JPH0919857A - スライシング装置により切り出されるウェハの面取り方法及び装置並びに面取り用砥石 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウェハ保持装置や回転駆動装置、さらにはこ
れらへウェハを搬送する装置を特設することなく、スラ
イシング装置から切り出されるウェハを良好に面取りす
る。 【解決手段】 ワーク保持駆動手段１９によってワーク
３０を保持しかつ回転させながら、回転駆動されるブレ
ード１０の内周刃１１に対して切断送りすることによ
り、上記ワーク３０からウェハを切り出すスライシング
装置において、上記ウェハの切り出しを完了する前に、
上記ワーク３０を回転させながらその外周面に面取り用
砥石４２を押付けることにより、上記ウェハの面取り形
状を予め形成しておく方法、及び、そのための装置並び
に面取り用砥石４２。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、スライシング装置
によって半導体インゴット等のワークから切り出された
ウェハを面取りするための方法及び装置並びに面取り用
砥石に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体等からなるウェハは、ス
ライシング装置により円柱状のインゴット（ワーク）か
ら切り出され、その後、外周部分に面取りが施されるこ
とにより製造される。このウェハを面取りするための方
法としては、スライシング装置から切り出されたウェハ
を真空チャックもしくはクランプ装置で保持し、これら
保持装置及びウェハを一体に回転させながら、ウェハの
外周面に面取り用砥石を押付けるものが従来から知られ
ている（特開平６−２６２５０５号公報、特公平６−１
０４２９７号公報等参照）。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来方法には、次
のような解決すべき課題がある。

【０００４】ａ）ウェハの面取りを行うのに、ウェハを
保持する装置並びにこの保持装置とウェハとを一体に回
転駆動する装置が必要であり、設備コストが高い。

【０００５】ｂ）極めて肉厚の小さいウェハをスライシ
ング装置からウェハ保持装置まで搬送するのは容易でな
く、搬送に手間がかかり、また、搬送中にウェハを破損
するおそれもある。

【０００６】本発明は、このような事情に鑑み、ウェハ
保持装置や回転駆動装置、さらにはこれらへウェハを搬
送する装置を特設することなく、スライシング装置から
切り出されるウェハを破損させずにその面取りを良好に
行うことができる方法及び装置並びに面取り用砥石を提
供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、ワークを保持
して回転させるワーク保持駆動手段と、このワーク保持
駆動手段及びこのワーク保持駆動手段により保持される
ワークをスライシング用のブレードに対してスライシン
グ方向に相対移動させる切断送り手段とを備えたスライ
シング装置により上記ワークから切り出されるウェハを
面取りするための方法であって、上記ワーク保持駆動手
段にワークを保持させた後、このワークからのウェハの
切出しを完了する時点よりも前の段階で、上記ワーク保
持駆動手段によりワークを回転させながらこのワークの
外周面に上記ウェハの面取り形状に対応する周面形状を
もつ面取り用砥石の周面を押付けることによりこのワー
ク外周面に予めウェハの面取り形状を形成しておくもの
である。

【０００８】この方法では、上記ワーク保持駆動手段に
ワークを保持させた後、このワークからのウェハの切出
しを完了する時点よりも前の段階で、上記ワーク保持駆
動手段を利用してワークを回転させることにより予め面
取り形状を形成しておき、その後にウェハを切り出すよ
うにしているので、従来のように完全にウェハを切り出
してからその面取りを行うものと異なり、専用のウェハ
保持装置や回転駆動装置、さらにはこれらへウェハを搬
送する装置が不要になる。

【０００９】より具体的には、まだブレードにより切り
込まれていないワーク外周面に上記面取り用砥石を押付
けてウェハの面取り形状を予め形成しておき、その後に
この面取り形状を形成した部分をウェハとして切り出す
ようにすれば、ブレードによる切り込みが全く行われて
いない段階でワーク外周面にウェハの面取り形状が予め
形成され、その後にこの面取り形状の形成部分がウェハ
として切り出されることになるので、既に切り出された
ウェハを保持しながらその面取りを行う場合に比べ、よ
り安定した状態で面取りができる。この場合、上記ワー
ク保持駆動手段によりワークを回転させながら、このワ
ークにおいて先端部分よりも後方の部分の外周面に上記
面取り用砥石を押付けてウェハの面取り形状を形成する
作業と、既に面取り形状が形成されているワーク先端部
分を上記ブレードにより切り出す作業とを同時実行で
き、これにより作業能率は大幅に高まる。

【００１０】また、ワークを回転させながらこのワーク
の先端部分を上記ブレードにより途中まで切り込んだ
後、その切り込み個所よりも先端側の部分の外周面に上
記面取り用砥石を押付けてこの部分を面取りしてから、
上記切り込みを再開して上記面取りをした部分をウェハ
としてワークから切り離すようにしてもよい。

【００１１】また本発明は、ワークを保持して回転させ
るワーク保持駆動手段と、このワーク保持駆動手段及び
このワーク保持駆動手段により保持されるワークをスラ
イシング用のブレードに対してスライシング方向に相対
移動させる切断送り手段とを備えたスライシング装置に
設けられ、このスライシング装置により上記ワークから
切り出されるウェハを面取りする装置であって、上記ワ
ーク保持駆動手段により回転駆動されるワーク外周面に
押付けられることによりこのワーク外周面にウェハの面
取り形状を形成する面取り用砥石と、この面取り用砥石
を支持する砥石支持部材とを備えるとともに、この砥石
支持部材を、上記面取り用砥石が上記ワーク保持駆動手
段により保持されるワークの外周面に押付けられる押付
け位置とこの押付け位置からワークの径方向外側に退避
する退避位置との間で上記ワークに対して相対移動可能
となるように上記スライシング装置に設置したものであ
る。

【００１２】この装置では、ワーク保持駆動手段にワー
クを保持させた状態で、砥石支持部材を押付け位置に移
動させて上記ワークの外周面に面取り用砥石を押付ける
とともに、上記ワーク保持駆動手段によってワークを回
転させることにより、ウェハを完全に切り出す前にその
面取り形状をワークに形成することができる。

【００１３】この装置において、上記面取り用砥石の外
周形状を、上記ウェハの面取り形状にほぼ対応する形状
の仕上げ加工用溝とこの溝よりも浅い前加工用溝とが上
記ワーク先端から後端に向かう方向に順に並んだ形状と
することにより、ワークを後方から前方に向けて割出し
ていくことにより、ワーク外周面の前加工、仕上げ加
工、ブレードによるスライシングの順に円滑に各工程を
進めていくことができる。

【００１４】また、この装置において、上記面取り用砥
石に請求項７記載の面取り用砥石、すなわち、外周面
に、上記ウェハの面取り形状にほぼ対応する形状の仕上
げ加工用溝と、この溝よりも浅い前加工用溝とが並べて
形成されていることを特徴とするスライシング装置によ
り切り出される砥石を用いた場合には、まず前加工用溝
をワーク外周面に押付けて前加工を行い、その後、同じ
個所に仕上げ加工用溝を押付けることにより、最終的に
ワーク外周面に所望の面取り形状を円滑に形成すること
ができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明の第１実施形態を図面に基
づいて説明する。

【００１６】図１〜３に示すスライシング装置は、基台
１を備え、この基台１上にガイドレール２が設置されて
いる。このガイドレール２に沿って切断送り方向（図１
の奥行き方向、図２の矢印Ａ１の方向）にスライド可能
にスライドテーブル３が支持されており、このスライド
テーブル３上には、ワーク支持台３ａが立設されてい
る。

【００１７】上記基台１上において、上記ワーク支持台
３ａに対向する位置には主軸台４が設置されている。こ
の主軸台４の上部には主軸受４ａが設けられ、この主軸
受４ａによって主軸６が回転可能に支持されるととも
に、この主軸６にベルト伝動機構７を介して主軸駆動モ
ータ８（図２）の出力軸が連結されている。主軸６の先
端部にはテンションディスク９が固着され、このテンシ
ョンディスク９が、上記主軸６、ベルト伝動機構７、及
び主軸駆動モータ８からなる回転駆動手段５により回転
駆動されるようになっている。

【００１８】テンションディスク９の周縁部には、ドー
ナツ状の薄板からなるブレード１０が装着され、このブ
レード１０の内周縁にダイヤモンド粒子等からなる内周
刃１１が固着されている。

【００１９】上記基台１上には、切断送り手段１４が設
置されている。この切断送り手段１４は、スライドテー
ブル３側のナットに螺合されたボールねじ１２と、この
ボールねじ１２を回転駆動する切断送りモータ１３とを
備え、この切断送り手段１４によって、上記スライドテ
ーブル３全体がガイドレール２に沿って前記切断送り方
向にスライド駆動されるようになっている。

【００２０】上記ワーク支持台３ａには、ワーク割出し
方向（図１の矢印Ａ２方向）にスライド可能に割出し移
動部材１５が設けられるとともに、この割出し移動部材
１５を移動させる割出し送り手段１８が設けられてい
る。割出し送り手段１８は、割出し移動部材１５側のナ
ットとに螺合されたボールねじ１６と、このボールねじ
１６を回転駆動する保持部材駆動モータ１７とを備え、
この割出し送り手段１８によって上記割出し移動部材１
５が上記ワーク割出し方向に移送されるようになってい
る。

【００２１】上記割出し移動部材１５上には、ワーク保
持駆動手段１９が設置されている。このワーク保持駆動
手段１９は、ワーク回転軸受２０を備え、このワーク回
転軸受２０に、上記ワーク割出し方向に延びるワーク回
転軸２１が回転可能に支持されており、このワーク回転
軸２１の後端（図１では右端）は、減速機２２を介して
ワーク回転駆動モータ２３の出力軸に連結され、前端に
は、複数（図例では４つ）の爪２４ａをもつワーク把持
用のチャック２４が固定されている。

【００２２】この実施形態では、スライシングされるワ
ーク３０として、円柱状のシリコン製半導体インゴット
が使用される。このワーク３０の後端（図１では右端）
には、被把持プレート２５が接着され、この被把持プレ
ート２５が上記チャック２４で把持されることにより、
ワーク３０がその割出し方向と平行な状態で保持される
ようになっている。そして、上記割出し送り手段１８の
作動により、ワーク３０が図１実線の退避位置と同図二
点鎖線に示される切断位置（ワーク前端がブレード１０
中央の穴内に臨む位置）との間を進退するとともに、上
記ワーク回転駆動モータ２３の作動で被把持プレート２
５と一体にワーク３０が低速で回転駆動されるようにな
っている。

【００２３】なお、図１及び図２において２６は、蛇腹
状のカバーである。

【００２４】上記スライドテーブル３上において、上記
ワーク支持台３ａの一側方（図２では上方）には、ウェ
ハ回収装置３２が設置されている。このウェハ回収装置
３２は、ワーク軸方向と平行な方向に移動可能に設置さ
れ、ワーク３０の先端部分から切り出されるウェハを吸
着保持して回収するものである。

【００２５】上記ワーク支持台３ａの他側方（図２では
下方）には、面取り用砥石４２が配設されている。詳し
くは、前記主軸受４ａに、この主軸受４ａからワーク３
０の側方まで延びる形状のアーム３８が固定され、この
アーム３８の先端に砥石軸受（砥石支持部材）４０が設
けられており、この砥石軸受４０に、ワーク軸方向と平
行に延びる砥石軸４３が回転可能に支持されている。そ
して、この砥石軸４３の先端（図１及び図２では左端）
に上記面取り用砥石４２が固定され、後端に砥石駆動モ
ータ４４の出力軸が連結されている。

【００２６】上記面取り用砥石４２の形状を図４に示
す。この面取り用砥石４２の外周面には、ワーク後端か
ら先端に向かう方向（図４では下から上に向かう方向）
に順に、前加工用溝４２ａ、小幅の円筒面４２ｄ、前加
工用溝４２ｂ、小幅の円筒面４２ｅ、仕上げ加工用溝４
２ｃ、及び小幅の円筒面４２ｆが並べて形成されてい
る。

【００２７】このうち、仕上げ加工用溝４２ｃは、最終
的に得たいウェハ外周面の面取り形状（この実施形態で
は断面半円状）にほぼ合致する形状とされており、前加
工用溝４２ｂは上記仕上げ加工用溝４２ｃよりも浅い溝
とされ、前加工用溝４２ａは前加工用溝４２ｂよりもさ
らに浅い溝とされている。ただし、各溝４２ａ〜４２ｃ
の最低直径（すなわち溝底部の直径）は全てほぼ同等に
設定されており、よって、円筒面４２ｆ、４２ｅ、４２
ｄの順にその直径が大きくなっている。また、円筒面４
２ｆの幅は、前記ブレード１０の内周刃による切り込み
幅と略同等に設定されている。

【００２８】次に、このスライシング装置によるウェハ
の切り出し方法並びに面取り方法を説明する。

【００２９】チャック２４によりワーク３０後端の被
把持プレート２５を把持させ、ワーク３０全体を水平に
保持させる。この時、ワーク３０の外周面が面取り用砥
石４２から径方向に離間する（図２では上方に離間す
る）ようにその切断送り位置を決めておく。また、割出
し送り手段１８を作動させることにより、ワーク３０の
先端部分が面取り用砥石４２の前加工用溝４２ａと横に
並ぶ位置までワーク３０を後退させておく。

【００３０】ワーク回転駆動モータ２３、砥石駆動モ
ータ４４により、ワーク３０、砥石４２をそれぞれ回転
駆動するとともに、切断送り手段１４を作動させてワー
ク支持台３ａ及びワーク３０を一体に図１の手前側に移
動させ、ワーク３０の外周面を面取り用砥石４２に押付
ける。これにより、ワーク先端部分は、面取り用砥石４
２の前加工溝４２ａをトレースした形状（略太鼓状）に
加工される。

【００３１】切断送り手段１４によって、一旦ワーク
外周面と面取り用砥石４２とを離間させ、割出し駆動手
段１８によって、切り出し予定のウェハの厚み寸法とブ
レード１０による切り込み幅寸法との和に相当する寸法
だけワーク３０を前方に割出した後、再びワーク外周面
に面取り用砥石４２を押付ける。これにより、の段階
で前加工用溝４２ａにより加工されたワーク先端部分は
次の前加工用溝４２ｂにより加工され、このワーク先端
部分のすぐ後方の部分が前加工用溝４２ａによって加工
される。このの動作を繰り返すことにより、前加工用
溝４２ａ、前加工用溝４２ｂ、仕上げ加工用溝４２ｃを
順に用いてワーク３０の外周面を加工でき、その結果、
ワーク外周面には、図４に示すように、仕上げ加工用溝
４２ｃがトレースされた形状（すなわち所望の面取り形
状）をもつ面取り加工済部分３０ａと、円筒面４２ｆに
より削られた小幅の円筒溝３０ｂとが交互に形成される
ことになる。

【００３２】上記のようにしてワーク外周面の面取り
加工が終了した後、ウェハの切り出し工程に入る。ま
ず、切断送り手段１４の作動によってワーク３０をこの
ワーク３０がブレード内周刃１１の内側に挿入可能な位
置まで移動させる一方、主軸駆動モータ８を作動させ、
主軸６と一体にテンションディスク９及びブレード１０
を回転駆動する。そして、ワーク３０を回転させたま
ま、割出し送り手段１８によって、最も先端側の円筒溝
３０ｂとブレード内周刃１１とが横に並ぶ位置までワー
ク３０を前進させる（すなわちワーク３０の先端部のみ
をブレード内周刃１１の内側に挿入する）。そして、こ
のワーク３０をスライドテーブル３と一体に切断送りす
ることにより、図５に示すように、上記円筒溝３０ｂで
ワーク３０の切り込みを行う。

【００３３】切り込みがほぼ完了した時点、すなわ
ち、ワーク３０の中心部分を残して外周部分がスライシ
ングされた時点でワーク３０の回転及び切断送りを一旦
止め、ウェハ回収装置３２の吸着部材３４によってワー
ク先端面を吸着する。次いで、ワーク３０を回転させる
ことなく切断送りのみを再開し、上記中心部分を切断す
ることにより、面取り加工済部分３０ａをウェハとして
ワーク３０から完全に切り離す。このウェハは、上記ウ
ェハ回収装置３２によって所定のウェハ搬送装置へ引き
渡す。この動作を繰り返すことにより、１本のワーク３
０から面取り加工済みのウェハを次々と切り出すことが
できる。従って、切り出し後にウェハを面取りする必要
はなく、この面取りのためのウェハ保持装置や回転駆動
装置、さらにはウェハ搬送装置も不要になる。

【００３４】以上の動作を繰り返すことにより、ワーク
３０からのウェハの切り出し並びにその回収を続けるこ
とができる。

【００３５】なお、本発明方法では、面取り用砥石４２
の具体的な形状を問わず、上記のように複数の溝４２ａ
〜４２ｃを有するものではなく、例えば単一の溝のみを
もつものを用いてもよい。ただし、図４に示すような面
取り用砥石４２を用いれば、前加工用溝４２ａ，４２
ｂ、仕上げ加工用溝４２ｃの順にワーク外周面に押付け
ることにより、比較的深い面取り形状も徐々に無理なく
加工することが可能になる。特に、図例のように、ワー
クの後端から先端に向かう方向に順に、前加工用溝４２
ａ，４２ｂ、仕上げ加工用溝４２ｃを並べれば、割出し
送り手段１８によってワーク３０を前進方向にのみ移動
させるだけで、ワーク３０の前加工、仕上げ加工、及び
ウェハの切り出しの各工程を順に円滑に進行させること
ができる。

【００３６】次に、第２実施形態を図６に基づいて説明
する。

【００３７】上記実施形態では、主軸受４ａ側に砥石軸
受４０が固定されていたが、この実施形態では、切断送
りされるスライドテーブル３上にワーク径方向（図６の
左右方向）にスライド可能に砥石軸受４０が設置されて
おり、図の実線のように面取り用砥石４２がワーク３０
の外周面に押付けられる押付け位置と、同図二点鎖線の
ように上記押付け位置から退避する退避位置とに切換可
能とされている。

【００３８】この装置において、ワーク３０を回転させ
ながら、このワーク３０の外周面に面取り用砥石４２を
押付けるのと同時に、この面取り用砥石４２によって形
成された円筒溝３０ｂをブレード１０によって切り込む
ようにすれば、面取り作業とウェハ切り出し作業とを同
時進行で行うことができ、作業能率を大幅に高めること
ができる。

【００３９】次に、第３実施形態を図７（ａ）（ｂ）に
基づいて説明する。

【００４０】上記各実施形態では、全く切り込みがなさ
れていないワーク外周面に面取り用砥石４２を押付けて
面取り形状を形成し、その後にウェハの切り出しを開始
するようにしているが、この実施形態では、まず、ワー
ク３０を途中まで切り込むことにより、図７（ａ）に示
すように、切り出されるウェハＷがワーク３０に中心部
分３０ｃのみでつながった状態にし、この状態で、図７
（ｂ）に示すように、ワーク３０を回転させながらウェ
ハＷに対応する部分の外周面に面取り用砥石４２を押付
けて面取りした後、上記切り込みを再開して上記中心部
分３０ｃを切断し、ウェハＷを完全に切り出すようにし
ている。

【００４１】このように、本発明方法では、少なくとも
ウェハＷの切り出し完了時点よりも前の段階で面取りを
行えばよく、これにより、面取り加工用のウェハ保持装
置や回転駆動装置、搬送装置を省略できるという効果を
得ることができる。

【００４２】なお、上記実施形態では、ワーク３０及び
ワーク保持駆動手段１９を実際に切断送り方向に移動さ
せるものを示しているが、テンションディスク９を切断
送り方向に移動させるスライシング装置にも本発明は適
用可能である。

【００４３】

【発明の効果】以上のように本発明方法は、上記ワーク
保持駆動手段にワークを保持させた後、このワークから
のウェハの切出しを完了する時点よりも前の段階で、上
記ワーク保持駆動手段を利用してワークを回転させるこ
とにより予め面取り形状を形成しておくことにより、ス
ライシング用のワーク保持駆動手段を面取り用として有
効利用するようにしたものであるので、従来のように完
全にウェハを切り出してからその面取りを行うものと異
なり、専用のウェハ保持装置や回転駆動装置、さらには
これらへウェハを搬送する装置も不要にできる。このた
め、設備コストを大幅に削減することができるととも
に、搬送中でのウェハの破損も回避できる効果がある。

【００４４】この方法では、請求項３記載のように、上
記ワーク保持駆動手段によりワークを回転させながら、
このワークにおいて先端部分よりも後方の部分の外周面
に上記面取り用砥石を押付けてウェハの面取り形状を形
成する作業と、既に面取り形状が形成されているワーク
先端部分を上記ブレードにより切り出す作業とを同時実
行することもでき、これにより、作業能率も大幅に高め
ることができる。

【００４５】また、請求項５記載の装置は、砥石支持部
材を、上記面取り用砥石が上記ワーク保持駆動手段によ
り保持されるワークの外周面に押付けられる押付け位置
とこの押付け位置からワークの径方向外側に退避する退
避位置との間で上記ワークに対して相対移動可能となる
ようにスライシング装置に設置したものであるので、ワ
ークを回転させた状態で上記砥石支持部材を押付け位置
に移動させるだけの簡単な操作で、ウェハ切り出し完了
前にワーク外周面に所望の面取り形状を形成できる効果
がある。

【００４６】この装置において、上記面取り用砥石に請
求項７記載の面取り用砥石を用いた場合には、面取り用
砥石に形成された溝のうち、まず前加工用溝をワーク外
周面に押付けて前加工を行い、その後、同じ個所に仕上
げ加工用溝を押付けることにより、面取り形状が比較的
深い場合にも、この形状を徐々に無理なく加工できる効
果がある。

【００４７】特に、請求項６記載の面取り装置では、上
記仕上げ加工用溝と前加工用溝とを上記ワーク先端から
後端に向かう方向に順に並べているので、ワークを後方
から前方に向かう一方向に割り出すだけで、ワーク外周
面の前加工、仕上げ加工、ブレードによるスライシング
の各工程をこの順に円滑に進めていくことができ、作業
能率をさらに高めることができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態におけるスライシング装
置の全体側面図である。

【図２】上記スライシング装置の全体平面図である。

【図３】上記スライシング装置においてスライシングさ
れるワークとその面取り用砥石とを示す断面正面図であ
る。

【図４】上記スライシング装置においてワーク外周面に
面取り用砥石を押付けている状態を示す一部断面平面図
である。

【図５】上記面取り用砥石で面取り形状を形成した部分
をウェハとして切り出している状態を示す一部断面平面
図である。

【図６】本発明の第２実施形態におけるスライシング装
置及びウェハの面取り装置の要部を示す一部断面平面図
である。

【図７】（ａ）は本発明の第３実施形態においてワーク
先端部分を途中まで切り込んだ状態を示す一部断面平面
図、（ｂ）は上記切り込みにより形成されたウェハ切り
出し予定部分の外周面に面取り用砥石を押付けている状
態を示す一部断面平面図である。

【符号の説明】

１０ ブレード １１ 内周刃 １４ 切断送り手段 １８ 割出し送り手段 １９ ワーク保持駆動手段 ３０ ワーク ４０ 砥石軸受（砥石支持部材） ４２ 面取り用砥石 ４２ａ，４２ｂ 前加工用溝 ４２ｃ 仕上げ加工用溝

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワークを保持して回転させるワーク保持
   駆動手段と、このワーク保持駆動手段及びこのワーク保
   持駆動手段により保持されるワークをスライシング用の
   ブレードに対してスライシング方向に相対移動させる切
   断送り手段とを備えたスライシング装置により上記ワー
   クから切り出されるウェハを面取りするための方法であ
   って、上記ワーク保持駆動手段にワークを保持させた
   後、このワークからのウェハの切出しを完了する時点よ
   りも前の段階で、上記ワーク保持駆動手段によりワーク
   を回転させながらこのワークの外周面に上記ウェハの面
   取り形状に対応する周面形状をもつ面取り用砥石の周面
   を押付けることによりこのワーク外周面に予めウェハの
   面取り形状を形成しておくことを特徴とするスライシン
   グ装置により切り出されるウェハの面取り方法。
2. 【請求項２】 請求項１記載のスライシング装置により
   切り出されるウェハの面取り方法において、まだブレー
   ドにより切り込まれていないワーク外周面に上記面取り
   用砥石を押付けてウェハの面取り形状を予め形成してお
   き、その後にこの面取り形状を形成した部分をウェハと
   して切り出すことを特徴とするスライシング装置により
   切り出されるウェハの面取り方法。
3. 【請求項３】 請求項２記載のスライシング装置により
   切り出されるウェハの面取り方法において、上記ワーク
   保持駆動手段によりワークを回転させながら、このワー
   クにおいて先端部分よりも後方の部分の外周面に上記面
   取り用砥石を押付けてウェハの面取り形状を形成するの
   と同時に、既に面取り形状が形成されているワーク先端
   部分を上記ブレードによりウェハとして切り出すことを
   特徴とするスライシング装置により切り出されるウェハ
   の面取り方法。
4. 【請求項４】 請求項１記載のスライシング装置により
   切り出されるウェハの面取り方法において、ワークを回
   転させながらこのワークの先端部分を上記ブレードによ
   り途中まで切り込んだ後、その切り込み個所よりも先端
   側の部分の外周面に上記面取り用砥石を押付けてこの部
   分を面取りしてから、上記切り込みを再開して上記面取
   りをした部分をウェハとしてワークから切り離すことを
   特徴とするスライシング装置により切り出されるウェハ
   の面取り方法。
5. 【請求項５】 ワークを保持して回転させるワーク保持
   駆動手段と、このワーク保持駆動手段及びこのワーク保
   持駆動手段により保持されるワークをスライシング用の
   ブレードに対してスライシング方向に相対移動させる切
   断送り手段とを備えたスライシング装置に設けられ、こ
   のスライシング装置により上記ワークから切り出される
   ウェハを面取りする装置であって、上記ワーク保持駆動
   手段により回転駆動されるワーク外周面に押付けられる
   ことによりこのワーク外周面にウェハの面取り形状を形
   成する面取り用砥石と、この面取り用砥石を支持する砥
   石支持部材とを備えるとともに、この砥石支持部材を、
   上記面取り用砥石が上記ワーク保持駆動手段により保持
   されるワークの外周面に押付けられる押付け位置とこの
   押付け位置からワークの径方向外側に退避する退避位置
   との間で上記ワークに対して相対移動可能となるように
   上記スライシング装置に設置したことを特徴とするスラ
   イシング装置により切り出されるウェハの面取り装置。
6. 【請求項６】 請求項５記載のスライシング装置により
   切り出されるウェハの面取り装置において、上記面取り
   用砥石の外周形状を、上記ウェハの面取り形状にほぼ対
   応する形状の仕上げ加工用溝とこの溝よりも浅い前加工
   用溝とが上記ワーク先端から後端に向かう方向に順に並
   んだ形状としたことを特徴とするスライシング装置によ
   り切り出されるウェハの面取り装置。
7. 【請求項７】 請求項２記載のスライシング装置により
   切り出されるウェハの面取り方法に用いられる面取り用
   砥石であって、その外周面に、上記ウェハの面取り形状
   にほぼ対応する形状の仕上げ加工用溝と、この溝よりも
   浅い前加工用溝とが並べて形成されていることを特徴と
   するスライシング装置により切り出されるウェハの面取
   り用砥石。