JPH09205786A - 振動アクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 異形モード縮退型の振動アクチュエータで
は、その固定形態が決定されていないため、駆動効率の
低下を引き起こすおそれがある。 【解決手段】 圧電体２１〜２４を装着されて縦振動及
び捩じり振動を生じる振動子２と，振動子２に生じる縦
振動及び捩じり振動により振動子２との間で相対運動を
発生する移動子１３と，振動子２及び移動子１３を、振
動子２の軸方向について加圧接触させた状態で保持する
固定軸１７とを備え、固定軸１７はその両端部がともに
支持される振動アクチュエータ１。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、筒状の振動発生部
材を備える振動アクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】図５は、縦−捩じり振動型の振動アクチ
ュエータの従来例を示した斜視図である。

【０００３】従来、この種の振動アクチュエータでは、
２つの円柱型の振動子１０２，１０３間に捩じり振動用
の圧電素子１０４が配置される。また、振動子１０３の
上側に縦振動用の圧電素子１０５が配置される。このよ
うにして、ステータ（固定子）１０１が構成される。

【０００４】捩じり振動用の圧電素子１０４は周方向に
分極される。一方、縦振動用の圧電素子１０５は厚み方
向に分極される。さらに、ロータ（移動子）１０６は、
縦振動用の圧電素子１０５の上側に配置される。

【０００５】ステータ１０１を構成する振動子１０２，
１０３及び圧電素子１０４，１０５は、シャフト１０７
のねじ部に螺合されて固定される。ロータ１０６は、ボ
ールベアリング１０８を介してシャフト１０７に回転可
能に支持される。シャフト１０７の先端にはばね１０９
を介してナット１１０が螺合する。これにより、ロータ
１０６をステータ１０１に所定の加圧力Ｆで加圧接触さ
せる。

【０００６】捩じり振動用の圧電素子１０４は、ロータ
１０６が回転するための機械的変位を与える。一方、縦
振動用の圧電素子１０５は、ステータ１０１とロータ１
０６との間に働く摩擦力を、圧電素子１０４による捩じ
り振動の周期に同期させて周期的に変動させることによ
り、振動を一方向への運動として伝達するクラッチ的役
割を果たす。

【０００７】図６は、この振動アクチュエータのステー
タを展開した状態で示す斜視図である。捩じり振動用の
環状の圧電素子１０４は、周方向に分極しておく必要が
ある。そこで、圧電素子１０４ａは、図６に示すよう
に、圧電材料を６〜８個程度の扇形の小片に一端分割し
ておき、各小片を円周方向について分極した後に再度環
状に組み合わせることにより、組み立てていた。なお、
図６における符号１０４ａは、圧電素子１０４に駆動電
圧を印加するための電極である。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかし、図５及び図６
を参照しながら説明した従来の振動アクチュエータで
は、捩じり振動用の圧電素子１０４を環状に組み合わせ
る時に、形状精度を出すことが難しかった。

【０００９】一方、縦振動用の圧電素子１０５，及び捩
じり振動用の圧電素子１０４それぞれの面積は、とも
に、ステータ１０６の断面積と略等しい程度であるか、
又は、ステータ１０６の断面積よりも小さくなりがちで
あった。

【００１０】また、シャフト１０７を貫通させるため、
縦振動用の圧電素子１０５，及び捩じり振動用の圧電素
子１０４それぞれの中央部に孔を開ける必要もあった。
そのため、縦振動用の圧電素子１０５，及び捩じり振動
用の圧電素子１０４それぞれの面積はさらに小さくなら
ざるを得なかった。したがって、従来の振動アクチュエ
ータでは、より一層の高トルク化，高回転化を図ること
がともに難しかった。

【００１１】このような従来の振動アクチュエータの有
する問題を解決するため、本出願人は、先に特願平６−
２７５０２２号等により、高トルク及び高回転で駆動す
ることができ、しかも、構造及び組み立てがともに容易
である新型のアクチュエータを、異形モード縮退型の振
動アクチュエータとして提案した。

【００１２】図７は、新型の異形モード縮退型の振動ア
クチュエータの構造を示す縦断面図である。図７に示す
ように、この異形モード縮退型の振動アクチュエータで
は、長手方向の略中央部に環状に形成された大径部４１
ａを有する棒状の固定軸４１の外周面に、中空円筒状の
弾性体４２が、弾性体４２の長手方向と直行する方向に
貫通するとともに固定軸４１の大径部４１ａに螺合する
取付ボルト４３ａ，４３ｂにより、固定される。

【００１３】弾性体４２は、厚肉の円管状弾性体を中心
軸を含む平面で縦に２分割することにより得られる２つ
の半円管状弾性体４２ａ，４２ｂを組み合わせて構成さ
れる。

【００１４】半円管状弾性体４２ａ，４２ｂそれぞれの
分割面には、いずれも図示しないが、捩じり振動用の圧
電素子と，縦振動用の圧電素子とがそれぞれ２枚ずつ計
４枚挟まれた状態で保持される。

【００１５】弾性体４２の上端面である駆動面Ｄには、
その中央部に装着されたベアリング４６を介して固定軸
４１により回動自在に支持される相対運動部材である円
柱状の移動子４７が接触する。

【００１６】移動子４７は、厚肉円管状の移動子母材４
７ａと，移動子母材４７ａの弾性体４２側の端面に貼付
されて弾性体４２の駆動面Ｄに接触する摺動材４７ｂと
により構成される。前述したように、移動子４７は中心
部に嵌着されたベアリング４６によって固定軸４１に対
して回動自在に位置決めされる。

【００１７】さらに、移動子４７は、加圧部材である皿
バネ４８により、弾性体４２の駆動面Ｄに加圧接触され
る。このように、固定軸４１は、弾性体４２を固定する
とともに移動子４７を半径方向について回動自在に位置
決めし、振動アクチュエータとして駆動する際の軸振れ
の発生を防止する。この固定軸４１は、先端にねじ部４
１ｂが形成されており、皿バネ４８の加圧量を調整する
ための調整部材であるナット４９が螺合する。

【００１８】このように構成された振動アクチュエータ
は、圧電素子に駆動電圧発生装置（いずれも図示しな
い。）から駆動電圧を印加されることによって励振し、
弾性体２には捩じり振動及び縦振動が調和的に発生す
る。捩じり振動及び縦振動それぞれの共振周波数が略一
致すると、捩じり振動及び縦振動が同時に発生し、この
楕円運動が駆動力となって、加圧接触する移動子４７が
固定軸４１の回りに回転駆動される。

【００１９】このような異形モード縮退型の振動アクチ
ュエータは、現在、鋭意開発が行われており、実用化へ
の努力が払われている。しかし、現時点では、振動アク
チュエータ本体を具体的にどのように支持するのかにつ
いては余り検討されていない。

【００２０】振動アクチュエータ本体の支持が適切に行
われない場合には、振動アクチュエータが発生する大き
なトルクの反力によって固定軸の振れや回転が発生して
しまい、振動アクチュエータの駆動効率が低下してしま
うおそれがある。

【００２１】振動アクチュエータ本体の固定形態として
検討されたものとしては、図７において、振動子及び移
動子４７を支持する固定軸４１の一端（図面上の下端部
付近）を、例えばモーターハウジング等の支持部材によ
って固定・支持することが検討されている。

【００２２】しかし、このように固定軸４１の一端を固
定・支持しても、異形モード縮退型の振動アクチュエー
タにより発生されるトルクは大きいため、駆動に伴うト
ルクの反力によって固定軸４１が振れてしまうおそれは
解消できない。

【００２３】固定軸４１の振れを完全に解消するには、
固定軸４１の一端を固定するのではなく、両端を固定す
ればよい。しかし、これでは、振動アクチュエータを過
剰に拘束することになって、振動子に発生する振動を減
衰させてしまい、振動アクチュエータの駆動効率を低下
させてしまう。

【００２４】このように、図７により示す異形モード縮
退型の振動アクチュエータでは、振動アクチュエータの
固定形態が決定されていないことに起因して、振動アク
チュエータの駆動効率の低下を引き起こすおそれがある
という課題があった。

【００２５】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、複数
の電気機械変換素子を装着されて複数の振動モードを生
じる筒状の振動発生部材と，前記振動発生部材に生じる
複数の前記振動モードにより前記振動発生部材との間で
相対運動を発生する相対運動部材と，前記振動発生部材
及び前記相対運動部材を、前記振動発生部材の軸方向に
ついて加圧接触させた状態で保持する固定部材とを備え
る振動アクチュエータにおいて、前記固定部材は、その
両端部がともに支持されることを特徴とする。

【００２６】請求項２の発明は、請求項１に記載された
振動アクチュエータにおいて、前記固定部材の両端部の
支持は、一端が回転止めにより行われるとともに、他端
が振れ止めにより行われることを特徴とする。

【００２７】請求項３の発明は、請求項２に記載された
振動アクチュエータにおいて、前記回転止めは、ネジ固
定であるとともに、前記振れ止めは、嵌合支持であるこ
とを特徴とする。

【００２８】上記の本発明における「支持」は、固定，
保持だけを意味するのではなく、嵌合，係合等を含む。

【００２９】

【発明の実施の形態】

（第１実施形態）以下、添付図面を参照しながら本発明
の実施形態を詳細に説明する。なお、以降の実施形態の
説明は、振動アクチュエータとして超音波領域の周波数
の振動を利用する超音波アクチュエータを例にとって、
行う。

【００３０】図１は、本発明の第１実施形態にかかる超
音波アクチュエータ１及び超音波アクチュエータ本体の
固定状況を示す縦断面図である。また、図２は、本実施
形態の超音波アクチュエータ１に用いる振動子２の説明
図であって、図２（ａ）は振動子２の中心線より左半分
を断面で示す側面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）に
おけるＡ−Ａ断面、Ｂ−Ｂ断面、Ｃ−Ｃ断面を駆動電圧
Ｖｔ，Ｖｌの印加状況とともに示す説明図である。

【００３１】図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、
筒状の振動発生部材である振動子２は、駆動信号により
励振されるとともに電気エネルギーを機械的変位に変換
する電気機械変換素子である３群の圧電素子２１，２
２，２３と、これらの圧電素子２１〜２３を接合して圧
電素子２１〜２３の励振によって、１次の超音波領域の
振動数の縦振動と２次の超音波領域の振動数の捩り振動
とを生じることにより、一方の端面である駆動面Ｄに駆
動力を発生する中空円柱型の弾性体３とよって構成され
る。

【００３２】図１に示すように、この円柱型の弾性体３
の外周面には、外径が大きな４つの大径部３ａ〜３ｄ
と、これらの大径部３ａ〜３ｄの間に３つの小径部３ｅ
〜３ｇとが形成されている。

【００３３】弾性体３は、高さ方向に沿って中心軸ｍを
含む平面により２つの半円管状弾性体３−１，３−２に
分割され、２つの半円管状弾性体３−１，３−２の二つ
の分割面それぞれに圧電体２１〜２３が挟まれた状態で
保持される。

【００３４】図２に示すように、弾性体３の長手方向略
中心部には、圧電定数ｄ₃₁を用いる縦振動用の圧電体２
２（Ｌ用ＰＺＴ）が２層配置される。この配置位置は、
後述するように、１次の縦振動の節付近である。一方、
圧電体２２の両端側には、圧電定数ｄ₁₅を用いる捩じり
振動用の圧電体２１，２３（Ｔ用ＰＺＴ）がそれぞれ２
層配置される。この配置位置は、後述するように、２次
の捩り振動の節付近である。

【００３５】このように、本実施形態の超音波アクチュ
エータ１に用いる弾性体３は、中空の円柱体を中心軸を
含む平面で縦に２分割することにより得られ、２つの分
割面にそれぞれ３群からなる圧電体２１〜２３が２層ず
つ挟み込まれた状態で保持される。

【００３６】圧電体２１，２３は、弾性体３の長手方向
に対して剪断変位を発生する。図２（ｂ）におけるＡ−
Ａ断面，Ｃ−Ｃ断面それぞれにおける圧電体２１，２３
は、駆動電圧Ｖｔが印加された場合に、弾性体３の円周
方向についての剪断変形が手前方向とその反対方向とが
交互になるように配置される。また、圧電体２１，２３
は、図２におけるＡ−Ａ断面，Ｃ−Ｃ断面それぞれにお
ける捩じれ方向が逆になるように配置される。圧電体２
１，２３がこのように配置されて、それぞれが剪断変形
すると、弾性体３には２次の超音波振動数域の捩じり変
位が発生する。

【００３７】圧電体２２は、弾性体３の長手方向に対し
て１次の超音波振動数域の伸縮変位が発生する。図２中
のＢ−Ｂ断面における２組の縦振動用の圧電体２２は、
駆動電圧Ｖｌが印加されると、全てが同じ方向へ変位す
るように配置する。

【００３８】図１及び図２において、捩じり振動用の圧
電体２１、２３に正弦波電圧を入力すると、振動子１に
はそれに応じて捩じり振動が発生する。一方、縦振動用
の圧電体２２に正弦波電圧を入力すると、振動子１には
それに応じて縦振動が発生する。

【００３９】二つの半円管状弾性体３−１，３−２の４
つの大径部３ａ〜３ｄのうちの、弾性体３の長手方向略
中心に、弾性体３の中心軸Ｃと直交する方向に貫通孔３
ｈ，３ｉ，３ｊ，３ｋが設けられており、これらの貫通
孔３ｈ〜３ｋにボルト４〜７を挿入してナット８〜１１
を螺着することにより、半弾性体３−１，３−２と圧電
体２１〜２３とが締結・固定される。

【００４０】さらに、小径部３ｆの弾性体３の長手方向
の略中心（１次の縦振動の節付近）には、半円管状弾性
体３−１，３−２を固定部材である棒状の固定軸１７に
固定するための支持部材であるピン１２が貫着される。

【００４１】振動子２との間で相対運動を行う相対運動
部材である円柱状の移動子１３は、弾性体３の駆動面Ｄ
に接触する摺動材１４と円柱状の移動子母材１５とによ
り構成される。移動子母材１５の反振動子側の端面内周
部には、環状に溝部１５ａが形成されており、この溝部
１５ａに位置決め手段であるベアリング１６が嵌合され
ている。このベアリング１６は、固定軸１７によって位
置決めされており、このベアリング１６を介して移動子
１３は固定軸１７に対して回動自在に保持される。

【００４２】移動子母材１５の外周面のうちの反振動子
側には、歯車１５ｂが環状に形成されており、図示しな
い被駆動部材の一部が螺合する。被駆動部材は、移動子
母材１５の回転によって駆動される。

【００４３】さらに、ベアリング１６は、固定軸１７に
装着された加圧手段である皿バネ１８（スプリングバネ
や板バネ等の他の加圧力発生部材であってもよい。）に
より弾性体３の駆動面Ｄ側に向けて加圧される。この加
圧により、移動子１３は振動子２に加圧接触する。

【００４４】固定軸１７は、弾性体３の中心部に形成さ
れた中空部を貫通しており、弾性体３を固定するととも
に、移動子１３を半径方向について位置決め・固定す
る。固定軸１７の上端部側には、ネジ部１７ａが形成さ
れており、このネジ部１７ａに、皿バネ１８の加圧量を
調整する調整手段であるナット１９が螺合する。ナット
１９の螺着位置を調整することにより、皿バネ１８の加
圧量が調整される。

【００４５】さらに、本実施形態では、固定軸１７の両
端が固定部２０ａ，２０ｂによりそれぞれ支持される。
すなわち、固定軸１７の下端１７ｂには円板状の取付部
が形成されており、この取付部に取付ネジ２４を螺着さ
せることにより、固定軸１７の下端１７ｂが機器等の固
定部２０ｂにネジ固定される。このネジ固定により、固
定軸１７は回転止めがなされ、振動アクチュエータ１の
駆動に伴って固定軸１７が回転することが抑制される。

【００４６】一方、固定軸１７の上端には、棒状の突設
部２５が形成されており、この突設部２５を、機器等の
固定部２０ａに形成された取付孔に嵌め合わせることに
より、固定軸１７の他端が固定部２０ａに嵌合支持され
る。この嵌合支持により、固定軸１７は振れ止めがなさ
れ、超音波アクチュエータ１の駆動に伴って固定軸１７
が振れることが抑制される。

【００４７】本実施形態では、固定軸１７の一端をネジ
止め固定するとともに、他端を嵌合支持することによ
り、固定軸１７の両端を支持するように構成したが、本
発明はこの態様のみに限定されるものではない。例え
ば、両端ともにネジ止め固定又は嵌合固定するようにし
てもよい。ただし、超音波アクチュエータ１を確実に支
持するとともに、振動子２の振動減衰をできるだけ抑制
して振動効率の低下をできるだけ抑制するためには、本
実施形態のように、固定軸１７の一端を回転固定すると
ともに他端を振れ止め支持することが最も望ましい。

【００４８】また、本実施形態によれば、超音波アクチ
ュエータ１の本体を支持するための余計な部材を必要と
せず、固定軸１７を利用して超音波アクチュエータ１を
固定するため、振動アクチュエータ１の設置スペースを
できるだけ小さくすることができる。そのため、振動ア
クチュエータを狭隘部等に設置する場合にも有効であ
る。

【００４９】図２（ｂ）に示すように、圧電体２１，２
３に駆動電圧Ｖｔを印加するとともに圧電体２２に駆動
電圧Ｖｌを印加するための駆動回路は、駆動信号を発振
する発振部３１と，発振された駆動信号を（１／４）λ
位相差を有する信号に振り分ける移相部３２と，捩り振
動用圧電体２１、２２に入力する駆動信号を増幅するＴ
増幅部３３と，縦振動用圧電体２３に入力する駆動信号
を増幅するＬ増幅部３４とから構成される。

【００５０】以上のような構成によると、発振部３１は
駆動信号を発振し、その駆動信号は移相部３２により２
つの（１／４）λ位相差を有する信号に分割され、それ
ぞれＴ増幅部３３及びＬ増幅部３４により増幅される。
Ｔ増幅部３３で増幅された駆動信号は捩じり振動用の圧
電体２１、２３に入力され、Ｌ増幅部３４で増幅された
駆動信号は縦振動用の圧電体２２に入力される。

【００５１】図３は、圧電体２１〜２４に駆動信号が入
力された場合の振動子２における振動発生状況を示す説
明図である。同図に示すように、駆動信号が入力された
振動子２は、圧電体２１〜２３の励振により、腹及び節
を有する１次の縦振動（Ｌ１モード）と２次の捩じり振
動（Ｔ２モード）とが生じ、捩じり振動用の圧電体２
１，２３と縦振動用の圧電体２２とに印加する周期電圧
の位相差を（１／４）λずらすことにより、これらの振
動は合成されて、図４に説明するように、弾性体３の駆
動面Ｄには楕円運動が発生する。

【００５２】このとき、捩じり振動（Ｔ２モード）は、
捩じり剛性の弱い小径部３ｅ，３ｇに節を発生し、弾性
体３の駆動面Ｄは腹となる。一方、縦振動（Ｌ１モー
ド）は、小径部３ｆに節を発生し、弾性体３の駆動面Ｄ
は腹となる。この駆動面Ｄに加圧された移動子１３は、
振動子２より摩擦的に駆動力を受けて駆動される。

【００５３】次に、図４を参照しながら、本実施形態の
超音波アクチュエータにおいて、振動子２に発生する縦
振動と捩じり振動とを組み合わせて駆動面Ｄに楕円運動
を発生することを経時的に説明する。

【００５４】図４に示すように、捩じり振動の周期と縦
振動の周期との位相差を（１／４）λ（λ：波長）ずら
すと、駆動面Ｄ上の定点には楕円運動が発生する。ｔ＝
（６／４）πの時点では、捩じり振動Ｔの変位は左側に
最大であり、一方、縦振動Ｌの変位は零である。この状
態では、移動子１３は、図示しない加圧機構によって振
動子２の駆動面Ｄに加圧接触する。

【００５５】この状態から、ｔ＝（７／４）π〜０〜
（２／４）πまでは、捩じり振動Ｔは、左側の最大から
右側の最大まで変位し、一方、縦振動Ｌは、零から上側
の最大に変位し、再び零に戻る。したがって、振動子２
の駆動面Ｄの定点は、移動子１３を押しながら右方向に
回転し、移動子１３は駆動される。

【００５６】次に、ｔ＝（２／４）π〜（６／４）πま
では、捩じり振動Ｔは、右側の最大から左側の最大まで
変位し、一方、縦振動Ｌは、零から下側の最大に変位
し、再び零に戻る。したがって、振動子２の駆動面Ｄの
定点は、移動子１３から離れながら左方向に回転するた
め、移動子１３は駆動されない。このときに、移動子１
３は、加圧部材により加圧されていても固有振動数が異
なるため、振動子２の縮みに追従しない。

【００５７】ここで、捩じり振動Ｔの駆動振動数を捩じ
り振動の共振周波数に略一致させるとともに、縦振動Ｌ
の駆動振動数を縦振動の共振周波数に略一致させると、
共振して駆動面Ｄにおける楕円運動が拡大する。

【００５８】なお、本実施形態では、振動子２のみの寸
法を適宜設定することにより、捩じり振動の共振振動数
と縦振動の共振周波数とをともに決定することができる
ため、移動子１３の形状を比較的自由に設定することが
できる。このためには、振動子２から移動子１３への振
動の伝搬ロスをできるだけ小さくすることが有利であ
る。例えばポリフロン等の振動減衰性の大きな摺動材１
４を用いたり、移動子母材１５に例えばアルミニウム材
等の振動減衰性の大きな材料を用いることにより、移動
子１５自体の振動減衰を大きく確保すればよい。

【００５９】このように、本実施形態の超音波アクチュ
エータによれば、駆動の際に、固定軸の一端がネジ止め
固定されるために移動子の回転に伴う固定軸に回転変位
が発生することが防止されるとともに、固定軸の他端が
嵌合支持されるために移動子の回転に伴う固定軸の振れ
が防止される。

【００６０】また、本実施形態の超音波アクチュエータ
によれば、固定軸を利用して超音波アクチュエータ本体
を支持するため、支持のための部品点数を必要最小限に
抑制することができる。

【００６１】さらに、本実施形態の超音波アクチュエー
タによれば、振動発生部材である振動子に接触すること
なく固定軸を利用して超音波アクチュエータ本体を支持
するため、振動子に発生する縦振動及び捩じり振動を減
衰させることが殆どない。そのため、支持に伴う振動ア
クチュエータの駆動効率をできるだけ抑制することがで
きる。

【００６２】（変形形態）第１実施形態では、電気機械
変換素子として圧電素子を用いたが、本発明にかかる振
動アクチュエータは第１実施態様のみに限定されるもの
ではなく、電気エネルギーを機械的変位に変換すること
ができるものであれば等しく適用することができる。例
えば、圧電素子以外に電歪素子や磁歪素子等を用いるこ
とができる。

【００６３】第１実施形態では、振動子に１次の縦振動
と２次の捩じり振動とが発生する超音波アクチュエータ
を例にとったが、本発明にかかる振動アクチュエータは
このような態様のみに限定されるものではなく、振動子
にｍ次の縦振動（ｍ：自然数）とｎ次の捩じり振動
（ｎ：自然数）とを生じて駆動力とする振動アクチュエ
ータに対しても等しく適用することができる。

【００６４】さらに、第１実施形態では、４つの大径部
と３つの小径部とが形成された振動子を備える振動アク
チュエータを例にとったが、本発明はこのような態様の
みに限定されるものではなく、振動子に発生する縦振動
及び捩じり振動の共振周波数を一致させるために振動子
に１又は２以上の小径部を形成された振動子を備える振
動アクチュエータに対しても等しく適用することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態にかかる超音波アクチュ
エータ及び超音波アクチュエータ本体の固定状況を示す
縦断面図である。

【図２】第１実施形態の超音波アクチュエータに用いる
振動子の説明図であって、図２（ａ）は振動子の中心線
より左半分を断面で示す側面図であり、図２（ｂ）は図
２（ａ）におけるＡ−Ａ断面、Ｂ−Ｂ断面、Ｃ−Ｃ断面
を駆動電圧Ｖｔ，Ｖｌの印加状況とともに示す説明図で
ある。

【図３】圧電体に駆動信号が入力された場合の振動子に
おける振動発生状況を示す説明図である。

【図４】第１実施形態の超音波アクチュエータにおい
て、振動子に発生する縦振動と捩じり振動とを組み合わ
せて駆動面に楕円運動を発生することを経時的に示す説
明図である。

【図５】縦−捩じり振動型の振動アクチュエータの従来
例を示した斜視図である。

【図６】図５に示す振動アクチュエータのステータを展
開した状態で示す斜視図である。

【図７】特願平６−２７５０２２号等により提案した新
型の異形モード縮退型の振動アクチュエータの構造を示
す縦断面図である。

【符号の説明】

１ 超音波アクチュエータ ２ 振動子 ３ 弾性体 ３ａ〜３ｄ 大径部 ３ｅ〜３ｆ 小径部 ４〜７ ボルト ８〜１１ ナット １２ ピン １３ 移動子 １４ 摺動材 １５ 移動子母材 １５ａ 溝部 １５ｂ 駆動力取出部 １６ ベアリング １７ 固定軸 １８ 皿バネ １９ ナット ２０ａ，２０ｂ 固定部 ２１，２３ 捩じり振動用圧電体 ２２ 縦振動用圧電体 ２４ 取付ネジ ２５ 突設部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の電気機械変換素子が装着されて複
   数の振動モードを生じる筒状の振動発生部材と，前記振
   動発生部材に生じる複数の前記振動モードにより前記振
   動発生部材との間で相対運動を行う相対運動部材と，前
   記振動発生部材及び前記相対運動部材を、前記振動発生
   部材の軸方向について加圧接触させた状態で保持する固
   定部材とを備える振動アクチュエータにおいて、前記固
   定部材は、その両端部がともに支持されることを特徴と
   する振動アクチュエータ。
2. 【請求項２】 請求項１に記載された振動アクチュエー
   タにおいて、 前記固定部材の両端部の支持は、一端が回転止めにより
   行われるとともに、他端が振れ止めにより行われること
   を特徴とする振動アクチュエータ。
3. 【請求項３】 請求項２に記載された振動アクチュエー
   タにおいて、 前記回転止めは、ネジ固定であるとともに、前記振れ止
   めは、嵌合支持であることを特徴とする振動アクチュエ
   ータ。