JPH09216221A - 糸鋸引き装置 - Google Patents
糸鋸引き装置Info
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- JPH09216221A JPH09216221A JP9036924A JP3692497A JPH09216221A JP H09216221 A JPH09216221 A JP H09216221A JP 9036924 A JP9036924 A JP 9036924A JP 3692497 A JP3692497 A JP 3692497A JP H09216221 A JPH09216221 A JP H09216221A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高い精度を備え、大口径の糸案内円筒の使用
を可能にし、分解保守が容易である糸鋸引き装置を提供
する。 【解決手段】往復または連続運動によって移動すること
のできる、糸案内円筒４によって支えられた平行な糸の
層２とから成る糸鋸引き装置において、糸案内円筒４が
固定軸５の周囲を回転する回転スリーブ７で構成されて
いる。
を可能にし、分解保守が容易である糸鋸引き装置を提供
する。 【解決手段】往復または連続運動によって移動すること
のできる、糸案内円筒４によって支えられた平行な糸の
層２とから成る糸鋸引き装置において、糸案内円筒４が
固定軸５の周囲を回転する回転スリーブ７で構成されて
いる。
Description
【０００１】
【０００２】本発明はフレームと、鋸引き加工品に対し
て当接して往復または連続運動によって移動することの
できる、糸案内円筒によって支えられた糸の層とから成
る糸鋸引き装置に関するものである。
て当接して往復または連続運動によって移動することの
できる、糸案内円筒によって支えられた糸の層とから成
る糸鋸引き装置に関するものである。
【０００３】
【０００４】鋸引き加工品に対して当接して往復または
連続運動によって移動することのできる、それによって
鋸引き区域を決定する糸の層から成る鋸引き装置は周知
である。鋸引き区域は平行に配置された円筒の全体で構
成される。糸案内と呼ばれるこれらの円筒は層の糸の間
の間隔、すなわち鋸引きされる区分の厚みを決定する溝
が刻まれている。
連続運動によって移動することのできる、それによって
鋸引き区域を決定する糸の層から成る鋸引き装置は周知
である。鋸引き区域は平行に配置された円筒の全体で構
成される。糸案内と呼ばれるこれらの円筒は層の糸の間
の間隔、すなわち鋸引きされる区分の厚みを決定する溝
が刻まれている。
【０００５】糸案内円筒はその中に層の糸の間隔を維持
する溝が刻まれている合成要素で被覆され、少なくとも
その一方の端において回転子を含む１個または複数個の
軸受けに固定されている中空または中実の一体部分で通
常は構成されている。糸案内円筒は分解可能であるので
その被覆が摩耗したときに再調整できる。糸案内円筒の
サイズに応じて、円筒は片持ちで組み立てることも、両
端で維持することもできる。糸の層の張力によって発生
した応力は軸受けに直接伝達され、このことが両端から
くる熱の発生の故に中心部分の不均一かつ不所望の加熱
を招く。一般的に温度制御システムが備えられている。
する溝が刻まれている合成要素で被覆され、少なくとも
その一方の端において回転子を含む１個または複数個の
軸受けに固定されている中空または中実の一体部分で通
常は構成されている。糸案内円筒は分解可能であるので
その被覆が摩耗したときに再調整できる。糸案内円筒の
サイズに応じて、円筒は片持ちで組み立てることも、両
端で維持することもできる。糸の層の張力によって発生
した応力は軸受けに直接伝達され、このことが両端から
くる熱の発生の故に中心部分の不均一かつ不所望の加熱
を招く。一般的に温度制御システムが備えられている。
【０００６】制御されない弾性応力に由来する不静定構
造による大きな摩耗や不都合な加熱をさけようとする場
合は先端の軸受けを完全に軸心に合わせる必要がある。
しかしながら、周囲のシステムの複雑性とサイズの故
に、軸受けの心出しの厳密な制御は実現が困難であり、
その精密な加工は高価である。
造による大きな摩耗や不都合な加熱をさけようとする場
合は先端の軸受けを完全に軸心に合わせる必要がある。
しかしながら、周囲のシステムの複雑性とサイズの故
に、軸受けの心出しの厳密な制御は実現が困難であり、
その精密な加工は高価である。
【０００７】上述のようなタイプの糸案内円筒を備えた
糸鋸引き装置は、多結晶または単結晶シリコン、あるい
はＧＡｓ、ＩｎＰ、ＧＧＧ（ガドリニウム＝ガリウム・
ガーネット）などの新素材、または石英、合成サファイ
ア、さらにはセラミックなどの材料の薄片を得るため
に、特に電子構成部品、フェライト、石英と無水珪酸の
産業において、すでに知られている。これらの材料は高
価であるので、ダイアモンド粉円盤による鋸引きなどの
他の技術と比較して、糸鋸引きがもっと有利に思われ
る。
糸鋸引き装置は、多結晶または単結晶シリコン、あるい
はＧＡｓ、ＩｎＰ、ＧＧＧ（ガドリニウム＝ガリウム・
ガーネット）などの新素材、または石英、合成サファイ
ア、さらにはセラミックなどの材料の薄片を得るため
に、特に電子構成部品、フェライト、石英と無水珪酸の
産業において、すでに知られている。これらの材料は高
価であるので、ダイアモンド粉円盤による鋸引きなどの
他の技術と比較して、糸鋸引きがもっと有利に思われ
る。
【０００８】電子用途分野にとっては特に重要な鋸引き
加工した部品の精度は鋸引き過程における糸と鋸引き加
工品の支持要素の位置、従って鋸引き加工品に対する糸
案内円筒の位置に依存する。この位置は糸案内円筒の温
度、従って負荷と軸受け箱の支え軸受けの加工の精度に
依存する。
加工した部品の精度は鋸引き過程における糸と鋸引き加
工品の支持要素の位置、従って鋸引き加工品に対する糸
案内円筒の位置に依存する。この位置は糸案内円筒の温
度、従って負荷と軸受け箱の支え軸受けの加工の精度に
依存する。
【０００９】電子用途分野の要求事項、例えばインゴッ
トの寸法がますます大きくなることによる要求事項のた
めに糸案内円筒の固定と再調整のためのその迅速な取り
外しの制御がますます困難になっている。さらに、精度
が要求されるので再調整の頻度が増加する。強い負荷を
受ける糸案内を支える軸受けは熱を発生し、軸受けの加
工が困難なために、軸受けの心出精度が劣るほど発熱量
は高くなる。このエネルギーが鋸引きの過程で発生する
エネルギーに加算され、周囲の部分、特に糸案内円筒内
に拡散して切断精度が低下することになる。膨張率が非
常に低い材料を、糸案内円筒の重要な要素の製造に使用
して、この影響を最小にすることができる。しかしなが
ら、全体の非実際的な側面はその加工の困難さとともに
残ったままである。
トの寸法がますます大きくなることによる要求事項のた
めに糸案内円筒の固定と再調整のためのその迅速な取り
外しの制御がますます困難になっている。さらに、精度
が要求されるので再調整の頻度が増加する。強い負荷を
受ける糸案内を支える軸受けは熱を発生し、軸受けの加
工が困難なために、軸受けの心出精度が劣るほど発熱量
は高くなる。このエネルギーが鋸引きの過程で発生する
エネルギーに加算され、周囲の部分、特に糸案内円筒内
に拡散して切断精度が低下することになる。膨張率が非
常に低い材料を、糸案内円筒の重要な要素の製造に使用
して、この影響を最小にすることができる。しかしなが
ら、全体の非実際的な側面はその加工の困難さとともに
残ったままである。
【００１０】本発明の目的は上記の不便を解消すること
にあり、そのために請求の範囲に記載によって特徴づけ
られる。
にあり、そのために請求の範囲に記載によって特徴づけ
られる。
【００１１】
【００１２】これらの特徴は、糸案内円筒の軸心を形成
する固定中心部分を使用することによって、鋸引き装置
に非常に高い精度を与え、軸受け上の負荷のよりよい分
配を可能にする。固定中心部分は非常に大きな心出精度
を与える。固定中心部分と回転スリーブを備えたこの配
置は、負荷のよりすぐれた分配、すなわち温度の低下と
より高い均質性の故に両端の軸受けの場合よりも小さな
軸受けを備えた大口径の糸案内円筒の使用を可能にす
る。
する固定中心部分を使用することによって、鋸引き装置
に非常に高い精度を与え、軸受け上の負荷のよりよい分
配を可能にする。固定中心部分は非常に大きな心出精度
を与える。固定中心部分と回転スリーブを備えたこの配
置は、負荷のよりすぐれた分配、すなわち温度の低下と
より高い均質性の故に両端の軸受けの場合よりも小さな
軸受けを備えた大口径の糸案内円筒の使用を可能にす
る。
【００１３】推奨実施態様によれば、固定中心部分は回
転スリーブを貫通し、両側がフレームによって頑丈に維
持されている固定軸によって構成されている。
転スリーブを貫通し、両側がフレームによって頑丈に維
持されている固定軸によって構成されている。
【００１４】これらの特徴によって心出精度が一層向上
する、なぜなら固定中心部分は一体部品によって構成さ
れ、両端はそれほど精度を要求されない格納部に支持さ
れているからである。構造は単純化されている。分解と
保守は容易になり、鋸引きされた部品の精度は明らかに
向上した。
する、なぜなら固定中心部分は一体部品によって構成さ
れ、両端はそれほど精度を要求されない格納部に支持さ
れているからである。構造は単純化されている。分解と
保守は容易になり、鋸引きされた部品の精度は明らかに
向上した。
【００１５】スリーブは、例えばポリウレタンなどの合
成材料で覆うことができ、中に、糸案内に使われる溝が
刻まれている。その溝が刻まれているのは、冷却循環を
軽減あるいは継続させるためである。
成材料で覆うことができ、中に、糸案内に使われる溝が
刻まれている。その溝が刻まれているのは、冷却循環を
軽減あるいは継続させるためである。
【００１６】その他の利点は請求の範囲に記載の特徴
と、実施態様とその変型を概略的に、また例として説明
する図面を参照して本発明をもっと詳細に示す後述の説
明から明らかになるだろう。
と、実施態様とその変型を概略的に、また例として説明
する図面を参照して本発明をもっと詳細に示す後述の説
明から明らかになるだろう。
【００１７】
【００１８】図１は糸鋸引き装置の実施態様の全体図で
ある。図２は糸案内円筒の一部の断面を示す全体図であ
る。図３は糸案内円筒の軸方向断面図である。図４は糸
案内円筒の変型の軸方向断面図である。
ある。図２は糸案内円筒の一部の断面を示す全体図であ
る。図３は糸案内円筒の軸方向断面図である。図４は糸
案内円筒の変型の軸方向断面図である。
【００１９】図１の糸鋸引き装置は本発明の原理の全体
を図示している。鋸引き加工品１は支持テーブル３によ
って糸の層２に当接している。糸案内円筒４は固定軸受
け６内の固定軸５と回転スリーブ７によって構成されて
いる。インゴットの支持テーブルは送り電動機１５によ
って駆動される。全体はフレーム１４内に組み込まれて
いる。層の糸２は往復または連続運動で移動させるため
の周知の手段で駆動することができる。
を図示している。鋸引き加工品１は支持テーブル３によ
って糸の層２に当接している。糸案内円筒４は固定軸受
け６内の固定軸５と回転スリーブ７によって構成されて
いる。インゴットの支持テーブルは送り電動機１５によ
って駆動される。全体はフレーム１４内に組み込まれて
いる。層の糸２は往復または連続運動で移動させるため
の周知の手段で駆動することができる。
【００２０】図２はそれぞれの端において固定軸受け６
によって支えられ、回転スリーブ７を貫通している軸ま
たは固定軸５を有する糸案内円筒４を図示している。回
転スリーブは軸受け装置８の上に取り付けられ、ポリウ
レタンの保護被覆９を備えている。回転は、一端に位置
し、この例では、回転スリーブ７と一体の部分を構成す
る駆動滑車１０によって確保される。回転スリーブ７
は、温度制御のために必要に応じて冷却流体を流すこと
のできる緩和室１１を備えている。保護被覆９には溝１
３が刻まれている。回転スリーブ７は有利には、Ｆｅ−
Ｎｉ合金などの、膨張係数が小さい材料で実現される。
によって支えられ、回転スリーブ７を貫通している軸ま
たは固定軸５を有する糸案内円筒４を図示している。回
転スリーブは軸受け装置８の上に取り付けられ、ポリウ
レタンの保護被覆９を備えている。回転は、一端に位置
し、この例では、回転スリーブ７と一体の部分を構成す
る駆動滑車１０によって確保される。回転スリーブ７
は、温度制御のために必要に応じて冷却流体を流すこと
のできる緩和室１１を備えている。保護被覆９には溝１
３が刻まれている。回転スリーブ７は有利には、Ｆｅ−
Ｎｉ合金などの、膨張係数が小さい材料で実現される。
【００２１】図３は鋸引き装置のフレーム１４に対して
２個の固定軸受け６によって維持されている固定軸５を
有する糸案内円筒４を通る断面の概略図を示している。
緩和室１１を備えた回転スリーブ７はポリウレタンによ
る保護被覆９で被覆されている。回転スリーブ７の駆動
は回転スリーブ７の一端に位置する駆動滑車１０によっ
て実施される。回転スリーブ７は軸受け装置８によって
支持され、軸受け装置は玉軸受け、ローラー軸受け、針
軸受けその他のあらゆる種類の軸受けとすることができ
る。
２個の固定軸受け６によって維持されている固定軸５を
有する糸案内円筒４を通る断面の概略図を示している。
緩和室１１を備えた回転スリーブ７はポリウレタンによ
る保護被覆９で被覆されている。回転スリーブ７の駆動
は回転スリーブ７の一端に位置する駆動滑車１０によっ
て実施される。回転スリーブ７は軸受け装置８によって
支持され、軸受け装置は玉軸受け、ローラー軸受け、針
軸受けその他のあらゆる種類の軸受けとすることができ
る。
【００２２】図４に示した糸案内円筒４は図３のものと
同様であるが、貫通中心軸がフレーム１４に剛的に固定
され、ここでは油膜または空気膜式の軸受けによって構
成される軸受け装置を介して、それぞれの側で回転スリ
ーブ７を支える２本の側面部分シャフト５’に代えられ
ている。
同様であるが、貫通中心軸がフレーム１４に剛的に固定
され、ここでは油膜または空気膜式の軸受けによって構
成される軸受け装置を介して、それぞれの側で回転スリ
ーブ７を支える２本の側面部分シャフト５’に代えられ
ている。
【００２３】一般的に、糸案内円筒４の間の糸の層２を
形成する鋸引き糸はシリコン、セラミック、ＩＩＩ−Ｖ
群の元素の化合物、ＧＧＧ（ガーネット、ガドリニウム
＝ガリウム）、サファイア、などの硬質材料またはもっ
と特殊な材料の塊りを厚みがおよそ０．１から５ｍｍの
薄片に鋸引きするために直径が０．１から０．２ｍｍの
間に含まれるバネ鋼で構成されている。研磨剤は市販品
で、糸に固定された、あるいは泥状液の中に遊離した形
のダイアモンド、カーボランダム、アルミナ、などとす
ることができる。
形成する鋸引き糸はシリコン、セラミック、ＩＩＩ−Ｖ
群の元素の化合物、ＧＧＧ（ガーネット、ガドリニウム
＝ガリウム）、サファイア、などの硬質材料またはもっ
と特殊な材料の塊りを厚みがおよそ０．１から５ｍｍの
薄片に鋸引きするために直径が０．１から０．２ｍｍの
間に含まれるバネ鋼で構成されている。研磨剤は市販品
で、糸に固定された、あるいは泥状液の中に遊離した形
のダイアモンド、カーボランダム、アルミナ、などとす
ることができる。
【００２４】鋸引き装置は固定軸５を備えた糸案内円筒
４の使用によって回転スリーブ７上に分配された負荷の
よりよい配分、それによる熱源の減少を可能にし、また
はその構造の簡略化、ひいては鋸引きされた部品の精度
向上を可能にする。さらに保守のための分解も簡単にな
る。
４の使用によって回転スリーブ７上に分配された負荷の
よりよい配分、それによる熱源の減少を可能にし、また
はその構造の簡略化、ひいては鋸引きされた部品の精度
向上を可能にする。さらに保守のための分解も簡単にな
る。
【００２５】いうまでもなく、上述の実施態様はいかな
る形でも限定するものではなく、所望のいっさいの変更
が可能であるがそれをもって請求項に記載の範囲を逸脱
することはできない。従って、その本質上、固定中心部
分と回転スリーブを温存した他のタイプの構造を考案す
ることが可能である。
る形でも限定するものではなく、所望のいっさいの変更
が可能であるがそれをもって請求項に記載の範囲を逸脱
することはできない。従って、その本質上、固定中心部
分と回転スリーブを温存した他のタイプの構造を考案す
ることが可能である。
【図１】糸鋸引き装置の実施態様の全体図
【図２】糸案内円筒の一部の断面を示す全体図
【図３】糸案内円筒の軸方向断面図
【図４】糸案内円筒の変型の軸方向断面図
１ 鋸引き加工品 ２ 糸の層 ３ 支持テーブル ４ 糸案内円筒 ５ 固定軸 ５′側面部分シャフト ６ 固定軸受け ７ 回転スリーブ ８ 軸受け装置 ９ 保護被覆 １０ 駆動滑車 １１ 緩和室 １３ 溝 １４ フレーム １５ 送り電動機
Claims (8)
- 【請求項１】 フレーム（１４）と、鋸引き加工品
（１）に対して当接して往復または連続運動によって移
動することのできる、糸案内円筒（４）によって支えら
れた糸の層（２）とから成る糸鋸引き装置において、糸
案内円筒（４）が固定中心部分の周囲を回転する回転ス
リーブ（７）で構成されることを特徴とする糸鋸引き装
置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の糸鋸引き装置におい
て、固定中心部分が回転スリーブ（７）を貫通し、両側
でフレーム（１４）に剛的に維持されている固定軸
（５）によって構成されていることを特徴とする糸鋸引
き装置。 - 【請求項３】 請求項１に記載の糸鋸引き装置におい
て、固定中心部分がフレーム（１４）に剛的に固定さ
れ、それぞれの側で回転スリーブ（７）を支える２本の
側面部分シャフト（５’）によって実現されることを特
徴とする糸鋸引き装置。 - 【請求項４】 請求項１〜３の何れか一つに記載の糸鋸
引き装置において、固定中心部分と回転スリーブ（７）
の間に配置された軸受け装置（８）を備え、これらの軸
受け装置（８）が玉軸受け、ローラー軸受け、針軸受け
および／または油膜または空気膜式の軸受けによって構
成されることを特徴とする糸鋸引き装置。 - 【請求項５】 請求項１〜３の何れか一つに記載の糸鋸
引き装置において、回転スリーブ（７）が膨張率の小さ
い材料で実現されていることを特徴とする糸鋸引き装
置。 - 【請求項６】 請求項１〜５の何れか一つに記載の糸鋸
引き装置において、回転スリーブ（７）がその温度制御
のための流体循環を有することを特徴とする糸鋸引き装
置。 - 【請求項７】 請求項１〜６の何れか一つに記載の糸鋸
引き装置において、回転スリーブ（７）が保護被覆
（９）を備えていることを特徴とする糸鋸引き装置。 - 【請求項８】 請求項７に記載の糸鋸引き装置におい
て、保護被覆（９）がポリウレタンであることを特徴と
する糸鋸引き装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH00302/96 | 1996-02-06 | ||
| CH00302/96A CH691037A5 (fr) | 1996-02-06 | 1996-02-06 | Dispositif de sciage par fil. |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09216221A true JPH09216221A (ja) | 1997-08-19 |
Family
ID=4183906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9036924A Pending JPH09216221A (ja) | 1996-02-06 | 1997-02-06 | 糸鋸引き装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5758633A (ja) |
| EP (1) | EP0788858B1 (ja) |
| JP (1) | JPH09216221A (ja) |
| CH (1) | CH691037A5 (ja) |
| DE (1) | DE69715061T2 (ja) |
Families Citing this family (13)
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