JPH09190961A - 半導体露光装置の制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 テスト露光処理周期を自動管理することを可
能にし、作業工数を大幅に削減できる半導体露光装置の
制御方法を提供する。 【解決手段】 制御コンピュータ１５はテスト露光周期
設定画面１５Ａを有し、この設定画面１５Ａより作業者
は、半導体露光装置１４で処理可能な各処理工程に対
し、テスト露光設定周期を設定できるようになってい
る。制御コンピュータ１５にはソフトウェア上にテスト
露光周期の設定値を記憶するカウンタが設けられてお
り、そのカウンタ値によって、半導体露光装置１４に対
し、テスト露光処理を指示するか本ロット処理を指示す
るかを判断する機能と処理を指示した後、カウンタ値を
１つずつデクリメントする機能を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置に
係り、特に、半導体露光装置の制御方法に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の装置の使い方としては、
先ず半導体ウエハを２５枚一塊としたロット単位で、処
理する前にロット毎にテスト露光用のテストウエハを１
枚処理した後、そのテストウエハの検査を行い、その結
果、良の判断を得てから、本処理ウエハロット（以後、
本ロットと呼ぶ）の処理を開始するものであった。

【０００３】すなわち、図５に示すように、〜′で
１ロット目テスト露光処理を行い、′〜で１ロット
目本ロット処理、〜′で２ロット目テスト露光処理
を行い、′〜で２ロット目本ロット処理、〜′
で３ロット目テスト露光処理を行い、′〜で３ロッ
ト目本ロット処理を行うようにしていた。また、この半
導体露光装置にロットの自動搬送及び装置の自動処理管
理を実施したシステム構成図を図６に示す。

【０００４】本ロットを蓄える本ロットストッカー１よ
り、本ロット自動搬送系２を介して、本ロット３が半導
体露光装置４に自動供給される。その時点で、半導体露
光装置４とオンライン状態にある制御コンピュータ５よ
り処理開始の指示が送信される。半導体露光装置４は処
理開始指示を受けると、付帯のパトライト６を点灯さ
せ、作業者に通知する。

【０００５】作業者は前述の通り、先ずテスト露光処理
を行い、その後の検査で、結果良を得て、本ロットの処
理を行う。なお、この時のテスト露光処理並びに本ロッ
ト処理の開始は、半導体露光装置操作パネル７にて作業
者が操作を行うことにより実施される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、昨今で
は、半導体露光装置の特性上の向上や、長年の使用実績
により、図７に示すように、最初の本ロット処理の前の
み、テスト露光を行い、一定のテスト露光処理の周期は
あるものの、その周期までは、本ロット処理を連続して
処理しても構わない傾向となってきている。

【０００７】それにもかかわらず、従来の自動化システ
ムでは、制御コンピュータの処理開始指示に対し、半導
体露光装置は作業者の操作パネルからの処理（テスト露
光又は本ロット露光処理）操作待ちとなってしまい、ロ
ット処理前に必ず作業者が介在し、処理操作を行わなけ
ればならず、一向に作業者の工数削減につながらないば
かりか、作業者が処理開始操作を行わなければ、装置稼
働に空きが発生するという問題があった。

【０００８】本発明は、上記問題点を除去し、テスト露
光処理周期を自動管理することを可能にし、作業工数を
大幅に削減できる半導体露光装置の制御方法を提供する
ことを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 （１）半導体露光装置の制御方法において、前記半導体
露光装置をオンラインにて制御する制御コンピュータに
前記半導体露光装置のテスト露光周期を設定可能にし、
ソフトウェア上に設けたカウンタに、そのテスト露光周
期の設定値を記憶してテスト露光周期を管理し、前記カ
ウンタ値より判断して、前記半導体露光装置にテスト露
光処理開始指示と本ロット処理開始指示を振り分けて通
知するようにしたものである。

【００１０】したがって、テスト露光処理周期を自動管
理でき、１ロット目のテスト露光処理が必要なロットに
関しては、半導体露光装置にテスト露光処理開始を指示
し、それ以降のロットについては、次のテスト露光周期
がくるまで、半導体露光装置に本ロット処理開始指示を
送信する。このように、作業者が介在することなしに本
ロット処理を連続して行うことができるので、作業工数
を大幅に削減できる。

【００１１】また、作業者の操作忘れによる半導体露光
装置の処理待ち状態をなくし、稼働効率の向上を図るこ
とができる。 （２）半導体露光装置の制御方法において、半導体露光
装置をオンラインにて制御する制御コンピュータに半導
体露光装置のテスト露光周期を設定可能にし、このテス
ト露光周期の設定値を初期値及びカウンタ値としてメモ
リにストアし、テスト露光周期を管理し、前記カウンタ
値より判断して、半導体露光装置にテスト露光処理開始
指示と本ロット処理開始指示を振り分けて通知するよう
にしたものである。

【００１２】このように、テスト露光周期の設定値を初
期値及びカウンタ値としてそれぞれメモリ上に記憶し、
初期設定値とカウンタ値をメモリ上にストアしているの
で、制御コンピュータを誤ってリセットしても、クリア
されることがなく、リセット後もテスト露光周期を再度
設定することなく、リセット前から継続してテスト露光
の周期管理を行うことができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の実
施例を示す半導体露光装置のシステム構成図である。こ
の図において、本ロットを在庫しておく本ロットストッ
カー１１から本ロット１３を自動搬送機構１２を介し
て、半導体露光装置１４へ自動供給する。この半導体露
光装置１４には、オンライン制御するテスト露光周期設
定画面１５Ａを有する制御コンピュータ１５が上位系コ
ンピュータとして設けられている。

【００１４】また、半導体露光装置１４には、装置状態
を作業者に通知するためのパトライト１６と作業者が直
に半導体露光装置１４を操作する操作パネル１７が付帯
されている。図２は前述した制御コンピュータ１５のテ
スト露光周期設定画面１５Ａであって、このテスト露光
周期設定画面１５より作業者は、半導体露光装置１４で
処理可能な各処理工程に対し、テスト露光周期を設定で
きるようになっている。制御コンピュータ１５にはソフ
トウェア上、このテスト露光周期の設定値を記憶するカ
ウンタが設けられており、そのカウンタ値によって、半
導体露光装置１４に対し、テスト露光処理を指示するか
本ロット処理を指示するかを判断する機能と、処理を指
示した後、カウンタ値を１つずつデクリメントする機能
を有する。

【００１５】以下、この半導体露光装置の動作について
図３を参照しながら説明する。 （１）まず、本システムを立ち上げる前に、作業者は、
図２に示すように、制御コンピュータ１５のテスト露光
周期設定画面１５Ａにて、予めその半導体露光装置１４
で処理可能な各処理工程に対し、テスト露光周期を設定
する。設定を行うと、制御コンピュータ１５はソフトウ
ェア上のカウンタにテスト周期の設定値を格納する（ス
テップＳ１）。

【００１６】（２）その後、システムの立ち上げを行
い、ロットの自動搬送を行うと、最初の本ロット１３が
本ロットストッカ１１より、自動搬送機構１２を介して
半導体露光装置１４に搬送される。ここで半導体露光装
置１４とオンライン状態にある制御コンピュータ１５
は、ソフトウェア上のカウンタ値とテスト露光周期の設
定値とを比較し、両者が等しいか否かを比較する（ステ
ップＳ２）。

【００１７】（３）ステップＳ２において、ソフトウェ
ア上のカウンタ値とテスト露光周期の設定値とを比較
し、両者が等しい場合、半導体露光装置１４に対しテス
ト露光処理開始指示を通知する（ステップＳ３）。 （４）次に、作業者テスト露光処理操作を行う（ステッ
プＳ４）。 （５）次に、テスト露光処理を行う（ステップＳ５）。

【００１８】（６）ステップＳ２において、ソフトウェ
ア上のカウンタ値とテスト露光周期の設定値とが等しく
ない場合には、本ロット処理開始指示を行う（ステップ
Ｓ６）。 （７）次に、本ロット処理を行う（ステップＳ７）。 （８）次に、制御コンピュータ１５は半導体露光装置１
４に処理開始指示を通知する毎に、ソフトウェア上のカ
ウンタ値を１つずつデクリメントする（ステップＳ
８）。

【００１９】（９）次に、カウンタ値が０になるまで、
上記ステップを繰り返す（ステップＳ９）。 次いで、２ロット目の本ロット１３が半導体露光装置１
４に搬送される。ここでも制御コンピュータ１５はカウ
ンタ値とテスト露光周期の設定値とを比較する。１ロッ
ト目の時に、カウンタ値を１デクリメントしているの
で、カウンタ値と設定値が等しくない。その場合、制御
コンピュータ１５は半導体露光装置１４に対し、本ロッ
ト処理開始指示を通知する（ステップＳ２〜ステップＳ
６）。

【００２０】本ロット処理開始指示を受けた半導体露光
装置１４は、作業者が半導体露光装置操作パネル１７を
操作することなしに、自動で本ロット処理を開始する。
このように制御コンピュータ１５は、ある処理工程の最
初の本ロット１３を処理する時は、半導体露光装置１４
にテスト露光処理開始指示を通知し、それ以降の本ロッ
ト１３を処理する時は、半導体露光装置１４に本ロット
処理開始指示を通知する。また、処理開始指示を通知す
る毎に、制御コンピュータ１５のカウンタ値を１つずつ
デクリメントして行き、カウンタ値が０になると再度、
テスト露光周期設定値をカウンタに格納する（ステップ
Ｓ９〜ステップＳ１）。

【００２１】次の本ロットを処理する時はカウンタ値と
設定値が等しくなっているので、制御コンピュータ１５
は半導体露光装置１４に対しテスト露光処理開始指示を
通知する。以上の制御を繰り返すことで、制御コンピュ
ータ１５は設定された通りにテスト露光周期を管理す
る。

【００２２】このように構成したので、第１実施例によ
れば、制御コンピュータにテスト露光周期設定画面を設
け、作業者が処理工程別にテスト露光周期を設定できる
ようにし、制御コンピュータのソフトウェア上のカウン
タに、そのテスト露光周期の設定値を格納しておく。制
御コンピュータには半導体露光装置に処理開始指示を送
信する際、カウンタ値と設定値を比較し、同じであれば
テスト露光処理開始指示し、違っていれば、本ロット処
理開始指示を半導体露光装置に送信する。

【００２３】また、制御コンピュータが半導体露光装置
にテスト露光処理開始指示又は、本ロット処理開始指示
を送信する毎に、ソフトウェア上のカウンタ値を１つず
つデクリメントして行き、カウンタ値が０になると作業
者が設定したテスト露光周期を再度カウンタに格納す
る。このように構成することによって、次の本ロットを
処理する時はカウンタ値と設定値が同じなので、制御コ
ンピュータは半導体露光装置に対しテスト露光処理開始
指示を送信する。

【００２４】以上の制御を行う機能を設けることによっ
て、テスト露光処理周期を自動管理でき、１ロット目の
テスト露光処理が必要なロットに関しては、半導体露光
装置にテスト露光処理開始を指示し、それ以降のロット
については、次のテスト露光周期がくるまで、半導体露
光装置に本ロット処理開始指示を送信し、作業者が介在
することなしに、本ロット処理を連続して行うことがで
きるので、作業工数を大幅に削減でき、また、作業者の
操作忘れによる半導体露光装置の処理待ち状態をなく
し、稼働効率の向上を図ることができる。

【００２５】次に、本発明の第２実施例について説明す
る。第１実施例においては、制御コンピュータのテスト
露光周期にて設定されたテスト露光周期の設定値を初期
値としてメモリに記憶するようにしたが、この実施例で
は、同じテスト露光周期の設定値をカウンタ値としてメ
モリに記憶する機能を有する。

【００２６】以下、この第２実施例の動作について図４
を参照しながら説明する。本システムを立ち上げる前
に、作業者は制御コンピュータ１５のテスト露光周期設
定画面（図２参照）にて、予めその半導体露光装置１４
で処理可能な各処理工程に対し、テスト露光周期を設定
する。設定を行うと制御コンピュータ１５はメモリ上に
初期値及びカウンタ値として設定値を格納する。（ステ
ップＳ１１）その後、システムの立ち上げを行い、ロッ
トの自動搬送を行うと、最初の本ロット１３が本ロット
ストッカー１１より自動搬送機構１２を介して半導体露
光装置１４に搬送される。ここで半導体露光装置１４と
オンライン状態にある制御コンピュータ１５は、メモリ
上のカウンタ値とテスト露光周期の設定初期値とを比較
し、両者が等しい場合、半導体露光装置１４に対しテス
ト露光処理開始指示を通知する（ステップＳ１２〜Ｓ１
３）。

【００２７】テスト露光処理開始指示を受けた半導体露
光装置１４は付帯のパトライト１６を点灯させ、作業者
に通知する。作業者はテスト露光を行い（ステップＳ１
４，ステップＳ１５）、その検査で露光結果が良であれ
ば、本ロット１３の処理を半導体露光装置操作パネル１
７を操作して行う。制御コンピュータ１５は半導体露光
装置１４に処理開始指示を通知する毎に、メモリ上のカ
ウンタ値を１つずつデクリメントする（ステップＳ１
８）。

【００２８】次いで、２ロット目の本ロット１３が半導
体露光装置１４に搬送される。ここでも制御コンピュー
タ１５はメモリ上のカウンタ値とテスト露光周期の初期
設定値とを比較する。１ロット目の時に、カウンタ値を
１デクリメントしているので、カウンタ値と初期値が等
しくない。その場合、制御コンピュータ１５は半導体露
光装置１４に対し、本ロット処理開始指示を通知する
（ステップＳ１１〜Ｓ１６）。

【００２９】本ロット処理開始指示を受けた半導体露光
装置１４は、作業者が半導体露光装置操作パネル１７を
操作することなしに、自動で本ロット処理を開始する
（ステップＳ１７）。このように制御コンピュータ１５
はある処理工程の最初の本ロット１３を処理する時は、
半導体露光装置１４にテスト露光処理開始指示を通知
し、それ以降の本ロット１３を処理する時は、半導体露
光装置１４に本ロット処理開始指示を通知する。また、
処理開始指示を通知する毎に、制御コンピュータ１５の
カウンタ値を１つずつデクリメントして行き、カウンタ
値が０になると再度、テスト露光周期初期設定値をカウ
ンタ値としてメモリに格納する（ステップＳ１８〜ステ
ップＳ１１）。

【００３０】次の本ロットを処理する時は、カウンタ値
と初期値が等しくなっているので、制御コンピュータ１
５は半導体露光装置１４に対しテスト露光処理開始指示
を通知する。以上の制御を繰り返すことで、制御コンピ
ュータ１５は設定された通りにテスト露光周期を管理す
る。

【００３１】このように構成したので、第２実施例によ
れば、テスト露光周期の設定値を初期値及びカウンタ値
としてそれぞれメモリ上に記憶する機能を設け、初期設
定値とカウンタ値をメモリ上にストアしているので、制
御コンピュータを誤ってリセットしても、クリアされる
ことがなく、リセット後もテスト露光周期を再度設定す
ることなく、リセット前から継続してテスト露光の周期
管理が行えるという効果が得られる。

【００３２】また、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能で
あり、それらを本発明の範囲から排除するものではな
い。

【００３３】

【発明の効果】以上、詳細に述べたように、本発明によ
れば、以下のような効果を奏することができる。 （１）請求項１記載の発明によれば、制御コンピュータ
にテスト露光周期設定画面を設け、作業者が処理工程に
テスト露光周期を設定できるようにし、制御コンピュー
タのソフトウェア上のカウンタにそのテスト露光周期の
設定値を格納しておく。制御コンピュータには半導体露
光装置に処理開始指示を送信する際、カウンタの値と設
定値を比較し、同じであればテスト露光処理開始指示
を、違っていれば本ロット処理開始指示を半導体露光装
置に送信する機能を設ける。

【００３４】また、制御コンピュータが半導体露光装置
にテスト露光処理開始指示又は本ロット処理開始指示を
送信する毎に、ソフトウェア上のカウンタ値を１つずつ
デクリメントして行き、カウンタ値が０になると作業が
設定したテスト露光周期を再度カウンタに格納する。し
たがって、次の本ロットを処理する時はカウンタ値と設
定値が同じなので、制御コンピュータは半導体露光装置
に対しテスト露光処理開始指示を送信することができ
る。

【００３５】以上の制御を行うことによって、テスト露
光処理周期を自動管理でき、１ロット目のテスト露光処
理が必要なロットに関しては、半導体露光装置にテスト
露光処理開始を指示し、それ以降のロットについては、
次のテスト露光周期がくるまで、半導体露光装置に本ロ
ット処理開始指示を送信する。このように、作業者が介
在することなしに、本ロット処理を連続して行うことが
できるので、作業工数を大幅に削減できる。また、作業
者の操作忘れによる半導体露光装置の処理待ち状態をな
くし、稼働効率の向上を図ることができる。

【００３６】（２）請求項２記載の発明によれば、テス
ト露光周期の設定値の設定値を初期値及びカウンタ値と
してそれぞれメモリ上に記憶し、初期設定値とカウンタ
値をメモリ上にストアしているので、制御コンピュータ
を誤ってリセットしても、クリアされることがなく、リ
セット後もテスト露光周期を再度設定することなくリセ
ット前から継続してテスト露光の周期管理を行うことが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示す半導体露光装置のシステ
ム構成図である。

【図２】本発明の実施例を示す制御コンピュータのテス
ト露光周期設定画面を示す図である。

【図３】本発明の第１実施例を示す半導体露光装置の動
作フローチャートである。

【図４】本発明の第２実施例を示す半導体露光装置の動
作フローチャートである。

【図５】従来の半導体露光装置の処理工程を示す図であ
る。

【図６】従来の半導体露光装置のシステム構成図であ
る。

【図７】従来の他の半導体露光装置の処理工程を示す図
である。

【符号の説明】

１１ 本ロットストッカー １２ 自動搬送機構 １３ 本ロット １４ 半導体露光装置 １５ 制御コンピュータ １５Ａ テスト露光周期設定画面 １６ パトライト １７ 操作パネル

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体露光装置の制御方法において、前
   記半導体露光装置をオンラインにて制御する制御コンピ
   ュータに前記半導体露光装置のテスト露光周期を設定可
   能にし、ソフトウェア上に設けたカウンタにテスト露光
   周期の設定値を記憶してテスト露光周期を管理し、前記
   カウンタ値より判断して、前記半導体露光装置にテスト
   露光処理開始指示と本ロット処理開始指示を振り分けて
   通知することを特徴とする半導体露光装置の制御方法。
2. 【請求項２】 半導体露光装置の制御方法において、前
   記半導体露光装置をオンラインにて制御する制御コンピ
   ュータに前記半導体露光装置のテスト露光周期を設定可
   能にし、テスト露光周期の設定値を初期値及びカウンタ
   値としてメモリにストアし、テスト露光周期を管理し、
   前記カウンタ値より判断して、前記半導体露光装置にテ
   スト露光処理開始指示と本ロット処理開始指示を振り分
   けて通知することを特徴とする半導体露光装置の制御方
   法。