JPH09185820A

JPH09185820A - 磁気記録媒体、その製造方法及び磁気記録装置

Info

Publication number: JPH09185820A
Application number: JP8344985A
Authority: JP
Inventors: Seiji Yonezawa; 成二米沢; Keiji Kataoka; 慶二片岡; Hajime Fukuya; 元福家; Tsuneo Terasawa; 恒男寺澤; Keizo Kato; 恵三加藤; Jiichi Miyamoto; 治一宮本; Sho Ito; 捷伊藤; Norio Ota; 憲雄太田
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1996-12-25
Filing date: 1996-12-25
Publication date: 1997-07-15

Abstract

(57)【要約】【目的】簡単な製造方法によって、精密なトラッキン
グを可能とする記録媒体を提供すること。【構成】磁気的に読み取りうる情報が記録される強磁
性の磁性膜を有する磁気記録媒体１であって、トラッキ
ング信号を検出するためのサーボ領域がトラック２に沿
って周期的に設けられ、各サーボ領域に磁性膜とは磁気
特性が異なって、プリフォームされたサーボビット３，
４を有することを特徴とする磁気記録媒体。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ヘッドをトラッキ
ング制御しながらディジタル情報を磁気的に記録再生す
る。情報の磁気記録媒体、その製造方法及びそれを記録
再生する磁気記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ディジタル情報を磁気ヘッドで記録する
従来の磁気記録媒体（磁気ディスク）においては、磁気
記録媒体の偏心を充分小さくし、トラック幅を充分広く
し、さらに磁気記録装置機構部の精度を高めて、磁気記
録媒体と磁気ヘッドの相対的位置誤差を小さくさせる方
法をとっているため、トラッキング制御する必要はなか
った。また、ディジタル情報を記録する磁気記録媒体に
おいては、ディスク基盤例えばアルミ基盤に磁性膜をス
パッタリングし、初期磁化させた後、サーボライターあ
るいは磁気記録装置で１枚ずつ磁気ヘッドでイニシアラ
イズさせている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】磁気記録媒体の記録ト
ラック幅をもっと狭くして高密度化を図るためには、磁
気記録媒体及び磁気記録装置の機構部の加工精度をもっ
と高くする必要があるが、それによって記録媒体（磁気
ディスク）の生産性は低下し、さらに磁気記録装置の機
構部に超精密さが要求され、安定性、価格などの点で、
磁気記録装置として非常に大がかりになってしまう。

【０００４】また、従来は、コンピュータ固有の固定し
た情報を磁気ディスク上にあらかじめレプリカ形成して
おくことは出来なかったので、パソコンソフトではあら
かじめフロッピーに記録されているソフトを購入して来
て、そのフロッピーから磁気ディスクに情報を移すとい
う繁雑な手間が必要であった。ソフトの規模が大きくな
ると、フロッピーの枚数は何十枚となり、それによって
装置の操作性が低下し、ユーザにとっては使いにくいも
のになってしまう。しかも、磁気ディスク媒体は、ディ
スク基盤例えばアルミ基盤に磁性膜をスパッタリング
し、初期磁化させた後、サーボライターあるいは磁気記
録装置で１枚ずつ磁気ヘッドでイニシアライズさせる必
要があり、記録情報を有する磁気ディスク媒体を大量に
複製することは困難であった。

【０００５】一方、ディジタル情報を光学的にトラッキ
ング制御しながら磁気ヘッドで記録する。磁気ディスク
（フロッピー）において、あらかじめ磁気媒体に案内溝
を設けておき、情報を記録する際に、この案内溝をたよ
りに磁気ヘッドを光学的に案内し、情報を磁気的に記録
していく方式が提案されている（日径エレクトロニク
ス，１９８８．９．５，Ｎo.４５５）。

【０００６】本発明の目的は、磁気記録媒体上に磁気的
に検出できるサーボビットをプリフォームすることによ
って、磁気ヘッドの高精度なトラッキング制御を行な
い、もって信頼性高くかつ高密度に情報を磁気的に記録
しあるいは再生することを可能とする記録再生方法を提
供することにある。

【０００７】本発明の他の目的は、磁気的に検出可能な
サーボビットやデータビットをプリフォームすることに
よって、磁気ヘッドの高精度なトラッキング制御を可能
にし、しかも容易に複製し得る磁気記録媒体及びその製
造方法を提供することにある。

【０００８】本発明の別の目的は、磁気記録媒体に予め
設けられたサーボビットを用いてトラッキング信号を磁
気的に検出できるトラッキング信号検出系を備えた磁気
記録装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明では、磁気記録媒
体上に、記録磁性膜とは磁気特性が異なってプリフォー
ムされた磁気的に読み取りうるサーボビットが設けてあ
る磁気記録媒体を用い、磁気ヘッドがこれらサーボビッ
トのエッジに発生する磁束分布（漏れ磁界）からトラッ
キング信号あるいは同期信号、アドレス信号等のプリフ
ォーマット信号を磁気的に検出し、その検出したトラッ
キング信号により当該磁気ヘッドの位置をサーボ制御し
て、トラックの中心に沿って情報を磁気的に記録しある
いは再生することを特徴とする。

【００１０】本発明の磁気記録媒体は、磁気記録媒体上
に磁気的に読み取り得る。蛇行したサーボビットあるい
は同期ビット，トラックアドレスビット，データビット
がプリフォームしてあり、それらのビットは局部的に記
録磁性膜とは磁気特性が異なり、例えば飽和磁化が他の
部分より小さくなっている磁性膜構造をもった磁気記録
媒体である。

【００１１】本発明の１つの特徴によれば、プリフォー
ムされたビットは、記録磁性膜が局部的に除去されて形
成されている。

【００１２】他の特徴によれば、プリフォームされたビ
ットは、記録磁性膜の下地膜が局部的に除去されて形成
されている。

【００１３】これらプリフォームビットは、そのエッジ
に形成される局所的磁界（漏れ磁界）を、磁気記録媒体
上を浮上する磁気ヘッドで検出することにより、磁気的
に読み取り可能である。例えば、トラックに沿って所定
間隔を有して設けられるトラッキングサーボビットは、
トラック中心に対して蛇行してプリフォームされた少な
くとも一対のビットで構成され、該１対のウォブルビッ
トを磁気ヘッドが通過するときに得られる磁気ヘッドの
再生信号を比較することによりトラッキング信号が検出
される。

【００１４】また、本発明の磁気記録媒体は、磁気的に
再生可能な情報があらかじめ設けられた第１の領域（Ｒ
ＯＭ領域）と、ユーザが情報を磁気的に記録再生できる
第２の領域（ＲＡＭ領域）とを有することを特徴とす
る。第１の領域（ＲＯＭ領域）の情報は、磁気的に再生
可能であるにもかかわらず複製可能であり、この第１の
領域（ＲＯＭ領域）には、コンピュータ固有のソフトな
ど利用する装置に特有の固定情報を記録しておくのが好
適である。

【００１５】１つの特徴によれば、第１の領域（ＲＯＭ
領域）と第２の領域（ＲＡＭ領域）とが、角度分割され
て混在している。そして、第１の領域（ＲＯＭ銀域）に
は、磁気的に再生可能な情報（ＲＯＭ情報）が記録磁性
膜とは部分的に磁気特性が異なってプリフォームされて
いる。また、第１の領域（ＲＯＭ領域）には、記録磁性
膜とは部分的に磁気特性が異なってプリフォームされた
磁気的に再生可能なサーボマークがトラックに沿って周
期的に多数設けられ、これらサーボマーク間に上記磁気
的に再生可能な情報（ＲＯＭ情報）がプリフォームされ
ている。

【００１６】もう１つの特徴によれば、第２の領域（Ｒ
ＡＭ領域）にも、記録磁性膜とは部分的に磁気特性が異
なってプリフォームされた磁気的に再生可能なサーボマ
ークがトラックに沿って周期的に多数設けられ、これら
サーボマーク間をユーザが磁気的に情報を記録するため
の情報記録領域とする。

【００１７】

【作用】本発明によれば、トラッキング信号を検出する
ためのマークとして記録磁性膜とは部分的に磁気特性が
異なるサーボビットをプリフォームした磁気記録媒体を
用い、これらサーボビットのエッジに形成される局所的
磁界（漏れ磁界）から、該磁気記録媒体上を浮上する磁
気ヘッドで、トラッキング信号を検出するので、磁気ヘ
ッドのみで高Ｓ／Ｎでトラッキング信号を検出でき、し
かも小型である。

【００１８】本発明によれば、記録磁性膜とは磁気特性
が異なるサーボマーク（サーボビット）がプリフォーム
してあり、これらプリフォームビットは磁気的に検出可
能であるにもかかわらず複製可能であり、本発明の磁気
記録媒体は同じものを大量に安価で作成できる。

【００１９】また、本発明の磁気記録媒体によれば、磁
気的に再生可能な情報があらかじめ設けられた第１の領
域（ＲＯＭ領域）と、ユーザが情報を磁気的に記録再生
できる第２の領域（ＲＡＭ領域）とを有するので、この
第１の領域（ＲＯＭ領域）にコンピュータ固有のソフト
など利用する装置に特有の固定情報を記録しておくこと
により、ソフトプログラム等をユーザがいちいちフロッ
ピーディスクから磁気記録媒体に磁気的にコピーする必
要がない。しかも、第１の領域（ＲＯＭ領域）の情報は
磁気的に再生可能であるにもかかわらず複製可能であ
り、同じ情報（サーボ情報、同期情報、アドレス情報や
ＲＯＭ情報）がプリフォームされた磁気記録媒体を精度
良く大量に作成できる。

【００２０】また、第１の領域（ＲＯＭ領域）および第
２の領域（ＲＡＭ領域）にサーボマークを、例えば同心
円あるいはスパイラル状のトラックに沿って周期的に多
数設けておくことにより、サーボマークに発生する磁束
分布を磁気ヘッドで磁気的に検出してトラッキング信号
を得、磁気ヘッドをサーボ位置制御しながら、第２の領
域（ＲＡＭ領域）に情報を記録したり、あるいは第１の
領域（ＲＯＭ領域）の情報を読み出したりすることがで
きる。

【００２１】

【実施例】図１は、本発明の１実施例の磁気記録媒体を
示し、図２（ａ）〜（ｃ）は、この磁気記録媒体の記録
面に形成される記録トラックに沿ってプリフォームされ
たトラッキング用ビットおよびクロックビットを示して
いる。図１において、磁気記録媒体基盤１は、ガラス，
樹脂，あるいはアルミからなり、その記録面には図２
（ａ）〜（ｃ）に示すように、同心円状あるいはスパイ
ラル状のトラック２，２′に沿って周期的に多数のトラ
ッキングサーボ用ビット３，３′，４，４′がエッチン
グあるいはインジェクション整形でプリフォームされて
いる。より好適には、イオンミリングあるいは反応性イ
オンエッチングにより磁性膜を除去してプリフォームさ
れる。このように、サーボマークとしては、トラック
２，２′の中心線に対して左右に振り分けてプリフォー
ムされた少なくとも一対のピット３，４（３′，４′）
を用いる。トラッキングサーボ用ビットは、図２（ｂ）
に示すように隣接トラック２，２′間で共用することも
できる。また、図２（ｃ）に示すように、トラッキング
用ビットは、トラックの進行方向、すなわち円周方向に
見たとき、一部重複するように幅広く形成してもよい。
なお、図２（ｃ）の３５，３５′はトラック２，２′の
中心線に沿って設けられたクロックビットであり、これ
らクロックビットもトラッキングサーボビットと同様に
イオンミリングあるいは反応性イオンエッチングにより
磁性膜を除去してプリフォームされる。

【００２２】尚、これらプリフォームビット３，４，３
５，３′，４′，３５′は、図３（ａ）〜（ｃ）に示す
ように、データの記録方向（トラック方向）と直角の方
向に細長く、その長さｄが磁気ヘッドの記録領域３０
（斜線で示す磁気ギャップ）の幅Ｄと同程度であるのが
好適である。

【００２３】また、これらプリフォームビット３，４，
３５，３′，４′，３５′は、図３（ｄ）に示すよう
に、トラック２，２′に対して傾いて設けてもよく、デ
ータもトラックに対して傾いた磁気ヘッドの磁気ギャッ
プ３０によって傾いて記録再生される。こうすることに
よりトラック２，２′間のクロストークがなくなり、ト
ラックピッチをより狭まくすることが可能になる。

【００２４】この媒体基盤１上には磁気記録薄膜（強磁
性膜）５が形成されているが、ビット３，３′，３５，
４，４′，３５′のプリフォームビットには磁気記録薄
膜はない。磁気記録媒体（磁性膜）５は回転させなが
ら、マグネットで全面一様に初期磁化される。磁化の方
向６はディスク円周方向、すなわちデータ記録方向と一
致する。

【００２５】図４は、サーボビット３，３′，４，４′
あるいはクロックビット３５，３５′などのプリフォー
ムビット２０をディスク円周方向、すなわちデータ記録
方向に沿って見た断面図を示す。

【００２６】図４（ａ）はプリフォームビット２０を磁
気ヘッド１０が再生している図を示している。図中、５
は基盤１上に形成された記録磁性膜を示している。

【００２７】この磁気記録薄膜（磁性膜）５は初期磁化
によって一方向６に磁化されており、プリフォームビッ
ト２０から離れた場所では、漏れ磁界はない。しかし、
プリフォームビット２０（３，３′，４，４′，３５，
３５′）ではその両壁にプラスとマイナス磁極７，８が
形成され、その結果プリフォームビット２０の両エッジ
から漏れ磁界が発生する。この漏れ磁界を、磁気記録媒
体上に位置する磁気ヘッド１０で検出することにより、
プリフォームビット２０（３，３′，４，４′，３５，
３５′）は磁気的に読み取られる。例えば、回転してい
る磁気ディスク記録媒体の上に位置する磁気ヘッド１０
はμｍ以下の微小な浮上量で浮上している。

【００２８】図４（ｂ）〜（ｄ）はプリフォームビット
２０付近の磁性膜構造を示している。図４（ｂ）はプリ
フォームビット２０（３，３′，４，４′，３５，３
５′）の基盤１が平坦で、その部分での磁性膜５がない
例である。こうすると、プリフォームビット２０の両端
盤にＮとＳの磁極７，８が形成され、その結果プリフォ
ームビット２０の両エッジに漏れ磁界９が発生する。図
４（ｃ）はプリフォームビット２０の基盤１が凸の場合
で、この凸ビット部には磁性膜５はない。図４（ｄ）は
プリフォームビット２０が凹の場合で、この凹ビット部
には同様に磁性膜５はない。これらプリフォームビット
２０（３，３′，４，４′，３５，３５′）の深さはデ
ータ記録方向のビット幅と同程度位が望ましく、たとえ
ば磁性膜５の厚さを０.１ミクロンとすると、プリフォ
ームビット２０の深さを０.１−０.５ミクロンとする。
また、プリフォームビット２０のデータ記録方向のビッ
ト長を０.５ミクロン，ディスク半径方向のビット幅を
１から２０ミクロン程度にすればよい。図４（ｂ），
（ｃ），（ｄ）のいずれの場合でも、プリフォームビッ
ト２０（サーボビット３，３′，４，４′あるいはクロ
ックビット３５，３５′）の両端壁にＮとＳの磁極７，
８が形成され、その結果プリフォームビット２０の両端
部に漏れ磁界９が発生する。このようなプリフォームビ
ット２０のエッジから発生する磁束９を磁気ヘッド１０
で検出することによって、磁気的に検出できる。すなわ
ち、このようなプリフォームビット２０を磁気ヘッド１
０で走査し、プリフォームビット２０を磁気ヘッド１０
が通過する際に、磁気ヘッド１０のコア１３に形成され
る磁束１１を磁気コイル１２で検出することによって磁
気的に再生できる。

【００２９】図５は、磁気ヘッド１０がプリフォームビ
ット２０をデータ記録方向と直角の方向すなわち半径方
向に走行した場合の磁気コイル１２を通る磁束１１の強
度を表わしたものである。この磁束１１は、磁気ヘッド
１０のデータ記録方向と直角の方向の寸法Ｄをプリフォ
ームビット２０のデータ記録方向と直角方向の幅ｄとほ
ぼ同じにすると望ましい出力信号が得られる。図５にお
いて、磁束１１はビット中心に対称であり、これからは
トラックズレの大きさはわかるが、トラックズレの方向
は検出できない。

【００３０】そこで、本発明では、トラックズレの大き
さと方向を検出するためのトラッキングサーボ用ビット
として、磁気記録媒体上のトラック中心に対して蛇行し
たプリフォームビット３，４（３′，４′）を用いる。

【００３１】図６及び図７（ａ）〜（ｃ）を用いて図２
や図３に示した蛇行プリフォームビット３，４（３′，
４′）からトラッキング信号に検出する動作を説明す
る。図６において、磁気ヘッド１０の中心が、Ａ，Ｂ，
Ｃのそれぞれに沿って通過する場合を考える。磁気ヘッ
ドが一点鎖線Ａに沿って通過する場合、磁気ヘッドはビ
ット３上を通過するので磁気ヘッドが検出する信号はビ
ット３からの信号が大きく、一方、ビット４からの信号
は小さくなる。したがって、図７（ａ）に示した検出信
号が得られる。図７（ｂ）は磁気ヘッドが図６の実線Ｂ
（トラック中心）に沿って通過する場合、図７（ｃ）は
磁気ヘッドが図６の２点鎖線Ｃに沿って通過する場合の
検出波形を示す。したがって、トラックズレの大きさと
方向を示すトラッキング信号は、一対の蛇行したプリフ
ォームビット３，４（３′，４′）上を磁気ヘッド１０
が通過するときに得られる磁気ヘッド１０の再生信号を
サンプル検出し、両者の差を求めることにより得られ
る。磁気ヘッド１０の磁気ギャップ３０の位置がトラッ
ク中心に一致するように制御するには、図７（ｂ）の検
出波形が常にえられるように、検出したトラッキング信
号により磁気ヘッド１０の位置をデータ記録方向と直角
方向（半径方向）に動かしてトラッキング制御すればよ
い。

【００３２】次に、磁気記録媒体（例えば磁気ディス
ク）上に上述した磁気的に検出できるトラッキングサー
ボ用ビットをあらかじめ形成しておき、これらトラッキ
ングサーボビットを用いて磁気ヘッドの高精度なトラッ
キング制御を行ないながら、情報を磁気的に記録再生す
る方法について説明する。

【００３３】図８は、１個の磁気ヘッド１０（図４
（ａ）参照）でデータの記録再生及びトラッキング信号
の検出の両方をできる場合を示す。同心円状あるいはス
パイラル状のトラック２は、トラッキング信号や周期信
号を検出するサーボ領域とデータを記録するデータ領域
とに分離されており、これらサーボ領域とデータ領域と
が交互にトラックに沿って周期的に多数設けられてい
る。これらサーボ領域内のプリフォームビット（pits）
とデータ領域の記録データは、トラックの中心線に沿っ
て走査する１個の磁気ヘッド１０で時分割に検出され
る。各サーボ領域には、トラックズレの大きさと方向を
検出するためのトラッキングサーボマークとして、上述
したように、磁気記録媒体上のトラック中心に対して蛇
行した一対のプリフォームビット３，４が形成されてい
る。なお、各サーボ領域には、図２（ｃ）や図３（ｃ）
に３５，３５′で図示したように、クロックビットをト
ラックの中心線に沿ってプリフォームしてもよい。ま
た、図３（ｄ）に示したようにトラックに対して傾けて
プリフォームしてもよい。更に、必要に応じてトラック
アドレスビットをトラックの中心線に沿ってプリフォー
ムしてもよい。

【００３４】サーボ領域内のこれらプリフォームビット
は、上述したように、記録磁性膜５とは局部的に磁気特
性が異なり、例えばイオンミリングあるいは反応性イオ
ンエッチングにより磁性膜５を除去して形成されてお
り、これらプリフォームビットの両エッジから発生する
漏れ磁界を磁気ヘッド１０で検出することにより、磁気
的に読み取る。トラッキング信号は、図６，図７を用い
て詳細に説明したように、サーボ領域にプリフォームさ
れた一対のウォブルビット３，４のエッジから発生する
漏れ磁界を磁気ヘッド１０でサンプル検出することによ
り得られる。その検出したトラッキング信号に基づいて
磁気ヘッド１０をサーボ位置制御しながら、サーボ領域
間のデータ領域に所望のデータをトラックの中心線に沿
って磁気ヘッド１０で記録したり、あるいは再生する。
磁気ヘッド１０は、アクチュエータ（図示せず）に連結
した支持機構（図示せず）で支持されており、このアク
チュエータを駆動することにより、データ記録方向と直
角方向（例えば、磁気ディスクの半径方向）に動かすこ
とができる。従って、検出したトラッキング信号に基づ
いてこのアクチュエータを駆動することにより、磁気ヘ
ッド１０がトラック中心に常に走査するようにトラッキ
ング制御され、データはトラッキング制御された磁気ヘ
ッド１０によりデータ領域のトラック中心に沿って正確
に記録再生される。尚、データ領域が長い場合は、サー
ボ領域のウォブルビットから検出したトラッキング信号
をデータ領域期間中ホールドするのが好適である。

【００３５】本実施例では、磁性膜５は面内記録用の磁
気薄膜であり、データ領域に記録されるデータは磁気へ
ッド１０により面内記録（磁性膜５に平行な方向に酸化
される）される。

【００３６】図９及び図１０は本発明で用いる磁気記録
媒体のトラックパターンの他の例をそれぞれ示す。どち
らの場合もトラックにはトラッキング信号を検出するサ
ーボ領域とデータを記録するデータ領域が分離されてお
り、１個の磁気コイルで時分割に信号を検出する点は図
８の場合と同じであり、所望のデータが、トラッキング
制御された磁気ヘッドにより、サーボ領域間のデータ領
域にトラック中心に沿って記録再生される。図９では、
各サーボ領域に、トラッキングサーボマークとして、ト
ラック中心に対して蛇行した一対の円形ビット５３，５
４がプリフォームされている。一方、図１０では、各サ
ーボ領域にトラック中心から一方向（データの記録方向
と直角方向で、例えば内周側）にわずかに偏位した位置
に周波数ｆ₁のビット列６３が、＋方向（例えば外周
側）に偏位した位置に周波数ｆ₂のビット列６４がプリ
フォームされている。

【００３７】図１０では、プリフォームビット列６３，
６４をそれぞれ円形ビットで形成したが、トラック方向
の記録密度向上及びＳ／Ｎ向上の点からは、前述したよ
うに、データの記録方向と直角方向に長く、その長さが
磁気ヘッド１０の記録領域３０の幅と同程度となるよう
な矩形ビットで、ビット列６３，６４をプリフォームし
た方が好適である。図１１は、異なる周波数ｆ₁，ｆ₂の
ビット列７２，７３を矩形ビットでプリフォームしたも
のである。周波数ｆ₁，ｆ₂のビット列は、周波数弁別に
よりそれぞれ分離して検出できるので、図１０のように
トラック中心の両側に同時にプリフォームしておき、同
時に検出することもできるし、図１１のようにトラック
に沿ってずらしてプリフォームしておき、時分割に検出
することもできる。これら周波数ｆ₁，ｆ₂のプリフォー
ムビット列からトラッキング信号を検出する方法を図１
２で説明する。トラックに沿って走査する磁気ヘッド１
０の検出信号周波数弁別器６５で周波数ｆ₁と周波数ｆ₂
の成分に分けられる。おのおのの成分は差動増幅器６６
で増幅され、トラッキング信号が得られる。そのトラッ
キング信号は、磁気ヘッドの半径方向位置を変化させる
アクチュエータに送られる。おのおのの成分の振幅が等
しいときは磁気ヘッドがトラック中心にあることにな
る。

【００３８】次に、上述したプリフォームビットを有す
る磁気記録媒体の作成方法を説明する。

【００３９】図１３は、本発明の製造方法で用いるホト
マスクの記録装置を示す。この記録装置は、クロムホト
マスク１３０上に紫外レーザ光で、磁気記録媒体１にあ
らかじめ設けるべき情報のパターン、すなわちＲＯＭ領
域にあらかじめ設けられる磁気的に再生可能なＲＯＭデ
ータや、ＲＯＭ領域及び／又はＲＡＭ領域にトラックに
沿って周期的に多数設けられるサーボ領域内の磁気的に
再生可能なトラッキングサーボマーク，クロックビッ
ト，アドレスビット等のプリフォームされるべき信号か
らなるパターンを記録するものである。図１３（ａ）に
おいて、クロムホトマスク１３０は回転軸受けに固定さ
れて回転するようになっている。一方、レーザ光たとえ
ばアルゴンレーザ（ｗ＝０.４５ミクロン）ＬＡは、プ
リフォームすべき信号に応じて光変調器ＭＤで強度変調
され、高ＮＡ（例えばＮＡ＝０.９３）のレンズ系Ｌで
集光すると、回転マスク１３０上に直径０.４ミクロン
程度の円形スポットが形成される。今、ＲＯＭデータや
トラッキングサーボマーク，クロックビット，アドレス
ビットを構成する各プリフォームビット２０が、その寸
法がディスク半径方向に長く、例えば５ミクロンとする
と、０.４ミクロンの円形スポットでは縦長のビットは
作れない。

【００４０】図１３（ｂ）は縦長のビットを形成するた
めの方法の一例を説明するための図である。図１３
（ａ）において光学系は移動台に乗ってホトマスク１３
０のディスク半径方向に直線移動するが、その移動速度
はホトマスク１３０が１回転する時間に光スポット径よ
り小さい距離、例えばほぼ光スポットの半径に相当する
量だけ動くように制御するとよい。そうすると図１３
（ｂ）に示す様に、ホトマスク１３０の所望の部分に照
射される光量の積分値は一様な矩形になる。いま光スポ
ット径を０.４ミクロンとし、５ミクロンの縦長のプリ
フォームビットを形成するためには、光学系の移動量を
０.２ミクロン／回転とし、５／０.２＝２５、すなわち
ホトマスク１３０が２５回転している間所望のタイミン
グでプリフォームすべき信号に応じて光を強度変調すれ
ばよい。

【００４１】上述したホトマスクの記録装置によって、
上述したプリフォームビット２０（トラッキングサーボ
ビット３，４，３′，４′……；５３，５４；６３，６
４；７２，７３；アドレスビットやクロックビット３
５，３５′……，後述するＲＯＭデータビット１７…
…）の列からなるパターンが記録されたマスク１３０は
現象され、エッチングさせると、所望のプリフォームビ
ット２０がパターン記録されたマスク１３０が得られ
る。このマスク１３０を用いて本発明の一実施例である
図１４〜図１７にそれぞれ示すプロセスで磁気記録媒体
が作成される。

【００４２】図１４は、各プリフォームビット２０の磁
気薄膜（磁性膜）５を除去した磁気媒体の作成方法の一
例を示す。

【００４３】図１４（ａ）ではアルミ，ガラスディスク
基盤１上にネガレジスト２２を塗布し、このホトレジス
ト塗布ディスク基盤１に、上述のマスク１３０を密着し
て露光する図１４（ｂ）では、ネガレジスト２２を露光
後、マスク１３０を取りはずし、現像すると、ビット部
２０以外のレジストは現像により溶解してしまうが、ビ
ット部２０だけにはレジスト２３が残る。図１４（ｃ）
ではそのレジスト２３が残ったディスク基盤１の全面に
磁気薄膜５をスパッタ形成する。図１４（ｄ）では、デ
ィスク上のレジスト２３を除去する。例えば、プラズマ
アッシャや有機溶媒などで除去すると、ビット部２０の
磁気薄膜５が除去され、ビット部２０だけに磁性膜５の
ない磁気記録媒体を作成することができる。また、図１
４（ｄ）では、ビット部に盛り上がって塗布されている
磁性膜５を除去してもよい。例えばディスク表面を薄く
研磨すると、盛り上がって塗布されているビット部の磁
性膜が除去される。

【００４４】図１５に、各プリフォームビット２０の磁
性膜（磁気記録膜）５を除去した磁気記録媒体の作成方
法の他の例を示す。図１５（ａ）ではアルミ，ガラスデ
ィスク基盤１上に磁気薄膜５を一様にスパッタ形成した
後、ポジレジスト２１を塗布し、この磁性膜５とホトレ
ジスト２１が形成されたディスク基盤１に、上述のマス
ク１３０を密着して露光する。図１５（ｂ）では、ポジ
レジスト２１を露光後、マスク１３０を取りはずし、現
像すると、ビット部２０のレジストは現像により溶解し
てしまうが、それ以外のレジストは残る。図１５（ｃ）
ではたとえば、イオンミリング法でエッチングしてレジ
スト２１がないビット部２０の磁気薄膜５を除去する。
図１５（ｄ）では、たとえば、有機溶媒でディスク上の
未露光部のレジスト２１を除去する。この作成方法によ
ってもプリフォームビット２０だけに磁性膜５のない磁
気記録媒体を作成することができる。

【００４５】図１６に、各プリフォームビット２０が非
強磁性である磁気媒体の作成方法の一例を示す。

【００４６】図１６において、図１６（ａ）（ｂ）
（ｄ）のプロセスは図１５の（ａ），（ｂ），（ｄ）と
同じである。図１６（ｃ）においては、例えば水素，ア
ルゴム，窒素，ボロン，ネオン，ディスプロシウム等２
３を打込んで、プリフォームビット部の磁性膜５を強磁
性体でなくしてしまうことによって、プリフォームビッ
ト部２０だけが強磁性体でない磁気記録媒体を作成する
ことができる。このようにプリフォームビット部だけを
強磁性でないようにすると、ビット部以外の記録膜は強
磁性であるために、各プリフォームビット２０の両壁に
磁極が形成され、その結果ビットのエッジから漏れ磁界
が発生するので、前述したのと同様に磁気ヘッド１０に
より磁気的に検出できる。なお、図１８は、この作成方
法によるプリフォームビット２０の部分を拡大して示し
たものである。

【００４７】図１７に、各プリフォームビット２０に下
地膜のない磁気記録媒体の作成方法の一例を示す。図１
７（ａ）ではアルミ，ガラスディスク基盤１上にＣｒ薄
膜３２をスパッタ形成した後、ポジレジスト２１を塗布
し、このＣｒ下地膜３２とホトレジスト２１が形成され
たディスク基盤１に、前述のマスク１３０を密着して露
光する。図１７（ｂ）では、ポシレジスト２１を露光
後、マスク１３０をはずし、現像すると、ビット部２０
のレジスト２１は現像により溶解してしまうが、それ以
外のレジスト２１は残る。図１７（ｃ）では、たとえ
ば、反応性イオンエッチング法でエッチングして、レジ
スト２１がないビット部２０のＣｒ薄膜３２を除去す
る。図１７（ｄ）では、たとえば、有機溶媒でディスク
上の未露光部のレジスト２１を除去する。図１７（ｅ）
ではＣｒ薄膜３２のパターンの上にＣoＮiＺr等の強磁
性膜５およびＣ等の保護膜３４を一様にスパッタ法で形
成する。この作成方法によって、プリフォームビット部
２０だけにＣｒ下地膜３２のない磁気記録媒体を作成す
ることができる。

【００４８】図１９に、この作成方法によるプリフォー
ムビット２０の部分を拡大して示す。図１９（ａ）はプ
リフォームビット２０部を磁気ヘッド１０が走査してい
る図を示し、図１９（ｂ）はプリフォームビット２０部
付近の磁性膜構造を示している。プリフォームビット部
２０以外の磁性膜の構造は、アルミニウム（Ａｌ）ある
いはガラス基板１上に下地膜として例えば３００から５
００ｎｍ厚さのＣｒ膜３２がスパッタ法で形成され、そ
の上に例えばＣoＮiＺr等の強磁性膜５が５０ｎｍから
７０ｎｍ厚、さらにその上にＣ等の保護膜３４がスパッ
タ法で形成されている。

【００４９】各プリフォームビット部２０ではＣｒ下地
膜３２が部分的に除かれており、強磁性膜（記録磁性
膜）５および保護膜３４のみが形成されている。膜形成
後、この磁気記録媒体は回転させながら、マグネットで
全面一様に初期磁化される。磁化の方向６はディスク円
周方向、すなわちデータ記録方向と一致する。

【００５０】Ｃｒ下地膜３２は強磁性膜５の飽和磁化Ｍ
ｓを大きくする効果をもっている。各プリフォームビッ
ト部２０ではＣｒ下地膜３２がないため、その場所での
飽和磁化は小さくなっている。記録磁性膜５を初期磁化
によって一方向６に磁化させておくと、プリフォームビ
ット２０から離れた場所では、漏れ磁界はない。しか
し、サーボビット３，３′，４，４′等の各プリフォー
ムビット２０ではその部分での飽和磁化が他の部分より
小さくなっているために、各プリフォームビット２０の
両壁７，８にプラスとマイナスの磁極が形成され、その
結果プリフォームビットのエッジから漏れ磁界９が発生
するので、前述したのと同様に磁気ヘッド１０により磁
気的に再生できる。

【００５１】以上、図１４乃至図１９を用いて詳述した
ように、本発明の製造方法によれば、磁気的に検出可能
でかつ局所的に記録磁性膜とは磁気特性が異なるプリフ
ォームビットが設けられた磁気記録媒体を容易に作成す
ることができる。しかも、磁気記録媒体にあらかじめ設
けるべきプリフォームビットのパターンを有するマスク
１３０は多数回使用できるので、同じパターンを有する
磁気記録媒体を精度良く大量に作成できる。また、図１
４〜図１７に示した作成方法は、マスク１３０にプリフ
ォームビット以外の任意のパターンを形成することも可
能で、例えば直線溝を作っておけば磁気記録媒体上には
磁気薄膜のない直線溝をプリフォームすることが可能で
ある。さらに、サーボビットはトラッキングビット以外
に同期用ビット、アドレスビットあるいはアクセス用の
ビットも同様にプリフォームすることも可能であること
は勿論である。なお、図１４〜図１６の作製方法では、
保護膜３４について説明しなかったが、図１４〜図１６
の作成方法においても、図１７（ｅ）と同様に、記録磁
性膜５の上にＣ等の保護膜３４を形成するのが好適であ
る。

【００５２】以上の説明においては、サーボ領域間のデ
ータ領域は磁気ヘッド１０で自由に記録，消去できる磁
気記録媒体の場合を想定していた。ここでは、この機能
をもったディスクを、ＲＡＭ機能をもったディスクと名
付ける。しかし、さらに拡張したディスクの使用法とし
て、図２０に示したようにＲＡＭ機能を持った領域４０
と、ＲＯＭ、すなわち読み出し専用領域３９とが混在し
たディスクの形態が考えられる。このような構成にして
おくと、再生専用の情報と書き換え可能な情報とが短い
時間で同時にアクセスすることができるようになる利点
がある。

【００５３】すなわち、磁気ディスク１は、情報を磁気
的に記録再生可能な磁性膜を有し、ユーザが情報を磁気
的に記録再生できる第２の領域（ＲＡＭ領域）４０と磁
気的に再生可能な情報がプリフォームされた第１の領域
（ＲＯＭ領域）３９とを有する。図２０では、ＲＡＭ領
域４０が外周側に、ＲＯＭ領域３９が内周側に設けられ
ている。図２１では、ＲＡＭ領域４０が外周側に、ＲＯ
Ｍ領域３９が内周側に設けられているとともに、ＲＯＭ
領域３９がＲＡＭ領域４０内に角度分割されて混在して
いる。ＲＡＭ領域４０及びＲＯＭ領域３９には、同心円
又はスパイラル状のトラックが設けられており、このト
ラックに沿ってデータが記録再生及び／又は再生され
る。

【００５４】図２２は上記ＲＡＭ領域４０内のデータ記
録トラックを示している。図２２において、データトラ
ック２，２′は、トラックに沿って周期的に多数設けた
サーボ領域１５と、これらサーボ領域１５間のユーザ情
報記録領域（データ領域）に記録されるＲＡＭデータ１
６との組み合わせて構成されている。各サーボ領域１５
には、上述したように、例えば磁性膜を局部的にエッチ
ング除去した。磁気特性が記録磁性膜とは異なるプリフ
ォームビットが形成されており、これらサーボ領域１５
内のプリフォームビットのエッジに発生する磁界を磁気
ヘッド１０で磁気的にサンプル検出してトラッキング信
号を得、そのトラッキング信号に基づいて磁気ヘッド１
０をサーボ位置制御しながら、サーボ領域１５間のユー
ザ情報記録領域（データ領域）に所望のＲＡＭデータ
（例えばコードデータ）１６をトラック２，２′の中心
線に沿って記録したり、あるいは再生する。磁性膜は面
内記録用の磁気薄膜であり、ＲＡＭデータ１６は、トラ
ッキング制御された磁気ヘッド１０で磁気的に面内記
録，再生される。なお、サーボ領域１５内のプリフォー
ムビットとしては、前述した図２，図３，図９で説明し
たように、トラック２，２′の中心線に対して左右に振
り分けた一対のトラッキングサーボビット３，４；５
３，５４あるいは図１０，図１１で説明したようにトラ
ック中心線に対して左右に設けられた周波数の異なる及
び／又は位相の異なるビット列６３，６４；７２，７３
からなるトラッキング用マークを用いる。また、必要に
応じて、アドレスビットやクコックピット３５，３５′
がプリフォームされる。その一例を図２３に示す。

【００５５】図２３は、ＲＡＭ領域４０内の記録トラッ
クの一例を示す。各サーボ領域１５には、トラッキング
サーボマークとして、トラック中心に対して蛇行した一
対のサーボビット３，４がプリフォームされている。図
中、３５で示したビットはクロックおよびアクセスマー
クに関するプリフォームビットであり、サーボビット
３，４と同様の磁性膜構造で基板１上にプリフォームさ
れている。３６はトラック間に形成された溝であり、ト
ラック間のデータ読み出しにおけるクロストークを低減
させるためのものである。この溝３６もサーボビット
３，４と同様の構造でプリフォームされている。１６は
磁気ヘッド１０によってデータ領域に磁気的に記録され
たデータを示している。

【００５６】図２４は上記ＲＯＭ領域３９内のデータ再
生専用トラックを示している。図２４において、データ
トラック２，２′は、トラックに沿って周期的に多数設
けたサーボ領域１５と、これらサーボ領域１５間に設け
られた読出し専用のＲＯＭデータ（例えばコードデー
タ）１７との組み合わせで構成されている。各サーボ領
域１５及びＲＯＭデータ１７は共に、上述したように例
えば磁性膜を局部的にエッチング除去した。磁気特性が
記録磁性膜とは異なるプリフォームビットで形成されて
いる。これらサーボ領域１５内のプリフォームビットの
エッジに発生する磁界を磁気ヘッド１０で磁気的にサン
プル検出してトラッキング信号を得、そのトラッキング
信号に基づいて磁気ヘッドをサーボ位置制御しながら、
サーボ領域１５間のＲＯＭデータ１７をトラック２，
２′の中心線に沿って再生する。ＲＯＭデータ１７は磁
気ヘッドで再生されるのみで、磁気ヘッドでは記録され
ない。

【００５７】ＲＯＭ領域３９内の記録トラックの一例を
図２５に示す。

【００５８】サーボ領域１５のプリフォームビット３，
４，３５およびデータ領域のトラック間の溝３６につい
ては、図２３に示したものと同様である。データ領域の
ビット１７は、ＲＯＭ３９領域ではサーボ領域における
プリフォームビット３，４，３５と同様の方法でプリフ
ォームされている。

【００５９】このようにＲＯＭ領域３９では、サーボ領
域のビット及びデータ領域のＲＯＭデータ１７は共に、
上述したように例えば、記録膜を局部的にエッチング除
去して形成されている。これらサーボ領域のプリフォー
ムビットのエッジに発生する磁界を磁気ヘッドで磁気的
にサンプル検出してトラッキング信号を得、そのトラッ
キング信号に基づいて磁気ヘッドをサーボ位置制御しな
がら、サーボ領域間のデータ領域内のＲＯＭデータ１７
をトラックの中心線に沿って再生する。

【００６０】本実施例によれば、磁気記録媒体にＲＯＭ
情報を安価にレプリカで複製記録できるばかりでなく、
ＲＯＭ情報とＲＡＭ情報が混在しているため、パソコン
などの装置において用いる場合、ソフトプログラム等を
あらかじめＲＯＭ情報として磁気記録媒体に形成してお
けるので、フロッピーを使って磁気記録媒体にソフトを
コピーする手間が省ける。

【００６１】また、第１の領域（ＲＯＭ領域）および第
２の領域（ＲＡＭ領域）にサーボ領域をあらかじめ周期
的に多数設けておくことにより、サーボ領域のプリフォ
ームビットに発生する磁束分布を磁気ヘッドで磁気的に
検出してサーボ位置制御しながら、第２の領域（ＲＡＭ
領域）に情報を記録再生したり、あるいは第１の領域
（ＲＯＭ領域）の情報を読み出したりすることができ
る。

【００６２】

【発明の効果】本発明によれば、プリフォームされたサ
ーボマークに発生する磁界を磁気ヘッドで磁気的に検出
してサーボ位置制御しながら、情報を記録、再生でき、
高密度記録が達成される。

【００６３】また、プリフォームビットは複数記録で
き、高精度かつ容易に同じものを作成できるので、プリ
フォーマット付の磁気記録媒体を大量に安価に作成する
ことが出来る。

【００６４】また、本発明によれば、磁気記録媒体にサ
ーボ情報を安価に複製記録できるばかりでなく、ＲＯＭ
情報とＲＡＭ情報を混在させることができ、パソコンな
どの装置において用いる場合、ソフトプログラム等をあ
らかじめＲＯＭ情報として磁気記録媒体に形成しておけ
るので、プロッピーを使って磁気記録媒体にソフトをコ
ピーする手間が省ける。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気記録媒体（磁気ディスク媒体）の
一実施例を示す概略図。

【図２】（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ図１の磁気記録媒
体の記録面にプリフォームされた記録トラックの一例を
示す図。

【図３】（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ図１の磁気記録媒
体の記録面にプリフォームされた記録トラックの他の例
を、磁気ヘッドの記録領域とともに示す図。

【図４】（ａ）は図２及び図３に示した記録トラックに
プリフォームされたビットも磁気ヘッドが再生している
様子を示す図。（ｂ）〜（ｄ）は、それぞれプリフォー
ムビット付近の磁性膜構造を示す概略断面図。

【図５】磁気ヘッドがプリフォームビットをデータ記録
方向と直角方向に走行した時に得られる磁気ヘッドの出
力を示す図。

【図６】本発明によるトラッキング信号の検出動作を説
明するための図であり、蛇行したトラッキングサーボビ
ットとそれらを走査する磁気ヘッドとの関係を示す図。

【図７】（ａ）〜（ｃ）は本発明によるトラッキング信
号の検出動作を説明するための図であり、図６の走査位
置Ａ，Ｂ，Ｃに沿って磁気ヘッドが走査したときに得ら
れる検出波形の例をそれぞれ示す図。

【図８】サーボ領域で検出したトラッキング信号でトラ
ッキング制御しながらデータ領域にデータを記録再生す
る本発明の記録再生方法の一実施例を説明するための
図。

【図９】サーボ領域にプリフォームされたトラッキング
サーボビットの他の例を示す図。

【図１０】サーボ領域にプリフォームされたトラッキン
グサーボビットの他の例を示す図。

【図１１】サーボ領域にプリフォームされたトラッキン
グサーボビットの他の例を示す図。

【図１２】図１０及び図１１に示したトラッキングサー
ボビットからトラッキング信号を検出する方法を説明す
るための図。

【図１３】（ａ）は本発明の記録媒体作成方法で用いる
マスク記録装置の一例を示す図。（ｂ）は一様な矩形の
プリフォームビットを形成するための方法を説明するた
めの図。

【図１４】本発明の磁気記録媒体の作成方法の一実施例
を説明するための図であり、プリフォームビットの磁性
膜を除去した磁気媒体の作成方法の一例を示す図。

【図１５】本発明の磁気記録媒体の作成方法の一実施例
を説明するための図であり、その作成方法の他の例を示
す図。

【図１６】本発明の磁気記録媒体の作成方法の一実施例
を説明するための図であり、プリフォームビットが非強
磁性である磁気媒体の作成方法の一例を示す図。

【図１７】本発明の磁気記録媒体の作成方法の一実施例
を説明するための図であり、プリフォームビットの下地
膜を除去した磁気媒体の作成方法の一例を示す図。

【図１８】図１６の作成方法によるプリフォームビット
付近の磁性膜構造を示す図。

【図１９】（ａ），（ｂ）は図１８の作成方法によるプ
リフォームビットの再生方法とその磁性膜構造を示す
図。

【図２０】本発明の磁気記録媒体の一実施例を示し、Ｒ
ＯＭ領域とＲＡＭ領域が混在した磁気ディスク媒体を示
す図。

【図２１】本発明の磁気記録媒体の一実施例を示し、Ｒ
ＯＭ領域とＲＡＭ領域が混在した磁気ディスク媒体を示
す図。

【図２２】ＲＡＭ領域内の記録トラックの一例を示す
図。

【図２３】ＲＡＭ領域内の記録トラックの一例を示す
図。

【図２４】ＲＯＭ領域内の再生専用のトラックの一例を
示す図。

【図２５】ＲＯＭ領域内の再生専用のトラックの一例を
示す図。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者寺澤恒男東京都国分寺市東恋ケ窪１丁目280番地株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者加藤恵三東京都国分寺市東恋ケ窪１丁目280番地株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者宮本治一東京都国分寺市東恋ケ窪１丁目280番地株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者伊藤捷東京都国分寺市東恋ケ窪１丁目280番地株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者太田憲雄東京都国分寺市東恋ケ窪１丁目280番地株式会社日立製作所中央研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】磁気的に読み取りうる情報が記録される強
磁性の磁性膜を有する磁気記録媒体であって、トラッキ
ング信号を検出するためのサーボ領域がトラックに沿っ
て周期的に設けられ、各サーボ領域に磁気的性質が局所
的に異なるように、プリフォームされたサーボビットを
有することを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項２】磁気的に読み取りうる情報が記録される強
磁性の磁性膜を有する磁気記録媒体であって、トラッキ
ング信号を検出するためのサーボ領域がトラックに沿っ
て周期的に設けられ、各サーボ領域に磁気的性質が局所
的に異なるように、プリフォームされたサーボビットを
有し、上記各サーボ領域の上記プリフォームされたサー
ボビットが上記トラックの中心に対して蛇行して設けら
れた少なくとも一対のウォブルサーボビットからなるこ
とを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項３】磁気的に読み取りうる情報が記録される強
磁性の磁性膜を有する磁気記録媒体であって、トラッキ
ング信号を検出するためのサーボ領域がトラックに沿っ
て周期的に設けられ、各サーボ領域に磁気的性質が局所
的に異なるように、プリフォームされたサーボビットを
有し、上記各サーボ領域の上記プリフォームされたサー
ボビットは上記磁性膜が形成されていないことを特徴と
する磁気記録媒体。
【請求項４】磁気的に読み取りうる情報が記録される強
磁性の磁性膜を有する磁気記録媒体であって、トラッキ
ング信号を検出するためのサーボ領域がトラックに沿っ
て周期的に設けられ、各サーボ領域に磁気的性質が局所
的に異なるように、プリフォームされたサーボビットを
有し、上記各サーボ領域の上記プリフォームされたサー
ボビットが上記磁性膜を局部的に非強磁性にして形成さ
れたことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項５】磁気的に読み取りうる情報が記録される強
磁性の磁性膜を有する磁気記録媒体であって、トラッキ
ング信号を検出するためのサーボ領域がトラックに沿っ
て周期的に設けられ、各サーボ領域に磁気的性質が局所
的に異なるように、プリフォームされたサーボビットを
有し、上記各サーボ領域の上記プリフォームされたサー
ボビットが凹凸で形成され、その部分は上記磁性膜が形
成されていないことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項６】磁気的に読み取りうる情報が記録される強
磁性の磁性膜を有する磁気記録媒体であって、トラッキ
ング信号を検出するためのサーボ領域がトラックに沿っ
て周期的に設けられ、各サーボ領域に磁気的性質が局所
的に異なるように、プリフォームされたサーボビットを
有し、上記各サーボ領域の上記プリフォームされたサー
ボビットが上記磁性膜下の下地膜を除去して形成された
ことを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項７】磁気的に読み取りうる情報が記録される強
磁性の磁性膜を有する磁気記録媒体であって、トラッキ
ング信号を検出するためのサーボ領域がトラックに沿っ
て周期的に設けられ、各サーボ領域に磁化の状態が局所
的に異なるように、プリフォームされたサーボビットを
有し、上記各サーボ領域の上記プリフォームされたサー
ボビットが、異なる周波数の一組のビット列からなるこ
とを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項８】磁気的に読み取りうる情報が記録される強
磁性の磁性膜を有する磁気記録媒体であって、トラッキ
ング信号を検出するためのサーボ領域がトラックに沿っ
て周期的に設けられ、各サーボ領域に磁化の状態が周辺
とは異なるようにプリフォームされたサーボビットを有
し、上記サーボ領域間に上記磁性膜とは磁気特性が異な
ってプリフォームされたデータビットを有する第１の領
域と、上記サーボ領域間に上記磁気ヘッドでデータを記
録できる記録領域を有する第２の領域とを有することを
特徴とする磁気記録媒体。
【請求項９】上記第１の領域と上記第２の領域とが、角
度分割されて混在していることを特徴とする請求項８記
載の磁気記録媒体。
【請求項１０】磁性膜を有し、磁気的に情報が記録再生
可能な磁気記録媒体であって、磁気的に再生可能な情報
が凹凸形状であらかじめ設けられた第１の領域と、ユー
ザが情報を磁気的に記録再生できる第２の領域とを有す
ることを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項１１】上記第１の領域と、上記第２の領域と
が、角度分割されて混在していることを特徴とする請求
項１０記載の磁気記録媒体。
【請求項１２】上記第１の領域には上記磁気的に再生可
能な情報が上記磁性膜を部分的に除去して記録されてい
ることを特徴とする請求項１０または１１に記載の磁気
記録媒体。
【請求項１３】上記第１の領域には上記磁性膜を部分的
に除去して記録された磁気的に再生可能なサーボマーク
がトラックに沿って周期的に多数設けられ、これらサー
ボマーク間に上記磁気的に再生可能な情報が設けられて
いることを特徴とする請求項１０乃至１２のいずれかに
記載の磁気記録媒体。
【請求項１４】上記第２の領域には上記磁性膜を部分的
に除去して記録された磁気的に再生可能なサーボマーク
がトラックに沿って周期的に多数設けられ、これらのサ
ーボマーク間をユーザ情報記録領域としたことを特徴と
する請求項１０乃至１３のいずれかに記載の磁気記録媒
体。
【請求項１５】磁気的に読み取りうる情報が記録される
強磁性の磁性膜を有する磁気記録媒体であって、トラッ
キング信号を検出するためのサーボ領域がトラックに沿
って周期的に設けられ、各サーボ領域に上記磁性膜とは
磁気特性が異なって、プリフォームされたサーボビット
を有する磁気記録媒体の製造方法であって、上記サーボ
領域にあらかじめ設けられるサーボビットのパターンを
有するマスクを準備し、上記磁性膜上に設けたレジスト
を上記マスクを介して露光し、上記パターンに対応する
上記レジストを除去し、そのレジストをマスクとして上
記パターンに対応する上記磁性膜の部分の、磁気特性を
異ならせることにより、上記サーボビットをプリフォー
ムすることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項１６】上記パターンに対応する上記磁性膜の部
分を除去して上記サーボビットをプリフォームすること
を特徴とする請求項１５記載の製造方法。
【請求項１７】上記パターンに対応する上記磁性膜を部
分を非磁性にして上記サーボビットをプリフォームする
ことを特徴とする請求項１５記載の製造方法。
【請求項１８】上記パターンに対応する上記磁性膜下の
下地膜を部分的に除去して上記サーボビットをプリフォ
ームすることを特徴とする請求項１５記載の製造方法。
【請求項１９】磁気的に読み取りうる情報が記録される
強磁性の磁性膜を有する磁気記録媒体であって、トラッ
キング信号を検出するためのサーボ領域がトラックに沿
って周期的に設けられ、各サーボ領域に上記磁性膜とは
磁気特性が異なって、プリフォームされたサーボビット
を有する磁気記録媒体から磁気ヘッドが上記サーボビッ
トに発生する磁界を検出することによりトラッキング信
号を検出し、上記トラッキング信号により上記磁気ヘッ
ドの記録位置を制御しながら情報を磁気的に記録するこ
とを特徴とする磁気記録装置。
【請求項２０】上記サーボビットのデータ記録方向と直
角方向の長さが上記磁気ヘッドの記録部分のそれ幅と同
程度であることを特徴とする請求項１９記載の磁気記録
装置。