前記連結部材は前記軌道レールに揺
動可能に取り付けられた鉤部材から構成され且つ前記被
連結部材は前記鉤部材に設けたばね部材のばね力によっ
て係止するフックで構成されているか、又は前記被連結
部材は前記軌道レールに揺動可能に取り付けられた鉤部
材から構成され且つ前記連結部材は前記鉤部材に設けた
ばね部材のばね力によって係止するフックで構成されて
いる。更に、一方の前記軌道レールに取り付けられた前
記鉤部材は、前記両軌道レールが互いに相対移動するの
に対応して他方の前記軌道レールに設けた突出斜面が前
記鉤部材に設けた当接斜面を押圧することで前記ばね部
材のばね力に抗して前記鉤部材を揺動させ、前記鉤部材
を前記フックとの係止状態を解放するものである。
【００１５】また、前記スライダは、一方の前記軌道レ
ールに跨架して摺動する第１スライダ部と、他方の前記
軌道レールに跨架して摺動する第２スライダ部とが互い
に一体に固定して構成されている。
【００１６】また、一方の前記軌道レールがベースに固
定されて固定側軌道レールを構成し、他方の前記軌道レ
ールがテーブルを固定した可動側軌道レールを構成して
いるものである。更に、前記テーブルには、前記ベース
に取り付けられたボールねじの回動によって移動するボ
ールナットハウジングが固定されている。
【００１７】また、この直動転がり案内ユニット装置に
おいて、一方の前記軌道レールの移動時には、少なくと
も一方の前記スライダが固定側の前記軌道レールに連結
されて静止している。従って、可動側の前記軌道レール
は安定して摺動移動できる。
【００１８】この直動転がり案内ユニット装置は、上記
のように構成されているので、一方の前記軌道レールの
移動時には、前記両スライダのそれぞれの前記被連結部
材はいずれかの前記軌道レールのいずれかの前記連結部
材にそれぞれ連結されており、前記スライダが自由に移
動することがなく、前記軌道レールの摺動移動が極めて
スムースに安定する。また、この直動転がり案内ユニッ
ト装置は、一方の軌道レールをベッド、機台等のベース
に固定し、他方の軌道レールにテーブルを取り付けてい
る場合に、テーブルをベースに対して一対のスライダを
介して相対移動させると、両スライダはいずれか一方の
軌道レールに連結されて一体になり、固定した軌道レー
ルに対して何れか一方のスライダが連結されて静止し、
他方のスライダが移動する軌道レールに連結されて移動
し、移動する軌道レールは一対のスライダで安定して支
持されると共に高精度な摺動移動を行うことができる。
【００１９】また、この直動転がり案内ユニット装置で
は、移動する軌道レールに取り付けられたテーブルに設
けた作業機器は、一対のスライダを介して固定した軌道
レールに支持され、作業上の負荷等がかかったとして
も、安定した作業運動を行うこができる。即ち、可動側
の軌道レールの先端部に負荷、言い換えれば、モーメン
トが負荷されても、一対のスライダがいずれか一方の軌
道レールにそれぞれ連結部材された状態を維持でき、前
記スライダのこじれ、及び負荷が軽減されると共に、可
動側の軌道レールが摺動する際には、スムースな摺動を
達成でき、耐久性に富んだ長寿命の直動転がり案内ユニ
ット装置を提供できる。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
による直動転がり案内ユニット装置の実施例を説明す
る。図１はこの発明による直動転がり案内ユニット装置
の一実施例の作動状態を示す説明図、図２はこの発明に
よる直動転がり案内ユニット装置の一実施例の一部を示
す側面図、及び図３は図２の直動転がり案内ユニット装
置の端面図である。
【００２１】図１に示すように、この発明による直動転
がり案内ユニット装置は、同一方向に延びる一対の軌道
レール１，２と、両軌道レール１，２間に配置されて軌
道レール１，２に凹部３０がそれぞれ跨架して摺動移動
する一対のスライダ３，４とから構成されている。一対
の軌道レール１，２は、長手方向両側面２３にそれぞれ
延びる軌道溝２４をそれぞれ形成されている。一対のス
ライダ３，４は、軌道レール１，２上を互いに独立して
相対摺動移動するように軌道レール１，２に跨架されて
いる。この実施例では、下側の軌道レール２は、ベッ
ド、機台等のベース（図１０の符号２８を参照）に固定
されている固定側軌道レールとして説明する。上側の軌
道レール１は、スライダ３，４を介して軌道レール２に
対して摺動移動する可動側軌道レールである。スライダ
３，４は、例えば、図１２に示すような直動転がり案内
ユニットのスライダ２１が背中合わせに固着され、上側
のスライダ２１と下側のスライダ２１とが一体構造にそ
れぞれ構成された複合スライダである。スライダ３，４
は、軌道レール１，２の軌道溝２４にそれぞれ対応する
軌道溝（図１２の符号２９を参照）を上下に備えてい
る。スライダ３，４は、図２では、直動転がり案内ユニ
ットにおけるケーシング２５とエンドキャップ２６とが
示されている。
【００２２】この直動転がり案内ユニット装置におい
て、摺動移動する上側の軌道レール１の両側のストロー
ク端即ちスライダ摺動端には、連結部材１１，１２がそ
れぞれ設けられている。また、ベースに固定されている
下側の軌道レール２の両側のスライダ摺動端には、連結
部材１３，１４がそれぞれ設けられている。更に、スラ
イダ３の上側には上側の軌道レール１の連結部材１１に
係脱可能に連結する被連結部材９が設けられ、また、ス
ライダ３の下側には下側の軌道レール２の連結部材１３
に係脱可能に連結する被連結部材１９が設けられてい
る。また、スライダ４の上側には上側の軌道レール１の
連結部材１２に係脱可能に連結する被連結部材１０が設
けられ、また、スライダ４の下側には下側の軌道レール
２の連結部材１４に係脱可能に連結する被連結部材２０
が設けられている。この実施例では、スライダ摺動端は
軌道レール１，２の両端に相当しているが、使用条件に
よっては、軌道レール１，２の端部から内側の適正な位
置に設定し、その位置に連結部材１１，１２，１３，１
４を設けることができる。例えば、連結部材１１，１
２，１３，１４はチャック等から構成され、また、被連
結部材９，１０，１９，２０はフック、被チャック等か
ら構成されている。
【００２３】この直動転がり案内ユニット装置は、上記
のように構成され、次のように作動する。下側の軌道レ
ール２は、地点Ｓ３と地点Ｓ７との間でベッド、機台等
のベースに固定されている。図１の（Ａ）では、上側の
軌道レール１が最も左側に位置するように摺動移動し、
地点Ｓ１と地点Ｓ５との間に位置している。この状態で
は、軌道レール２の連結部材１３はスライダ３の被連結
部材１９と連結し、軌道レール１の連結部材１２はスラ
イダ４の被連結部材１０と連結している。従って、この
直動転がり案内ユニット装置は、図１の（Ａ）に示す状
態では、スライダ３は軌道レール２に且つスライダ４は
軌道レール１にそれぞれ連結され、外力が掛からない以
上、スライダ３，４は軌道レール１，２上を自由に移動
することはなく、軌道レール１及びスライダ３，４は軌
道レール２に対して安定して静止状態を保持できる。
【００２４】図１の（Ｂ）では、可動側の軌道レール１
が地点Ｓ１から地点Ｓ２までモータやボールねじ（図１
０参照）等の外力で摺動移動し、上側の軌道レール１は
地点Ｓ２と地点Ｓ６との間に位置した状態が示されてい
る。固定側の軌道レール２は移動することなく、地点Ｓ
３と地点Ｓ７との間に位置している。軌道レール１の摺
動移動する時に、軌道レール１は、スライダ４を引っ張
ることによってスライダ４と一緒になって軌道レール２
に対して相対摺動するが、スライダ３は軌道レール２に
連結されて静止状態を維持する。この状態では、軌道レ
ール２の連結部材１３はスライダ３の被連結部材１９と
連結状態を維持し、軌道レール１の連結部材１２はスラ
イダ４の被連結部材１０と連結状態を維持している。従
って、この直動転がり案内ユニット装置は、図１の
（Ｂ）に示す状態では、スライダ３は軌道レール２に且
つスライダ４は軌道レール１にそれぞれ連結され、外力
が掛からない以上、スライダ３，４は軌道レール１，２
上を自由に移動することはなく、軌道レール１及びスラ
イダ３，４は軌道レール２に対して安定して静止状態を
保持できる。
【００２５】図１の（Ｃ）では、上側の軌道レール１が
更に地点Ｓ２から地点Ｓ３までモータやボールねじ等の
外力で摺動移動し、上側の軌道レール１は地点Ｓ３と地
点Ｓ７との間に位置した状態が示されている。固定側の
軌道レール２は移動することなく、地点Ｓ３と地点Ｓ７
との間に位置している。軌道レール１の摺動移動では、
軌道レール１は、スライダ４を引っ張ることによってス
ライダ４と一緒になって軌道レール２に対して相対摺動
するが、スライダ３は軌道レール２に連結されて静止状
態を維持する。この状態では、軌道レール２の連結部材
１３はスライダ３の被連結部材１９と連結状態を維持
し、軌道レール１の連結部材１２はスライダ４の被連結
部材１０と連結状態を維持している。更に、軌道レール
２の連結部材１１はスライダ３の被連結部材９に連結さ
れ、軌道レール１の連結部材１４はスライダ４の被連結
部材２０に連結される状態になる。従って、この直動転
がり案内ユニット装置は、図１の（Ｃ）に示す状態で
は、スライダ３，４は軌道レール１，２にそれぞれ連結
され、外力が掛からない以上、スライダ３，４は軌道レ
ール１，２上を自由に移動することはなく、軌道レール
１及びスライダ３，４は軌道レール２に対して安定して
静止状態を保持できる。
【００２６】図１の（Ｄ）では、上側の軌道レール１が
更に地点Ｓ３から地点Ｓ４までモータやボールねじ等の
外力で摺動移動し、上側の軌道レール１は地点Ｓ４と地
点Ｓ８との間に位置した状態が示されている。固定側の
軌道レール２は移動することなく、地点Ｓ３と地点Ｓ７
との間に位置している。軌道レール１の摺動移動では、
軌道レール１は、スライダ３を押すことによってスライ
ダ３と一緒になって軌道レール２に対して相対摺動する
が、スライダ４は軌道レール２に連結されて静止状態を
維持する。この状態では、スライダ３の被連結部材１９
は軌道レール２の連結部材１３から離脱し、スライダ４
の被連結部材１０は軌道レール１の連結部材１２から離
脱するが、軌道レール２の連結部材１１はスライダ３の
被連結部材９と連結状態を維持し、軌道レール１の連結
部材１４はスライダ４の被連結部材２０と連結状態を維
持している。従って、この直動転がり案内ユニット装置
は、図１の（Ｄ）に示す状態では、スライダ３は軌道レ
ール１に且つスライダ４は軌道レール２にそれぞれ連結
しており、外力が掛からない以上、スライダ３，４は軌
道レール１，２上を自由に移動することはなく、軌道レ
ール１及びスライダ３，４は軌道レール２に対して安定
して静止状態を保持できる。
【００２７】図１の（Ｅ）では、上側の軌道レール１が
更に地点Ｓ４から地点Ｓ５までモータやボールねじ等の
外力で摺動移動し、上側の軌道レール１は地点Ｓ５と地
点Ｓ９との間に位置した状態が示されている。固定側の
軌道レール２は移動することなく、地点Ｓ３と地点Ｓ７
との間に位置している。軌道レール１の摺動移動では、
軌道レール１は、スライダ３を押すことによってスライ
ダ３と一緒になって軌道レール２に対して相対摺動する
が、スライダ４は軌道レール２に連結されて静止状態を
維持する。この状態では、軌道レール２の連結部材１１
はスライダ３の被連結部材９と連結状態を維持し、軌道
レール１の連結部材１４はスライダ４の被連結部材２０
と連結状態を維持している。従って、この直動転がり案
内ユニット装置は、図１の（Ｅ）に示す状態では、スラ
イダ３は軌道レール１に且つスライダ４は軌道レール２
にそれぞれ連結しており、外力が掛からない以上、スラ
イダ３，４は軌道レール１，２上を自由に移動すること
はなく、軌道レール１及びスライダ３，４は軌道レール
２に対して安定して静止状態を保持できる。
【００２８】この直動転がり案内ユニット装置は、上記
作動では、可動側の軌道レール１が図１の左端から右端
への摺動移動が示されているが、可動側の軌道レール１
の逆方向の摺動移動即ち図１の右端から左端への摺動移
動は、上記実施例とは逆の工程を行うことによって達成
できるので、ここでの説明は省略する。
【００２９】次に、図４を参照して、この発明による直
動転がり案内ユニット装置の別の実施例を説明する。図
４はこの発明による直動転がり案内ユニット装置の別の
実施例を示す図２のＡ−Ａ矢視の平面図である。この実
施例は、連結部材と被連結部材との具体的な一例が示さ
れたものである。連結部材１３は、先端にローラ５１を
備えたばね部材５２から構成され、被連結部材９はロー
ラ５１を係止する凹部５９を備えた係止部材で構成され
ている。勿論、連結部材１３と被連結部材９を、上記と
は逆に構成することもできる。連結部材１３は、軌道レ
ール２の上面３４に設けられ、先端にローラ５１を回転
自在に取り付け且つ先端が互いに内方に変位した一対の
ばね部材５２から成る。また、被連結部材９は、先端が
突出した張出部６０が形成され、根元がローラ５１を係
止する凹部５９に形成されている。従って、軌道レール
２の連結部材１３に対してスライダ３の被連結部材９が
近接すれば、張出部６０がローラ５１に案内されてばね
部材５２の間に嵌まり込み、連結部材１３に被連結部材
９がばね力で連結される。また、軌道レール２の連結部
材１３に対してスライダ３の被連結部材９が離間すれ
ば、ばね部材５２のばね力に抗して張出部６０が離脱す
ることに成る。
【００３０】次に、図５を参照して、この発明による直
動転がり案内ユニット装置の更に別の実施例を説明す
る。図５はこの発明による直動転がり案内ユニット装置
の更に別の実施例を示す図２のＡ−Ａ矢視の平面図であ
る。この実施例は、連結部材１３は、一対の永久磁石５
３から構成され、被連結部材９は、永久磁石５３に吸着
する磁性体で構成されている。勿論、連結部材１３と被
連結部材９を、上記とは逆に構成することもできる。ま
た、連結部材１３と被連結部材９とは、永久磁石５３の
磁力以上の引張力が働けば離脱できるものである。
【００３１】次に、図６〜図９を参照して、この発明に
よる直動転がり案内ユニット装置の他の実施例を説明す
る。図６はこの発明による直動転がり案内ユニット装置
の別の実施例の一部を示す側面図、図７は図６の直動転
がり案内ユニット装置の端面図、図８は図６の直動転が
り案内ユニット装置の作動状態の一態様を示す説明図、
及び図９は図６の直動転がり案内ユニット装置の作動状
態の別の態様を示す説明図である。
【００３２】この実施例では、連結部材１１，１３は、
チャックを構成する鉤部材３１，３２から構成され、被
連結部材９，１９は鉤部材３１，３２に係止するフック
３５，３６で構成されている。軌道レール１には、その
下面に鉤部材３１の取付部材４１が設けられ、また、軌
道レール２には、その上面に鉤部材３２の取付部材４４
が設けられている。鉤部材３１，３２は、取付部材４
１，４４に設けたピン即ち枢支軸５６に揺動自在に取り
付けられている。軌道レール１には、鉤部材３１の揺動
を制限するストッパ５７が設けられると共に、鉤部材３
１をストッパ５７にばね力で当接させるスプリング５４
が設けられている。また、軌道レール２には、及び鉤部
材３２の揺動を制限するストッパ５８が設けられると共
に、鉤部材３２をストッパ５８にばね力で当接させるス
プリング５５が設けられている。更に、鉤部材３１，３
２の腕部には、取付部材４１，４４の突出斜面６１，６
２に突き当たってスプリング５４，５５のばね力に抗し
て揺動させられる当接斜面６３，６４が形成されてい
る。上記実施例では、軌道レール１，２に設けた連結部
材１１，１３は、軌道レール１，２の上面と下面に設け
ているが、その側面に設け且つそれに対応させてスライ
ダ３，４に被連結部材９，１９を設けることもでき、場
合によっては、図示のように直接取り付けることなく、
ブラケット等の部材を介在させて取り付けてもよいもの
である。
【００３３】図６には、軌道レール１，２は図１の
（Ｃ）に示すように両者が同一位置に静止している場合
が示されており、鉤部材３１，３２がフック３５，３６
にそれぞれ係止した状態が示されている。図８には、軌
道レール１が軌道レール２に対して移動している図１の
（Ａ）及び（Ｂ）に示す状態が示されており、鉤部材３
１がフック３５から離脱し、鉤部材３２がフック３６に
係止した状態が示されている。更に、図９には、軌道レ
ール１が軌道レール２に対して移動している図１の
（Ｄ）及び（Ｅ）に示す状態が示されており、鉤部材３
２がフック３６から離脱し、鉤部材３１がフック３５に
係止した状態が示されている。
【００３４】この実施例では、軌道レール１が軌道レー
ル２に対して図１の（Ｃ）の位置から図１の（Ａ）及び
（Ｂ）に示す状態の左方向に移動する場合には、軌道レ
ール２の取付部材４４の突出斜面６２が軌道レール１に
取り付けられた鉤部材３１の当接斜面６３を押し上げ、
鉤部材３１はスプリング５４のばね力に抗して枢支軸５
６を中心に左回りに旋回させる。そこで、図８に示すよ
うに、鉤部材３１とフック３５との係止状態を解除さ
れ、連結部材１１と被連結部材９とが離脱され、軌道レ
ール１は軌道レール２に対して左方向に摺動することが
できる。一方、鉤部材３２はスプリング５５のばね力で
ストッパ５８に突き当たっており、鉤部材３２はフック
３６に係止した状態を維持している。
【００３５】また、軌道レール１が軌道レール２に対し
て図１の（Ｃ）の位置から図１の（Ｄ）及び（Ｅ）に示
す状態の右方向に移動する場合には、軌道レール１の取
付部材４１の突出斜面６１が軌道レール２に取り付けら
れた鉤部材３２の当接斜面６４を押し下げ、鉤部材３２
はスプリング５５のばね力に抗して枢支軸５６を中心に
右回りに旋回させる。そこで、図９に示すように、鉤部
材３２とフック３６との係止状態が解除され、連結部材
１３と被連結部材１９とが離脱され、軌道レール１は軌
道レール２に対して右方向に摺動することができる。一
方、鉤部材３１はスプリング５４のばね力でストッパ５
７に突き当たっており、鉤部材３１はフック３５に係止
した状態を維持している。
【００３６】次に、図１０を参照して、この発明による
直動転がり案内ユニット装置の他の実施例を説明する。
図１０はこの発明による直動転がり案内ユニット装置の
適用例を示す斜視図である。この実施例は、この発明の
直動転がり案内ユニット装置を一対使用して、ベッド２
８上でテーブル４７を移動させる直動テーブル装置に適
用したものである。この実施例の直動テーブル装置は、
上記直動転がり案内ユニット装置をベッド２８上に所定
の間隔に隔置して並列に配置されたものであり、一対の
軌道レール２，６がベッド２８上に固定され、スライダ
３，４，７，８を介在して一対の軌道レール１，５が軌
道レール２，６に対して摺動可能に設けられている。軌
道レール２，６にはテーブル４７が固定されている。軌
道レール１には連結部材１１，１２が設けられ、軌道レ
ール２には連結部材１３，１４が設けられ、軌道レール
５には連結部材１５，１６が設けられ、更に、軌道レー
ル６には連結部材１７，１８が設けられている。また、
スライダ３，４，７，８には、連結部材１１，１２，１
３，１４，１５，１６，，１７，１８に係合する被連結
部材（図示せず）がそれぞれ設けられている。
【００３７】この実施例の直動テーブル装置では、テー
ブル４７の移動は、テーブル４７に固定されたボールナ
ットハウジング４６がベース２８に取り付けられたボー
ルねじ４５が駆動モータ４８によって回動されることに
よって行なわれる。ボールねじ４５は、ベッド２８に隔
置して取り付けられた一対の支持部材５０，６５の間で
回動自在に支持されている。駆動モータ４８は、カップ
リング４９を介してボールねじ４５を回転させるように
構成されている。ボールねじ４５が駆動モータ４８によ
って回転させられると、ボールナットハウジング４６に
設けられたボールねじナット（図示せず）がボールねじ
４５に沿って移動し、従って、ボールナットハウジング
４６に固定されたテーブル４７が移動する。
【００３８】この直動テーブル装置は、上記のように構
成されているので、コンパクトな構造に構成でき、ベッ
ド２８に対してテーブル４７が上下の軌道レール１と２
及び５と６が最小に重なり合う部分を除いて、軌道レー
ル１，２，５，６の軸方向に最大ストロークを得ること
ができる。また、テーブル４７の先端に負荷が存在して
も、スライダ３，４及び７，８は、それぞれ軌道レール
１と２及び５と６の重なり合う部分のそれらの両端部に
配設されるので、安定した直動テーブル装置を提供でき
る。
【００３９】
【発明の効果】この発明による直動転がり案内ユニット
装置は、以上のように構成されているので、次のような
効果を有する。即ち、この直動転がり案内ユニット装置
は、上記のように構成されているので、この直動転がり
案内ユニット装置を使用して、半導体製造装置、作業ロ
ボット或いは精密工作機械等に適用される直動テーブル
装置を提供することができ、テーブルの高速摺動化、コ
ンパクト化或いはフレキシブルな案内装置を構成するこ
とができる。即ち、この直動転がり案内ユニット装置
は、一方の軌道レールを固定し、固定側の軌道レールに
対して一対のスライダを介して可動側の軌道レールを滑
らかに且つ高精度に案内させることができ、しかも、相
対移動する二つの軌道レールは、一対のスライダを介在
して滑らかに且つ高精度に安定して摺動移動される。従
って、この直動転がり案内ユニット装置は、厳しい精度
が求められる半導体製造装置、工作機械や組立ロボット
等が要求する高精度及び高速化に対応することができ
る。
【００４０】また、この直動転がり案内ユニット装置に
よれば、相対移動体を構成するための部品点数を低減
し、連結部材と被連結部材との存在によって一方のスラ
イダは静止状態を維持して可動側の軌道レールが固定側
の軌道レールに対して摺動移動でき、１つの軌道レール
と１つのスライダとの移動体の慣性力を最小限に抑える
ことができ、可動側の軌道レールに固定されたテーブル
を移動させようとする制御や操作に対するテーブルのレ
スポンスを向上させることができる。更に、軌道レール
及びスライダは、テーブルを移動させるための単に相対
移動の中間部材として利用されているのみならず、直動
転がり案内ユニット装置全体としては、コンパクトな構
造を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による直動転がり案内ユニット装置の
一実施例の作動状態を示す説明図である。
【図２】この発明による直動転がり案内ユニット装置の
一実施例の一部を示す側面図である。
【図３】図２の直動転がり案内ユニット装置の端面図で
ある。
【図４】この発明による直動転がり案内ユニット装置の
別の実施例を示す図２のＡ−Ａ矢視の平面図である。
【図５】この発明による直動転がり案内ユニット装置の
更に別の実施例を示す図２のＡ−Ａ矢視の平面図であ
る。
【図６】この発明による直動転がり案内ユニット装置の
別の実施例の一部を示す側面図である。
【図７】図６の直動転がり案内ユニット装置の端面図で
ある。
【図８】図６の直動転がり案内ユニット装置の作動状態
の一態様を示す説明図である。
【図９】図６の直動転がり案内ユニット装置の作動状態
の別の態様を示す説明図である。
【図１０】この発明による直動転がり案内ユニット装置
の適用例を示す斜視図である。
【図１１】従来の直動転がり案内ユニット装置を示す一
部破断の斜視図である。
【図１２】従来の直動転がり案内ユニットを示す斜視図
である。
【符号の説明】
１，２，５，６ 軌道レール ３，４，７，８ スライダ ９，１０，１９，２０ 被連結部材 １１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８ 連
結部材 ２３ 側面 ２４，２９ 軌道溝 ２８ ベッド ３１，３２ 鉤部材 ３５，３６ フック ４１，４４ 取付部材 ４５ ボールねじ ４６ ボールナットハウジング ４７ テーブル ４８ 駆動モータ ５１ ローラ ５２ ばね部材 ５３ 永久磁石 ５４，５５ スプリング ５７，５８ ストッパ ５９ 凹部 ６１，６２ 突出斜面 ６３，６４ 当接斜面

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 長手方向両側面にそれぞれ延びる軌道溝
    をそれぞれ形成した一対の軌道レール、前記両軌道レー
    ルの間に配置されて前記両軌道溝にそれぞれ対応する軌
    道溝をそれぞれ備え且つ前記両軌道レールに跨架して相
    対摺動すると共に互いに独立して相対移動する一対のス
    ライダ、前記両軌道レールのそれぞれのストローク端に
    それぞれ設けられた連結部材、及び前記両スライダにそ
    れぞれ設けられ且つ前記各連結部材に係脱可能にそれぞ
    れ連結される被連結部材、から成る直動転がり案内ユニ
    ット装置。
  2. 【請求項２】 前記連結部材はチャックから構成され且
    つ前記被連結部材は前記チャックに係止するフックや鉤
    部材の被チャックで構成されているか、又は前記被連結
    部材はチャックから構成され且つ前記連結部材は前記チ
    ャックに係止するフックや鉤部材の被チャックで構成さ
    れている請求項１に記載の直動転がり案内ユニット装
    置。
  3. 【請求項３】 前記連結部材は先端にローラを備えたば
    ね部材から構成され且つ前記被連結部材は前記ローラを
    係止する凹部を備えた係止部材で構成されているか、又
    は前記被連結部材は先端にローラを備えたばね部材から
    構成され且つ前記連結部材は前記ローラを係止する凹部
    を備えた係止部材で構成されている請求項１に記載の直
    動転がり案内ユニット装置。
  4. 【請求項４】 前記連結部材は磁石から構成され且つ前
    記被連結部材は前記磁石に吸着する磁性体で構成されて
    いるか、又は前記被連結部材は磁石から構成され且つ前
    記連結部材は前記磁石に吸着する磁性体で構成されてい
    る請求項１に記載の直動転がり案内ユニット装置。
  5. 【請求項５】 前記連結部材は前記軌道レールに揺動可
    能に取り付けられた鉤部材から構成され且つ前記被連結
    部材は前記鉤部材に設けたばね部材のばね力によって係
    止するフックで構成されている請求項１に記載の直動転
    がり案内ユニット装置。
  6. 【請求項６】 一方の前記軌道レールに取り付けられた
    前記鉤部材は、前記両軌道レールが互いに相対移動する
    のに対応して他方の前記軌道レールに設けた突出斜面が
    前記鉤部材に設けた当接斜面を押圧することで前記ばね
    部材のばね力に抗して前記鉤部材を揺動させ、前記鉤部
    材を前記フックとの係止状態を解放する請求項５に記載
    の直動転がり案内ユニット装置。
  7. 【請求項７】 前記スライダは、一方の前記軌道レール
    に跨架して摺動する第１スライダ部と、他方の前記軌道
    レールに跨架して摺動する第２スライダ部とが互いに一
    体に固定して構成されている請求項１〜６のいずれか１
    項に記載の直動転がり案内ユニット装置。
  8. 【請求項８】 一方の前記軌道レールがベースに固定さ
    れて固定側軌道レールを構成し、他方の前記軌道レール
    がテーブルを固定した可動側軌道レールを構成する請求
    項１〜７のいずれか１項に記載の直動転がり案内ユニッ
    ト装置。
  9. 【請求項９】 前記テーブルには、前記ベースに取り付
    けられたボールねじの回動によって移動するボールナッ
    トハウジングが固定されている請求項８に記載の直動転
    がり案内ユニット装置。
  10. 【請求項１０】 一方の前記軌道レールの移動時には、
    少なくとも一方の前記スライダが固定側の前記軌道レー
    ルに連結されて静止している請求項１〜９のいずれかの
    １項に記載の直動転がり案内ユニット装置。
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