JPH09189592A - 流量測定装置 - Google Patents
流量測定装置Info
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- JPH09189592A JPH09189592A JP8001265A JP126596A JPH09189592A JP H09189592 A JPH09189592 A JP H09189592A JP 8001265 A JP8001265 A JP 8001265A JP 126596 A JP126596 A JP 126596A JP H09189592 A JPH09189592 A JP H09189592A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ホイートストンブリッジを利用して流体の流
量を測定する場合に、測定結果に含まれる流体の温度の
影響を解消する。 【解決手段】 ホイートストンブリッジ２の第一抵抗体
３と第二発熱抵抗体４とを流体の流路に配置し、この第
二発熱抵抗体４の発熱温度を温度設定抵抗体５で設定す
る。この温度設定抵抗体５の両端の電圧を第一電圧測定
装置２３で測定し、第一抵抗体３の両端電圧を第二電圧
測定装置２５で測定する。温度設定抵抗体５の両端の電
圧は流体の流量と温度とに対応し、第一抵抗体３の両端
の電圧は流体の温度に対応しているので、これらの測定
結果から流体の流量のみを正確に測定することができ
る。
量を測定する場合に、測定結果に含まれる流体の温度の
影響を解消する。 【解決手段】 ホイートストンブリッジ２の第一抵抗体
３と第二発熱抵抗体４とを流体の流路に配置し、この第
二発熱抵抗体４の発熱温度を温度設定抵抗体５で設定す
る。この温度設定抵抗体５の両端の電圧を第一電圧測定
装置２３で測定し、第一抵抗体３の両端電圧を第二電圧
測定装置２５で測定する。温度設定抵抗体５の両端の電
圧は流体の流量と温度とに対応し、第一抵抗体３の両端
の電圧は流体の温度に対応しているので、これらの測定
結果から流体の流量のみを正確に測定することができ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ホイートストンブ
リッジを利用した定温度方式の流量測定装置に関する。
リッジを利用した定温度方式の流量測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】まず、流量測定装置の一従来例を図７に
基づいて以下に説明する。ここで例示する流量測定装置
１は、ホイートストンブリッジ２を有している。このホ
イートストンブリッジ２は、抵抗温度係数が同一で大き
い第一抵抗体３と第二発熱抵抗体４とを有しており、こ
れらの発熱抵抗体４，５は並列に接続されている。前記
第一抵抗体３には抵抗温度係数が小さい温度設定抵抗体
５が直列に接続されており、これらの抵抗体３，５によ
り第一抵抗体部６が形成されている。この第一抵抗体部
６には第三抵抗体７が直列に接続されており、前記第二
発熱抵抗体４には第四抵抗体８が直列に接続されてい
る。これらの抵抗体７，８は抵抗温度係数が同一で小さ
く、これが並列に接続されて前記ホイートストンブリッ
ジ２が形成されている。
基づいて以下に説明する。ここで例示する流量測定装置
１は、ホイートストンブリッジ２を有している。このホ
イートストンブリッジ２は、抵抗温度係数が同一で大き
い第一抵抗体３と第二発熱抵抗体４とを有しており、こ
れらの発熱抵抗体４，５は並列に接続されている。前記
第一抵抗体３には抵抗温度係数が小さい温度設定抵抗体
５が直列に接続されており、これらの抵抗体３，５によ
り第一抵抗体部６が形成されている。この第一抵抗体部
６には第三抵抗体７が直列に接続されており、前記第二
発熱抵抗体４には第四抵抗体８が直列に接続されてい
る。これらの抵抗体７，８は抵抗温度係数が同一で小さ
く、これが並列に接続されて前記ホイートストンブリッ
ジ２が形成されている。
【０００３】このような構造のホイートストンブリッジ
２に対し、前記第一抵抗体３と前記第二発熱抵抗体４と
の接続中点９と、前記第三抵抗体７と前記第四抵抗体８
との接続中点１０とに、制御トランジスタ１１を介して
直流電源１２が接続されている。また、前記第一抵抗体
部６と前記第三抵抗体７との接続中点１３と、前記第二
発熱抵抗体４と前記第四抵抗体８との接続中点１４とに
は、差動増幅器１５が接続されており、この差動増幅器
１５が前記制御トランジスタ１１にフィードバック接続
されている。
２に対し、前記第一抵抗体３と前記第二発熱抵抗体４と
の接続中点９と、前記第三抵抗体７と前記第四抵抗体８
との接続中点１０とに、制御トランジスタ１１を介して
直流電源１２が接続されている。また、前記第一抵抗体
部６と前記第三抵抗体７との接続中点１３と、前記第二
発熱抵抗体４と前記第四抵抗体８との接続中点１４とに
は、差動増幅器１５が接続されており、この差動増幅器
１５が前記制御トランジスタ１１にフィードバック接続
されている。
【０００４】このような構造の流量測定装置１では、直
流電源１２から制御トランジスタ１１を介してホイート
ストンブリッジ２に電力が供給されると、温度設定抵抗
体５の抵抗値のために第二発熱抵抗体４には第一抵抗体
３より多量の電流が通電されるので、第二発熱抵抗体４
は高温に発熱するが第一抵抗体３は低温にしか発熱しな
い。
流電源１２から制御トランジスタ１１を介してホイート
ストンブリッジ２に電力が供給されると、温度設定抵抗
体５の抵抗値のために第二発熱抵抗体４には第一抵抗体
３より多量の電流が通電されるので、第二発熱抵抗体４
は高温に発熱するが第一抵抗体３は低温にしか発熱しな
い。
【０００５】このような第一抵抗体３と第二発熱抵抗体
４とが流体の流路に配置されるので、流体の流量が
“０”であると、その温度が第一抵抗体３と第二発熱抵
抗体４とに同様に影響する。この状態でホイートストン
ブリッジ２がバランスするように流量測定装置１は形成
されているので、差動増幅器１５の出力電圧は“０”と
なり制御トランジスタ１１は直流電源１２が出力する電
流を一定に維持する。
４とが流体の流路に配置されるので、流体の流量が
“０”であると、その温度が第一抵抗体３と第二発熱抵
抗体４とに同様に影響する。この状態でホイートストン
ブリッジ２がバランスするように流量測定装置１は形成
されているので、差動増幅器１５の出力電圧は“０”と
なり制御トランジスタ１１は直流電源１２が出力する電
流を一定に維持する。
【０００６】このようなバランス状態から流体が流動す
ると、高温に発熱する第二発熱抵抗体４は第一抵抗体３
より大幅に冷却されるので、その抵抗値が低下して接続
中点１４の電圧が接続中点１３より低下する。この電位
差を差動増幅器１５が増幅して制御トランジスタ１１に
出力するので、この制御トランジスタ１１は直流電源１
２からホイートストンブリッジ２に供給される電流を増
加させる。すると、この電力は温度設定抵抗体５の抵抗
値のために第一抵抗体３より第二発熱抵抗体４に高圧に
印加されるので、第二発熱抵抗体４は第一抵抗体３より
高温に発熱する。すると、第二発熱抵抗体４の抵抗値が
増加してホイートストンブリッジ２のバランスが回復す
る。
ると、高温に発熱する第二発熱抵抗体４は第一抵抗体３
より大幅に冷却されるので、その抵抗値が低下して接続
中点１４の電圧が接続中点１３より低下する。この電位
差を差動増幅器１５が増幅して制御トランジスタ１１に
出力するので、この制御トランジスタ１１は直流電源１
２からホイートストンブリッジ２に供給される電流を増
加させる。すると、この電力は温度設定抵抗体５の抵抗
値のために第一抵抗体３より第二発熱抵抗体４に高圧に
印加されるので、第二発熱抵抗体４は第一抵抗体３より
高温に発熱する。すると、第二発熱抵抗体４の抵抗値が
増加してホイートストンブリッジ２のバランスが回復す
る。
【０００７】反対に、第二発熱抵抗体４が第一抵抗体３
に対して温度設定抵抗体５の設定温度より高温に発熱し
た場合は、第二発熱抵抗体４の抵抗値が増大して接続中
点１４の電圧が増加するので、ホイートストンブリッジ
２に供給される電流が削減されて第二発熱抵抗体４の発
熱温度が低下され、その抵抗値が低減されてホイートス
トンブリッジ２のバランスが回復する。
に対して温度設定抵抗体５の設定温度より高温に発熱し
た場合は、第二発熱抵抗体４の抵抗値が増大して接続中
点１４の電圧が増加するので、ホイートストンブリッジ
２に供給される電流が削減されて第二発熱抵抗体４の発
熱温度が低下され、その抵抗値が低減されてホイートス
トンブリッジ２のバランスが回復する。
【０００８】つまり、第一抵抗体３と第二発熱抵抗体４
とは流体の温度により同様に冷却されるが、第二発熱抵
抗体４は第一抵抗体３より高温に発熱するので、より良
好に流体の流量に対応して冷却される。つまり、ホイー
トストンブリッジ２がバランスした状態では第二発熱抵
抗体４が第一抵抗体３より消費している電力が流体の流
量に対応しているので、この状態で差動増幅器１５の出
力や接続中点１４の電圧を測定すれば流体の流量を測定
することができる。
とは流体の温度により同様に冷却されるが、第二発熱抵
抗体４は第一抵抗体３より高温に発熱するので、より良
好に流体の流量に対応して冷却される。つまり、ホイー
トストンブリッジ２がバランスした状態では第二発熱抵
抗体４が第一抵抗体３より消費している電力が流体の流
量に対応しているので、この状態で差動増幅器１５の出
力や接続中点１４の電圧を測定すれば流体の流量を測定
することができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述のような流量測定
装置１では、差動増幅器１５の出力や接続中点１４の電
圧から流体の流量を測定しているが、この測定結果には
流体の温度がノイズとして含まれることになる。
装置１では、差動増幅器１５の出力や接続中点１４の電
圧から流体の流量を測定しているが、この測定結果には
流体の温度がノイズとして含まれることになる。
【００１０】また、ホイートストンブリッジ２がバラン
スした状態で流体の流量を測定することを前提としてい
るが、流体の流量を測定する差動増幅器１５の出力や接
続中点１４の電圧はホイートストンブリッジ２のバラン
スが崩れた場合にも変化する。このような状態では第二
発熱抵抗体４の発熱温度が変化しているので、流体の流
量に対する感度が変化して正確な測定が困難となる。
スした状態で流体の流量を測定することを前提としてい
るが、流体の流量を測定する差動増幅器１５の出力や接
続中点１４の電圧はホイートストンブリッジ２のバラン
スが崩れた場合にも変化する。このような状態では第二
発熱抵抗体４の発熱温度が変化しているので、流体の流
量に対する感度が変化して正確な測定が困難となる。
【００１１】例えば、流体の温度を正確に検出できれば
上述のような課題を解決することができるので、特開平
7-139985号公報に開示された流量測定装置では、流体の
流量とは別個に温度を検出している。しかし、これでは
流体の温度を検出する専用の回路が必要となり、流体測
定装置の構造が複雑化する。
上述のような課題を解決することができるので、特開平
7-139985号公報に開示された流量測定装置では、流体の
流量とは別個に温度を検出している。しかし、これでは
流体の温度を検出する専用の回路が必要となり、流体測
定装置の構造が複雑化する。
【００１２】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
抵抗温度係数が共に大きい第一抵抗体と第二発熱抵抗体
とを接続して流体の流路に配置し、前記第二発熱抵抗体
の発熱温度を設定する温度設定抵抗体を前記第一抵抗体
に直列に接続して第一抵抗体部を形成し、この第一抵抗
体部に接続した第三抵抗体と前記第二発熱抵抗体に接続
した第四抵抗体とを接続してホイートストンブリッジを
形成し、前記第一抵抗体と前記第二発熱抵抗体との接続
中点と前記第三抵抗体と前記第四抵抗体との接続中点と
に電力を供給し、前記第一抵抗体部と前記第三抵抗体と
の接続中点と前記第二発熱抵抗体と前記第四抵抗体との
接続中点との電圧を測定し、この測定電圧に対応して供
給電力をフィードバック制御する流量測定装置におい
て、前記温度設定抵抗体の両端の電圧を測定する第一電
圧測定装置を設け、前記第一抵抗体の両端の電圧を測定
する第二電圧測定装置を設けた。従って、第二発熱抵抗
体は温度設定抵抗体のために第一抵抗体より高温に発熱
し、抵抗値が増加して電圧も上昇する。この電圧に対応
してホイートストンブリッジに供給される電流が削減さ
れるので、第二発熱抵抗体の発熱温度が低下して抵抗値
も低減され、その電圧が減少してホイートストンブリッ
ジのバランスが維持される。第一抵抗体と第二発熱抵抗
体とは流体の温度が同様に作用するが、流体の流量は高
温に発熱する第二発熱抵抗体に大幅に作用する。この第
二発熱抵抗体の発熱温度が低下すると抵抗値も減少して
電圧が低下するが、これに対応してホイートストンブリ
ッジに供給される電流が増加されるので、第二発熱抵抗
体の発熱温度が上昇して抵抗値も増加し、その電圧が上
昇してホイートストンブリッジのバランスが回復する。
このように第二発熱抵抗体の発熱温度は流体の流量と温
度とに対応しており、この第二発熱抵抗体の発熱温度を
温度設定抵抗体により設定しているので、この温度設定
抵抗体の両端の電圧は流体の流量と温度とに対応してい
る。一方、この温度設定抵抗体に接続された第一抵抗体
は、第二発熱抵抗体と同様に抵抗温度係数が大きく流体
の流路に配置されているので、その両端の電圧は流体の
温度に対応している。そこで、流体の流量と温度とに対
応した温度設定抵抗体の両端の電圧を第一電圧測定装置
により測定し、流体の温度のみに対応した第一抵抗体の
両端の電圧を第二電圧測定装置により測定すれば、これ
らの測定結果から流体の流量が測定される。なお、本発
明で云う流量は単位時間に流動する流量を意味している
ので、これは流速と同義であり、流量測定装置により流
速を測定することも可能である。
抵抗温度係数が共に大きい第一抵抗体と第二発熱抵抗体
とを接続して流体の流路に配置し、前記第二発熱抵抗体
の発熱温度を設定する温度設定抵抗体を前記第一抵抗体
に直列に接続して第一抵抗体部を形成し、この第一抵抗
体部に接続した第三抵抗体と前記第二発熱抵抗体に接続
した第四抵抗体とを接続してホイートストンブリッジを
形成し、前記第一抵抗体と前記第二発熱抵抗体との接続
中点と前記第三抵抗体と前記第四抵抗体との接続中点と
に電力を供給し、前記第一抵抗体部と前記第三抵抗体と
の接続中点と前記第二発熱抵抗体と前記第四抵抗体との
接続中点との電圧を測定し、この測定電圧に対応して供
給電力をフィードバック制御する流量測定装置におい
て、前記温度設定抵抗体の両端の電圧を測定する第一電
圧測定装置を設け、前記第一抵抗体の両端の電圧を測定
する第二電圧測定装置を設けた。従って、第二発熱抵抗
体は温度設定抵抗体のために第一抵抗体より高温に発熱
し、抵抗値が増加して電圧も上昇する。この電圧に対応
してホイートストンブリッジに供給される電流が削減さ
れるので、第二発熱抵抗体の発熱温度が低下して抵抗値
も低減され、その電圧が減少してホイートストンブリッ
ジのバランスが維持される。第一抵抗体と第二発熱抵抗
体とは流体の温度が同様に作用するが、流体の流量は高
温に発熱する第二発熱抵抗体に大幅に作用する。この第
二発熱抵抗体の発熱温度が低下すると抵抗値も減少して
電圧が低下するが、これに対応してホイートストンブリ
ッジに供給される電流が増加されるので、第二発熱抵抗
体の発熱温度が上昇して抵抗値も増加し、その電圧が上
昇してホイートストンブリッジのバランスが回復する。
このように第二発熱抵抗体の発熱温度は流体の流量と温
度とに対応しており、この第二発熱抵抗体の発熱温度を
温度設定抵抗体により設定しているので、この温度設定
抵抗体の両端の電圧は流体の流量と温度とに対応してい
る。一方、この温度設定抵抗体に接続された第一抵抗体
は、第二発熱抵抗体と同様に抵抗温度係数が大きく流体
の流路に配置されているので、その両端の電圧は流体の
温度に対応している。そこで、流体の流量と温度とに対
応した温度設定抵抗体の両端の電圧を第一電圧測定装置
により測定し、流体の温度のみに対応した第一抵抗体の
両端の電圧を第二電圧測定装置により測定すれば、これ
らの測定結果から流体の流量が測定される。なお、本発
明で云う流量は単位時間に流動する流量を意味している
ので、これは流速と同義であり、流量測定装置により流
速を測定することも可能である。
【００１３】請求項２記載の発明は、抵抗温度係数が共
に大きい第一抵抗体と第二発熱抵抗体とを接続して流体
の流路に配置し、前記第二発熱抵抗体の発熱温度を設定
する温度設定抵抗体を前記第一抵抗体に直列に接続して
第一抵抗体部を形成し、この第一抵抗体部に接続した第
三抵抗体と前記第二発熱抵抗体に接続した第四抵抗体と
を接続してホイートストンブリッジを形成し、前記第一
抵抗体と前記第二発熱抵抗体との接続中点と前記第三抵
抗体と前記第四抵抗体との接続中点とに電力を供給し、
前記第一抵抗体部と前記第三抵抗体との接続中点と前記
第二発熱抵抗体と前記第四抵抗体との接続中点との電圧
を測定し、この測定電圧に対応して供給電力をフィード
バック制御する流量測定装置において、前記温度設定抵
抗体の両端の電圧を測定する電圧測定装置を設け、前記
第二発熱抵抗体に通電される電流を測定する電流測定装
置を設けた。温度設定抵抗体の両端の電圧は流体の流量
と温度とに対応しており、第二発熱抵抗体の電流量は流
体の温度に対応しているので、流体の流量と温度とに対
応した温度設定抵抗体の両端の電圧を電圧測定装置によ
り測定し、流体の温度のみに対応した第二発熱抵抗体の
電流量を電流量測定装置により測定すれば、これらの測
定結果から流体の流量が測定される。
に大きい第一抵抗体と第二発熱抵抗体とを接続して流体
の流路に配置し、前記第二発熱抵抗体の発熱温度を設定
する温度設定抵抗体を前記第一抵抗体に直列に接続して
第一抵抗体部を形成し、この第一抵抗体部に接続した第
三抵抗体と前記第二発熱抵抗体に接続した第四抵抗体と
を接続してホイートストンブリッジを形成し、前記第一
抵抗体と前記第二発熱抵抗体との接続中点と前記第三抵
抗体と前記第四抵抗体との接続中点とに電力を供給し、
前記第一抵抗体部と前記第三抵抗体との接続中点と前記
第二発熱抵抗体と前記第四抵抗体との接続中点との電圧
を測定し、この測定電圧に対応して供給電力をフィード
バック制御する流量測定装置において、前記温度設定抵
抗体の両端の電圧を測定する電圧測定装置を設け、前記
第二発熱抵抗体に通電される電流を測定する電流測定装
置を設けた。温度設定抵抗体の両端の電圧は流体の流量
と温度とに対応しており、第二発熱抵抗体の電流量は流
体の温度に対応しているので、流体の流量と温度とに対
応した温度設定抵抗体の両端の電圧を電圧測定装置によ
り測定し、流体の温度のみに対応した第二発熱抵抗体の
電流量を電流量測定装置により測定すれば、これらの測
定結果から流体の流量が測定される。
【００１４】請求項３記載の発明では、請求項２記載の
発明において、電圧測定装置の測定結果と電流測定装置
の測定結果とを乗算する出力乗算装置を設けた。電圧測
定装置の測定結果は第二発熱抵抗体の電圧に対応してお
り、電流測定装置の測定結果は第二発熱抵抗体の電流量
に対応しているので、この乗算結果は第二発熱抵抗体の
消費電力に対応することになり、これは流体の流量に対
応している。
発明において、電圧測定装置の測定結果と電流測定装置
の測定結果とを乗算する出力乗算装置を設けた。電圧測
定装置の測定結果は第二発熱抵抗体の電圧に対応してお
り、電流測定装置の測定結果は第二発熱抵抗体の電流量
に対応しているので、この乗算結果は第二発熱抵抗体の
消費電力に対応することになり、これは流体の流量に対
応している。
【００１５】請求項４記載の発明は、抵抗温度係数が共
に大きい第一抵抗体と第二発熱抵抗体とを接続して流体
の流路に配置し、前記第二発熱抵抗体の発熱温度を設定
する温度設定抵抗体を前記第一抵抗体に直列に接続して
第一抵抗体部を形成し、この第一抵抗体部に接続した第
三抵抗体と前記第二発熱抵抗体に接続した第四抵抗体と
を接続してホイートストンブリッジを形成し、前記第一
抵抗体と前記第二発熱抵抗体との接続中点と前記第三抵
抗体と前記第四抵抗体との接続中点とに電力を供給し、
前記第一抵抗体部と前記第三抵抗体との接続中点と前記
第二発熱抵抗体と前記第四抵抗体との接続中点との電圧
を測定し、この測定電圧に対応して供給電力をフィード
バック制御する流量測定装置において、前記温度設定抵
抗体を直列に接続された複数の部分抵抗体により形成
し、前記温度設定抵抗体の両端の電圧を測定する第一電
圧測定装置を設け、少なくとも一個の前記部分抵抗体の
両端の電圧を測定する第二電圧測定装置を設けた。部分
抵抗体の両端の電圧は第一抵抗体の電流量に対応してお
り、これは第二発熱抵抗体の電流量に対応しているので
流体の温度に対応している。つまり、流体の流量と温度
とに対応した温度設定抵抗体の両端の電圧を電圧測定装
置により測定し、流体の温度のみに対応した第二発熱抵
抗体の電流量を電流量測定装置により測定すれば、これ
らの測定結果から流体の流量が測定される。
に大きい第一抵抗体と第二発熱抵抗体とを接続して流体
の流路に配置し、前記第二発熱抵抗体の発熱温度を設定
する温度設定抵抗体を前記第一抵抗体に直列に接続して
第一抵抗体部を形成し、この第一抵抗体部に接続した第
三抵抗体と前記第二発熱抵抗体に接続した第四抵抗体と
を接続してホイートストンブリッジを形成し、前記第一
抵抗体と前記第二発熱抵抗体との接続中点と前記第三抵
抗体と前記第四抵抗体との接続中点とに電力を供給し、
前記第一抵抗体部と前記第三抵抗体との接続中点と前記
第二発熱抵抗体と前記第四抵抗体との接続中点との電圧
を測定し、この測定電圧に対応して供給電力をフィード
バック制御する流量測定装置において、前記温度設定抵
抗体を直列に接続された複数の部分抵抗体により形成
し、前記温度設定抵抗体の両端の電圧を測定する第一電
圧測定装置を設け、少なくとも一個の前記部分抵抗体の
両端の電圧を測定する第二電圧測定装置を設けた。部分
抵抗体の両端の電圧は第一抵抗体の電流量に対応してお
り、これは第二発熱抵抗体の電流量に対応しているので
流体の温度に対応している。つまり、流体の流量と温度
とに対応した温度設定抵抗体の両端の電圧を電圧測定装
置により測定し、流体の温度のみに対応した第二発熱抵
抗体の電流量を電流量測定装置により測定すれば、これ
らの測定結果から流体の流量が測定される。
【００１６】請求項５記載の発明では、請求項４記載の
発明において、第一電圧測定装置と第二電圧測定装置と
の測定結果を乗算する出力乗算装置を設けた。第一電圧
測定装置の測定結果は第二発熱抵抗体の電圧に対応して
おり、第二電圧測定装置の測定結果は第二発熱抵抗体の
電流量に対応しているので、この乗算結果は第二発熱抵
抗体の消費電力に対応することになり、これは流体の流
量に対応している。
発明において、第一電圧測定装置と第二電圧測定装置と
の測定結果を乗算する出力乗算装置を設けた。第一電圧
測定装置の測定結果は第二発熱抵抗体の電圧に対応して
おり、第二電圧測定装置の測定結果は第二発熱抵抗体の
電流量に対応しているので、この乗算結果は第二発熱抵
抗体の消費電力に対応することになり、これは流体の流
量に対応している。
【００１７】請求項６記載の発明は、抵抗温度係数が共
に大きい第一抵抗体と第二発熱抵抗体とを接続して流体
の流路に配置し、前記第二発熱抵抗体の発熱温度を設定
する温度設定抵抗体を前記第一抵抗体に直列に接続して
第一抵抗体部を形成し、この第一抵抗体部に接続した第
三抵抗体と前記第二発熱抵抗体に接続した第四抵抗体と
を接続してホイートストンブリッジを形成し、前記第一
抵抗体と前記第二発熱抵抗体との接続中点と前記第三抵
抗体と前記第四抵抗体との接続中点とに電力を供給し、
前記第一抵抗体部と前記第三抵抗体との接続中点と前記
第二発熱抵抗体と前記第四抵抗体との接続中点との電圧
を測定し、この測定電圧に対応して供給電力をフィード
バック制御する流量測定装置において、前記温度設定抵
抗体の両端の電圧を測定する電圧測定装置を設け、この
電圧測定装置の測定結果を二乗する出力二乗装置を設け
た。温度設定抵抗体の両端の電圧は第一抵抗体の電流量
に対応しており、これは第二発熱抵抗体の電流量に対応
している。また、温度設定抵抗体の両端の電圧は第二発
熱抵抗体の電流量と発熱温度とにも対応しているので、
これは第二発熱抵抗体の電圧にも対応している。このた
め、温度設定抵抗体の両端の電圧を二乗すると第二発熱
抵抗体の消費電力に対応することになり、これは流体の
流量に対応している。
に大きい第一抵抗体と第二発熱抵抗体とを接続して流体
の流路に配置し、前記第二発熱抵抗体の発熱温度を設定
する温度設定抵抗体を前記第一抵抗体に直列に接続して
第一抵抗体部を形成し、この第一抵抗体部に接続した第
三抵抗体と前記第二発熱抵抗体に接続した第四抵抗体と
を接続してホイートストンブリッジを形成し、前記第一
抵抗体と前記第二発熱抵抗体との接続中点と前記第三抵
抗体と前記第四抵抗体との接続中点とに電力を供給し、
前記第一抵抗体部と前記第三抵抗体との接続中点と前記
第二発熱抵抗体と前記第四抵抗体との接続中点との電圧
を測定し、この測定電圧に対応して供給電力をフィード
バック制御する流量測定装置において、前記温度設定抵
抗体の両端の電圧を測定する電圧測定装置を設け、この
電圧測定装置の測定結果を二乗する出力二乗装置を設け
た。温度設定抵抗体の両端の電圧は第一抵抗体の電流量
に対応しており、これは第二発熱抵抗体の電流量に対応
している。また、温度設定抵抗体の両端の電圧は第二発
熱抵抗体の電流量と発熱温度とにも対応しているので、
これは第二発熱抵抗体の電圧にも対応している。このた
め、温度設定抵抗体の両端の電圧を二乗すると第二発熱
抵抗体の消費電力に対応することになり、これは流体の
流量に対応している。
【００１８】
【発明の実施の形態】本発明の実施の第一の形態を図１
に基づいて以下に説明する。なお、本実施の形態で示す
流量測定装置２１に関し、一従来例として前述した流量
測定装置１と同一の部分は、同一の名称及び符号を利用
して詳細な説明は省略する。まず、本実施の形態の流量
測定装置２１も、ホイートストンブリッジ２を有してお
り、その温度設定抵抗体５の両側の接続中点１３，２２
に第一電圧測定装置２３が接続されると共に、第一抵抗
体３の両側の接続中点２２，２４に第二電圧測定装置２
５が接続されている。これらの電圧測定装置２３，２５
は、差動増幅器を有しており、これに各種の抵抗体を接
続した構造からなる。
に基づいて以下に説明する。なお、本実施の形態で示す
流量測定装置２１に関し、一従来例として前述した流量
測定装置１と同一の部分は、同一の名称及び符号を利用
して詳細な説明は省略する。まず、本実施の形態の流量
測定装置２１も、ホイートストンブリッジ２を有してお
り、その温度設定抵抗体５の両側の接続中点１３，２２
に第一電圧測定装置２３が接続されると共に、第一抵抗
体３の両側の接続中点２２，２４に第二電圧測定装置２
５が接続されている。これらの電圧測定装置２３，２５
は、差動増幅器を有しており、これに各種の抵抗体を接
続した構造からなる。
【００１９】前記電圧測定装置２３，２５の出力には、
Ａ／ＤＣ（Analog／Digital Convertor)を介してマイク
ロコンピュータ（共に図示せず）が接続されており、こ
のマイクロコンピュータは所定の演算処理により前記電
圧測定装置２３，２５の出力結果から流体の流量を算定
する。
Ａ／ＤＣ（Analog／Digital Convertor)を介してマイク
ロコンピュータ（共に図示せず）が接続されており、こ
のマイクロコンピュータは所定の演算処理により前記電
圧測定装置２３，２５の出力結果から流体の流量を算定
する。
【００２０】このような構成において、本実施の形態の
流量測定装置２１では、流動しない基準温度の流体の流
路に第一抵抗体３と第二発熱抵抗体４とを配置し、温度
設定抵抗体５を短絡させて第二発熱抵抗体４を設定温度
に発熱させない状態で、接続中点１３，１４の電位が同
一にバランスするようにホイートストンブリッジ２が形
成されている。
流量測定装置２１では、流動しない基準温度の流体の流
路に第一抵抗体３と第二発熱抵抗体４とを配置し、温度
設定抵抗体５を短絡させて第二発熱抵抗体４を設定温度
に発熱させない状態で、接続中点１３，１４の電位が同
一にバランスするようにホイートストンブリッジ２が形
成されている。
【００２１】このような状態で温度設定抵抗体５の短絡
を解除すると、その抵抗値により第二発熱抵抗体４は第
一抵抗体３より高温に発熱するので、その抵抗値が増大
して接続中点１４の電圧が接続中点１３より上昇する。
このようにホイートストンブリッジ２のバランスが崩れ
ると、差動増幅器１５が接続中点１３，１４の電位差を
増幅して制御トランジスタ１１に出力するので、この制
御トランジスタ１１は直流電源１２からホイートストン
ブリッジ２に供給される電流を低減する。この電流の低
減により第二発熱抵抗体４の発熱温度は低下して抵抗値
が減少するので、接続中点１３，１４の電位差が解消さ
れてホイートストンブリッジ２のバランスが回復する。
を解除すると、その抵抗値により第二発熱抵抗体４は第
一抵抗体３より高温に発熱するので、その抵抗値が増大
して接続中点１４の電圧が接続中点１３より上昇する。
このようにホイートストンブリッジ２のバランスが崩れ
ると、差動増幅器１５が接続中点１３，１４の電位差を
増幅して制御トランジスタ１１に出力するので、この制
御トランジスタ１１は直流電源１２からホイートストン
ブリッジ２に供給される電流を低減する。この電流の低
減により第二発熱抵抗体４の発熱温度は低下して抵抗値
が減少するので、接続中点１３，１４の電位差が解消さ
れてホイートストンブリッジ２のバランスが回復する。
【００２２】このような状態では、流動しない流体に発
熱抵抗体３，４が冷却された状態でホイートストンブリ
ッジ２のバランスが維持されているので、この状態から
流体が流動すると、第二発熱抵抗体４が第一抵抗体３に
対して温度設定抵抗体５の設定温度より低温に冷却され
る。このように第二発熱抵抗体４の抵抗値が低下してホ
イートストンブリッジ２のバランスが崩れると、このホ
イートストンブリッジ２に供給される電流が増加されて
第二発熱抵抗体４の発熱温度が上昇し、その抵抗値の増
加によりホイートストンブリッジ２のバランスが回復す
る。
熱抵抗体３，４が冷却された状態でホイートストンブリ
ッジ２のバランスが維持されているので、この状態から
流体が流動すると、第二発熱抵抗体４が第一抵抗体３に
対して温度設定抵抗体５の設定温度より低温に冷却され
る。このように第二発熱抵抗体４の抵抗値が低下してホ
イートストンブリッジ２のバランスが崩れると、このホ
イートストンブリッジ２に供給される電流が増加されて
第二発熱抵抗体４の発熱温度が上昇し、その抵抗値の増
加によりホイートストンブリッジ２のバランスが回復す
る。
【００２３】本実施の形態の流量測定装置２１では、上
述のように温度設定抵抗体５により第二発熱抵抗体４の
発熱温度を設定しており、この第二発熱抵抗体４の発熱
温度は流体の流量と温度とに対応している。換言する
と、流体の流量に対応してホイートストンブリッジ２の
バランスが維持された状態では、温度設定抵抗体５の両
端の電圧は流体の流量と温度とに対応している。一方、
この温度設定抵抗体５に接続された第一抵抗体３は、第
二発熱抵抗体４と同様に抵抗温度係数が大きく流体の流
路に配置されているので、その両端の電圧は流体の温度
に対応している。
述のように温度設定抵抗体５により第二発熱抵抗体４の
発熱温度を設定しており、この第二発熱抵抗体４の発熱
温度は流体の流量と温度とに対応している。換言する
と、流体の流量に対応してホイートストンブリッジ２の
バランスが維持された状態では、温度設定抵抗体５の両
端の電圧は流体の流量と温度とに対応している。一方、
この温度設定抵抗体５に接続された第一抵抗体３は、第
二発熱抵抗体４と同様に抵抗温度係数が大きく流体の流
路に配置されているので、その両端の電圧は流体の温度
に対応している。
【００２４】そこで、本実施の形態の流量測定装置２１
では、第一電圧測定装置２３により温度設定抵抗体５の
両端の電圧を測定し、第二電圧測定装置２５により第一
抵抗体３の両端の電圧を測定する。この時、第一電圧測
定装置２３の検出電圧は流体の流量と温度とに対応し、
第二電圧測定装置２５の検出電圧は流体の温度に対応し
ているので、所定の演算処理により流体の流量のみを正
確に測定する。
では、第一電圧測定装置２３により温度設定抵抗体５の
両端の電圧を測定し、第二電圧測定装置２５により第一
抵抗体３の両端の電圧を測定する。この時、第一電圧測
定装置２３の検出電圧は流体の流量と温度とに対応し、
第二電圧測定装置２５の検出電圧は流体の温度に対応し
ているので、所定の演算処理により流体の流量のみを正
確に測定する。
【００２５】より詳細には、流体の流路に配置される発
熱抵抗体３，４は抵抗温度係数が共に大きいので、温度
が変化すると抵抗値が変化する。このような抵抗値Ｒ
は、基準温度での抵抗値Ｒ0 、基準温度に対する温度の
差分△Ｔ、温度係数α、とすると、 Ｒ＝Ｒ0(１＋α△Ｔ） として示される。例えば、第二発熱抵抗体４の場合、そ
の抵抗値ＲS2は、基準温度での抵抗値ＲS20 、発熱温度
△Ｔ、流体の温度と基準の温度との差分△ｔ、とする
と、 ＲS2＝ＲS20{１＋α(△ｔ＋△Ｔ)} となる。
熱抵抗体３，４は抵抗温度係数が共に大きいので、温度
が変化すると抵抗値が変化する。このような抵抗値Ｒ
は、基準温度での抵抗値Ｒ0 、基準温度に対する温度の
差分△Ｔ、温度係数α、とすると、 Ｒ＝Ｒ0(１＋α△Ｔ） として示される。例えば、第二発熱抵抗体４の場合、そ
の抵抗値ＲS2は、基準温度での抵抗値ＲS20 、発熱温度
△Ｔ、流体の温度と基準の温度との差分△ｔ、とする
と、 ＲS2＝ＲS20{１＋α(△ｔ＋△Ｔ)} となる。
【００２６】ホイートストンブリッジ２がバランスして
接続中点１３，１４の電位が同一の場合、第一電圧測定
装置２３の検出電圧Ｖｑは、第一抵抗体３に通電される
電流量ｉ1 、温度設定抵抗体５の温度係数α′、温度設
定抵抗体５の温度と基準温度との差分△ｔ′、温度設定
抵抗体５の基準温度での抵抗値Ｒ30、とすると、 Ｖｑ＝Ｒ30(１＋α′△ｔ′)ｉ1 となり、これは第一電圧測定装置２３の増幅率Ｇ、第二
発熱抵抗体４に通電される電流量ｉ2 、第三抵抗体７の
基準温度での抵抗値Ｒ10、第二抵抗体８の基準温度での
抵抗値Ｒ20、とすると、 Ｖｑ＝Ｇ(Ｒ10／Ｒ20)α △Ｔ ＲS20 ｉ2 となる。
接続中点１３，１４の電位が同一の場合、第一電圧測定
装置２３の検出電圧Ｖｑは、第一抵抗体３に通電される
電流量ｉ1 、温度設定抵抗体５の温度係数α′、温度設
定抵抗体５の温度と基準温度との差分△ｔ′、温度設定
抵抗体５の基準温度での抵抗値Ｒ30、とすると、 Ｖｑ＝Ｒ30(１＋α′△ｔ′)ｉ1 となり、これは第一電圧測定装置２３の増幅率Ｇ、第二
発熱抵抗体４に通電される電流量ｉ2 、第三抵抗体７の
基準温度での抵抗値Ｒ10、第二抵抗体８の基準温度での
抵抗値Ｒ20、とすると、 Ｖｑ＝Ｇ(Ｒ10／Ｒ20)α △Ｔ ＲS20 ｉ2 となる。
【００２７】この第一電圧測定装置２３の検出電圧Ｖｑ
を示す演算式の変数は、第二発熱抵抗体４の発熱温度△
Ｔと電流ｉ2 であり、その発熱温度△Ｔは流体の流量に
対応し、電流ｉ2 は流体の温度に対応している。つま
り、第一電圧測定装置２３により温度設定抵抗体５の両
端から検出した電圧Ｖｑは、流体の流量と温度とに対応
している。一方、第二電圧測定装置２５により第一抵抗
体３の両端から検出する電圧Ｖｆは、流体の温度に対応
している。そこで、これらの電圧を所定の演算式により
処理すれば、流体の流量のみを正確に検出することがで
きる。
を示す演算式の変数は、第二発熱抵抗体４の発熱温度△
Ｔと電流ｉ2 であり、その発熱温度△Ｔは流体の流量に
対応し、電流ｉ2 は流体の温度に対応している。つま
り、第一電圧測定装置２３により温度設定抵抗体５の両
端から検出した電圧Ｖｑは、流体の流量と温度とに対応
している。一方、第二電圧測定装置２５により第一抵抗
体３の両端から検出する電圧Ｖｆは、流体の温度に対応
している。そこで、これらの電圧を所定の演算式により
処理すれば、流体の流量のみを正確に検出することがで
きる。
【００２８】なお、ここでは電圧測定装置２３，２５を
差動増幅器と抵抗体によりハードウェアとして形成し、
これらの出力をＡ／ＤＣを介してマイクロコンピュータ
により演算処理することを例示したが、本発明は上記方
式に限定されるものではない。例えば、Ａ／ＤＣを接続
したマイクロコンピュータを直接に電圧測定装置とする
ことも可能であり、電圧測定装置２３，２５の出力を演
算処理する論理回路を形成することも可能である。
差動増幅器と抵抗体によりハードウェアとして形成し、
これらの出力をＡ／ＤＣを介してマイクロコンピュータ
により演算処理することを例示したが、本発明は上記方
式に限定されるものではない。例えば、Ａ／ＤＣを接続
したマイクロコンピュータを直接に電圧測定装置とする
ことも可能であり、電圧測定装置２３，２５の出力を演
算処理する論理回路を形成することも可能である。
【００２９】また、ここでは流量測定装置２１により流
体の流量を測定することを例示したが、この流量は単位
時間に流体が流動する流量なので流速と同義であり、流
量測定装置２１により流量と同様に流速を測定すること
も可能である。さらに、ここでは第一抵抗体３と第二発
熱抵抗体４とを流体の流路に配置し、他の抵抗体５，
７，８は流体の流路に配置しないことにより、良好な精
度を確保することを想定しているが、抵抗体５，７，８
の抵抗温度係数が充分に小さければ、これを流体の流路
に位置させることも可能であり、この場合は流量測定装
置２１の構造の簡略化や小型化が可能となる。
体の流量を測定することを例示したが、この流量は単位
時間に流体が流動する流量なので流速と同義であり、流
量測定装置２１により流量と同様に流速を測定すること
も可能である。さらに、ここでは第一抵抗体３と第二発
熱抵抗体４とを流体の流路に配置し、他の抵抗体５，
７，８は流体の流路に配置しないことにより、良好な精
度を確保することを想定しているが、抵抗体５，７，８
の抵抗温度係数が充分に小さければ、これを流体の流路
に位置させることも可能であり、この場合は流量測定装
置２１の構造の簡略化や小型化が可能となる。
【００３０】つぎに、本発明の実施の第二の形態を図２
に基づいて以下に説明する。なお、本実施の形態で示す
流量測定装置３１に関し、実施の第一の形態として上述
した流量測定装置２１と同一の部分は、同一の名称及び
符号を利用して詳細な説明は省略する。まず、本実施の
形態の流量測定装置３１も、ホイートストンブリッジ２
を有しており、その温度設定抵抗体５の両側の接続中点
１３，２２に電圧測定装置２３が接続されている。しか
し、前述した電圧測定装置２５は設けられておらず、第
四抵抗体８の両側の接続中点３２，３３に電流測定装置
３４が接続されている。この電流測定装置３４も差動増
幅器と複数の抵抗体からなり、電圧測定装置２３と共に
Ａ／ＤＣを介してマイクロコンピュータに接続されてい
る。
に基づいて以下に説明する。なお、本実施の形態で示す
流量測定装置３１に関し、実施の第一の形態として上述
した流量測定装置２１と同一の部分は、同一の名称及び
符号を利用して詳細な説明は省略する。まず、本実施の
形態の流量測定装置３１も、ホイートストンブリッジ２
を有しており、その温度設定抵抗体５の両側の接続中点
１３，２２に電圧測定装置２３が接続されている。しか
し、前述した電圧測定装置２５は設けられておらず、第
四抵抗体８の両側の接続中点３２，３３に電流測定装置
３４が接続されている。この電流測定装置３４も差動増
幅器と複数の抵抗体からなり、電圧測定装置２３と共に
Ａ／ＤＣを介してマイクロコンピュータに接続されてい
る。
【００３１】このような構成において、本実施の形態の
流量測定装置３１でも、温度設定抵抗体５の両端の電圧
が流体の流量と温度とに対応しているので、これを電圧
測定装置２３により測定する。一方、電流測定装置３４
により第四抵抗体８の両端の電圧を測定するが、この第
四抵抗体８は抵抗値が変化しないので、その電圧は電流
量に対応している。
流量測定装置３１でも、温度設定抵抗体５の両端の電圧
が流体の流量と温度とに対応しているので、これを電圧
測定装置２３により測定する。一方、電流測定装置３４
により第四抵抗体８の両端の電圧を測定するが、この第
四抵抗体８は抵抗値が変化しないので、その電圧は電流
量に対応している。
【００３２】この第四抵抗体８の電流量は第二発熱抵抗
体４に通電される電流量と同一であり、この第二発熱抵
抗体４の電流量は前述のように流体の温度に対応してい
る。このため、本実施の形態の流量測定装置３１も、二
個の測定装置２３，３４の測定結果から所定の演算処理
により流体の流量のみを正確に測定する。
体４に通電される電流量と同一であり、この第二発熱抵
抗体４の電流量は前述のように流体の温度に対応してい
る。このため、本実施の形態の流量測定装置３１も、二
個の測定装置２３，３４の測定結果から所定の演算処理
により流体の流量のみを正確に測定する。
【００３３】より詳細には、前述のようにホイートスト
ンブリッジ２がバランスしている場合、電流測定装置３
４の検出電流Ｉｑは、その増幅率Ｇ′、第四抵抗体８の
温度係数α″、とすると、 Ｉｑ＝Ｇ′Ｒ20(１＋α″△ｔ′)ｉ2 となり、この検出電圧Ｉｑの変数である第二発熱抵抗体
４の電流ｉ2 は、流体の温度に対応している。
ンブリッジ２がバランスしている場合、電流測定装置３
４の検出電流Ｉｑは、その増幅率Ｇ′、第四抵抗体８の
温度係数α″、とすると、 Ｉｑ＝Ｇ′Ｒ20(１＋α″△ｔ′)ｉ2 となり、この検出電圧Ｉｑの変数である第二発熱抵抗体
４の電流ｉ2 は、流体の温度に対応している。
【００３４】つまり、電圧測定装置２３の検出電圧Ｖｑ
は、その変数が第二発熱抵抗体４の発熱温度△Ｔと電流
ｉ2 で流体の流量と温度とに対応しており、電流測定装
置３４の検出電流Ｉｑは、その変数が第二発熱抵抗体４
の電流ｉ2 で流体の温度に対応しているので、これらの
測定結果から流体の流量のみを正確に検出することがで
きる。
は、その変数が第二発熱抵抗体４の発熱温度△Ｔと電流
ｉ2 で流体の流量と温度とに対応しており、電流測定装
置３４の検出電流Ｉｑは、その変数が第二発熱抵抗体４
の電流ｉ2 で流体の温度に対応しているので、これらの
測定結果から流体の流量のみを正確に検出することがで
きる。
【００３５】なお、本発明は上述した流量測定装置３１
に限定されるものでもなく、前述した流量測定装置２１
と同様に各種の変形を許容する。例えば、ここでは第二
発熱抵抗体４に通電される電流量を測定するため、電流
測定装置３４を第四抵抗体８の両端に接続したが、例え
ば、この第四抵抗体８を複数に分割して第二発熱抵抗体
４の電流量を測定する専用の抵抗体を形成し、この抵抗
体の両端に電流測定装置３４を接続することも可能であ
る。
に限定されるものでもなく、前述した流量測定装置２１
と同様に各種の変形を許容する。例えば、ここでは第二
発熱抵抗体４に通電される電流量を測定するため、電流
測定装置３４を第四抵抗体８の両端に接続したが、例え
ば、この第四抵抗体８を複数に分割して第二発熱抵抗体
４の電流量を測定する専用の抵抗体を形成し、この抵抗
体の両端に電流測定装置３４を接続することも可能であ
る。
【００３６】また、本実施の形態の流量測定装置３１で
は、前述した流量測定装置２１と同様に二個の測定装置
２３，３１の測定結果をマイクロコンピュータにより演
算処理することを想定したが、図３に一変形例として示
すように、出力乗算装置として乗算器を有する演算装置
３６を設け、これを二個の測定装置２３，３１に接続し
て流量測定装置３７を形成することも可能である。この
流量測定装置３７の演算装置３６は乗算器を有するの
で、二個の測定装置２３，３１の二つの測定結果を乗算
して流体の流量の測定結果を出力する。
は、前述した流量測定装置２１と同様に二個の測定装置
２３，３１の測定結果をマイクロコンピュータにより演
算処理することを想定したが、図３に一変形例として示
すように、出力乗算装置として乗算器を有する演算装置
３６を設け、これを二個の測定装置２３，３１に接続し
て流量測定装置３７を形成することも可能である。この
流量測定装置３７の演算装置３６は乗算器を有するの
で、二個の測定装置２３，３１の二つの測定結果を乗算
して流体の流量の測定結果を出力する。
【００３７】つまり、第二発熱抵抗体４の消費電力Ｐ
は、発熱温度△Ｔ、流体の流量ｕ、所定の定数Ａ，Ｂ，
ｎとすると、
は、発熱温度△Ｔ、流体の流量ｕ、所定の定数Ａ，Ｂ，
ｎとすると、
【００３８】
【数１】
【００３９】となる。流量測定装置３７は、第二発熱抵
抗体４の発熱温度△Ｔを一定に制御するので、その消費
電力Ｐは流体の流量ｕに対応している。演算装置３６の
演算結果である“Ｖｑ×Ｉｑ”は、第二発熱抵抗体４の
電圧と電流とに対応しているので消費電力Ｐにも対応し
ていることになり、これを流体の流量の測定結果とする
ことができる。なお、このような演算結果は電力を意味
しており、流体の流量を直接に表現はしないので、実際
には上述のような結果に所定の係数を乗算するような処
理も実行する。
抗体４の発熱温度△Ｔを一定に制御するので、その消費
電力Ｐは流体の流量ｕに対応している。演算装置３６の
演算結果である“Ｖｑ×Ｉｑ”は、第二発熱抵抗体４の
電圧と電流とに対応しているので消費電力Ｐにも対応し
ていることになり、これを流体の流量の測定結果とする
ことができる。なお、このような演算結果は電力を意味
しており、流体の流量を直接に表現はしないので、実際
には上述のような結果に所定の係数を乗算するような処
理も実行する。
【００４０】つぎに、本発明の実施の第三の形態を図４
に基づいて以下に説明する。なお、本実施の形態で示す
流量測定装置４１に関し、実施の第一の形態として前述
した流量測定装置２１と同一の部分は、同一の名称及び
符号を利用して詳細な説明は省略する。
に基づいて以下に説明する。なお、本実施の形態で示す
流量測定装置４１に関し、実施の第一の形態として前述
した流量測定装置２１と同一の部分は、同一の名称及び
符号を利用して詳細な説明は省略する。
【００４１】まず、本実施の形態の流量測定装置４１
も、ホイートストンブリッジ２を有しており、その温度
設定抵抗体５の両側の接続中点１３，２２に第一電圧測
定装置２３が接続されている。しかし、温度設定抵抗体
５が、直列に接続された二個の部分抵抗体４２，４３に
より形成されており、ここでは第二部分抵抗体４３の両
側の接続中点４４，２２に第二電圧測定装置４５が接続
されている。
も、ホイートストンブリッジ２を有しており、その温度
設定抵抗体５の両側の接続中点１３，２２に第一電圧測
定装置２３が接続されている。しかし、温度設定抵抗体
５が、直列に接続された二個の部分抵抗体４２，４３に
より形成されており、ここでは第二部分抵抗体４３の両
側の接続中点４４，２２に第二電圧測定装置４５が接続
されている。
【００４２】このような構成において、本実施の形態の
流量測定装置４１でも、温度設定抵抗体５の両端の電圧
が流体の流量と温度とに対応しているので、これを第一
電圧測定装置２３により測定する。一方、第二電圧測定
装置４５により第二部分抵抗体４３の両端の電圧を測定
するが、この第二部分抵抗体４３は抵抗値が変化しない
ので、その電圧は電流量に対応している。
流量測定装置４１でも、温度設定抵抗体５の両端の電圧
が流体の流量と温度とに対応しているので、これを第一
電圧測定装置２３により測定する。一方、第二電圧測定
装置４５により第二部分抵抗体４３の両端の電圧を測定
するが、この第二部分抵抗体４３は抵抗値が変化しない
ので、その電圧は電流量に対応している。
【００４３】この第二部分抵抗体４３の電流量は第一抵
抗体３に通電される電流量と同一であり、この第一抵抗
体３の電流量は流体の温度に対応している。このため、
本実施の形態の流量測定装置４１も、二個の測定装置２
３，４５の測定結果から所定の演算処理により流体の流
量のみを正確に測定する。
抗体３に通電される電流量と同一であり、この第一抵抗
体３の電流量は流体の温度に対応している。このため、
本実施の形態の流量測定装置４１も、二個の測定装置２
３，４５の測定結果から所定の演算処理により流体の流
量のみを正確に測定する。
【００４４】より詳細には、前述のようにホイートスト
ンブリッジ２がバランスしている場合、第二電圧測定装
置４５の検出電流Ｉｑは、その増幅率Ｇ′、第二部分抵
抗体４３の抵抗値Ｒ3b0 、その温度係数α″、その電流
量ｉ1 とすると、 Ｉｑ＝Ｇ′Ｒ3b0(１＋α″△ｔ′)ｉ1 となる。この検出電圧Ｉｑの変数である第二部分抵抗体
４３の電流量ｉ1 は、前述のように第一抵抗体３の電流
量であり、この第一抵抗体３の電流量ｉ1 、その抵抗値
Ｒ1 、第二発熱抵抗体４の電流ｉ2 、その抵抗値Ｒ2 、
とすると、 ｉ1／ｉ2＝Ｒ1／Ｒ2 となる。抵抗温度係数が同一の発熱抵抗体３，４の抵抗
値Ｒ1 ，Ｒ2 は同様な比率で変化するので電流量ｉ1 ，
ｉ2 は対応することになり、第二電圧測定装置４５の検
出電流Ｉｑは、流体の温度に対応することになるので、
これらの測定結果から流体の流量のみを正確に検出する
ことができる。
ンブリッジ２がバランスしている場合、第二電圧測定装
置４５の検出電流Ｉｑは、その増幅率Ｇ′、第二部分抵
抗体４３の抵抗値Ｒ3b0 、その温度係数α″、その電流
量ｉ1 とすると、 Ｉｑ＝Ｇ′Ｒ3b0(１＋α″△ｔ′)ｉ1 となる。この検出電圧Ｉｑの変数である第二部分抵抗体
４３の電流量ｉ1 は、前述のように第一抵抗体３の電流
量であり、この第一抵抗体３の電流量ｉ1 、その抵抗値
Ｒ1 、第二発熱抵抗体４の電流ｉ2 、その抵抗値Ｒ2 、
とすると、 ｉ1／ｉ2＝Ｒ1／Ｒ2 となる。抵抗温度係数が同一の発熱抵抗体３，４の抵抗
値Ｒ1 ，Ｒ2 は同様な比率で変化するので電流量ｉ1 ，
ｉ2 は対応することになり、第二電圧測定装置４５の検
出電流Ｉｑは、流体の温度に対応することになるので、
これらの測定結果から流体の流量のみを正確に検出する
ことができる。
【００４５】なお、本発明も上述した流量測定装置４１
に限定されるものではなく、前述した流量測定装置２
１，３１と同様に各種の変形を許容する。例えば、ここ
では第一抵抗体３に通電される電流量を測定するため、
温度設定抵抗体５を二個に分割して第二部分抵抗体４３
に第二電圧測定装置４５を接続したが、例えば、このよ
うな温度設定抵抗体５の分割の個数は二個に限定される
ものではなく、その何れに第二電圧測定装置４５を接続
することも可能である。
に限定されるものではなく、前述した流量測定装置２
１，３１と同様に各種の変形を許容する。例えば、ここ
では第一抵抗体３に通電される電流量を測定するため、
温度設定抵抗体５を二個に分割して第二部分抵抗体４３
に第二電圧測定装置４５を接続したが、例えば、このよ
うな温度設定抵抗体５の分割の個数は二個に限定される
ものではなく、その何れに第二電圧測定装置４５を接続
することも可能である。
【００４６】また、本実施の形態の流量測定装置４１で
は、前述した流量測定装置２１と同様に二個の測定装置
２３，４１の測定結果をマイクロコンピュータにより演
算処理することを想定したが、図５に一変形例として示
すように、前述した流量測定装置３７と同様に演算装置
３６を二個の測定装置２３，４１に接続して流量測定装
置４７を形成することも可能である。
は、前述した流量測定装置２１と同様に二個の測定装置
２３，４１の測定結果をマイクロコンピュータにより演
算処理することを想定したが、図５に一変形例として示
すように、前述した流量測定装置３７と同様に演算装置
３６を二個の測定装置２３，４１に接続して流量測定装
置４７を形成することも可能である。
【００４７】つぎに、本発明の実施の第四の形態を図６
に基づいて以下に説明する。なお、本実施の形態で示す
流量測定装置５１に関し、実施の第一の形態として上述
した流量測定装置２１と同一の部分は、同一の名称及び
符号を利用して詳細な説明は省略する。
に基づいて以下に説明する。なお、本実施の形態で示す
流量測定装置５１に関し、実施の第一の形態として上述
した流量測定装置２１と同一の部分は、同一の名称及び
符号を利用して詳細な説明は省略する。
【００４８】まず、本実施の形態の流量測定装置５１
も、ホイートストンブリッジ２を有しており、その温度
設定抵抗体５の両側の接続中点１３，２２に電圧測定装
置２３が接続されており、この電圧測定装置２３に出力
二乗装置である演算装置５２が接続されている。この演
算装置５２は、乗算器を有しており、電圧測定装置２３
の出力結果を二乗する。
も、ホイートストンブリッジ２を有しており、その温度
設定抵抗体５の両側の接続中点１３，２２に電圧測定装
置２３が接続されており、この電圧測定装置２３に出力
二乗装置である演算装置５２が接続されている。この演
算装置５２は、乗算器を有しており、電圧測定装置２３
の出力結果を二乗する。
【００４９】このような構成において、本実施の形態の
流量測定装置５１では、温度設定抵抗体５の両端の電圧
は、第二発熱抵抗体４の電圧に対応していると同時に、
第二発熱抵抗体４の電流量にも対応している。第二発熱
抵抗体４の電圧と電流とを乗算した電力は流体の流量に
対応しているので、温度設定抵抗体５の両端の電圧を二
乗すると流体の流量に対応することになる。そこで、温
度設定抵抗体５の流体の電圧を電圧測定装置２３により
測定し、これを演算装置５２により二乗することによ
り、流体の流量のみを正確に測定する。
流量測定装置５１では、温度設定抵抗体５の両端の電圧
は、第二発熱抵抗体４の電圧に対応していると同時に、
第二発熱抵抗体４の電流量にも対応している。第二発熱
抵抗体４の電圧と電流とを乗算した電力は流体の流量に
対応しているので、温度設定抵抗体５の両端の電圧を二
乗すると流体の流量に対応することになる。そこで、温
度設定抵抗体５の流体の電圧を電圧測定装置２３により
測定し、これを演算装置５２により二乗することによ
り、流体の流量のみを正確に測定する。
【００５０】より詳細には、前述のようにホイートスト
ンブリッジ２がバランスしている場合、電圧測定装置２
３の検出電圧Ｖｑは、第一抵抗体３に通電される電流量
ｉ1、温度設定抵抗体５の温度係数α′、温度設定抵抗
体５の温度と基準温度との差分△ｔ′、温度設定抵抗体
５の基準温度での抵抗値Ｒ30、電圧測定装置２３の増幅
率Ｇ、第二発熱抵抗体４に通電される電流量ｉ2 、第三
抵抗体７の基準温度での抵抗値Ｒ10、第四抵抗体８の基
準温度での抵抗値Ｒ20、とすると、 Ｖｑ＝Ｒ30(１＋α′△ｔ′)ｉ1＝Ｇ(Ｒ10／Ｒ20)α △
Ｔ ＲS20 ｉ2 となる。
ンブリッジ２がバランスしている場合、電圧測定装置２
３の検出電圧Ｖｑは、第一抵抗体３に通電される電流量
ｉ1、温度設定抵抗体５の温度係数α′、温度設定抵抗
体５の温度と基準温度との差分△ｔ′、温度設定抵抗体
５の基準温度での抵抗値Ｒ30、電圧測定装置２３の増幅
率Ｇ、第二発熱抵抗体４に通電される電流量ｉ2 、第三
抵抗体７の基準温度での抵抗値Ｒ10、第四抵抗体８の基
準温度での抵抗値Ｒ20、とすると、 Ｖｑ＝Ｒ30(１＋α′△ｔ′)ｉ1＝Ｇ(Ｒ10／Ｒ20)α △
Ｔ ＲS20 ｉ2 となる。
【００５１】この電圧測定装置２３の検出電圧Ｖｑを示
す演算式の変数は、第二発熱抵抗体４の発熱温度△Ｔと
電流ｉ2 であり、これは流体の流量と温度とに対応した
第二発熱抵抗体４の両端の電圧に対応している。
す演算式の変数は、第二発熱抵抗体４の発熱温度△Ｔと
電流ｉ2 であり、これは流体の流量と温度とに対応した
第二発熱抵抗体４の両端の電圧に対応している。
【００５２】一方、温度設定抵抗体５は抵抗値が変化し
ないので電圧と電流量とが対応しており、この電流量は
第一抵抗体３の電流量と同一である。第一抵抗体３の電
流量ｉ1 、その抵抗値Ｒ1 、第二発熱抵抗体４の電流ｉ
2 、その抵抗値Ｒ2 、とすると、 ｉ1／ｉ2＝Ｒ1／Ｒ2 となる。抵抗温度係数が同一の発熱抵抗体３，４の抵抗
値Ｒ1 ，Ｒ2 は同様な比率で変化するので電流量ｉ1 ，
ｉ2 は対応することになり、温度設定抵抗体５の電圧Ｖ
ｑは第二発熱抵抗体４の電流量ｉ2 に対応していること
になる。
ないので電圧と電流量とが対応しており、この電流量は
第一抵抗体３の電流量と同一である。第一抵抗体３の電
流量ｉ1 、その抵抗値Ｒ1 、第二発熱抵抗体４の電流ｉ
2 、その抵抗値Ｒ2 、とすると、 ｉ1／ｉ2＝Ｒ1／Ｒ2 となる。抵抗温度係数が同一の発熱抵抗体３，４の抵抗
値Ｒ1 ，Ｒ2 は同様な比率で変化するので電流量ｉ1 ，
ｉ2 は対応することになり、温度設定抵抗体５の電圧Ｖ
ｑは第二発熱抵抗体４の電流量ｉ2 に対応していること
になる。
【００５３】つまり、電圧測定装置２３の検出電圧Ｖｑ
は、第二発熱抵抗体４の電圧に対応すると同時に電流量
にも対応しているので、これを二乗すると消費電力に対
応することになる。第二発熱抵抗体４の消費電力は両端
の流量に対応しているので、上述のように電圧測定装置
２３の測定結果を演算装置５２により二乗すれば、流体
の流量のみを正確に検出することができる。
は、第二発熱抵抗体４の電圧に対応すると同時に電流量
にも対応しているので、これを二乗すると消費電力に対
応することになる。第二発熱抵抗体４の消費電力は両端
の流量に対応しているので、上述のように電圧測定装置
２３の測定結果を演算装置５２により二乗すれば、流体
の流量のみを正確に検出することができる。
【００５４】なお、本発明は上述した流量測定装置３１
に限定されるものでもなく、前述した流量測定装置２１
と同様に各種の変形を許容する。例えば、ここでは温度
設定抵抗体５の両端の電圧を測定して二乗するために電
圧測定装置２３と演算装置５２とを設けたが、これをＡ
／ＤＣを接続したマイクロコンピュータにより実現する
ことも可能である。
に限定されるものでもなく、前述した流量測定装置２１
と同様に各種の変形を許容する。例えば、ここでは温度
設定抵抗体５の両端の電圧を測定して二乗するために電
圧測定装置２３と演算装置５２とを設けたが、これをＡ
／ＤＣを接続したマイクロコンピュータにより実現する
ことも可能である。
【００５５】
【発明の効果】請求項１記載の発明は、温度設定抵抗体
の両端の電圧を測定する第一電圧測定装置を設け、第一
抵抗体の両端の電圧を測定する第二電圧測定装置を設け
たことにより、流体の流量と温度とに対応した温度設定
抵抗体の両端の電圧と、流体の温度に対応した第一抵抗
体の両端の電圧とを測定することができるので、これら
の測定結果から流体の流量のみを正確に測定することが
できる。
の両端の電圧を測定する第一電圧測定装置を設け、第一
抵抗体の両端の電圧を測定する第二電圧測定装置を設け
たことにより、流体の流量と温度とに対応した温度設定
抵抗体の両端の電圧と、流体の温度に対応した第一抵抗
体の両端の電圧とを測定することができるので、これら
の測定結果から流体の流量のみを正確に測定することが
できる。
【００５６】請求項２記載の発明は、温度設定抵抗体の
両端の電圧を測定する電圧測定装置を設け、第二発熱抵
抗体に通電される電流を測定する電流測定装置を設けた
ことにより、流体の流量と温度とに対応した温度設定抵
抗体の両端の電圧と、流体の温度に対応した第二発熱抵
抗体の電流量とを測定することができるので、これらの
測定結果から流体の流量のみを正確に測定することがで
きる。
両端の電圧を測定する電圧測定装置を設け、第二発熱抵
抗体に通電される電流を測定する電流測定装置を設けた
ことにより、流体の流量と温度とに対応した温度設定抵
抗体の両端の電圧と、流体の温度に対応した第二発熱抵
抗体の電流量とを測定することができるので、これらの
測定結果から流体の流量のみを正確に測定することがで
きる。
【００５７】請求項３記載の発明では、電圧測定装置の
測定結果と電流測定装置の測定結果とを乗算する出力乗
算装置を設けたことにより、電圧測定装置の測定結果は
第二発熱抵抗体の電圧に対応しており、電流測定装置の
測定結果は第二発熱抵抗体の電流量に対応しているの
で、これらの乗算結果は第二発熱抵抗体の消費電力に対
応することになり、これは流体の流量に対応しているの
で、流体の流量のみを簡単な構造で正確に測定すること
ができる。
測定結果と電流測定装置の測定結果とを乗算する出力乗
算装置を設けたことにより、電圧測定装置の測定結果は
第二発熱抵抗体の電圧に対応しており、電流測定装置の
測定結果は第二発熱抵抗体の電流量に対応しているの
で、これらの乗算結果は第二発熱抵抗体の消費電力に対
応することになり、これは流体の流量に対応しているの
で、流体の流量のみを簡単な構造で正確に測定すること
ができる。
【００５８】請求項４記載の発明は、温度設定抵抗体を
直列に接続された複数の部分抵抗体により形成し、温度
設定抵抗体の両端の電圧を測定する第一電圧測定装置を
設け、少なくとも一個の部分抵抗体の両端の電圧を測定
する第二電圧測定装置を設けたことにより、流体の流量
と温度とに対応した温度設定抵抗体の両端の電圧を電圧
測定装置により測定し、流体の温度のみに対応した第二
発熱抵抗体の電流量を電流量測定装置により測定するこ
とができるので、これらの測定結果から流体の流量のみ
を正確に測定することができる。
直列に接続された複数の部分抵抗体により形成し、温度
設定抵抗体の両端の電圧を測定する第一電圧測定装置を
設け、少なくとも一個の部分抵抗体の両端の電圧を測定
する第二電圧測定装置を設けたことにより、流体の流量
と温度とに対応した温度設定抵抗体の両端の電圧を電圧
測定装置により測定し、流体の温度のみに対応した第二
発熱抵抗体の電流量を電流量測定装置により測定するこ
とができるので、これらの測定結果から流体の流量のみ
を正確に測定することができる。
【００５９】請求項５記載の発明では、第一電圧測定装
置と第二電圧測定装置との測定結果を乗算する出力乗算
装置を設けたことにより、第一電圧測定装置の測定結果
は第二発熱抵抗体の電圧に対応しており、第二電圧測定
装置の測定結果は第二発熱抵抗体の電流量に対応してい
るので、これらの乗算結果は第二発熱抵抗体の消費電力
に対応することになり、これは流体の流量に対応してい
るので、流体の流量のみを簡単な構造で正確に測定する
ことができる。
置と第二電圧測定装置との測定結果を乗算する出力乗算
装置を設けたことにより、第一電圧測定装置の測定結果
は第二発熱抵抗体の電圧に対応しており、第二電圧測定
装置の測定結果は第二発熱抵抗体の電流量に対応してい
るので、これらの乗算結果は第二発熱抵抗体の消費電力
に対応することになり、これは流体の流量に対応してい
るので、流体の流量のみを簡単な構造で正確に測定する
ことができる。
【００６０】請求項６記載の発明は、温度設定抵抗体の
両端の電圧を測定する電圧測定装置を設け、この電圧測
定装置の測定結果を二乗する出力二乗装置を設けたこと
により、温度設定抵抗体の両端の電圧は第二発熱抵抗体
の電流量と電圧との両方に対応しているので、これを二
乗すると第二発熱抵抗体の消費電力に対応することにな
り、これは流体の流量に対応しているので、流体の流量
のみを簡単な構造で正確に測定することができる。
両端の電圧を測定する電圧測定装置を設け、この電圧測
定装置の測定結果を二乗する出力二乗装置を設けたこと
により、温度設定抵抗体の両端の電圧は第二発熱抵抗体
の電流量と電圧との両方に対応しているので、これを二
乗すると第二発熱抵抗体の消費電力に対応することにな
り、これは流体の流量に対応しているので、流体の流量
のみを簡単な構造で正確に測定することができる。
【図１】本発明の流量測定装置の実施の第一の形態を示
す回路図である。
す回路図である。
【図２】本発明の流量測定装置の実施の第二の形態を示
す回路図である。
す回路図である。
【図３】その一変形例を示す回路図である。
【図４】本発明の流量測定装置の実施の第三の形態を示
す回路図である。
す回路図である。
【図５】その一変形例を示す回路図である。
【図６】本発明の流量測定装置の実施の第四の形態を示
す回路図である。
す回路図である。
【図７】一従来例の流量測定装置を示す回路図である。
２ ホイートストンブリッジ ３ 第一抵抗体 ４ 第二発熱抵抗体 ５ 温度設定抵抗体 ６ 第一抵抗体部 ７ 第三抵抗体 ８ 第四抵抗体 ９，１０，１３，１４ 接続中点 ２１，３１，３７，４１，４７，５１ 流量測定装置 ２３ 第一電圧測定装置、電圧測定装置 ２５，４５ 第二電圧測定装置 ３４ 電流測定装置 ３６ 出力乗算装置 ４２，４３ 部分抵抗体 ５２ 出力二乗装置
Claims (6)
- 【請求項１】 抵抗温度係数が共に大きい第一抵抗体と
第二発熱抵抗体とを接続して流体の流路に配置し、前記
第二発熱抵抗体の発熱温度を設定する温度設定抵抗体を
前記第一抵抗体に直列に接続して第一抵抗体部を形成
し、この第一抵抗体部に接続した第三抵抗体と前記第二
発熱抵抗体に接続した第四抵抗体とを接続してホイート
ストンブリッジを形成し、前記第一抵抗体と前記第二発
熱抵抗体との接続中点と前記第三抵抗体と前記第四抵抗
体との接続中点とに電力を供給し、前記第一抵抗体部と
前記第三抵抗体との接続中点と前記第二発熱抵抗体と前
記第四抵抗体との接続中点との電圧を測定し、この測定
電圧に対応して供給電力をフィードバック制御する流量
測定装置において、前記温度設定抵抗体の両端の電圧を
測定する第一電圧測定装置を設け、前記第一抵抗体の両
端の電圧を測定する第二電圧測定装置を設けたことを特
徴とする流量測定装置。 - 【請求項２】 抵抗温度係数が共に大きい第一抵抗体と
第二発熱抵抗体とを接続して流体の流路に配置し、前記
第二発熱抵抗体の発熱温度を設定する温度設定抵抗体を
前記第一抵抗体に直列に接続して第一抵抗体部を形成
し、この第一抵抗体部に接続した第三抵抗体と前記第二
発熱抵抗体に接続した第四抵抗体とを接続してホイート
ストンブリッジを形成し、前記第一抵抗体と前記第二発
熱抵抗体との接続中点と前記第三抵抗体と前記第四抵抗
体との接続中点とに電力を供給し、前記第一抵抗体部と
前記第三抵抗体との接続中点と前記第二発熱抵抗体と前
記第四抵抗体との接続中点との電圧を測定し、この測定
電圧に対応して供給電力をフィードバック制御する流量
測定装置において、前記温度設定抵抗体の両端の電圧を
測定する電圧測定装置を設け、前記第二発熱抵抗体に通
電される電流を測定する電流測定装置を設けたことを特
徴とする流量測定装置。 - 【請求項３】 電圧測定装置の測定結果と電流測定装置
の測定結果とを乗算する出力乗算装置を設けたことを特
徴とする請求項２記載の流量測定装置。 - 【請求項４】 抵抗温度係数が共に大きい第一抵抗体と
第二発熱抵抗体とを接続して流体の流路に配置し、前記
第二発熱抵抗体の発熱温度を設定する温度設定抵抗体を
前記第一抵抗体に直列に接続して第一抵抗体部を形成
し、この第一抵抗体部に接続した第三抵抗体と前記第二
発熱抵抗体に接続した第四抵抗体とを接続してホイート
ストンブリッジを形成し、前記第一抵抗体と前記第二発
熱抵抗体との接続中点と前記第三抵抗体と前記第四抵抗
体との接続中点とに電力を供給し、前記第一抵抗体部と
前記第三抵抗体との接続中点と前記第二発熱抵抗体と前
記第四抵抗体との接続中点との電圧を測定し、この測定
電圧に対応して供給電力をフィードバック制御する流量
測定装置において、前記温度設定抵抗体を直列に接続さ
れた複数の部分抵抗体により形成し、前記温度設定抵抗
体の両端の電圧を測定する第一電圧測定装置を設け、少
なくとも一個の前記部分抵抗体の両端の電圧を測定する
第二電圧測定装置を設けたことを特徴とする流量測定装
置。 - 【請求項５】 第一電圧測定装置と第二電圧測定装置と
の測定結果を乗算する出力乗算装置を設けたことを特徴
とする請求項４記載の流量測定装置。 - 【請求項６】 抵抗温度係数が共に大きい第一抵抗体と
第二発熱抵抗体とを接続して流体の流路に配置し、前記
第二発熱抵抗体の発熱温度を設定する温度設定抵抗体を
前記第一抵抗体に直列に接続して第一抵抗体部を形成
し、この第一抵抗体部に接続した第三抵抗体と前記第二
発熱抵抗体に接続した第四抵抗体とを接続してホイート
ストンブリッジを形成し、前記第一抵抗体と前記第二発
熱抵抗体との接続中点と前記第三抵抗体と前記第四抵抗
体との接続中点とに電力を供給し、前記第一抵抗体部と
前記第三抵抗体との接続中点と前記第二発熱抵抗体と前
記第四抵抗体との接続中点との電圧を測定し、この測定
電圧に対応して供給電力をフィードバック制御する流量
測定装置において、前記温度設定抵抗体の両端の電圧を
測定する電圧測定装置を設け、この電圧測定装置の測定
結果を二乗する出力二乗装置を設けたことを特徴とする
流量測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8001265A JPH09189592A (ja) | 1996-01-09 | 1996-01-09 | 流量測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8001265A JPH09189592A (ja) | 1996-01-09 | 1996-01-09 | 流量測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09189592A true JPH09189592A (ja) | 1997-07-22 |
Family
ID=11496635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8001265A Pending JPH09189592A (ja) | 1996-01-09 | 1996-01-09 | 流量測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09189592A (ja) |
-
1996
- 1996-01-09 JP JP8001265A patent/JPH09189592A/ja active Pending
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