JPH09196751A - 回転体からの超音波検出装置 - Google Patents

回転体からの超音波検出装置

Info

Publication number
JPH09196751A
JPH09196751A JP2742396A JP2742396A JPH09196751A JP H09196751 A JPH09196751 A JP H09196751A JP 2742396 A JP2742396 A JP 2742396A JP 2742396 A JP2742396 A JP 2742396A JP H09196751 A JPH09196751 A JP H09196751A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
receiving plate
hole
gap
peripheral surface
dresser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2742396A
Other languages
English (en)
Inventor
Takayuki Yui
隆行 由井
Haruhiko Ueno
晴彦 上野
Yuji Sato
雄治 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Bosch Corp
Original Assignee
Zexel Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zexel Corp filed Critical Zexel Corp
Priority to JP2742396A priority Critical patent/JPH09196751A/ja
Publication of JPH09196751A publication Critical patent/JPH09196751A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高速回転においても安定した超音波の検出が
できるようにする。 【解決手段】 AEセンサ19が接合された受信板18
には、その略中央にドレッサ工具13の取付部16が貫
通する貫通孔18aが形成されており、取付軸16の外
周面と貫通孔18aの内周面との間に所定の間隙が生ず
るように受信板18は、ドレッシング装置の前部蓋体1
0に固着されている。また、受信板18の内部には、貫
通孔18aの内周面に一端が開口する検出液注入路20
が設けられており、ドレッサ工具13が回転した際に、
検出液注入路20を介して外部から検出液を注入するこ
とで、取付部16の外周面と貫通孔18aの内周面との
間隙に液膜が形成され、この液膜を介してドレッサ工具
13に生じる超音波が受信板18に伝達され、AEセン
サ19による超音波の検出を容易としている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、回転体から生ずる
超音波をの検出する装置に係り、特に、例えば、砥石の
整形、目出しの際に用いられるドレッシング装置のドレ
ッサ工具と砥石との接触により発生する超音波検出の改
善を図ったものに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の装置としては、特公平1
−23273号公報に示されたように、ドレッシング装
置のハウジング内に配したいわゆるAEセンサ(アコー
スティック・エミッション・センサ)により、砥石とド
レッサ工具との接触の際に発生する超音波を検出できる
ようにし、この超音波信号を観測することで、砥石の研
削面の精度向上を図れるようにした本願出願人によるも
のが公知・周知となっている。
【0003】すなわち、同公報には、ハウジングのドレ
ッサ工具側の壁部に、ドレッサ工具の背面に近接するよ
うにして検出用油を送出するノズルを設けると共に、こ
の壁部にAEセンサをハウジング内部で接合するように
して設けることにより、ドレッサ工具とノズルとの間に
形成される油膜、ノズル、壁部を介してAEセンサに、
超音波が伝達されるうにした構成が開示されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来装置においては、検出用油をドレッサ工具の周縁
部分に向けて送出するために、ノズルはドレッサ軸の軸
芯から円周方向へ距離を隔てて配置される構成となって
いる。このため、ドレッサ装置が高速回転型になるに従
い、ドレッサ工具の周速度が増し、これに伴い、遠心力
も大となるために、ドレッサ工具とノズルとの間の油膜
が形成され難くなり、円滑な超音波の伝達が図れなくな
るという問題があった。
【0005】本発明は、上記実状に鑑みてなされたもの
で、ドレッシング装置が高速回転型になっても、ドレッ
サ工具と砥石との接触の際に生ずる超音波を確実に検出
することのできる超音波検出装置を提供するものであ
る。本発明の他の目的は、大型ドレッサ装置においても
安定した油膜を形成することのできる超音波検出装置を
提供することにある。本発明の他の目的は、既存のドレ
ッシング装置において、AE検出用の受信板の設定が容
易な超音波検出装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明に係る回転体から
の超音波検出装置は、回転体に生ずる超音波を検出する
超音波検出装置であって、AEセンサが接合又は内蔵さ
れる受信板を設け、前記受信板には、前記回転体の回転
軸の外周面と所定の間隙を介して対向する内周面が形成
されてなる貫通孔を形成し、当該貫通孔を前記回転体の
軸が貫通するようにする一方、前記受信板の内周面に開
口端部を有する検出液注入路を設け、前記前記回転体が
回転した際に、前記検出液注入路を介して前記回転軸の
外周面と前記貫通孔の内周面との間隙に検出液を供給
し、当該間隙に液膜が形成されるようにし、前記回転体
に生じた超音波が前記液膜を介して前記受信板に伝達さ
れるようにしてなるものである。
【0007】かかる構成においては、AEセンサが受信
板に取り付けられ、しかも、この受信板には、回転体の
回転軸、例えば、ドレッシング装置のドレッサ工具の回
転軸が貫通する貫通孔が形成されており、この受信板
は、貫通孔の内周面と回転体の回転軸外周面との間に所
定の間隙が生ずるように設けられる。さらに、この受信
板の貫通孔の内周面に開口するように検出液注入路を設
け、回転体が回転した際に、検出液注入路を介して検出
液を注入することにより、回転体の回転軸外周面と受信
板の貫通孔の内周面との間の間隙には、液膜が形成され
ることとなり、回転体に超音波が生じた場合、例えば、
回転体としてのドレッサ工具が砥石に接触した際に生じ
た超音波は、液膜を介して受信板に伝達し、この受信板
に接合されたAEセンサにより容易に検出されることと
なるものである。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図1乃至図5を参照しつつ説明する。なお、以下に
説明する部材、配置等は本発明を限定するものではな
く、本発明の趣旨の範囲内で種々改変することができる
ものである。
【0009】まず、図1及び図2を参照しつつ本発明が
適用されるドレッシング装置の構成について説明する。
このドレッシング装置の基本的構造は、本発明が適用さ
れた部分を除いて既存の装置における構成と同一であ
る。すなわち、図1に示されたドレッシング装置は、比
較的大型のもので、例えば、円筒状に形成されたハウジ
ング1を有し、このハウジング1内の両端部近傍に2組
づつ設けられた軸受2a,2b、3a,3bにより、ド
レッサ軸4が回転可能に支持されるようになっている。
【0010】軸受2bと軸受3bとの間には、ドレッサ
軸4に外装されるようにして内スリーブ5と、ハウジン
グ1の内壁に接合するようにして外スリーブ6とがそれ
ぞれ介装されている。一方、ドレッサ軸4の後端側(ド
レッサ工具13が取着される端部と反対側)が位置する
ハウジング1の一方の開口部分では、中央にドレッサ軸
4が貫通する貫通孔が形成された後部蓋体7が、ハウジ
ング1の端部に螺合して、この開口部分が閉鎖されるよ
うになっている。なお、この後部蓋体7から突出したド
レッサ軸4の部位は、図示されない駆動装置に接続され
て回転力が伝達されるようになっている。この駆動装置
との接続は公知・周知の方法によるものであり、本発明
の本質に直接関係しないものなので、ここでの詳細な説
明は省略することとする。
【0011】そして、ハウジング1内部に臨む貫通孔に
隣接する部位には、シール部材8が設けられて、この部
分が封止されるようになっている。さらに、後部蓋体7
と軸受3aとの間において、ドレッサ軸4にはナット2
6が螺合されると共に、軸受3aと後部蓋体7との間に
はスペーサ9が介装されており、ナット26により軸受
3aの内輪側が、スペーサ9で軸受3aの外輪側が、そ
れぞれ押されるようになっており、これにより、軸受3
a,3bが内スリーブ5及び外スリーブ6側へ当接され
るようになっている。
【0012】一方、ハウジング1の他方の開口部分にお
いても、上述と同様にして前部蓋体10がハウジング1
に螺合して開口部分が閉鎖されている。この前部蓋体1
0のハウジング1側の面には、ハウジング1の内径と同
一の外径を有する環状の凸状部11が形成されており、
前部蓋体10がハウジング1に螺合した際に、この凸状
部11の端部は軸受2aに当接して、軸受2aを内スリ
ーブ5及び外スリーブ6側へ当接するようになってい
る。しかして、ドレッサ軸4は、その軸方向に移動しな
いようにハウジング1に保持されることとなる。
【0013】また、前部蓋体10の中央部分は、ドレッ
サ軸4が貫通するようになっており、貫通部分はシール
部材12により封止されるようになっている。ドレッサ
軸4の前部蓋体10から突出した部分には、ドレッサ工
具13が取着されている。すなわち、ドレッサ軸4のハ
ウジング1から突出した部位は、軸端に向かって小径と
なるようにテーパが形成されたテーパ部14となってお
り、その端面には、ねじ軸15が突設されている。
【0014】一方、ドレッサ工具13には、その中央部
分に、ドレッサ軸4のテーパ部14と同一寸法形状を有
する軸孔13aが形成されているが、このドレッサ工具
13の背面側(ハウジング1側)の中央部分に、ドレッ
サ軸4の外径に比してやや大径の取付部16が突出形成
されており、この取付部16にも先の軸孔13aが延設
されている。そして、この軸孔13aに、ドレッサ軸4
のテーパ部14が嵌合するようになっており、この嵌合
状態において軸孔13aから突出するねじ軸15にナッ
ト17が螺合されることで、ドレッサ工具13がドレッ
サ軸4のテーパ部14に固着されるようになっている。
なお、この状態において取付部16の端面は、前部蓋体
10に少しの間隙をもつようになっている。
【0015】また、ドレッサ工具13の背面側において
は、取付部16を除いた部位と前部蓋体10とは、所定
の間隔が生ずるようになっており、この部分には、AE
センサ(アコースティック・エミッション・センサ)用
の受信板18が設けられている。この受信板18は、A
Eセンサ19による超音波検出を容易にするためのもの
で、この例においては、全体形状が略直方体状に形成さ
れたものとなっている。そして、この受信板18の外周
面にAEセンサ19が、後述するような取り付け方で取
り付けられており、受信板18に伝えられたAE波が検
出できるようになっている。なお、ここに用いられるA
Eセンサ19自体は、例えば、圧電素子を用いてなるも
の等の公知・周知のものでよいので、ここでの詳細な説
明は省略する。
【0016】受信板18の中央部分には、先に述べたド
レッサ工具13の取付部16の外径より若干大きな内径
を有する貫通孔18aが穿設されており、ドレッサ工具
13の取付部16がこの貫通孔18aの内周面と間隙A
を隔てて、貫通孔18a内に位置するように、受信板1
8の背面側(前部蓋体10に臨む面側)の一部が前部蓋
体10に接合されている。
【0017】一方、受信板18の前面側(ドレッサ工具
13の背面側の面側)とドレッサ工具13の背面側との
間は、上述のようにして受信板18が前部蓋体10に接
合された状態において、間隙Bが生ずるようにしてあ
る。ここで、間隙Aの部分には円筒状空間が形成される
が、この円筒状空間の軸方向(図1において紙面左右方
向)に直交する面におけるこの円筒状空間の環状断面積
(図2参照)をS1とする一方、受信板18の貫通孔1
8aの端面(ドレッサ工具13の背面側に臨む側の面)
とドレッサ工具13の背面との間に形成される間隙Bに
よって形成される検出液の排出路となる部分の面積をS
2とした場合、S2≦S1の関係となるように各部の寸法
が設定されることが必要である。なお、間隙Bの大きさ
は微小であるために、図1においては、受信板18とド
レッサ工具13とが殆ど接している如くに表されている
が、実際には上述のように間隙が生じている。
【0018】また、この受信板18の内部には、検出液
注入路20が設けられている。すなわち、検出液注入路
20は、その一端にコネクタ21が接続されて、このコ
ネクタ21が受信板18の外周面の一部に突出するよう
に設けれられる一方、他端は貫通孔18aの内周面に開
口するようにして受信板18の内部に設けられている。
コネクタ21には、図示されない接続管が接続され、こ
の接続管及び検出液注入路20を介して間隙Aに液膜を
形成するための検出液が外部から注入されるようになっ
ている。
【0019】そして、ドレッサ軸4の回転と共に、ドレ
ッサ工具13が回転した際に、検出液注入路20を介し
て検出液が間隙Aに注入されると、検出液により間隙A
には、液膜が形成され、ドレッサ工具13と砥石との接
触により生ずるAE波が、この液膜を介して受信板18
に伝達されるようになっている。なお、間隙Bは、検出
液の排出路となっている。
【0020】次に、上記構成における本装置の動作につ
いて説明する。なお、ドレッサ工具13と図示されない
砥石とを所望の相対位置関係で接触させるための構造
は、公知の手段によるものであり、本発明に本質的に直
接関係するものではないので、ここでの説明は省略する
こととする。まず、図示されない駆動装置が始動される
ことにより、ドレッサ軸4の回転が開始され、このドレ
ッサ軸4の回転と共に、ドレッサ工具13も回転するこ
ととなる。
【0021】次いで、予め定められた流量で、検出液が
検出液注入路20を介して外部から注入されると、検出
液は貫通孔18aの内周面に開口する検出液注入路20
の端部から間隙Aに吐出され、検出液がドレッサ軸4の
回転に伴い間隙Aに位置するドレッサ工具13の取付部
16の周面にいきわたる結果、この間隙Aには層流液膜
が形成されることとなる。
【0022】そして、ドレッサ工具13の切刃(図示せ
ず)が砥石(図示せず)の周面に接触した瞬間の衝撃に
よりドレッサ工具13にAE波が生ずると、このAE波
は、間隙Aに形成された液膜を介して受信板18に伝達
され、受信板18に接合されたAEセンサ19により検
出されることとなる。なお、AEセンサ19により検出
された超音波信号の処理方法については、公知・周知の
方法によるものでよく、本発明の本質とは直接関係しな
いのでその詳細な説明は省略することとする。
【0023】図3には、検出流量とS/N比との関係を
示す図が示されている。同図は、大型ドレッサにおい
て、回転数をパラメータとして、検出流量の変化に対す
るS/N比の変化を試験した結果を示すものである。な
お、ここで、Sはドレッシング時のAE出力、Nは検出
液吐出空転時のAE出力である。
【0024】同図において、三角形のプロットで表され
た特性線(一点鎖線)は、回転数が9000min-1の場
合を、正方形のプロットで表された特性線(実線)は、
回転数が7000min-1の場合を、二点鎖線の特性線
は、回転数が5000min-1の場合を、それぞれ表すも
のである。この試験結果によれば、回転数9000min
-1の場合であっても、S/N比として30以上を確保す
ることも可能であるということが言える。
【0025】特に、間隙Aの部分に液膜を良好に形成す
るためには、図1のA−A線断面におけるドレッサ軸4
のテーパ部14の直径をd1、貫通孔18aの内径をd
2、ドレッサ工具13の背面側と受信板18との間隙B
の大きさをL1とした場合(図1及び図2参照)、π・
d2・L1<(π(d2)2−π(d1)2)/4の関係
を満たすように各部の大きさを設定するとよい。ここ
で、(π(d2)2−π(d1)2)/4は、ドレッサ軸
4の軸方向に対して直交する面における間隙Aの面積で
ある。すなわち、図2に現れる間隙Aの面積に相当する
ものである。また、π・d2・L1は、間隙Bをドレッ
サ軸4に対して直交する方向に臨む場合の面積である。
【0026】次に、本発明の実施の形態における第2の
例について、図4及び図5を参照しつつ説明する。この
例は、本発明を小型ドレッシング装置に適用したもの
で、基本的には、先に述べた例と略同一であるが、受信
板がハウジングの蓋体を兼ねるように構成された点が上
述した先の例と異なるものである。すなわち、受信板3
0は、その一方の面側に、円環状の突起部31が形成さ
れており、この円環状の突起部31の外径が円筒状のハ
ウジング32の内径と同一に設定されている。そして、
この突起部31がハウジング32に嵌合するようにし
て、受信板30がハウジング32に取り付けられ、ハウ
ジング32の一方の開口端側が閉鎖されるようになって
いる。
【0027】さらに、この受信板30の円環状の突起部
31の内側の部位には、ドレッサ軸33の大径部33a
の外径よりも若干大きい内径を有する貫通孔30aが設
けられている。ドレッサ軸33は、図1で説明した例と
同様にして、軸受34,35、内スリーブ36及び外ス
リーブ37を用いて、ハウジング32に保持されるよう
になっており、この保持された状態において、ドレッサ
軸33の大径部33aの外周面と貫通孔30aとの間に
は、図1で示された間隙Aと同様な間隙Cが生じるよう
になっている。なお、このドレッサ軸33の保持部分に
ついての詳細な説明は、図1の例と基本的に同一である
ので省略することとする。
【0028】また、ドレッサ軸33の大径部33aと円
環状の突起部31との間には、シール部材38が配設さ
れてこの部分が封止されるようになっている。ハウジン
グ32の一方の側から突出したドレッサ軸33の部位に
は、ドレッサ工具39がねじ止めされている。このドレ
ッサ工具39の背面側(受信板30に臨む面側)には、
円環状の小突起部39aが形成されており、この円環状
の小突起部39aの内側には、受信板30に突出形成さ
れた円盤状突起部30bがドレッサ工具39と微小間隙
を有して位置するようになっている。なお、小突起部3
9aと受信板30との間も略同一の微小間隙が生じるよ
うになっている。
【0029】さらに、受信板30には、その内部に検出
液注入路40が設けられており、この検出液注入路40
の一端は、貫通孔30aの内周面に開口している。この
検出液注入路40の他端側は、2つに分岐されており、
その一方の端部にはコネクタ41が接続され、他方は、
めくら栓43により封止されている。コネクタ41には
検出液が送られる図示されない接続管が接続されるよう
になっている。そして、ドレッサ軸33の回転の際に、
検出液注入路40を介して検出液が注入されると、間隙
Cにおいて、検出液による液膜が形成されるようになっ
ている。
【0030】また、受信板30には、その角部の一つの
部分に、エア注入路44が形成されている(図5参
照)。このエア注入路44の一端は、受信板30の上面
側に開口してコネクタ45が接続され、他端は、受信板
30の側面に開口している。そして、コネクタ45には
図示されないエア接続管が接続され、このコネクタ45
を介してエア注入路44に外部からエア注入ができるよ
うになっており、このエア注入の際に、受信板30に生
ずる振動により受信板30に対するAEセンサ42の取
付状態を自己診断できるようになっている。
【0031】また、AEセンサ42は、受信板30のハ
ウジング32側の面に接合されており、間隙C及び受信
板30を介して伝達されたドレッサ工具39と砥石(図
示せず)との接触により生ずるAE波を効率良く検出で
きるようになっている。
【0032】なお、ドレッサ軸33の後端側(ドレッサ
工具39が取り付けられる端部と反対側の端部)は、図
示されない駆動源に公知の手段により接続されて、ドレ
ッサ軸33に回転力が伝達されるようになっているもの
で、この部分についての詳細な説明は省略することとす
る。
【0033】なお、上述した発明の実施の形態において
は、ドレッサ工具と砥石との接触の際に生ずるAE波を
検出する場合について説明したが、本発明は、このよう
なドレッサ工具に限られる必要はなく、その他の回転体
がその回転の際に何らかの原因によりAE波を生じ、こ
のAE波の検出が必要となる場合にも同様に適用できる
ことは勿論である。また、AEセンサ19(又は42)
は、受信板18(又は30)の外部で接合されるように
したが、受信板18(又は30)の内部に内蔵されるよ
うな構成としてもよいものである。
【0034】
【発明の効果】以上、述べたように、本発明によれば、
回転体の回転軸の外周面に検出液による液膜が形成され
るように、AEセンサが接合される受信板を設ける構成
とすることにより、従来と異なり、検出液が回転体の高
速回転により飛散してしまうようなことがなく、安定し
た液膜を形成することができるので、高速回転にあって
も超音波を安定、確実に検出することができる。また、
回転軸が受信板に設けれた貫通孔を貫通するようにし、
貫通孔の内周面と回転軸の外周面との間に間隙を形成す
るようにして、この間隙に液膜を形成する比較的簡素な
構成であり、既存のドレッシング装置等に対して比較的
簡易に適用することができるので、安価なAEセンサを
用いたドレッシング装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の第1の例における超音波
検出装置の構成例を示す縦断面図である。
【図2】図1のA−A線断面図である。
【図3】大型ドレッシング装置における検出液流量とA
EセンサのS/N比との関係を示す特性線図である。
【図4】本発明の実施の形態の第2の例における超音波
検出装置の構成例を示す縦断面図である。
【図5】図4のB−B線断面図である。
【符号の説明】
1…ハウジング 4…ドレッサ軸 13…ドレッサ工具 13a…軸孔 14…テーパ部 16…取付部 18…受信板 18a…貫通孔 19…AEセンサ 20…検出液注入路 30…受信板 30a…貫通孔 33…ドレッサ軸 33a…大径部 40…検出液注入路 42…AEセンサ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転体に生ずる超音波を検出する超音波
    検出装置であって、 AEセンサが接合又は内蔵される受信板を設け、 前記受信板には、前記回転体の回転軸の外周面と所定の
    間隙を介して対向する内周面が形成されてなる貫通孔を
    形成し、当該貫通孔を前記回転体の軸が貫通するように
    する一方、 前記受信板の内周面に開口端部を有する検出液注入路を
    設け、 前記前記回転体が回転した際に、前記検出液注入路を介
    して前記回転軸の外周面と前記貫通孔の内周面との間隙
    に検出液を供給し、当該間隙に液膜が形成されるように
    し、 前記回転体に生じた超音波が前記液膜を介して前記受信
    板に伝達されるようにしてなることを特徴とする回転体
    からの超音波検出装置。
  2. 【請求項2】 回転軸の外周面と受信板の貫通孔の内周
    面との間隙によって形成される円筒状空間の中心軸に直
    交する面における環状断面積をS1とし、受信板の端面
    に近接する回転体の端面と該受信板の貫通孔の端面との
    間隙によって形成される検出液の排出路の面積をS2と
    した場合、S2≦S1の関係となるようにしたことを特徴
    とする請求項1記載の回転体からの超音波検出装置。
JP2742396A 1996-01-23 1996-01-23 回転体からの超音波検出装置 Pending JPH09196751A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2742396A JPH09196751A (ja) 1996-01-23 1996-01-23 回転体からの超音波検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2742396A JPH09196751A (ja) 1996-01-23 1996-01-23 回転体からの超音波検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09196751A true JPH09196751A (ja) 1997-07-31

Family

ID=12220702

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2742396A Pending JPH09196751A (ja) 1996-01-23 1996-01-23 回転体からの超音波検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH09196751A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103962960A (zh) * 2014-03-14 2014-08-06 河南理工大学 金刚石砂轮的自动化修整装置
CN105643463A (zh) * 2016-04-07 2016-06-08 河南理工大学 用于修整超硬磨料砂轮的超声振动杯型砂轮修整器
JP2018504289A (ja) * 2015-02-02 2018-02-15 デッケル マホ プフロンテン ゲーエムベーハーDECKEL MAHO Pfronten GmbH プログラム制御の工作機械のためのスピンドル装置
JPWO2021153042A1 (ja) * 2020-01-29 2021-08-05

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103962960A (zh) * 2014-03-14 2014-08-06 河南理工大学 金刚石砂轮的自动化修整装置
JP2018504289A (ja) * 2015-02-02 2018-02-15 デッケル マホ プフロンテン ゲーエムベーハーDECKEL MAHO Pfronten GmbH プログラム制御の工作機械のためのスピンドル装置
US10369673B2 (en) 2015-02-02 2019-08-06 Deckel Maho Pfronten Gmbh Spindle device for a program-controlled machine tool
CN105643463A (zh) * 2016-04-07 2016-06-08 河南理工大学 用于修整超硬磨料砂轮的超声振动杯型砂轮修整器
JPWO2021153042A1 (ja) * 2020-01-29 2021-08-05
WO2021153042A1 (ja) * 2020-01-29 2021-08-05 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 研削砥石のae信号検出装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9175994B2 (en) Ultrasonic transducer for a flow measuring device
CN103109202B (zh) 具有保险杠和超声波传感器的装置以及具有这样的装置的车辆
USRE33721E (en) Light beam scanning apparatus
JPH10141513A5 (ja)
JPH09196751A (ja) 回転体からの超音波検出装置
US7021144B2 (en) Ultrasonic wave utilizing device
US5783882A (en) Conductive contact for an air bearing spindle
JP2548059Y2 (ja) 回転検出装置
JP2000023414A (ja) スピンドルモータ
JP2003336749A (ja) 磁性流体シール
JP2880563B2 (ja) スピンドルモータ
JPH0713408Y2 (ja) スピンドルモータ
JPS64278Y2 (ja)
JPS6130367A (ja) 超音波加工用工具の結合機構
JPS63190928A (ja) 動圧軸受
JP2651926B2 (ja) ディスク駆動用モータの防塵用磁性流体注入構造
JPS60194915A (ja) ミキサ−
JPH0621650Y2 (ja) 砥石のドレッシング装置
KR100233477B1 (ko) 스핀들 모터
JPH10210712A (ja) エアースピンドルの接地構造
JP3326509B2 (ja) 超音波モータ
JP3274806B2 (ja) 磁気ドラムの取付け構造
KR910000766B1 (ko) 회전숫돌의 드레싱장치
JPH0259661A (ja) 超音波探触子
JPH08334425A (ja) 軸受表面の流体圧力検出装置