JPH09210781A - 分光装置 - Google Patents

分光装置

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JPH09210781A
JPH09210781A JP8016041A JP1604196A JPH09210781A JP H09210781 A JPH09210781 A JP H09210781A JP 8016041 A JP8016041 A JP 8016041A JP 1604196 A JP1604196 A JP 1604196A JP H09210781 A JPH09210781 A JP H09210781A
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JP
Japan
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light
slit
lens
diffraction grating
wavelength
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JP8016041A
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English (en)
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Kenichi Fujiyoshi
健一 藤吉
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Ando Electric Co Ltd
Original Assignee
Ando Electric Co Ltd
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Publication date
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/04Slit arrangements slit adjustment
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12Generating the spectrum; Monochromators
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12Generating the spectrum; Monochromators
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 波長如何に拘わらず、元の光から正確に所望
の波長の光を分離して取り出すことができる分光装置を
提供する。 【解決手段】 分光すべき光をレンズ3を介して回折格
子4に入射させ、この回折格子4から得られる回折光を
レンズ3によって集光し、出射スリット6に入射させ、
出射スリット6から特定の波長の光のみを取り出す。取
り出すべき光の波長が特定の波長帯域のものである場合
には、レンズ3の焦点距離が短くなり、レンズ3からの
回折光が出射スリット6よりも手前の位置で結像してし
まう。そこで、そのような場合には平面ガラス板5を出
射スリット6の手前に介挿してレンズ3の焦点距離を補
正し、回折光を出射スリット6上に結像させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、入力光の中から
特定の波長の光のみを分離して取り出す分光装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】図6は従来の分光装置の構成を示す構成
図である。図6において1は様々な波長成分を含んだ光
を発する光源であり、この光源1の光は出射部1aから
出射される。2は光ファイバであり、一方の端部2a
(以下、入射端2aという)が光源1の出射部1aに接
続される。光源1の出射部1aからこの入射端2aに入
射された光は光ファイバ2を伝搬し、光ファイバ2のも
う一方の端部2b(以下、出射端2bという)から出射
される。この出射端2bは、分光装置の入射スリットま
たは開口として機能するものである。
【0003】3はレンズであり、光ファイバ2からの出
射光はこのレンズ3により集光される。また、4は回折
格子であり、レンズ3によって集光された光ファイバ2
からの光が入射される。この回折格子4の表面には、レ
ンズ3からの光に含まれる種々の波長の光を各々波長に
よって異なった方角へ回折させる多数の溝が形成されて
いる。また、回折格子4は、これらの溝に平行な軸を中
心として回動し得るように支持されている。6は出射ス
リットである。上記回折格子4から得られる各回折光の
うち所定の方角に回折された光のみが再びレンズ3によ
って集光され、この出射スリット6に入射される。この
出射スリット6によりこの分光装置の分解能が決定され
る。
【0004】以上の構成において、光源1の出射部1a
からの光は、光ファイバ2の入射端2aに入射し、光フ
ァイバ2内を伝搬して出射端2bから出射される。この
出射された光は、レンズ3によって集光され、回折格子
4に入射する。ここで、回折格子4は、上述したように
その表面の溝と平行な軸を中心として回動し得るように
支持されているため、この軸廻りの角度を調整すること
により、所望の波長に対応した光をレンズ3のある所定
の方角に出射させることができる。この所定の方角に出
射された回折光はレンズ3によって集光され、出射スリ
ット6上に結像することとなる。そして、出射スリット
6の横幅の範囲内となる特定の波長の光のみが出射スリ
ット6を通過する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の分光装置において、レンズ3が回折光を集光する際
の焦点距離がその回折光の波長によって異なったものと
なる。図7はこのようなレンズの特性に基づく従来の分
光装置の問題点を示したものである。すなわち、図7に
示すように、回折格子4からの回折光の波長がλ1であ
るときには、レンズ3の焦点距離がレンズ3から出射ス
リット6までの距離と一致するため、この回折光は出射
スリット6上に結像する。ところが、回折格子4からの
回折光の波長がλ2であるときには、レンズ3の焦点距
離がレンズ3から出射スリット6までの距離よりも短く
なるため、この回折光は出射スリット6よりも手前の位
置において結像してしまい、所望の波長に対応した光を
出射スリット6から取り出す際に光の強度が低下した
り、波長分解能が悪化したりするのである。このように
従来の分光装置は、特定の波長については正確に分離し
て取り出すことができないという問題があった。
【0006】この発明は、以上説明した事情に鑑みてな
されたものであり、波長如何に拘わらず、元の光から正
確に所望の波長の光を分離して取り出すことができる分
光装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
分光すべき光を回折格子に入射させ、この回折格子から
得られる回折光を集光部によって集光し、この集光部か
ら得られる光を出射スリットに入射させることにより、
該出射スリットから特定の波長の光のみを出射させる分
光装置において、前記出射スリットに、入射させるべき
光の焦点位置を波長に応じて補正する平面ガラス板を前
記集光部から前記出射スリットに至る光路上に介挿する
ようにしたことを特徴とする分光装置を要旨とする。
【0008】また、請求項2に係る発明は、分光すべき
光を回折格子に入射させ、この回折格子から得られる回
折光を集光部によって集光し、この集光部から得られる
光を出射スリットに入射させることにより、該出射スリ
ットから特定の波長の光のみを出射させる分光装置にお
いて、各種の波長帯域に対応した前記出射スリットを同
一円周上に複数有し、所定の軸廻りに回動自在に支持さ
れた円盤であって、回動されることにより各出射スリッ
トが前記集光部によって集光された回折光の光路を横切
るスリット盤と、前記集光部から見て前記スリット盤よ
りも手前に位置し、前記スリット盤と連動して回動する
盤であって、前記スリット盤に形成された各出射スリッ
トのうち所定の波長帯域に対応したものと対向する位置
に前記集光部の焦点距離を補正する平面ガラス板を有す
る焦点補正盤とを具備することを特徴とする分光装置を
要旨とする。
【0009】請求項3に係る発明は、分光すべき光を回
折格子に入射させ、この回折格子から得られる回折光を
集光部によって集光し、この集光部から得られる光を出
射スリットに入射させることにより、該出射スリットか
ら特定の波長の光のみを出射させる分光装置において、
各種の波長帯域に対応した光を通過させる帯域フィルタ
を同一円周上に複数有し、所定の軸廻りに回動自在に支
持された円盤であって、回動されることにより各帯域フ
ィルタが前記集光部によって集光された回折光の光路を
横切るフィルタ盤と、前記集光部から見て前記フィルタ
盤よりも手前に位置し、前記フィルタ盤と連動して回動
する盤であって、前記フィルタ盤に形成された各帯域フ
ィルタのうち所定の波長帯域に対応したものと対向する
位置に前記集光部の焦点距離を補正する平面ガラス板を
有する焦点補正盤とを具備することを特徴とする分光装
置を要旨とする。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施形態について説明する。
【0011】A.第1実施形態 図1は、本発明による分光装置の第1の実施形態を示す
構成図である。なお、この図において前述した図6と共
通する部分には同一の符号を付し、その説明を省略す
る。本実施形態に係る分光装置は、光の焦点距離を補正
するための平面ガラス板5を有する点が図6に示すもの
と異なっている。この平面ガラス板5は、出射スリット
6から得るべき光の波長が特定の範囲のものである場合
にレンズ3と出射スリット6との間の回折光の光路上に
挿入され、この範囲内のものでないときには該光路から
除かれるようになっている。また、平面ガラス板5が前
記光路上に配置される場合には、光が平面ガラス板5の
中心に当たるよう、出射スリット6の前に配置される。
【0012】次に、第1実施形態における分光装置の作
用について説明する。上記の構成において、光源1の出
射部1aから光ファイバ2の入射端2aに入射された光
は光ファイバ2内を伝搬して出射端2bより出射され
る。出射端2bからの出射光が、レンズ3によって集光
され、回折格子4へ入射する。
【0013】このようにして回折格子4に入射された光
は、波長毎に異なった角度で回折し、各波長に対応した
回折光が回折格子4から各々異なった方角に出射され
る。そして、所望の波長の回折光がレンズ3を通過して
出射スリット6に至るように回折格子4の角度が当該波
長に合わせて自動調節される。すなわち、出射スリット
6から通過させる光の各波長毎にこの回折格子4の角度
が予め求められており、これらの各角度の中から使用者
が望む波長に対応した角度が選択され、回折格子4の角
度がその選択した角度と一致するように自動調整される
のである。
【0014】この回折格子4からの回折光のうちレンズ
3の方向に出射された回折光は、レンズ3によって集光
され、出射スリット6上に結像することになる。ところ
が、実際には波長によってレンズ3の焦点距離が異なる
ため、回折光の波長によっては出射スリット6上に結像
しないこととなる。そこで、レンズ3の焦点距離がレン
ズ3と出射スリット6間の距離よりも短くなるような波
長については、出射スリット6の前に平面ガラス板5を
配置する。これにより、レンズ3の焦点距離が伸び、回
折格子4からの回折光が出射スリット6上に結像するこ
ととなる。また、上記以外の波長については、平面ガラ
ス板5をレンズ3と出射スリット6間の光路上には配置
しないようにする。
【0015】図2は、図1で示した分光装置の光学系の
一部である。図中の光路A1は、平面ガラス板5を配置
しないときのものであり、光路A2は、出射スリット6
の前に平面ガラス板5を配置したときのものである。こ
の図からも分かるように、ある波長帯域の回折光につい
てはレンズ3の焦点距離が短くなり、図に示す光路A1
に沿って回折光が進むため、出射スリット6の手前で結
像してしまう。そこで、このような波長帯域の回折光に
ついては、回折光の光路上に平面ガラス板5を配置して
レンズ3の焦点距離を伸ばし、回折光を光路A2に沿っ
て進ませる。このようにすることで、結果的に焦点距離
が補正され、回折光は出射スリット6上において結像す
ることとなる。
【0016】以上のように、本実施形態によれば、どの
ような帯域の波長を測定する場合にも、出射スリット6
までの焦点距離の差はほとんど生じなくなり、出射スリ
ット6上の像がずれるおそれはない。
【0017】B.第2実施形態 次に、図3は、本発明による分光装置の第2の実施形態
を示す構成図である。なお、この図において前述の図1
と共通する部分には同一の符号を付し、その説明を省略
する。本実施形態は、上記第1実施形態と同様、出射ス
リット6の前に平面ガラス板5を配置させるものである
が、以下の点が上記第1実施形態と異なっている。
【0018】a.出射スリット6に関連した構成 スリット盤60は、その中心が回転軸60aに固定され
ており、この回転軸60aを中心に自在に回転し得るよ
うに支持されている。また、スリット盤60の中心から
一定長だけ離れた円周上には所望の波長の光を取り出す
ための複数の出射スリット6,6,…が形成されてい
る。また、スリット盤60はレンズ3から焦点距離だけ
離れて配置されており、このスリット盤60を回転軸6
0a廻りに回転させると、各出射スリット6,6,…が
レンズ3によって集光された回折光の光路を横切るよう
になっている。各出射スリット6,6,…は、分離して
取り出すべき光の各波長帯域毎に用意されたものであ
り、これらのスリット幅は各々目的とする波長を取り出
す際に必要となる。
【0019】また、上記第1実施形態と同様、所望の光
の波長に合わせて回折格子4の角度の調整が行われる
が、本実施形態では、この回折格子4の角度の調整と連
動してスリット盤60の回転角の調整が行われ、当該波
長に対応した出射スリット6がレンズ3からの回折光の
結像点に位置決めされる。
【0020】b.平面板ガラス5に関連した構成 焦点補正盤50は、レンズ3から見てスリット盤60よ
りも手前に位置しており、その中心が軸60aに固定さ
れている。従って、この焦点補正盤50は上記スリット
盤60の回動に連動して回動する。また、焦点補正盤5
0は、その中心から一定長だけ離れた円周上に複数の穴
が空けられている。これらの穴はレンズ3からの回折光
を上記各出射スリット6,6,…に導くための穴であ
る。上記第1の実施形態においても説明したように、特
定の波長帯域については、レンズ3の焦点距離が短くな
り、何等対策を施さないとすると、回折光が出射スリッ
ト6の手前で結像してしまう。そこで、そのような波長
帯域に対応した出射スリット6,6,…については、そ
の手前にある焦点補正盤50上の穴に平面ガラス板5,
5,…がはめ込まれている。
【0021】このような構成において、所望の波長に合
わせてスリット盤60の回転角度の調整が行われ、当該
波長に対応した出射スリット6がレンズ3からの回折光
の光路上に位置決めされる。そして、このスリット盤6
0の回転と連動して焦点補正盤50が回転する。ここ
で、特定の波長の回折光についてはレンズ3の焦点距離
が短くなるが、スリット盤60の各出射スリット6,
6,…のうちそのような波長の光に対応した出射スリッ
ト6の手前には必ず平面ガラス板5がある。従って、そ
のような波長に対応した出射スリット6が回折光の光路
上に位置決めされた場合、回折光は平面ガラス板5を通
過して進むため、実質的に焦点距離の補正が行われ、出
射スリット6上において結像することとなる。また、レ
ンズ3の焦点距離がレンズ3から出射スリット6までの
距離と一致する場合には、回折光は焦点補正盤50上の
穴を通過して進み、出射スリット6上において結像する
こととなる。従って、あらゆる波長帯域について、所望
の波長の光を出射スリット6から正確に取り出すことが
できる。
【0022】C.第3実施形態 次に、図4は、本発明による分光装置の第3の実施形態
を示す構成図である。なお、この図においても図1と共
通する部分は同一の符号を付し、その説明を省略する。
本実施形態は以下の点が上記第1実施形態と異なる。
【0023】a.帯域フィルタ7 本実施形態においては、レンズ3から見て出射スリット
6よりも手前の位置にフィルタ盤70が配置されてい
る。このフィルタ盤70は、その中心が回転軸70aに
固定されており、この回転軸70aを中心に自在に回転
し得るように支持されている。また、フィルタ盤70の
中心から一定長だけ離れた円周上には各々特定の波長帯
域の光のみを通過させる複数の帯域フィルタ7,7,…
が設けられており、フィルタ盤70を回転軸70a廻り
に回転させると、各帯域フィルタ7,7,…がレンズ3
から出射スリット6へ向う回折光の光路を横切るように
なっている。
【0024】また、上記第1実施形態と同様、所望の光
の波長に合わせて回折格子4の角度の調整が行われる
が、本実施形態では、この回折格子4の角度の調整と連
動してフィルタ盤70の回転角の調整が行われ、当該波
長に対応した帯域フィルタ7がレンズ3から出射スリッ
ト6へ向う回折光の光路上に位置決めされる。
【0025】b.平面板ガラス5に関連した構成 焦点補正盤50は、レンズ3から見てフィルタ盤70よ
りも手前に位置しており、その中心が軸70aに固定さ
れている。従って、この焦点補正盤50は上記フィルタ
盤70の回動に連動して回動する。また、焦点補正盤5
0は、その中心から一定長だけ離れた円周上に複数の穴
が空けられている。これらの穴はレンズ3からの回折光
を上記各帯域フィルタ7,7,…に導くための穴であ
る。上記第1の実施形態においても説明したように、特
定の波長帯域については、レンズ3の焦点距離が短くな
り、何等対策を施さないとすると、レンズ3から帯域フ
ィルタ7を通過して進む回折光が出射スリット6の手前
で結像してしまう。そこで、そのような波長帯域に対応
した帯域フィルタ7,7,…については、その手前にあ
る焦点補正盤50上の穴に平面ガラス板5,5,…がは
め込まれている。
【0026】このような構成において、所望の波長に合
わせてフィルタ盤70の回転角度の調整が行われ、当該
波長に対応した帯域フィルタ7がレンズ3からの回折光
の光路上に位置決めされる。そして、このフィルタ盤7
0の回転と連動して焦点補正盤50が回転する。ここ
で、特定の波長の回折光についてはレンズ3の焦点距離
が短くなるが、フィルタ盤70の各帯域フィルタ7,
7,…のうちそのような波長の光に対応した帯域フィル
タ7の手前には必ず平面ガラス板5がある。従って、そ
のような波長に対応した帯域フィルタ7が回折光の光路
上に位置決めされた場合、回折光は平面ガラス板5を通
過した後、当該帯域フィルタ7を通過するため、実質的
に焦点距離の補正が行われ、出射スリット6上において
結像することとなる。また、レンズ3の焦点距離がレン
ズ3から出射スリット6までの距離と一致する場合に
は、回折光は焦点補正盤50上の穴を通過し、ある帯域
のフィルタ7を通って出射スリット6上に結像すること
となる。従って、あらゆる波長帯域について、所望の波
長の光を出射スリット6から正確に取り出すことができ
る。
【0027】D.第4実施形態 図5はこの発明による分光装置の第4の実施形態の構成
図である。これまで説明した各実施形態の光学系におい
ては、回折格子からの回折光を集光する集光部としてレ
ンズ3を使用した。しかし、集光部に凹面鏡を使用した
ツェルニ・ターナ形の分光装置の場合には、凹面鏡がレ
ンズの様に波長によって収差を生じることがないため、
従来の様な問題は生じない。本実施形態は、上記第1実
施形態の構成において使用したレンズ3を凹面鏡11、
12に変更したツェルニ・ターナ形の分光装置である
が、更にレンズを使用した2段式分光装置であるため、
第1実施形態と同様な対策を必要とする。以下に、本実
施形態の作用について説明する。
【0028】図5において、分光装置内に入射した光は
凹面鏡11に入射し、これにより反射され平行光とな
る。次に、この平行光は回折格子4に入射し、波長成分
毎に異なった角度に回折される。この回折格子4におい
て回折された波長成分の内、凹面鏡12の方向に回折し
た特定の波長成分は凹面鏡12で反射される。この凹面
鏡12で反射される波長成分の内、回折格子4と凹面鏡
12の距離および凹面鏡12の開口面積によって定まる
波長幅を有する光だけが出射スリット6を通過する。出
射スリット6を通過した光は、レンズ8により直角プリ
ズム9上に集光し、その集光された光は直角プリズム9
で反射されることによって折り返す。この直角プリズム
9によって折り返された光は、レンズ10で集光され再
び出射スリット6上に結像する。ところが、これまで述
べたように、実際には波長によってレンズ10の焦点距
離が異なるため、波長によっては出射スリット6上に結
像しないこととなる。そこで、レンズ10の焦点距離が
レンズ10から出射スリット6までの距離より短い波長
帯域については回転板5aの上に配置した平面ガラス板
5をレンズ10と出射スリット6との間へ挿入されるよ
う回転板5aを回転させる。これにより、レンズ10の
焦点距離が伸び、出射スリット6上に結像することとな
る。また、出射スリット6を通過した光は、同じ経路を
辿って往復する形となり、最後に凹面鏡11で集光さ
れ、ダブルスリット13上に結像することとなる。
【0029】
【発明の効果】以上で説明したように、この発明による
分光装置においては、集光部の焦点距離が短くなる波長
帯域の光が入射された場合でも、出射スリットを通過す
る前に平面ガラス板を通過させることにより、焦点距離
が補正されて出射スリット上に結像できるようになる。
これによって、どのような波長においても出射スリット
までの焦点距離の差が抑えられ、出射スリット上に結像
できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1の実施形態による分光装置の構
成図である。
【図2】同実施形態におけるレンズ3と出射スリット6
との間の光路を示す図である。
【図3】この発明の第2の実施形態による分光装置の構
成図である。
【図4】この発明の第3の実施形態による分光装置の構
成図である。
【図5】この発明の第4の実施形態による分光装置の構
成図である。
【図6】従来の分光装置の構成図である。
【図7】同分光装置のレンズ3と出射スリット6との間
の光路を示す図である。
【符号の説明】
1 光源 2 光ファイバ 3 レンズ 4 回折格子 5 平面ガラス板 6 出射スリット 7 帯域フィルタ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 分光すべき光を回折格子に入射させ、こ
    の回折格子から得られる回折光を集光部によって集光
    し、この集光部から得られる光を出射スリットに入射さ
    せることにより、該出射スリットから特定の波長の光の
    みを出射させる分光装置において、 前記出射スリットに、入射させるべき光の焦点位置を波
    長に応じて補正する平面ガラス板を前記集光部から前記
    出射スリットに至る光路上に介挿するようにしたことを
    特徴とする分光装置。
  2. 【請求項2】 分光すべき光を回折格子に入射させ、こ
    の回折格子から得られる回折光を集光部によって集光
    し、この集光部から得られる光を出射スリットに入射さ
    せることにより、該出射スリットから特定の波長の光の
    みを出射させる分光装置において、 各種の波長帯域に対応した前記出射スリットを同一円周
    上に複数有し、所定の軸廻りに回動自在に支持された円
    盤であって、回動されることにより各出射スリットが前
    記集光部によって集光された回折光の光路を横切るスリ
    ット盤と、 前記集光部から見て前記スリット盤よりも手前に位置
    し、前記スリット盤と連動して回動する盤であって、前
    記スリット盤に形成された各出射スリットのうち所定の
    波長帯域に対応したものと対向する位置に前記集光部の
    焦点距離を補正する平面ガラス板を有する焦点補正盤と
    を具備することを特徴とする分光装置。
  3. 【請求項3】 分光すべき光を回折格子に入射させ、こ
    の回折格子から得られる回折光を集光部によって集光
    し、この集光部から得られる光を出射スリットに入射さ
    せることにより、該出射スリットから特定の波長の光の
    みを出射させる分光装置において、 各種の波長帯域に対応した光を通過させる帯域フィルタ
    を同一円周上に複数有し、所定の軸廻りに回動自在に支
    持された円盤であって、回動されることにより各帯域フ
    ィルタが前記集光部によって集光された回折光の光路を
    横切るフィルタ盤と、 前記集光部から見て前記フィルタ盤よりも手前に位置
    し、前記フィルタ盤と連動して回動する盤であって、前
    記フィルタ盤に形成された各帯域フィルタのうち所定の
    波長帯域に対応したものと対向する位置に前記集光部の
    焦点距離を補正する平面ガラス板を有する焦点補正盤と
    を具備することを特徴とする分光装置。
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