JPH09207039A - 保持装置 - Google Patents
保持装置Info
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- JPH09207039A JPH09207039A JP1605196A JP1605196A JPH09207039A JP H09207039 A JPH09207039 A JP H09207039A JP 1605196 A JP1605196 A JP 1605196A JP 1605196 A JP1605196 A JP 1605196A JP H09207039 A JPH09207039 A JP H09207039A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inorganic
- holding device
- organic composite
- polyvalent metal
- powder
- Prior art date
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- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 保持に伴い物品に生じる応力が可能な限り抑
制された保持装置を得る。 【解決手段】 固定部材4と、固定部材4に対し相対移
動する可動部材3との間に挟まれた物品13を保持する
保持装置であって、固定電極8と、可動部材3に装着さ
れ、かつ固定電極8に対し微小な間隔S1を介して対向
しつつ相対移動する可動電極6とを設け、これら電極
6,8の間に、電気レオロジー効果を有する電気レオロ
ジー流体または電圧の印加により凝集する電界凝集型粉
体から選択される物質12を介在させる。そして、これ
ら電極6,8に電圧を印加して、上記電気レオロジー流
体の粘度を増大させるか、あるいは電界凝集型粉体を凝
集させることにより、可動部材3を固定電極8に対し停
止させる。
制された保持装置を得る。 【解決手段】 固定部材4と、固定部材4に対し相対移
動する可動部材3との間に挟まれた物品13を保持する
保持装置であって、固定電極8と、可動部材3に装着さ
れ、かつ固定電極8に対し微小な間隔S1を介して対向
しつつ相対移動する可動電極6とを設け、これら電極
6,8の間に、電気レオロジー効果を有する電気レオロ
ジー流体または電圧の印加により凝集する電界凝集型粉
体から選択される物質12を介在させる。そして、これ
ら電極6,8に電圧を印加して、上記電気レオロジー流
体の粘度を増大させるか、あるいは電界凝集型粉体を凝
集させることにより、可動部材3を固定電極8に対し停
止させる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、固定部材と可動部
材との間に挟まれた物品を保持する保持装置に係り、特
に、保持に伴い物品に生じる応力を抑制可能な保持装置
に関する。
材との間に挟まれた物品を保持する保持装置に係り、特
に、保持に伴い物品に生じる応力を抑制可能な保持装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】物品の保持ないし位置決めには、従来よ
り、例えばクランパ、チャック、あるいはバイス等と呼
称される装置が用いられている。これらの装置は、ネジ
機構または流体の圧力を利用したシリンダ等により移動
可能とされた可動部材同士、またはこの可動部材と固定
部材との間に物品を配置し、更に上記可動部材を移動さ
せることにより、可動部材同士または可動部材と固定部
材との間に物品を挟むものである。
り、例えばクランパ、チャック、あるいはバイス等と呼
称される装置が用いられている。これらの装置は、ネジ
機構または流体の圧力を利用したシリンダ等により移動
可能とされた可動部材同士、またはこの可動部材と固定
部材との間に物品を配置し、更に上記可動部材を移動さ
せることにより、可動部材同士または可動部材と固定部
材との間に物品を挟むものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の装置では、挟まれた部位にて物品に力を加え、これ
を弾性変形させる(歪ませる)ことにより保持している
ため、例えば集積回路のように変形に弱い物品、あるい
は脆い物品が保持しにくいという問題があった。本発明
は上記事情に鑑みてなされたもので、保持に伴い物品に
生じる応力を可能な限り抑制可能な保持装置の提供をそ
の目的としている。
来の装置では、挟まれた部位にて物品に力を加え、これ
を弾性変形させる(歪ませる)ことにより保持している
ため、例えば集積回路のように変形に弱い物品、あるい
は脆い物品が保持しにくいという問題があった。本発明
は上記事情に鑑みてなされたもので、保持に伴い物品に
生じる応力を可能な限り抑制可能な保持装置の提供をそ
の目的としている。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、固定部材と、
この固定部材に対し相対移動する可動部材とを具備し、
これら固定部材と可動部材との間に物品を挟むことによ
りこの物品を保持する保持装置であって、固定電極と、
上記可動部材に装着され、かつ上記固定電極に対し微小
な間隔で対向しつつ相対移動する可動電極とを設け、こ
れら電極の間に、電気レオロジー流体、または電圧の印
加により凝集する電界凝集型粉体を介在させ、これら電
極に電圧を印加して、上記電気レオロジー流体の粘度を
増大させ、あるいは上記電界凝集型粉体を凝集させるこ
とにより、上記可動部材を前記固定電極に対し停止させ
ることをその特徴としている。
この固定部材に対し相対移動する可動部材とを具備し、
これら固定部材と可動部材との間に物品を挟むことによ
りこの物品を保持する保持装置であって、固定電極と、
上記可動部材に装着され、かつ上記固定電極に対し微小
な間隔で対向しつつ相対移動する可動電極とを設け、こ
れら電極の間に、電気レオロジー流体、または電圧の印
加により凝集する電界凝集型粉体を介在させ、これら電
極に電圧を印加して、上記電気レオロジー流体の粘度を
増大させ、あるいは上記電界凝集型粉体を凝集させるこ
とにより、上記可動部材を前記固定電極に対し停止させ
ることをその特徴としている。
【0005】ここで、上記電気レオロジー流体としては
特に限定されず、電気レオロジー効果を有する粉体を、
電気絶縁性流体中に分散させてなるものである。
特に限定されず、電気レオロジー効果を有する粉体を、
電気絶縁性流体中に分散させてなるものである。
【0006】一方、上記電界凝集型粉体としては、例え
ば、有機高分子化合物からなる芯体と無機イオン交換体
からなる表層とによって形成される無機・有機複合粒子
の使用が望ましい。上記無機イオン交換体としては、多
価金属の水酸化物、ハイドロタルサイト類、多価金属の
酸性塩、ヒドロキシアパタイト、ナシコン型化合物、粘
土鉱物、チタン酸カリウム類、ヘテロポリ酸塩または不
溶性フェロシアン化物から選択された少なくとも1種が
使用可能である。
ば、有機高分子化合物からなる芯体と無機イオン交換体
からなる表層とによって形成される無機・有機複合粒子
の使用が望ましい。上記無機イオン交換体としては、多
価金属の水酸化物、ハイドロタルサイト類、多価金属の
酸性塩、ヒドロキシアパタイト、ナシコン型化合物、粘
土鉱物、チタン酸カリウム類、ヘテロポリ酸塩または不
溶性フェロシアン化物から選択された少なくとも1種が
使用可能である。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づき、本発明の具
体的な実施形態について、更に詳しく説明する。本発明
に係る保持装置の一例を図1に示す。符号1は基台で、
この基台1上には、先端に保持部2が設けられた可動部
材3が、図中矢印Aで示すように、その長手方向に沿っ
て進退自在に支持されている。また、可動部材3の先端
側には固定部材4が配設され、かつ固定部材4の先端に
は、保持部5が、可動部材3の保持部2に対し所定幅の
空間を介して対向するよう設けられている。
体的な実施形態について、更に詳しく説明する。本発明
に係る保持装置の一例を図1に示す。符号1は基台で、
この基台1上には、先端に保持部2が設けられた可動部
材3が、図中矢印Aで示すように、その長手方向に沿っ
て進退自在に支持されている。また、可動部材3の先端
側には固定部材4が配設され、かつ固定部材4の先端に
は、保持部5が、可動部材3の保持部2に対し所定幅の
空間を介して対向するよう設けられている。
【0008】符号6は可動部材3上に装着された可動電
極で、この可動電極6の上端面には、下方に凸なる槽状
部7が形成されている。また、槽状部7内には、固定電
極8が、その下端面と槽状部7の底面とが微小な隙間S
1を介して互いに離間するよう上方から挿入されてい
る。ここで、槽状部7の先端縁と固定電極8の先端面及
び槽状部7の基端縁と固定電極8の基端面との間には、
それぞれ空間S2,S3が形成され、その結果、可動電極
6は、固定電極8に対し、可動部材3の進退方向に沿っ
て、これら空間S2,S3分だけ相対移動可能とされてい
る。
極で、この可動電極6の上端面には、下方に凸なる槽状
部7が形成されている。また、槽状部7内には、固定電
極8が、その下端面と槽状部7の底面とが微小な隙間S
1を介して互いに離間するよう上方から挿入されてい
る。ここで、槽状部7の先端縁と固定電極8の先端面及
び槽状部7の基端縁と固定電極8の基端面との間には、
それぞれ空間S2,S3が形成され、その結果、可動電極
6は、固定電極8に対し、可動部材3の進退方向に沿っ
て、これら空間S2,S3分だけ相対移動可能とされてい
る。
【0009】符号9は、可動電極6と固定電極8との間
に形成され、かつスイッチ10により開閉自在とされた
回路で、この回路9には、直流電源11が、可動電極6
が陰極、固定電極8が陽極となるよう接続されている。
また、可動電極6と固定電極8とは、ともにセラミック
スプレート(図示せず。)等で電気的に絶縁されてい
る。
に形成され、かつスイッチ10により開閉自在とされた
回路で、この回路9には、直流電源11が、可動電極6
が陰極、固定電極8が陽極となるよう接続されている。
また、可動電極6と固定電極8とは、ともにセラミック
スプレート(図示せず。)等で電気的に絶縁されてい
る。
【0010】一方、槽状部7内には、電気レオロジー効
果(以下、ER効果と略称する。)を有する流体(電気
レオロジー流体、以下、ER流体と略称する。)また
は、流体電圧の印加により凝集する電界凝集型粉体から
選択される物質12が貯留されている。ER流体として
は、特に限定されず、従来より公知のものが使用される
が、例えば、本出願人が先に特許出願(特願平4−65
021号,特願平4−214394号)したものの使用
が望ましい。
果(以下、ER効果と略称する。)を有する流体(電気
レオロジー流体、以下、ER流体と略称する。)また
は、流体電圧の印加により凝集する電界凝集型粉体から
選択される物質12が貯留されている。ER流体として
は、特に限定されず、従来より公知のものが使用される
が、例えば、本出願人が先に特許出願(特願平4−65
021号,特願平4−214394号)したものの使用
が望ましい。
【0011】このER流体は、有機高分子化合物からな
る芯体と無機イオン交換体からなる表層とによって形成
される無機・有機複合粒子、あるいは、有機高分子化合
物からなる芯体と、ER効果を有する無機物(以下、E
R無機物と呼称する。)からなる表層とによって形成さ
れ、かつその表面が研磨された無機・有機複合粒子を、
電気絶縁性流体中に分散させてなるものである。
る芯体と無機イオン交換体からなる表層とによって形成
される無機・有機複合粒子、あるいは、有機高分子化合
物からなる芯体と、ER効果を有する無機物(以下、E
R無機物と呼称する。)からなる表層とによって形成さ
れ、かつその表面が研磨された無機・有機複合粒子を、
電気絶縁性流体中に分散させてなるものである。
【0012】上記無機イオン交換体としては、多価金属
の水酸化物、ハイドロタルサイト類、多価金属の酸性
塩、ヒドロキシアパタイト、ナシコン型化合物、粘土鉱
物、チタン酸カリウム類、ヘテロポリ酸塩または不溶性
フェロシアン化物から選択された少なくとも1種が用い
られる。また、上記ER無機物には、多価金属の水酸化
物、ハイドロタルサイト類、多価金属の酸性塩、ヒドロ
キシアパタイト、ナシコン型化合物、粘土鉱物、チタン
酸カリウム類、ヘテロポリ酸塩または不溶性フェロシア
ン化物からなる無機イオン交換体及びシリカゲルから選
ばれた少なくとも1種が用いられる。
の水酸化物、ハイドロタルサイト類、多価金属の酸性
塩、ヒドロキシアパタイト、ナシコン型化合物、粘土鉱
物、チタン酸カリウム類、ヘテロポリ酸塩または不溶性
フェロシアン化物から選択された少なくとも1種が用い
られる。また、上記ER無機物には、多価金属の水酸化
物、ハイドロタルサイト類、多価金属の酸性塩、ヒドロ
キシアパタイト、ナシコン型化合物、粘土鉱物、チタン
酸カリウム類、ヘテロポリ酸塩または不溶性フェロシア
ン化物からなる無機イオン交換体及びシリカゲルから選
ばれた少なくとも1種が用いられる。
【0013】一方、無機・有機複合粒子の芯体として使
用される有機高分子化合物の例としては、ポリ(メタ)
アクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸エステル−ス
チレン共重合物、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリプ
ロピレン、ニトリルゴム、ブチルゴム、ABS樹脂、ナ
イロン、ポリビニルブチレート、アイオノマー、エチレ
ン−酢酸ビニル共重合体、酢酸ビニル樹脂、ポリカーボ
ネート樹脂等の1種または2種以上の混合物または共重
合物が挙げられる。
用される有機高分子化合物の例としては、ポリ(メタ)
アクリル酸エステル、(メタ)アクリル酸エステル−ス
チレン共重合物、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリプ
ロピレン、ニトリルゴム、ブチルゴム、ABS樹脂、ナ
イロン、ポリビニルブチレート、アイオノマー、エチレ
ン−酢酸ビニル共重合体、酢酸ビニル樹脂、ポリカーボ
ネート樹脂等の1種または2種以上の混合物または共重
合物が挙げられる。
【0014】上記無機・有機複合粒子を製造するには、
例えば、有機高分子化合物からなる芯体粒子と無機イオ
ン交換体あるいはER無機物の微粒子をジェット気流に
よって搬送し、衝突させる方法がある。この場合は芯体
粒子の表面にER無機物の微粒子が高速度で衝突し、固
着して表層を形成する。
例えば、有機高分子化合物からなる芯体粒子と無機イオ
ン交換体あるいはER無機物の微粒子をジェット気流に
よって搬送し、衝突させる方法がある。この場合は芯体
粒子の表面にER無機物の微粒子が高速度で衝突し、固
着して表層を形成する。
【0015】また、別の製法例としては、芯体粒子を気
体中に浮遊させておき、ER無機物の溶液を霧状にして
その表面に噴霧する方法がある。この場合はその溶液が
芯体粒子の表面に付着し乾燥することによって表層が形
成される。
体中に浮遊させておき、ER無機物の溶液を霧状にして
その表面に噴霧する方法がある。この場合はその溶液が
芯体粒子の表面に付着し乾燥することによって表層が形
成される。
【0016】更に、無機・有機複合粒子を製造する望ま
しい製法として、芯体と同時に表層を形成する方法があ
る。この方法は、例えば、芯体を形成する有機高分子化
合物のモノマーを重合媒体中で乳化重合、懸濁重合また
は分散重合するに際して、ER無機物の微粒子を上記モ
ノマー中、または重合媒体中に存在させて行うものであ
る。重合媒体としては水が望ましいが、水と水溶性有機
媒体との混合物、または有機系の貧溶媒等も使用可能で
ある。
しい製法として、芯体と同時に表層を形成する方法があ
る。この方法は、例えば、芯体を形成する有機高分子化
合物のモノマーを重合媒体中で乳化重合、懸濁重合また
は分散重合するに際して、ER無機物の微粒子を上記モ
ノマー中、または重合媒体中に存在させて行うものであ
る。重合媒体としては水が望ましいが、水と水溶性有機
媒体との混合物、または有機系の貧溶媒等も使用可能で
ある。
【0017】この方法によれば、重合媒体の中でモノマ
ーが重合して芯体粒子を形成すると同時に、ER無機物
微粒子が芯体粒子の表面に層状に配向してこれを被覆
し、表層を形成する。その結果、有機高分子化合物から
なる芯体粒子の表面にER無機物粒子が緻密かつ強固に
接着し、堅牢な無機・有機複合粒子が形成される。
ーが重合して芯体粒子を形成すると同時に、ER無機物
微粒子が芯体粒子の表面に層状に配向してこれを被覆
し、表層を形成する。その結果、有機高分子化合物から
なる芯体粒子の表面にER無機物粒子が緻密かつ強固に
接着し、堅牢な無機・有機複合粒子が形成される。
【0018】ここで、無機・有機複合粒子の形状は必ず
しも球形である必要はないが、芯体粒子を調節された乳
化・懸濁重合方法により製造した場合は、得られる無機
・有機複合粒子の形状はほぼ球形となる。また、無機・
有機複合粒子の粒径は特に限定されるものではないが、
0.1〜500μm、特に5〜200μm程度とするこ
とが望ましい。更に、ER無機物微粒子の粒径は特に限
定されるものではないが、望ましくは0.005〜10
0μmであり、更に望ましくは0.01〜10μmであ
る。
しも球形である必要はないが、芯体粒子を調節された乳
化・懸濁重合方法により製造した場合は、得られる無機
・有機複合粒子の形状はほぼ球形となる。また、無機・
有機複合粒子の粒径は特に限定されるものではないが、
0.1〜500μm、特に5〜200μm程度とするこ
とが望ましい。更に、ER無機物微粒子の粒径は特に限
定されるものではないが、望ましくは0.005〜10
0μmであり、更に望ましくは0.01〜10μmであ
る。
【0019】このような無機・有機複合粒子において、
表層を形成するER無機物と芯体を形成する有機高分子
化合物の重量比は特に限定されるものではないが、ER
無機物:有機高分子化合物比で1〜60:99〜40の
範囲、特に4〜30:96〜70の範囲であることが望
ましい。ER無機物の重量比が1%未満では、得られた
粒子のER効果が不充分であり、60%を超えると得ら
れた粒子に過大な電流が流れるようになる。
表層を形成するER無機物と芯体を形成する有機高分子
化合物の重量比は特に限定されるものではないが、ER
無機物:有機高分子化合物比で1〜60:99〜40の
範囲、特に4〜30:96〜70の範囲であることが望
ましい。ER無機物の重量比が1%未満では、得られた
粒子のER効果が不充分であり、60%を超えると得ら
れた粒子に過大な電流が流れるようになる。
【0020】一方、上記の各種方法、特に芯体と表層を
同時に形成する方法により製造された無機・有機複合粒
子は、一般に、その表層の全部または一部分が有機高分
子物質や、製造工程で使用された分散剤、乳化剤その他
の添加物質の薄膜で覆われていて、ER無機物微粒子の
ER効果が充分に発揮されないため、その表面を研磨し
た無機・有機複合粒子を用いるのが望ましい。ただし、
無機・有機複合粒子が芯体を形成した後で上記の表層を
形成する方法によって製造された場合は、表層の表面に
不活性物質がなく、かつ無機イオン交換体のER効果が
充分に大きいので、研磨は必ずしも必要としない。
同時に形成する方法により製造された無機・有機複合粒
子は、一般に、その表層の全部または一部分が有機高分
子物質や、製造工程で使用された分散剤、乳化剤その他
の添加物質の薄膜で覆われていて、ER無機物微粒子の
ER効果が充分に発揮されないため、その表面を研磨し
た無機・有機複合粒子を用いるのが望ましい。ただし、
無機・有機複合粒子が芯体を形成した後で上記の表層を
形成する方法によって製造された場合は、表層の表面に
不活性物質がなく、かつ無機イオン交換体のER効果が
充分に大きいので、研磨は必ずしも必要としない。
【0021】粒子表面の研磨は、種々な方法で行うこと
ができる。例えば、無機・有機複合粒子を水などの分散
媒体中に分散させて、これを撹拌する方法によって行う
ことができる。この際、分散媒体中に砂粒やボールなど
の研磨材を混入して無機・有機複合粒子と共に撹拌する
方法、あるいは研削砥石を用いて撹拌する方法等によっ
て行うこともできる。また、分散媒体を使用せず、無機
・有機複合粒子と上記のような研磨材、研削砥石を用い
て乾式で撹拌して行うこともできる。
ができる。例えば、無機・有機複合粒子を水などの分散
媒体中に分散させて、これを撹拌する方法によって行う
ことができる。この際、分散媒体中に砂粒やボールなど
の研磨材を混入して無機・有機複合粒子と共に撹拌する
方法、あるいは研削砥石を用いて撹拌する方法等によっ
て行うこともできる。また、分散媒体を使用せず、無機
・有機複合粒子と上記のような研磨材、研削砥石を用い
て乾式で撹拌して行うこともできる。
【0022】更に望ましい研磨方法は、無機・有機複合
粒子をジェット気流等によって気流撹拌する方法であ
る。これは上記粒子自体を気相中にて相互に激しく衝突
させて研磨する方法であり、他の研磨材を必要とせず、
粒子表面から剥離した不活性物質を分級によって容易に
分散し得る点で望ましい方法である。上記のジェット気
流撹拌においては、それに用いられる装置の種類、撹拌
速度、無機・有機複合粒子の材質等により研磨条件を特
定するのが難しいが、一般的には、6000rpmの撹
拌速度で0.5〜15分程度ジェット気流撹拌するのが
望ましい。
粒子をジェット気流等によって気流撹拌する方法であ
る。これは上記粒子自体を気相中にて相互に激しく衝突
させて研磨する方法であり、他の研磨材を必要とせず、
粒子表面から剥離した不活性物質を分級によって容易に
分散し得る点で望ましい方法である。上記のジェット気
流撹拌においては、それに用いられる装置の種類、撹拌
速度、無機・有機複合粒子の材質等により研磨条件を特
定するのが難しいが、一般的には、6000rpmの撹
拌速度で0.5〜15分程度ジェット気流撹拌するのが
望ましい。
【0023】上記無機・有機複合粒子を分散させるため
の電気絶縁流体としては、電気絶縁性及び電気絶縁破壊
強度が高く化学的に安定で、かつ無機・有機複合粒子を
安定に分散させ得るものであればいずれの流体も使用可
能である。
の電気絶縁流体としては、電気絶縁性及び電気絶縁破壊
強度が高く化学的に安定で、かつ無機・有機複合粒子を
安定に分散させ得るものであればいずれの流体も使用可
能である。
【0024】このような電気絶縁性流体の一例として
は、シリコーン油、セバチン酸エステル類、トリメリッ
ト酸エステル類、部分水添されたトリフェニル類、ホス
ファゼン油、アジピン酸エステル類、フタル酸エステル
類、植物油等の脂肪族カルボン酸エステル類、芳香族ポ
リカルボン酸高級アルコールエステル類、精製された灯
油等の脂肪族炭化水素類や鉱油類、アルキル置換の芳香
族炭化水素類、ハロゲン置換の脂肪族もしくは芳香族炭
化水素類、フッ素系オイル、フルオロカーボン類、フル
オロシリコーン系オイル、エーテル類、ホスファゼン類
等の流体が挙げられる。これらの流体は、それぞれ単独
あるいは2種以上混合して使用可能である。
は、シリコーン油、セバチン酸エステル類、トリメリッ
ト酸エステル類、部分水添されたトリフェニル類、ホス
ファゼン油、アジピン酸エステル類、フタル酸エステル
類、植物油等の脂肪族カルボン酸エステル類、芳香族ポ
リカルボン酸高級アルコールエステル類、精製された灯
油等の脂肪族炭化水素類や鉱油類、アルキル置換の芳香
族炭化水素類、ハロゲン置換の脂肪族もしくは芳香族炭
化水素類、フッ素系オイル、フルオロカーボン類、フル
オロシリコーン系オイル、エーテル類、ホスファゼン類
等の流体が挙げられる。これらの流体は、それぞれ単独
あるいは2種以上混合して使用可能である。
【0025】また、電気絶縁性流体に対する無機・有機
複合粒子の配合割合は、特に限定されるものではない
が、1〜75重量%、特に10〜60重量%であること
が望ましい。含有率が1%未満では充分な凝集効果が得
られず、75%以上では電圧を印加しないときの組成物
の初期粘度が過大となって使用が困難になる。
複合粒子の配合割合は、特に限定されるものではない
が、1〜75重量%、特に10〜60重量%であること
が望ましい。含有率が1%未満では充分な凝集効果が得
られず、75%以上では電圧を印加しないときの組成物
の初期粘度が過大となって使用が困難になる。
【0026】なお、上記電気絶縁流体に対する上記無機
・有機複合粒子の分散に際しては、無機・有機複合粒子
を、必要に応じ、分散剤等、他の成分とともに、攪拌機
等を用いて電気絶縁性流体中に均一に撹拌混合すればよ
い。撹拌機としては、液状分散媒に固体粒子を分散させ
るために通常使用されるものがいずれも使用できる。
・有機複合粒子の分散に際しては、無機・有機複合粒子
を、必要に応じ、分散剤等、他の成分とともに、攪拌機
等を用いて電気絶縁性流体中に均一に撹拌混合すればよ
い。撹拌機としては、液状分散媒に固体粒子を分散させ
るために通常使用されるものがいずれも使用できる。
【0027】一方、電界凝集型粉体には、上記ER流体
に使用と同様の、有機高分子化合物からなる芯体と、無
機イオン交換体からなる表層とによって形成される無機
・有機複合粒子、あるいは、有機高分子化合物からなる
芯体と、ER無機物からなる表層とによって形成され、
かつその表面が研磨された無機・有機複合粒子が使用可
能である。
に使用と同様の、有機高分子化合物からなる芯体と、無
機イオン交換体からなる表層とによって形成される無機
・有機複合粒子、あるいは、有機高分子化合物からなる
芯体と、ER無機物からなる表層とによって形成され、
かつその表面が研磨された無機・有機複合粒子が使用可
能である。
【0028】これら電界凝集型粉体は、極めて高い凝集
効果を有し、経時安定性に優れ、また擦傷性が少ないの
で電極面や機器壁を摩耗せず、電圧印加中に流れる電流
が少ないので、発熱の危険がなく、消費電力が少ないも
のであって、実用性に富み、本発明の保持装置には特に
好適である。
効果を有し、経時安定性に優れ、また擦傷性が少ないの
で電極面や機器壁を摩耗せず、電圧印加中に流れる電流
が少ないので、発熱の危険がなく、消費電力が少ないも
のであって、実用性に富み、本発明の保持装置には特に
好適である。
【0029】次に、上記構成を有する保持装置による物
品の保持について以下に説明する。保持装置に物品を保
持させる場合には、まず、物品13を可動部材3と固定
部材4との間に配置し、次いで、物品13が必要最小限
の力で保持部2,5間に挟んで保持されるまで、可動部
材3を例えば手動等の方法で先端側に移動させる。
品の保持について以下に説明する。保持装置に物品を保
持させる場合には、まず、物品13を可動部材3と固定
部材4との間に配置し、次いで、物品13が必要最小限
の力で保持部2,5間に挟んで保持されるまで、可動部
材3を例えば手動等の方法で先端側に移動させる。
【0030】そして、この状態でスイッチ10を閉じ、
可動電極6と固定電極8との間に直流電圧を印加するこ
とにより、これら電極間6,8に介在する物質12に電
界が形成され、物質12がER流体である場合には見か
けの粘度が、物質12が電界凝集型粉体である場合には
見かけの剛性が増加する。その結果、可動電極6が装着
された可動部材3が固定電極8に対し停止し、物品13
が必要最小限の力で保持部2,5間に挟まれたまま保持
される。
可動電極6と固定電極8との間に直流電圧を印加するこ
とにより、これら電極間6,8に介在する物質12に電
界が形成され、物質12がER流体である場合には見か
けの粘度が、物質12が電界凝集型粉体である場合には
見かけの剛性が増加する。その結果、可動電極6が装着
された可動部材3が固定電極8に対し停止し、物品13
が必要最小限の力で保持部2,5間に挟まれたまま保持
される。
【0031】物品13を保持部2,5間から取り外す場
合には、スイッチ10を開き、可動電極6と固定電極8
間に対する直流電圧の印加を停止すればよい。その結
果、固定電極8に対する可動部材3の停止が解除される
ため、可動部材3を基端側に移動させ、物品13を取り
外すことができる。
合には、スイッチ10を開き、可動電極6と固定電極8
間に対する直流電圧の印加を停止すればよい。その結
果、固定電極8に対する可動部材3の停止が解除される
ため、可動部材3を基端側に移動させ、物品13を取り
外すことができる。
【0032】このように、本発明に係る保持装置は、物
品13が必要最小限の力で保持部2,5間に挟んで保持
された状態で可動部材3を固定電極8に対し停止させる
ことにより、保持に伴い物品13に生じる応力が可能な
限り抑制される。その結果、保持に伴う物品13の弾性
変形(歪)が最小に抑えられ、例えば集積回路のように
変形に弱い物品、あるいは脆いものであっても保持する
ことが可能となる。
品13が必要最小限の力で保持部2,5間に挟んで保持
された状態で可動部材3を固定電極8に対し停止させる
ことにより、保持に伴い物品13に生じる応力が可能な
限り抑制される。その結果、保持に伴う物品13の弾性
変形(歪)が最小に抑えられ、例えば集積回路のように
変形に弱い物品、あるいは脆いものであっても保持する
ことが可能となる。
【0033】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明の保持装置に
よれば、保持に伴い物品に生じる応力が可能な限り抑制
され、その結果、物品の弾性変形(歪)が最小に抑えら
れるため、例えば集積回路のように変形に弱い物品、あ
るいは脆い物品であっても保持することが可能である。
よれば、保持に伴い物品に生じる応力が可能な限り抑制
され、その結果、物品の弾性変形(歪)が最小に抑えら
れるため、例えば集積回路のように変形に弱い物品、あ
るいは脆い物品であっても保持することが可能である。
【図1】 本発明に係る保持装置の構造の例を示す一部
断面図である。
断面図である。
3…可動部材、4…固定部材、6…可動電極、8…固定
電極、12…物質(電気レオロジー流体または電界凝集
型粉体)、13…物品、S1…固定電極と可動電極間の
間隔
電極、12…物質(電気レオロジー流体または電界凝集
型粉体)、13…物品、S1…固定電極と可動電極間の
間隔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安齊 秀伸 東京都板橋区蓮根3丁目25番3号 藤倉化 成株式会社内 (72)発明者 都築 良彦 愛知県名古屋市瑞穂区苗代町15番1号 ブ ラザー工業株式会社内 (72)発明者 田中 克敏 静岡県沼津市大岡2068−3 東芝機械株式 会社沼津事業所内 (72)発明者 青山 藤詞郎 東京都新宿区払方町10番地 (72)発明者 大坪 泰文 千葉県千葉市稲毛区小仲台9丁目21番1号 206
Claims (10)
- 【請求項1】 固定部材と、この固定部材に対し相対移
動する可動部材とを具備し、これら固定部材と可動部材
との間に挟まれた物品を保持する保持装置であって、 固定電極と、上記可動部材に装着され、かつ上記固定電
極に対し微小な間隔で対向しつつ相対移動する可動電極
とを設け、これら電極の間に、電気レオロジー流体また
は電圧の印加により凝集する電界凝集型粉体から選択さ
れる物質を介在させ、これら電極に電圧を印加して、上
記電気レオロジー流体の粘度を増大させ、あるいは上記
電界凝集型粉体を凝集させることにより、上記可動部材
を前記固定電極に対し停止させることを特徴とする保持
装置。 - 【請求項2】 上記電気レオロジー流体が、電気レオロ
ジー効果を有する粉体を電気絶縁性流体中に分散してな
るものであることを特徴とする請求項1記載の保持装
置。 - 【請求項3】 上記電気レオロジー効果を有する粉体
が、有機高分子化合物からなる芯体と無機イオン交換体
からなる表層とによって形成される無機・有機複合粒子
であることを特徴とする請求項2記載の保持装置。 - 【請求項4】 上記無機イオン交換体が、多価金属の水
酸化物、ハイドロタルサイト類、多価金属の酸性塩、ヒ
ドロキシアパタイト、ナシコン型化合物、粘土鉱物、チ
タン酸カリウム類、ヘテロポリ酸塩または不溶性フェロ
シアン化物から選択された少なくとも1種であることを
特徴とする請求項3記載の保持装置。 - 【請求項5】 上記電気レオロジー効果を有する粉体
が、有機高分子化合物からなる芯体と電気レオロジー効
果を有する無機物からなる表層とによって形成される無
機・有機複合粒子であり、かつこの無機・有機複合粒子
の表面が研磨されていることを特徴とする請求項2記載
の保持装置。 - 【請求項6】 上記無機物が、多価金属の水酸化物、ハ
イドロタルサイト類、多価金属の酸性塩、ヒドロキシア
パタイト、ナシコン型化合物、粘土鉱物、チタン酸カリ
ウム類、ヘテロポリ酸塩または不溶性フェロシアン化物
からなる無機イオン交換体及びシリカゲルから選択され
た少なくとも1種であることを特徴とする請求項5記載
の保持装置。 - 【請求項7】 上記電界凝集型粉体が、有機高分子化合
物からなる芯体と無機イオン交換体からなる表層とによ
って形成される無機・有機複合粒子であることを特徴と
する請求項1記載の保持装置。 - 【請求項8】 上記無機イオン交換体が、多価金属の水
酸化物、ハイドロタルサイト類、多価金属の酸性塩、ヒ
ドロキシアパタイト、ナシコン型化合物、粘土鉱物、チ
タン酸カリウム類、ヘテロポリ酸塩または不溶性フェロ
シアン化物から選択された少なくとも1種であることを
特徴とする請求項7記載の保持装置。 - 【請求項9】 上記電界凝集型粉体が、有機高分子化合
物からなる芯体と電気レオロジー効果を有する無機物か
らなる表層とによって形成される無機・有機複合粒子で
あり、かつこの無機・有機複合粒子の表面が研磨されて
いることを特徴とする請求項1記載の保持装置。 - 【請求項10】 上記無機物が、多価金属の水酸化物、
ハイドロタルサイト類、多価金属の酸性塩、ヒドロキシ
アパタイト、ナシコン型化合物、粘土鉱物、チタン酸カ
リウム類、ヘテロポリ酸塩または不溶性フェロシアン化
物からなる無機イオン交換体及びシリカゲルから選択さ
れた少なくとも1種であることを特徴とする請求項9記
載の保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1605196A JPH09207039A (ja) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | 保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1605196A JPH09207039A (ja) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | 保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09207039A true JPH09207039A (ja) | 1997-08-12 |
Family
ID=11905790
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1605196A Withdrawn JPH09207039A (ja) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | 保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09207039A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100445447B1 (ko) * | 2000-02-09 | 2004-08-21 | 제이에스알 가부시끼가이샤 | 화학 기계 연마용 수계 분산체 |
| WO2008129989A1 (ja) * | 2007-04-19 | 2008-10-30 | Ulvac, Inc. | 基板保持機構およびこれを備えた基板組立装置 |
| DE102009051849A1 (de) * | 2009-10-28 | 2011-05-05 | Nagel Maschinen- Und Werkzeugfabrik Gmbh | Verfahren zum Spannen eines Werkstücks und Werkstückaufnahmevorrichtung hierfür |
| US8840116B2 (en) | 2008-12-10 | 2014-09-23 | Ulvac, Inc. | Seal mechanism and treatment apparatus |
| US9017493B2 (en) | 2009-08-12 | 2015-04-28 | Ulvac, Inc. | Method of manufacturing a sputtering target and sputtering target |
| WO2019016311A1 (de) * | 2017-07-20 | 2019-01-24 | Homag Bohrsysteme Gmbh | Haltevorrichtung |
| WO2020168995A1 (zh) * | 2019-02-19 | 2020-08-27 | 大连理工大学 | 一种大型薄壁件支撑设备及支撑方法 |
| CN114127494A (zh) * | 2019-07-02 | 2022-03-01 | 大金工业株式会社 | 电场产生装置及具备该电场产生装置的冷藏库 |
-
1996
- 1996-01-31 JP JP1605196A patent/JPH09207039A/ja not_active Withdrawn
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100445447B1 (ko) * | 2000-02-09 | 2004-08-21 | 제이에스알 가부시끼가이샤 | 화학 기계 연마용 수계 분산체 |
| WO2008129989A1 (ja) * | 2007-04-19 | 2008-10-30 | Ulvac, Inc. | 基板保持機構およびこれを備えた基板組立装置 |
| JPWO2008129989A1 (ja) * | 2007-04-19 | 2010-07-22 | 株式会社アルバック | 基板保持機構およびこれを備えた基板組立装置 |
| KR101159414B1 (ko) * | 2007-04-19 | 2012-06-28 | 가부시키가이샤 아루박 | 기판 보지 기구 및 이를 구비한 기판 조립 장치 |
| JP5024971B2 (ja) * | 2007-04-19 | 2012-09-12 | 株式会社アルバック | 基板保持機構およびこれを備えた基板組立装置 |
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| WO2020168995A1 (zh) * | 2019-02-19 | 2020-08-27 | 大连理工大学 | 一种大型薄壁件支撑设备及支撑方法 |
| US11618116B2 (en) | 2019-02-19 | 2023-04-04 | Dalian University Of Technology | Supporting device and method for large thin-walled part |
| CN114127494A (zh) * | 2019-07-02 | 2022-03-01 | 大金工业株式会社 | 电场产生装置及具备该电场产生装置的冷藏库 |
| CN114127494B (zh) * | 2019-07-02 | 2024-05-07 | 大金工业株式会社 | 电场产生装置及具备该电场产生装置的冷藏库 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030401 |