JPH09196801A - 洩れ検査方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 １回の検査で２個の被検査体を検査すること
ができる洩れ検査装置を提供する。 【解決手段】 一対の分岐管６Ａ，６Ｂの中の何れか一
方に被検査体９Ａと洩れのない基準タンク１１を遮断弁
９Ａ，９Ｂを介して接続し、基準タンクを遮断弁によっ
て測定系から切離して被検査体同士を検査し、差圧が発
生しない場合は被検査体を切離して基準タンクを接続
し、基準タンクと一方の被検査体とを比較することによ
り、差圧が発生しなければ２個の被検査体を洩れなしと
判定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は各種の容器等の洩
れの有無を検査することに用いる洩れ検査方法及びこの
洩れ検査方法を利用した洩れ検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より被検査体と、この被検査体と同
等の内容積を持つ洩れのない基準タンクに、互に等しい
空気圧を与え、その両者間に発生する圧力差を差圧検出
器によって検出することにより、被検査体の洩れの有無
を判定する方式の洩れ検査装置が実用されている。

【０００３】この差圧検出方式を採る洩れ検出装置によ
れば差圧検出器の検出出力信号は差圧が無であれば０で
あるから、高感度増幅器で増幅しても増幅器が飽和しな
いので差圧の発生の有無を高感度に検出することができ
る。この結果、微小な洩れでも感度よく検出することが
できる利点が得られる。ところで、洩れのない基準タン
クと被検査体との間で差圧の発生の有無を検出する方法
を採る場合、基準タンクには繰返し空気圧が与えられる
ため、基準タンクの温度が漸次上昇し、この温度上昇に
より基準タンク側の空気が熱膨張するため、被検査体に
洩れが無くても被検査体との間に差圧が発生してしまう
不都合が生じる。

【０００４】上述したように基準タンクを用いる方式に
よれば基準タンクの温度上昇により差圧が発生し、ゼロ
点が変動する現象が発生する。このゼロ点の変動を除去
するために、本出願人はゼロ点のドリフト値を順次蓄積
記憶し、この記憶したゼロドリフト値を使ってゼロドリ
フトを相殺する方法によりゼロ点の変動を除去する方法
を開発し、実用化している。

【０００５】ゼロ点の変動が除去できたとしても、基準
タンクを用いる方式では、１回の検査で被検査体を１個
しか検査することができない不都合がある。つまり、検
査の効率が悪い欠点がある。この欠点を解消するために
は、２個の被検査体に空気を与え、その間に差圧が発生
するか否かにより１度に２個の被検査体を検査する方法
が考えられる。この検査方法を採る場合には、一度に２
個の被検査体を検査できるため検査の効率は２倍に改善
される。然も、検査毎に新しい被検査体に交換されるた
め、２個の被検査体の温度は等しい状態で検査すること
ができる。この結果ゼロ点の変動も小さくできる利点が
得られる。

【０００６】然し乍ら、この検査方法には次のような不
都合がある。つまり、２個の被検査体に互に同等の洩れ
が存在した場合でも、洩れなしと判定してしまう不都合
がある。この不都合を解消するために、本出願人は「特
願平５年８７４２２号：名称、洩れ検査装置」（平成７
年９月５日公告決定）を提案した。図３に先に提案した
洩れ検査装置の構成を示す。この先に提案した洩れ検査
装置は、１個の基準タンク１１を共通に用いて、２個の
被検査体９Ａと９Ｂの洩れの有無を検査するように構成
したものである。このために、被検査体９Ａと基準タン
ク１１との間に差圧検出器１２Ａを接続し、基準タンク
１１と被検査体９Ｂとの間にも差圧検出器１２Ｂを接続
し、これら２個の差圧検出器１２Ａと１２Ｂによって各
被検査体９Ａと基準タンク１１及び基準タンク１１と被
検査体９Ｂとの間の差圧の発生の有無を検出し、１度に
２個の被検査体９Ａと９Ｂを検査するように構成したも
のである。

【０００７】尚、図３に示す１は空圧源、２は管路、３
は圧力調整弁、４は三方電磁弁、５は分岐器、６Ａ，６
Ｂ ，７及び６Ａ′，６Ｂ′，７′は分岐管、８Ａ，８
Ｂ，８Ｃは遮断弁、１３は増幅器、１４は良否判定装
置、１５はその表示器、１６は制御器、１９はアナログ
加算器をそれぞれ示している。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】先に提案した洩れ検査
装置によれば、差圧検出器が１２Ａ，１２Ｂの２個必要
である。差圧検出器は洩れ検査装置の中でも高価な部品
であるため、これを２個用いることによりコストが高く
なってしまう不都合がある。また、先の提案では２個の
差圧検出器１２Ａと１２Ｂが存在した場合には検出出力
信号を逆極性にして加算器１９で加算する構成を採るか
ら、例えば基準タンク１１の温度上昇に伴なうゼロドリ
フトの影響を除去できる利点が得られる反面、２個の被
検査体９Ａと９Ｂの双方に同等の洩れが存在した場合に
は、加算器１９の出力はゼロになってしまうため、その
洩れの状態を検出することができない不都合が生じる。

【０００９】このため、先の提案では差圧検出器１２Ａ
と１２Ｂのそれぞれの検出出力を各別に監視する簡便な
判定手段を付加し、その簡便な判定手段の検出出力が所
定値を越えるか否かによって洩れの有無を判定し、その
不都合を解消している。従って、簡便な判定手段を付加
しなければならないため、その分コストの上昇を来す欠
点もある。

【００１０】この発明の目的は同時に２個の被検査体を
検査できる構造の洩れ検査装置において、差圧検出器を
１個だけにし、然も２個の被検査体に同等の洩れが存在
しても、これを検出することができる洩れ検査方法と、
洩れ検査装置を提供しようとするものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この発明では空圧源に蓄
えられた空気圧を一対の分岐管に配分し、この一対の分
岐管に配分して空気圧をそれぞれ被検査体に供給し、両
者間の空気圧の差を差圧検出器によって検出し、差圧の
発生を検出して一対の被検査体の中の何れか一方に洩れ
有りと判定する洩れ検査方法において、一対の分岐管の
中の何れか一方に切替手段として動作するの第１遮断弁
及び第２遮断弁を介して被検査体と洩れのない基準タン
クを接続し、初期状態において被検査体相互間の差圧の
発生の有無を検査し、差圧の発生が検出された場合はそ
の差圧の極性によって洩れの有る被検査体を特定し、不
良と判定した被検査体を新たな被検査体に交換して再
度、被検査体交互間の差圧の発生の有無を検査し、差圧
の発生が検出されない場合は切替手段を切替えて被検査
体を分岐管から切離し、これに代わって基準タンクを分
岐管に接続して基準タンクと他方の分岐管に接続した被
検査体の相互間の差圧を検出し、差圧の発生が無であれ
ば、そこに接続されている一対の被検査体は洩れなしと
判定し、差圧が発生した場合はそこに接続されている一
対の被検査体は共に同等の洩れ有り、と判定する洩れ検
査方法を提案するものである。

【００１２】この発明では更に、この洩れ検査方法を用
いた洩れ検査装置を提案する。この発明による洩れ検査
装置は、一対の分岐管に空気圧を供給する空圧源と、一
対の分岐管の端部に接続した一対の被検査体と、一対の
分岐管の相互間に接続された差圧検出器と、一対の分岐
管の何れか一方の差圧検出器の接続点より被検査体側に
介挿入した第１遮断弁と、第１遮断弁の介挿点より差圧
検出器側に接続した第２遮断弁を介して接続した基準タ
ンクと、差圧検出器の検出出力信号を増幅し、洩れの有
無を判定する判定手段と、第１遮断弁及び第２遮断弁を
開に制御すると共に、基準タンク及び一対の被検査体の
全てに空圧源からの空気圧を与えると共に、その加圧後
に第２遮断弁を閉じて基準タンクを分岐管から切離し、
一対の被検査体の洩れを検査し、この検査により差圧の
発生が無ければ第１遮断弁を閉じて第２遮断弁を開ける
制御を実行する制御器とによって構成したものである。

【００１３】この発明による洩れ検査方法及び洩れ検査
装置によれば、初期の状態で一対の被検査体の相互の間
の差圧の発生の有無が検査される。この検査により差圧
が発生した場合は、その差圧の極性に応じて何れか一方
の被検査体に洩れが有ることを特定することができる。
従って、洩れが有る被検査体を取外し、新たな被検査体
を接続して再度、空気圧を与え差圧の発生の有無を検出
する。差圧の発生が無ければ、そこに接続されている一
対の被検査体は洩れが無いか、或は双方が同等の洩れを
持っているか何れか一方であることが解る。

【００１４】この何れであるかを確認すべく、この発明
では一方の被検査体を測定系から第１遮断弁で切離し、
第２遮断を開にして基準タンクを接続し、基準タンクと
他方の被検査体との間で差圧が発生するかを検査する。
この状態で差圧が発生しなければそこに接続されている
一対の被検査体は洩れなしと判定できる。差圧が発生し
た場合は、被検査体の双方が同等の洩れを持っていると
判定することができる。このようにして、１度の検査で
２個の被検査体の洩れの有無を検査することができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】図１に示す実施例を用いて、この
発明の実施の形態を詳細に説明する。図１において図３
と対応する部分には同一符号を付して示す。この実施例
では図３に示した三方電磁弁４の代りに双極弁２１を用
いて空圧源１の空気圧を断続制御するように構成した場
合を示す。双極弁２１は２個の弁を内蔵し、２個の弁を
同時に開閉制御する構造とされている。従って２個の弁
の出力側に分岐管６Ａと６Ｂを接続し、分岐管６Ａと６
Ｂを通じて被検査体９Ａと９Ｂ及び基準タンク１１に空
気圧が供給される。

【００１６】分岐管６Ａと６Ｂ間には差圧検出器１２を
接続する共に、排気用双極弁２２も接続する。この排気
用双極弁２２を開に制御することにより被検査体９Ａ，
９Ｂと基準タンク１１に与えた空気圧は大気に放出され
る。この発明の特徴とする構成は一方の被検査体９Ａと
基準タンク１１に対して第１遮断弁８Ａと第２遮断弁８
Ｂを介して空気圧を供給し、他方の被検査体９Ｂには双
極弁２１から直接空気圧を供給するように構成した点で
ある。

【００１７】尚、第１遮断弁８Ａ及び第２遮断弁８Ｂの
分岐管６Ａとの接続点は排気用双極弁２２の接続点より
被検査体９Ａ側とされる。差圧検出器１２の分岐管６
Ａ，６Ｂへの接続点は排気用双極弁２２の接続点より空
圧源１側に選定する。このように、各接続点を想定する
ことにより、排気時に被検査体９Ａ，９Ｂと基準タンク
１１側で発生した水滴等は排気用双極弁２２によって排
出され、差圧検出器１２を保護することができる。

【００１８】また、この実施例では双極弁２１，２２及
び第１遮断弁８Ａ、第２遮断弁８Ｂは空気圧を利用して
開閉制御する弁を用いる。このように空気圧制御型の弁
を用いることにより、開閉制御時に電磁弁のように発熱
が伴なわないので、空気圧を熱によって変動させること
なく、動作させることができる。図２を用いてこの発明
による洩れ検査方法とこの検査方法を用いた洩れ検査装
置の動作を説明する。

【００１９】図２Ａは双極弁２１の開閉制御の様子を示
す。図２に示す時点Ｔ₁ 〜Ｔ₈ で１回の検査期間を示
す。分岐管６Ａと６Ｂの端部に被検査体９Ａと９Ｂを接
続してタイミングＴ１から検査を開始する。検査開始の
タイミングＴ₁ では双極弁２１を開、排気用双極弁２２
を閉、第１遮断弁８Ａを開、第２遮断弁８Ｂを開の状態
に制御器１６が制御する。

【００２０】双極弁２１はタイミングＴ₁ 〜Ｔ₂ までの
間の開の状態に制御されその間に被検査体９Ａと９Ｂ及
び基準タンク１１に空気圧を与える。空気圧が安定した
時点で双極弁２１を閉の状態に制御し、空圧源１を測定
系から切離す。これと共に、第２遮断弁８Ｂも閉の状態
に制御し、基準タンク１１を測定系から切離す。従って
差圧検出器１２には２個の被検査体９Ａ，９Ｂだけが接
続された状態に維持される。

【００２１】タイミングＴ₂ 〜Ｔ₃ は加圧後の安定行程
である。この安定行程で判定装置１４においては大きな
差圧の発生の有無を判定する。タイミングＴ₂ 〜Ｔ₃ を
経過して後、増幅器１３の利得を上昇させ、判定装置１
４で差圧の検出動作を実行させる。タイミングＴ₃ から
Ｔ₄ までの間に差圧の値が予め規定した値を超えなけれ
ば被検査体９Ａと９Ｂは洩れがない又は双方に同程度の
洩れが有るものと判定する。

【００２２】タイミングＴ₄ までの間に規定値以上の差
圧が発生した場合はそのとき接続されている被検査体９
Ａ又は９Ｂの何れか一方に洩れが有ると判定することが
できる。洩れの所在はその差圧の極性によって特定する
ことができる。差圧検出器にこのダイヤフラムが分岐管
６Ａ側に振れた場合に例えば正の差圧検出信号を発生
し、ダイヤフラムが分岐管６Ｂ側に振れた場合は負の差
圧検出信号を出力するものとすれば、差圧の極性に応じ
てどちらの被検査体が洩れているかを判定することがで
きる。洩れがある被検査体を特定することにより、その
洩れのある被検査体を除去し、新らしい被検査体を接続
し、検査を初期状態からやり直す。

【００２３】タイミングＴ₄ までの間に規定値以上の差
圧が発生しなければタイミングＴ₄において第１遮断弁
８Ａを閉に制御し、代わって第２遮断弁８Ｂを開に制御
すると共に、双極弁２１も開に制御する。この制御によ
って被検査体９Ａは測定系から切離され、被検査体９Ａ
の代わりに基準タンク１１が測定系に接続される。従っ
てタイミングＴ₄ 以後は測定系には基準タンク１１と被
検査体９Ｂが接続された状態となる。

【００２４】タイミングＴ₄ からＴ₅ までの間で双極弁
２１が再度開に制御されて基準タンク１１と被検査体９
Ｂに空気圧を与え加圧する。このタイミングは遮断弁８
Ａ，８Ｂが動作することによる圧力の変動を打ち消すた
めに設けられる時間であり、約０．５秒程度あればよ
い。タイミングＴ₅ 〜Ｔ₆ は平衡行程であり、双極弁２
１が動作することによる圧力の変動を打消す時間として
設けられ、これも約０．５秒程度あればよい。

【００２５】タイミングＴ₆ を経過した時点から増幅器
１３の利得を再度上昇させ判定装置１４で微少な差圧の
発生の有無を判定する。タイミングＴ₇ までの間に規定
値以上の差圧が発生しなければ被検査体９Ｂは洩れが無
いものと判定され、この結果被検査体９Ａも洩れが無い
ものと判定することができる。タイミングＴ₇ までの間
において規定値以上の差圧が発生した場合は被検査体９
Ｂは洩れが有ると判定することができ、この場合は被検
査体９Ａも洩れが有ると判定される。

【００２６】タイミングＴ₇ で排気用双極弁２２と第１
遮断弁８Ａ及び第２遮断弁８Ｂを開に制御し被検査体９
Ａと９Ｂ及び基準タンク１１から空気を放出させる。
尚、この実施例では双極弁２１も開に制御し、空圧源１
からも空気を放出させ、被検査体９Ａと９Ｂ及び基準タ
ンク１１からの空気が、差圧検出器１２側に流れ込むこ
とを阻止するように制御した場合を示す。

【００２７】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
差圧検出器を１個しか用いない構成であるにも係わらず
１回の検査で２個の被検査体９Ａと９Ｂを検査すること
ができる。従って製造コストが安価であるにも係わらず
検査効率の高い洩れ検査装置を提供することができる。

【００２８】また、この発明では、１個の差圧検出器で
構成したにも係わらず、最終的に２個の被検査体９Ａと
９Ｂの検査結果を洩れ無し又は洩れ有りと明確に特定す
ることができる。従って先に提案して洩れ検査装置より
優れた作用効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明による洩れ検査方法及び洩れ検査装置
を説明するためのブロック図。

【図２】図１の動作を説明するための波形図。

【図３】従来の技術を説明するためのブロック図。

【符号の説明】

１ 空圧源 ２ 管路 ６Ａ，６Ｂ 分岐管 ８Ａ，８Ｂ 第１遮断弁、第２遮断弁 ９Ａ，９Ｂ 被検査体 １１ 基準タンク １２ 差圧検出器 １３ 増幅器 １４ 判定装置 １５ 表示器 １６ 制御器 ２１ 双極弁 ２２ 排気用双極弁

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 空圧源に蓄えられた空気圧を一対の分岐
   管に配分し、一対の分岐管に配分した空気圧をそれぞれ
   被検査体に供給し、両者間の空気圧の差を差圧検出器に
   よって検出し、差圧の発生を検出して一対の被検査体の
   中の何れか一方に洩れ有りと判定する洩れ検査方法にお
   いて、 上記一対の分岐管の中の何れか一方に上記一対の被検査
   体の一方に遮断弁を介して洩れのない基準タンクを接続
   し、上記一対の被検査体の相互間で差圧の発生が検出さ
   れない場合は、上記基準タンクと他方の被検査体との間
   で差圧の発生の有無を検査し、差圧の発生が無であれば
   上記一対の被検査体を洩れなしと判定し、差圧の発生が
   有であれば上記一対の被検査体を洩れ有りと判定するこ
   とを特徴とする洩れ検査方法。
2. 【請求項２】 Ａ．一対の分岐管に空気圧を供給する空
   気源と、 Ｂ．上記一対の分岐管の端部に接続した一対の被検査体
   と、 Ｃ．上記一対の分岐管の相互間に接続された差圧検出器
   と、 Ｄ．上記一対の分岐管の何れか一方の上記差圧検出器の
   接続点と被検査体との間に介挿入した第１遮断弁と、 Ｅ．上記第１遮蔽弁の介挿点より上記差圧検出器側に接
   続した第２遮断弁を介して接続した基準タンクと、 Ｆ．上記差圧検出器の検出出力信号を増幅し、洩れの有
   無を判定する判定手段と、 Ｇ．上記第１遮断弁及び第２遮断弁を開に制御すると共
   に、上記基準タンク及び一対の被検査体の全てに上記空
   圧源からの空気圧を与えると共に、その加圧後に上記第
   ２遮断弁を閉じて上記基準タンクを上記分岐管から切離
   し、一対の被検査体の洩れを検査し、この検査により差
   圧の発生が無ければ上記第１遮断弁を閉じて上記第２遮
   断弁を開ける制御を実行する制御器と、によって構成し
   たことを特徴とする洩れ検査装置。