JPH09210613A - タッチ信号プローブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】精度を向上させることができるとともに、組み
立ての簡易さや温度変化に対する安定性、長期にわたる
安定性の確保を達成できるタッチ信号プローブを提供す
ること。 【解決手段】略柱状の振動子２の軸方向固有振動の節近
傍に振動子２の固有振動数に略一致した振動数で振動子
２を加振する圧電素子４を配置し、振動子２の軸に互い
に対向した一対の壁面７Ａを有するフランジ部７を振動
子２の振動の節近傍に設け、このフランジ部７の間に振
動子２の軸と平行な取付面６Ａを形成し、フランジ部７
の壁面７Ａ間において圧電素子４を取付面６Ａと接触す
るように圧入固定する。これにより、圧電素子４が振動
子２に接着剤や半田を使用しないで確実に固定される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、三次元測定機等に
よって被測定物の形状等を測定する場合に用いられるタ
ッチ信号プローブに関するものである。

【０００２】

【背景技術】被測定物の形状、寸法等の測定を行う測定
機としてハイトゲージ（一次元測定機）、三次元測定
機、輪郭測定機等が知られているが、その場合の座標検
出や位置検出を行うために、測定機には被測定物との接
触を検出するタッチ信号プローブが用いられている。タ
ッチ信号プローブには、先端に接触部を有し略柱状に形
成された振動子と、この振動子の軸方向固有振動の節近
傍に配置される圧電素子とを備え、この圧電素子によ
り、振動子の固有振動数に略一致した振動数で前記振動
子を加振する構造のものがある。

【０００３】この構造のタッチ信号プローブの従来例が
特開平6-221806号に示されている。特開平6-221806号に
おいて、従来のタッチ信号プローブは、振動子の振動の
節である略中央部がピンを介してホルダに支持され、振
動子のピン近傍に形成された取付部に圧電素子が接着剤
や半田によって固定されている。この圧電素子の表面電
極は振動子を振動させる加振用電極と振動子の振動を電
気信号として取り出す検出用電極とに分割される。

【０００４】加振用電極に適当な周波数の電圧を印加す
ると、この振動子は、取付部及びピンからなる支持部を
節とし、接触部を腹として共振振動する。この機械的に
共振状態にある振動子の接触部を被測定物に接触させる
と振動状態が変化する。この変化の状態を検出用信号に
より電気信号として取り出し、適当な信号処理をするこ
とによりタッチ信号を生成する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】特開平6-221806号で示
される従来例では、圧電素子は、振動子の略中央部分に
ある取付部に接着剤や半田で固定されている。圧電素子
の固定に際して、接着剤を使用する場合には、粘性効果
に伴ってＱ値（横軸に振動数、縦軸に振幅をとった場合
の共振特性曲線の鋭さを示す指針）が低下し、タッチ信
号プローブの性能が低下するという問題点がある。特
に、高分子系の接着剤を使用する場合には、温度変化に
よる特性の変化を招き、しかも、長期にわたる場合には
劣化等による特性の安定性に問題がある。

【０００６】圧電素子の固定に際して、半田を使用する
場合には、固定時の温度が高温になるため、圧電素子の
劣化を招く欠点がある。さらに、接着剤、半田のいずれ
の場合にも、タッチ信号プローブの組み立ての段取り、
つまり、振動子と圧電素子との相互間の位置合わせ等に
時間を要し、特に、高分子系の接着剤を使用した場合に
は、接着剤が硬化するまでに多大な時間を要するという
問題点がある。

【０００７】本発明の目的は、精度を向上させることが
できるとともに、組み立ての簡易さや温度変化に対する
安定性、長期にわたる安定性の確保を達成できるタッチ
信号プローブを提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】そのため、本発明は、振
動子に一対の壁面を有するフランジ部を設け、これらの
壁面間に圧電素子を圧入固定して前記目的を達成しよう
とするものである。具体的には、本発明のタッチ信号プ
ローブは、先端に被測定物と接触する接触部を有し略柱
状に形成された振動子と、この振動子の軸方向固有振動
の節近傍に配置されるとともに前記固有振動数に略一致
した振動数で前記振動子を加振する圧電素子とを備えた
タッチ信号プローブであって、互いに対向した一対の壁
面を有するフランジ部を前記振動子の振動の節近傍に設
け、このフランジ部の間に前記振動子の軸と平行な取付
面を形成し、前記フランジ部の壁面間において前記圧電
素子を前記取付面と接触するように圧入固定したことを
特徴とする。

【０００９】本発明では、接着剤や半田を使用しないで
圧電素子を圧入状態で振動子に固定するため、接着剤の
粘性効果によるＱ値の低下がなく、タッチ信号プローブ
を高感度で高精度のものにできる。その上、温度変化に
よる接着剤の特性の変化がないので、長期にわたって安
定性を確保できる。さらに、組み立てが迅速かつ容易に
行うことができるので、製造コストを安価にできる。

【００１０】ここで、前記一対の壁面は前記取付面に対
してそれぞれ鋭角に形成され、かつ、前記圧電素子は、
その両側部が前記壁面に対応するように楔状に形成され
た構造でもよい。この構造では、圧電素子をフランジ部
に取り付けるため、圧電素子をフランジ部の壁面に差し
込むこと、圧電素子を取付面に近接する方向に力が働く
ので、圧電素子と取付面とを密着固定し、圧電素子の振
動子への取り付けを確実なものにできる。

【００１１】また、前記一対の壁面は前記取付面に平行
な方向に従って互いの間隔が狭くなるように形成され、
前記圧電素子は、その両側部が前記壁面に対応するよう
に形成された構造でもよい。この構造では、圧電素子を
取付面に沿って壁面同士の間隔が狭くなる方向に押し出
すことにより、圧電素子の圧入作業を容易に行うことが
できる。

【００１２】さらに、前記取付面には前記圧電素子に接
続されたリード線を導くための溝が形成された構造とし
てもよい。この構造では、この溝を利用して圧電素子の
裏面から直接リード線を引くことが可能となり、接触不
良による不具合がなくなる。また、前記フランジ部は前
記振動子に着脱自在に取り付けられた構造でもよい。こ
の構造では、振動子に固定された一方のフランジ部と他
方のフランジ部との間に圧電素子を配置し、この状態で
他方のフランジ部を一方のフランジ部側へ押しつけるこ
とにより、圧電素子のフランジ部への圧入固定を容易に
行える。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。ここで、各実施の形態にお
いて、同一構成部分は同一符号を付して説明を省略もし
くは簡略にする。図１から図３には本発明の第１の実施
の形態が示されている。

【００１４】全体構成を示す図１において、第１の実施
の形態のタッチ信号プローブ１０は、スタイラスホルダ
１と、このスタイラスホルダ１に取り付けられ略柱状に
形成された振動子２と、この振動子２の軸方向固有振動
の節近傍に取付部３を介して設けられ平面矩形の板状に
形成された２枚の圧電素子４とを備えて構成され、スタ
イラスホルダ１は図示しない三次元測定機等の移動軸に
取り付けられ、この移動軸が移動しながら被測定物との
接触を検出し、接触時の座標を読み取ることによって形
状等を測定する。

【００１５】スタイラスホルダ１は、中空の円筒状に形
成され、その内側下端には振動子２の取付部３を支持す
る一対の係合ピン５（図１では一方のみを示す）が設け
られている。振動子２は、その下端に被測定物と接触す
る球状の接触部２Ａを有し、その上端に接触部２Ａと同
重量のバランサ２Ｂを有する。このバランサ２Ｂは、振
動子２の下端に接触部２Ａが設けられているため、共振
時における振動の節が振動子２の中心から外れないよう
に重量バランスをとり、かつ、タッチ信号プローブ１０
の全体が振動子２の振動方向と交差する方向に移動して
加速度を受けた時に支持点の回りモーメントを受けない
ようにするためのものである。従って、バランサ２Ｂは
接触部２Ａと同じ球でも差し支えない。

【００１６】取付部３の詳細な構成が図２及び図３に示
されている。図２には取付部３に圧電素子４が取り付け
られる前の状態が示され、図３には取付部３に圧電素子
４が取り付けられた後の状態が示されている。これらの
図において、取付部３は、振動子２の略中央部に設けら
れた導電性角柱部６と、この角柱部６の軸方向の両側端
において振動子２の軸に略直交するとともに互いに対向
した一対の壁面７Ａを有するフランジ部７とを備えて構
成されている。

【００１７】フランジ部７は振動子２の軸を挟んで２か
所設けられ、これらのフランジ部７の間において振動子
２の軸と平行な取付面６Ａが角柱部６にそれぞれ形成さ
れている。ここで、振動子２の軸と平行な軸をＸ軸、こ
のＸ軸に直交する軸をＹ軸、Ｘ軸及びＹ軸を含む平面に
直交する軸をＺ軸とすると、取付面６ＡはＸ軸及びＺ軸
を含む平面内に形成され、壁面７ＡはＹ軸及びＺ軸を含
む平面内に形成される。

【００１８】２枚の圧電素子４は、振動子２の軸（Ｘ
軸）を挟んで対向した状態でフランジ部７の壁面７Ａ間
にそれぞれ圧入固定されており、その両側全面が壁面７
Ａに接触し、その裏面全面が取付面６Ａと接触してい
る。圧電素子４は、そのＸ軸方向の寸法が対向する壁面
７Ａ間の寸法よりわずかに大きめに形成されている。そ
のため、圧電素子４をフランジ７に圧入するには、圧電
素子４を冷却して寸法を小さくし、フランジ部７を加熱
して壁面７Ａ間の寸法を大きくする。常温に戻ると、圧
電素子４はフランジ部７に圧入状態で固定されることに
なる。

【００１９】圧電素子４は、厚さ方向に分極処理がされ
ており、その表面は、振動子２の固有振動数に略一致し
た振動数で振動子２を加振する加振用電極４Ａと振動子
２の振動を電気信号として取り出す検出用電極４Ｂとを
有し、その裏面は共通電極を有する一般的な構造であ
る。加振用電極４Ａ及び検出用電極４Ｂには図示しない
駆動回路及び検出回路が接続されている。これらの回路
は従来のタッチ信号プローブで使用される回路と同じで
ある。

【００２０】共通電極を構成する圧電素子４の裏面と図
示しないリード線とを接続する。ここで、圧電素子４の
裏面が取付面６Ａに接触しているため、リード線を取付
部３に接続する。圧電素子４の裏面と取付面６Ａとが十
分に接触していない場合のため、取付面６Ａに導電性の
塗料等柔軟性のある物質を設けてもよい。

【００２１】従って、第１の実施の形態では、振動子
２の軸に互いに対向した一対の壁面７Ａを有するフラン
ジ部７を振動子２の振動の節近傍に設け、このフランジ
部７の間に振動子２の軸と平行な取付面６Ａを形成し、
フランジ部７の壁面７Ａ間において圧電素子４を取付面
６Ａと接触するように圧入固定したから、圧電素子４を
振動子２に接着剤や半田を使用しないで確実に固定でき
る。

【００２２】そのため、接着剤の粘性効果によるＱ値の
低下がなく、タッチ信号プローブ１０を高感度で高精度
のものにできる。その上、温度変化による接着剤の特性
の変化がないので、長期にわたってタッチ信号プローブ
１０の安定性を確保できる。さらに、接着剤等を使用し
ないから、タッチ信号プローブ１０の組み立てが迅速か
つ容易に行うことができることになり、製造コストを低
くできる。

【００２３】さらに、第１の実施の形態では、圧電素
子４は、その裏面及び両側面の３面が取付面６Ａ及び壁
面７Ａに接触しているので、フランジ部７に圧入された
状態では、タッチ信号プローブ１０に誤って衝撃力が加
わっても、圧電素子４がずれることがない。また、第１
の実施の形態では、互いに対向する一対の壁面７Ａを
Ｙ軸及びＺ軸を含む平面と平行に形成したから、フラン
ジ部７の形成が容易に行える。

【００２４】次に、本発明の第２の実施の形態を図４及
び図５に基づいて説明する。第２の実施の形態は壁面及
び圧電素子の形状が第１の実施の形態と異なるもので、
他の構成は第１の実施の形態と同じである。図４は第２
の実施の形態の要部が示されている。図４において、第
２の実施の形態のタッチ信号プローブ２０は、前記スタ
イラスホルダ１（図４では図示せず）と、このスタイラ
スホルダ１に取り付けられた前記振動子２と、この振動
子２の軸方向固有振動の節近傍に取付部２３を介して設
けられ平面矩形の板状に形成された２枚の圧電素子２４
とを備えて構成されている。

【００２５】取付部２３は、振動子２の略中央部に設け
られた前記角柱部６と、この角柱部６の軸方向の両側端
において振動子２の軸に略直交するとともに互いに対向
した一対の壁面２７Ａを有するフランジ部２７とを備え
て構成されている。フランジ部２７は振動子２の軸を挟
んで２か所設けられ、これらのフランジ部２７の間にお
いて前記取付面６Ａが角柱部６にそれぞれ形成されてい
る。

【００２６】ここで、一対の壁面２７Ａは取付面６Ａに
対してそれぞれ鋭角に形成されている。つまり、壁面２
７ＡはＹ軸及びＺ軸を含む平面に対して角度αだけその
先端が内側に傾いて形成されている。２枚の圧電素子２
４は、振動子２の軸（Ｘ軸）を挟んで対向した状態でフ
ランジ部２７の壁面２７Ａ間にそれぞれ圧入固定されて
おり、その両側全面が壁面２７Ａに接触し、その裏面全
面が取付面６Ａと接触している。圧電素子２４の両側部
は、壁面２７Ａに対応するように楔状に形成されてい
る。この圧電素子２４は、その両側部の形状が前記圧電
素子４と相違するだけで、他の構造は圧電素子４と同じ
である。

【００２７】この構成の第２の実施の形態では、第１の
実施の形態の効果に加えて次の効果を奏することが
できる。つまり、第１の実施の形態のタッチ信号プロー
ブ１０では、フランジ部７の壁面７Ａ及び圧電素子４の
両側部が理想的な形状に加工されていればよいが、図５
に示される通り、加工誤差により壁面７Ａに凸凹が形成
される場合には、圧電素子４の両端面と壁面７Ａとの嵌
合状態が均一とならず、圧電素子４の一部分にのみ大き
な力を及ぼすことになる。そのため、過度な場合には圧
電素子４に曲げ変形を与え、破損を招くことになる。

【００２８】これに対して、第２の実施の形態では、
一対の壁面２７Ａは取付面６Ａに対してそれぞれ鋭角に
形成され、かつ、圧電素子２７は、その両側部が壁面２
７Ａに対応するように楔状に形成されたから、圧電素子
２４をフランジ部２７に取り付けるため、圧電素子２４
をフランジ部２７の壁面２７Ａに差し込むことにより、
圧電素子２４が取付面６Ａに押しつけられるので、圧電
素子２４を取付面６Ａに密着固定し、圧電素子２７の振
動子２への取り付けを確実なものにできる。

【００２９】次に、本発明の第３の実施の形態を図６か
ら図８に基づいて説明する。第３の実施の形態は壁面及
び圧電素子の形状が第１の実施の形態と異なるもので、
他の構成は第１の実施の形態と同じである。図６は第３
の実施の形態の要部が示されている。図６において、第
３の実施の形態のタッチ信号プローブ３０は、前記スタ
イラスホルダ１（図６では図示せず）と、このスタイラ
スホルダ１に取り付けられ前記振動子２と、この振動子
２の軸方向固有振動の節近傍に取付部３３を介して設け
られ板状に形成された２枚の圧電素子３４とを備えて構
成されている。

【００３０】取付部３３は、振動子２の略中央部に設け
られた前記角柱部６と、この角柱部６の軸方向の両側端
において互いに対向した一対の壁面３７Ａを有するフラ
ンジ部３７とを備えて構成されている。フランジ部３７
は振動子２の軸を挟んで２か所設けられ、これらのフラ
ンジ部３７の間において前記取付面６Ａが角柱部６にそ
れぞれ形成されている。

【００３１】ここで、一対の壁面３７Ａは取付面６Ａに
平行な方向に従って互いの間隔が狭くなるように（互い
にＺ軸に対して角度βだけ内側に傾いて）形成され、か
つ、取付面６Ａに対して直角に形成されている。２枚の
圧電素子３４は、振動子２の軸（Ｘ軸）を挟んで対向し
た状態でフランジ部３７の壁面３７Ａ間にそれぞれ圧入
固定されており、その両側全面が壁面３７Ａに接触し、
その裏面全面が取付面６Ａと接触している。圧電素子３
４は、その両側部が壁面３７Ａに対応するように平面台
形に形成されている。この圧電素子３４は、その両側部
の形状が前記圧電素子４と相違するだけで、他の構造は
圧電素子４と同じである。

【００３２】第３の実施の形態では、圧電素子３４をフ
ランジ部３７間に圧入するにあたり、図７（Ａ）に示さ
れる通り、圧電素子３４を取付面６Ａに沿って壁面３７
Ａ同士の間隔が狭くなる方向に押し出す。圧電素子３４
が十分に押し出されたら、図７（Ｂ）に示される通り、
圧電素子３４がフランジ部３７間に圧入固定されること
になる。

【００３３】この構成の第３の実施の形態では、第１の
実施の形態の効果に加えて次の効果を奏することが
できる。つまり、第３の実施の形態では、一対の壁面
３７Ａを取付面６Ａに平行な方向に従って互いの間隔が
狭くなるように形成し、圧電素子３４を、その両側部が
壁面３７Ａに対応するように平面台形に形成したから、
圧電素子３４のフランジ部３７への取り付けは、圧電素
子３４を取付面６Ａに沿って壁面３７Ａ同士の間隔が狭
くなる方向に押し出せばよく、第１の実施の形態で行っ
ていた圧電素子３４の冷却作業等が不要となるので、圧
電素子３４の圧入作業が容易となる。なお、第３の実施
の形態では、図８に示される通り、一対の壁面３７Ａの
Ｚ軸に対する角度は同じでなくともよい。この場合で
も、圧電素子３７の両側部は壁面３７Ａに対応する形状
であることを要する。

【００３４】次に、本発明の第４の実施の形態を図９に
基づいて説明する。第４の実施の形態は角柱部の形状が
第１の実施の形態と異なるもので、他の構成は第１の実
施の形態と同じである。図９は第４の実施の形態の要部
が示されている。図９において、第４の実施の形態のタ
ッチ信号プローブ４０は、前記スタイラスホルダ１（図
９では図示せず）と、このスタイラスホルダ１に取り付
けられた前記振動子２と、この振動子２の軸方向固有振
動の節近傍に取付部４３を介して設けられた２枚の前記
圧電素子４とを備えて構成されている。

【００３５】取付部４３は、振動子２の略中央部に設け
られた前記角柱部４６と、この角柱部４６の軸方向の両
側端において互いに対向した一対の壁面７Ａを有するフ
ランジ部７とを備えて構成されている。これらのフラン
ジ部７の間において前記取付面４６Ａが壁面７Ａと連続
して形成され、これらの取付面４６Ａには溝４６Ｂが形
成されている。この溝４６Ｂは、圧電素子４に接続され
たリード線（図示せず）を導くためのものである。

【００３６】この構成の第４の実施の形態では、第１の
実施の形態の効果に加え、取付面４６Ａに圧電素
子４に接続されたリード線（図示せず）を導くための溝
４６Ｂを形成したから、この溝４６Ｂを利用して圧電素
子４の裏面から直接リード線を引くことが可能となり、
接触不良による不具合がなくなる。

【００３７】次に、本発明の第５の実施の形態を図１０
に基づいて説明する。第５の実施の形態はフランジ部の
構造が第１の実施の形態と異なるもので、他の構成は第
１の実施の形態と同じである。図１０は第５の実施の形
態の要部が示されている。図１０において、第５の実施
の形態のタッチ信号プローブ５０は、前記スタイラスホ
ルダ１（図１０では図示せず）と、このスタイラスホル
ダ１に取り付けられた前記振動子２と、この振動子２の
軸方向固有振動の節近傍に取付部５３を介して設けられ
た２枚の前記圧電素子４とを備えて構成されている。

【００３８】取付部５３は、振動子２の略中央部に設け
られた前記角柱部６と、この角柱部６の軸方向の両側端
において振動子２の軸に略直交するとともに互いに対向
した一対の壁面５７Ａを有するリング状のフランジ部５
７Ｂ、５７Ｃとを備えて構成されている。このうち、一
方のフランジ部５７Ｂは角柱部６に固定され、他方のフ
ランジ部５７Ｃは振動子２に着脱自在に取り付けられて
いる。

【００３９】つまり、振動子２には雄ねじ部２Ｄが設け
られ、この雄ねじ部２Ｄにフランジ部５７Ｃの雌ねじ部
５７Ｄが螺合される構成である。なお、第５の実施の形
態では、双方のフランジ部５７Ｂ，５７Ｃを振動子２に
着脱自在に取り付けた構造としてもよい。フランジ部５
７Ｃが振動子２に取り付けられた状態では、各フランジ
部５７Ｂ，５７Ｃの壁面５７Ａは、取付面６Ａに対して
直角である。

【００４０】この構成の第５の実施の形態では、第１の
実施の形態の効果に加え、フランジ部５７Ｃが振
動子２に着脱自在に取り付けられた構造であるから、振
動子２に固定された一方のフランジ部５７Ｂと他方のフ
ランジ部５７Ｃとの間に圧電素子４を配置し、この状態
で他方のフランジ部５７Ｃを一方のフランジ部５７Ｂ側
へ押しつけることにより、圧電素子４のフランジ部５７
Ｂ，５７Ｃへの圧入固定を容易に行える。

【００４１】なお、本発明は前述の実施の形態に限定さ
れるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲であ
れば次に示す変形例を含むものである。例えば、前記実
施の形態では、圧電素子４，２４，３４の表面は、振動
子２の固有振動数に略一致した振動数で振動子２を加振
する加振用電極４Ａと振動子２の振動を電気信号として
取り出す検出用電極４Ｂとを有する構造であったが、本
発明では、振動手段の検出のため、圧電素子以外の検出
手段を用いてもよい。

【００４２】さらに、前記各実施の形態では、三次元測
定機に適用した場合について説明したが、本発明では、
これに限らず、二次元測定機、輪郭測定機等に適用する
ことも可能である。また、第２の実施の形態と第３の実
施の形態とを組み合わせた構造でもよい。つまり、圧電
素子を平面台形とし、その両側部を楔状に形成し、圧電
素子の形状に合わせて壁面を形成するものでもよい。

【００４３】

【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、先端に被
測定物と接触する接触部を有する振動子を略柱状に形成
し、この振動子の軸方向固有振動の節近傍に振動子の固
有振動数に略一致した振動数で振動子を加振する圧電素
子を配置し、振動子の軸に互いに対向した一対の壁面を
有するフランジ部を振動子の振動の節近傍に設け、この
フランジ部の間に振動子の軸と平行な取付面を形成し、
フランジ部の壁面間において圧電素子を取付面と接触す
るように圧入固定したから、圧電素子を振動子に接着剤
や半田を使用しないで確実に固定できる。従って、接着
剤の粘性効果によるＱ値の低下がなく、タッチ信号プロ
ーブを高感度で高精度のものにでき、その上、温度変化
による接着剤の特性の変化がないので、長期にわたって
タッチ信号プローブの安定性を確保でき、しかも、タッ
チ信号プローブの組み立てが迅速かつ容易に行うことが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態にかかるタッチ信号
プローブの全体を示す斜視図である。

【図２】圧電素子を取り付ける前の状態を示す前記タッ
チ信号プローブの要部斜視図である。

【図３】圧電素子を取り付けた状態を示す前記タッチ信
号プローブの要部斜視図である。

【図４】本発明の第２の実施の形態にかかるタッチ信号
プローブの要部を示すもので図２に相当する図である。

【図５】前記第１の実施の形態にかかるタッチ信号プロ
ーブの問題を説明するための要部正面図である。

【図６】本発明の第３の実施の形態にかかるタッチ信号
プローブの要部を示すもので図２に相当する図である。

【図７】（Ａ）（Ｂ）は本発明の第３の実施の形態にか
かるタッチ信号プローブにおいて圧電素子の圧入作業を
説明するための正面図である。

【図８】本発明の第３の実施の形態にかかるタッチ信号
プローブの変形例を示す要部正面図である。

【図９】本発明の第４の実施の形態にかかるタッチ信号
プローブの要部を示す斜視図である。

【図１０】本発明の第５の実施の形態にかかるタッチ信
号プローブの要部を示すもので図２に相当する図であ
る。

【符号の説明】

２ 振動子 ２Ａ 接触部 ４,24,34 圧電素子 6A,46A 取付面 ７,27,37,57B,57C フランジ部 7A,27A,37A,57A 壁面 10,20,30,40,50 タッチ信号プローブ 46B 溝

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】先端に被測定物と接触する接触部を有し略
   柱状に形成された振動子と、この振動子の軸方向固有振
   動の節近傍に配置されるとともに前記固有振動数に略一
   致した振動数で前記振動子を加振する圧電素子とを備え
   たタッチ信号プローブであって、互いに対向した一対の
   壁面を有するフランジ部を前記振動子の振動の節近傍に
   設け、このフランジ部の間に前記振動子の軸と平行な取
   付面を形成し、前記フランジ部の壁面間において前記圧
   電素子を前記取付面と接触するように圧入固定したこと
   を特徴とするタッチ信号プローブ。
2. 【請求項２】請求項１記載のタッチ信号プローブにおい
   て、前記一対の壁面は前記取付面に対してそれぞれ鋭角
   に形成され、前記圧電素子は、その両側部が前記壁面に
   対応するように楔状に形成されていることを特徴とする
   タッチ信号プローブ。
3. 【請求項３】請求項１又は２記載のタッチ信号プローブ
   において、前記一対の壁面は前記取付面に平行な方向に
   従って互いの間隔が狭くなるように形成され、前記圧電
   素子は、その両側部が前記壁面に対応するように形成さ
   れていることを特徴とするタッチ信号プローブ。
4. 【請求項４】請求項１から３にいずれか記載のタッチ信
   号プローブにおいて、前記取付面には前記圧電素子に接
   続されたリード線を導くための溝が形成されていること
   を特徴とするタッチ信号プローブ。
5. 【請求項５】請求項１から４にいずれか記載のタッチ信
   号プローブにおいて、前記フランジ部は、前記振動子に
   着脱自在に取り付けられていることを特徴とするタッチ
   信号プローブ。