JPH09219342A - 真空コンデンサ - Google Patents
真空コンデンサInfo
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- JPH09219342A JPH09219342A JP8022914A JP2291496A JPH09219342A JP H09219342 A JPH09219342 A JP H09219342A JP 8022914 A JP8022914 A JP 8022914A JP 2291496 A JP2291496 A JP 2291496A JP H09219342 A JPH09219342 A JP H09219342A
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Landscapes
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 真空コンデンサの静電容量値を調整する際に
調整ナットを回転しても、該調整ナットに横方向の力が
加えられることがなく、調整ナットの回転軸と可動リー
ドボルトの軸の「ずれ」と回転トルクの上昇を防止し、
部品の寿命低下がない真空コンデンサを提供することを
目的とする。 【解決手段】 固定電極１５と可動電極１６両電極取付
導体１３と１８の一方にガイドピン１、他方にガイド部
５を設けて電極板の傾きのない移動を可能とし、静電容
量を調整する調整部をベローズ１９内に設けて全長の長
さを短縮し、可動リードボルト３２と調整ナット３３の
螺合部に最大静電容量調節部を設けるとともに、調整ナ
ット３３とねじ受け部３１との間に、ニードルベアリン
グ４５を嵌合した状態に配備してある。
調整ナットを回転しても、該調整ナットに横方向の力が
加えられることがなく、調整ナットの回転軸と可動リー
ドボルトの軸の「ずれ」と回転トルクの上昇を防止し、
部品の寿命低下がない真空コンデンサを提供することを
目的とする。 【解決手段】 固定電極１５と可動電極１６両電極取付
導体１３と１８の一方にガイドピン１、他方にガイド部
５を設けて電極板の傾きのない移動を可能とし、静電容
量を調整する調整部をベローズ１９内に設けて全長の長
さを短縮し、可動リードボルト３２と調整ナット３３の
螺合部に最大静電容量調節部を設けるとともに、調整ナ
ット３３とねじ受け部３１との間に、ニードルベアリン
グ４５を嵌合した状態に配備してある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は大電力送信機の発振
回路とか半導体製造装置用の高周波電源、あるいは誘導
加熱装置のタンク回路等に用いられる真空コンデンサに
関する。
回路とか半導体製造装置用の高周波電源、あるいは誘導
加熱装置のタンク回路等に用いられる真空コンデンサに
関する。
【０００２】
【従来の技術】上記真空コンデンサの一例として、本出
願人は先に特願平６−２３３９１２号により図４に示す
可変形真空コンデンサを提案した。この真空コンデンサ
の基本構成を説明すると、セラミック等の絶縁円筒１２
の両端側に銅製の円筒管１１ａ，１１ｂを接合して円筒
部を形成し、この円筒部を固定側端板兼固定電極取付導
体１３（以下、固定電極取付導体と略称）と可動側端板
１４により閉塞してコンデンサ部を収容する真空容器１
０を形成する。
願人は先に特願平６−２３３９１２号により図４に示す
可変形真空コンデンサを提案した。この真空コンデンサ
の基本構成を説明すると、セラミック等の絶縁円筒１２
の両端側に銅製の円筒管１１ａ，１１ｂを接合して円筒
部を形成し、この円筒部を固定側端板兼固定電極取付導
体１３（以下、固定電極取付導体と略称）と可動側端板
１４により閉塞してコンデンサ部を収容する真空容器１
０を形成する。
【０００３】この固定電極取付導体１３の内側には、径
（半径）の異なる複数の円筒状電極板Ｆ1，Ｆ2・・・・Ｆn
を同心円状に一定間隔をもって取り付けて固定電極１５
を形成しており、この固定電極１５の各電極板間の間隙
内に、非接触状態で挿出入できるように内径の異なる複
数の円筒状電極板Ｍ1，Ｍ2・・・・Ｍnを可動電極取付導体
１８に設けて可動電極１６を形成している。
（半径）の異なる複数の円筒状電極板Ｆ1，Ｆ2・・・・Ｆn
を同心円状に一定間隔をもって取り付けて固定電極１５
を形成しており、この固定電極１５の各電極板間の間隙
内に、非接触状態で挿出入できるように内径の異なる複
数の円筒状電極板Ｍ1，Ｍ2・・・・Ｍnを可動電極取付導体
１８に設けて可動電極１６を形成している。
【０００４】上記固定電極１５と可動電極１６とを電気
的に絶縁するために、真空容器１０の円筒部はセラミッ
ク等による絶縁円筒で形成されている。又、固定側電極
取付導体１３の内側で円筒状電極板Ｆ1〜Ｆnの同心部
に、円筒状電極板の軸線に沿ってガイドピン１を設ける
とともに、可動電極取付導体１８側にこのガイドピン１
を挿入するガイドピン挿入孔を有するガイド部５を可動
リード２と一体に設けて案内部を形成し、このガイド部
５内にガイドピン１を摺動自在に挿入して可動電極１６
をガイドピン１で案内して移動可能とし、固定側の円筒
状電極板と一定間隔を保ちながら可動側の円筒状電極板
を移動させて可動リード２の傾きに起因する耐電圧、静
電容量の不安定さをなくしている。
的に絶縁するために、真空容器１０の円筒部はセラミッ
ク等による絶縁円筒で形成されている。又、固定側電極
取付導体１３の内側で円筒状電極板Ｆ1〜Ｆnの同心部
に、円筒状電極板の軸線に沿ってガイドピン１を設ける
とともに、可動電極取付導体１８側にこのガイドピン１
を挿入するガイドピン挿入孔を有するガイド部５を可動
リード２と一体に設けて案内部を形成し、このガイド部
５内にガイドピン１を摺動自在に挿入して可動電極１６
をガイドピン１で案内して移動可能とし、固定側の円筒
状電極板と一定間隔を保ちながら可動側の円筒状電極板
を移動させて可動リード２の傾きに起因する耐電圧、静
電容量の不安定さをなくしている。
【０００５】上記ガイド部５は可動リード２と一体に形
成するか、可動電極取付導体１８と一体又は別個に設け
てもよい。又、ガイドピン１を可動電極取付導体１８側
に設け、ガイド部５を固定側端板１３側に設けてもよ
い。
成するか、可動電極取付導体１８と一体又は別個に設け
てもよい。又、ガイドピン１を可動電極取付導体１８側
に設け、ガイド部５を固定側端板１３側に設けてもよ
い。
【０００６】上記固定電極１５と可動電極１６とは電気
的に絶縁する必要があるため、ガイドピン１とガイド部
５とは電気的に絶縁されなければならないが、この絶縁
手段としてはガイドピン１およびガイド部５のいずれか
一方を絶縁材料で構成すればよい。又、摺動性の円滑を
保つためにガイドピン１をセラミック、特にアルミナに
よるセラミックで形成し、ガイド部５をリン青銅で形成
すると好適であり、更にガイドピン１を金属性にし、そ
の表面に滑性の優れたナイロン樹脂をコーティングする
手段も有効である。
的に絶縁する必要があるため、ガイドピン１とガイド部
５とは電気的に絶縁されなければならないが、この絶縁
手段としてはガイドピン１およびガイド部５のいずれか
一方を絶縁材料で構成すればよい。又、摺動性の円滑を
保つためにガイドピン１をセラミック、特にアルミナに
よるセラミックで形成し、ガイド部５をリン青銅で形成
すると好適であり、更にガイドピン１を金属性にし、そ
の表面に滑性の優れたナイロン樹脂をコーティングする
手段も有効である。
【０００７】３１はねじ受部であり、該ねじ受部３１は
可動側端板１４の内側に立設され、内端部に鍔部３１ａ
が設けてある。３２は外周にねじが螺設された可動リー
ドボルトであって、一端側は可動リード２を短くしたそ
の先端部の接続部３７に取付けられ、他端側は軸線に沿
って前記鍔部３１ａ内の空隙を遊貫してねじ受部３１内
に突き出されている。３３は調整ナットであり、その一
端側はねじ受部３１内に突出した可動リードボルト３２
の端部に螺合し、ベアリング等の軸受３４を介して鍔部
３１ａの内底に回転自在に取付けられている。
可動側端板１４の内側に立設され、内端部に鍔部３１ａ
が設けてある。３２は外周にねじが螺設された可動リー
ドボルトであって、一端側は可動リード２を短くしたそ
の先端部の接続部３７に取付けられ、他端側は軸線に沿
って前記鍔部３１ａ内の空隙を遊貫してねじ受部３１内
に突き出されている。３３は調整ナットであり、その一
端側はねじ受部３１内に突出した可動リードボルト３２
の端部に螺合し、ベアリング等の軸受３４を介して鍔部
３１ａの内底に回転自在に取付けられている。
【０００８】１９はベローズであり、一端が可動側端板
１４にロー付けされ、他端側は可動リード２又は可動導
体１８にロー付けされている。このベローズ１９は可動
リード２の摺動部と可動側端板１４の貫通部を覆ってお
り、真空漏れを防止しながら可動リード２の上下動がで
きるようにしている。
１４にロー付けされ、他端側は可動リード２又は可動導
体１８にロー付けされている。このベローズ１９は可動
リード２の摺動部と可動側端板１４の貫通部を覆ってお
り、真空漏れを防止しながら可動リード２の上下動がで
きるようにしている。
【０００９】３５は最大静電容量調節部であって、該最
大静電容量調節部３５は調整ナット３３の内側にあって
前記可動リードボルト３２の先端に設けたねじ穴に螺入
する調節ねじ３６と、調節ねじ３６が挿入されるように
調整ナット３３の内側に形成された大径部３３ａ及び段
部３３ｂとから形成されている。
大静電容量調節部３５は調整ナット３３の内側にあって
前記可動リードボルト３２の先端に設けたねじ穴に螺入
する調節ねじ３６と、調節ねじ３６が挿入されるように
調整ナット３３の内側に形成された大径部３３ａ及び段
部３３ｂとから形成されている。
【００１０】４０は駆動モータであり、上記調整ナット
３３と駆動モータ４０の出力シャフト４０ａに固定され
たスプロケット４１との間に回転力を伝達するベルト４
２が取付けられている。
３３と駆動モータ４０の出力シャフト４０ａに固定され
たスプロケット４１との間に回転力を伝達するベルト４
２が取付けられている。
【００１１】このような真空コンデンサによれば、最大
静電容量値を調節する場合には先ず調節ねじ３６を可動
リードボルト３２の先端に螺入して固定する前に調整ナ
ット３３を若干右に回し（右ねじの場合）、ガイドピン
１の先端１ａと可動リードボルト３２の接続部３７の終
端面とが突き当たる最大静電容量の位置より若干可動リ
ード２を下方に移動させ、定義した最大静電容量値に調
節する。この若干の調節量は真空コンデンサの静電容量
のばらつきの程度で決まる。
静電容量値を調節する場合には先ず調節ねじ３６を可動
リードボルト３２の先端に螺入して固定する前に調整ナ
ット３３を若干右に回し（右ねじの場合）、ガイドピン
１の先端１ａと可動リードボルト３２の接続部３７の終
端面とが突き当たる最大静電容量の位置より若干可動リ
ード２を下方に移動させ、定義した最大静電容量値に調
節する。この若干の調節量は真空コンデンサの静電容量
のばらつきの程度で決まる。
【００１２】この状態で調節ねじ３６をその頭部の当接
面が段部３３ｂに当接するまで螺入し、当接したところ
で調節ねじ３６を可動リードボルト３２に接着剤等で固
定し、可動リードボルト３２の上昇位置を規制する（調
整ナット３３とは接着しない）。このように可動リード
ボルト３２の上昇位置を規制することにより、製作され
た真空コンデンサの最大静電容量値にばらつきがあって
も、各真空コンデンサごとに最大静電容量値が調節で
き、定義された最大静電容量値に合致した品質の真空コ
ンデンサが得られる。
面が段部３３ｂに当接するまで螺入し、当接したところ
で調節ねじ３６を可動リードボルト３２に接着剤等で固
定し、可動リードボルト３２の上昇位置を規制する（調
整ナット３３とは接着しない）。このように可動リード
ボルト３２の上昇位置を規制することにより、製作され
た真空コンデンサの最大静電容量値にばらつきがあって
も、各真空コンデンサごとに最大静電容量値が調節で
き、定義された最大静電容量値に合致した品質の真空コ
ンデンサが得られる。
【００１３】真空コンデンサの静電容量値の調整は、駆
動モータ４０の作用によって調整ナット３３を左右に回
転することにより、例えば右回転では可動リードボルト
３２が下方に移動し、左回転では上方に移動して可動電
極１６が上下動を行い、固定電極１５との対向総面積を
可変して静電容量を任意に調整することができる。この
最大静電容量値の位置よりも調整ナット３３を左に回そ
うとしても調節ねじ３６が段部３３ｂに当たってそれ以
上左に回らないので、調節ねじ３６は調整ナット３３が
可動リードボルトから抜けるのを防止するストッパの機
能をも合わせ持っている。
動モータ４０の作用によって調整ナット３３を左右に回
転することにより、例えば右回転では可動リードボルト
３２が下方に移動し、左回転では上方に移動して可動電
極１６が上下動を行い、固定電極１５との対向総面積を
可変して静電容量を任意に調整することができる。この
最大静電容量値の位置よりも調整ナット３３を左に回そ
うとしても調節ねじ３６が段部３３ｂに当たってそれ以
上左に回らないので、調節ねじ３６は調整ナット３３が
可動リードボルトから抜けるのを防止するストッパの機
能をも合わせ持っている。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】前記したように真空コ
ンデンサの静電容量値を調整する場合には、駆動モータ
４０の回転力を出力シャフト４０ａに固定されたスプロ
ケット４１とベルト４２を介して調整ナット３３に伝達
することにより、可動電極１６が上下動を行って固定電
極１５との対向総面積が可変され、任意に調整すること
ができるが、このような操作時に調整ナット３３には図
示上で横方向、即ち、該調整ナット３３の回転軸に対し
て垂直な方向の力が加えられることになるため、この外
力によって調整ナット３３が横方向に動く「ぶれ」現象
が生じるという難点がある。
ンデンサの静電容量値を調整する場合には、駆動モータ
４０の回転力を出力シャフト４０ａに固定されたスプロ
ケット４１とベルト４２を介して調整ナット３３に伝達
することにより、可動電極１６が上下動を行って固定電
極１５との対向総面積が可変され、任意に調整すること
ができるが、このような操作時に調整ナット３３には図
示上で横方向、即ち、該調整ナット３３の回転軸に対し
て垂直な方向の力が加えられることになるため、この外
力によって調整ナット３３が横方向に動く「ぶれ」現象
が生じるという難点がある。
【００１５】即ち、調整ナット３３と可動リードボルト
３２とのねじ部には多少のガタがあるため、調整ナット
３３が横方向に動くと該調整ナット３３の回転軸と可動
リードボルト３２の軸がずれることがあり、このような
状態で調整ナット３３を更に回転させると、ねじ部の摩
擦が増加して調整ナット３３の回転に要するトルクが上
昇したり、ねじ部の「かじり」等が発生して部品の寿命
が低下してしまうことになりやすい。
３２とのねじ部には多少のガタがあるため、調整ナット
３３が横方向に動くと該調整ナット３３の回転軸と可動
リードボルト３２の軸がずれることがあり、このような
状態で調整ナット３３を更に回転させると、ねじ部の摩
擦が増加して調整ナット３３の回転に要するトルクが上
昇したり、ねじ部の「かじり」等が発生して部品の寿命
が低下してしまうことになりやすい。
【００１６】又、このような横方向力が比較的大きな場
合には、調整ナット３３を動かすだけでなく該調整ナッ
ト３３から可動リードボルト３２を経て可動リード２に
も横方向力が加わるが、するとガイド部５とガイドピン
１間の摩擦が増加し、これによっても調整ナット３３の
回転に要するトルクが上昇することがある。更にガイド
部５とガイドピン１には多少の公差があるため、ガイド
部５は力を受けた方向に公差の距離だけ移動するが、そ
れに伴って可動側の円筒状電極板Ｍ1，Ｍ2，・・・・Ｍｎも
同じ方向に移動して固定側の円筒状電極板Ｆ1，Ｆ2・・・・
Ｆnとの距離が短くなり、耐電圧が低下するという問題
も生じる。
合には、調整ナット３３を動かすだけでなく該調整ナッ
ト３３から可動リードボルト３２を経て可動リード２に
も横方向力が加わるが、するとガイド部５とガイドピン
１間の摩擦が増加し、これによっても調整ナット３３の
回転に要するトルクが上昇することがある。更にガイド
部５とガイドピン１には多少の公差があるため、ガイド
部５は力を受けた方向に公差の距離だけ移動するが、そ
れに伴って可動側の円筒状電極板Ｍ1，Ｍ2，・・・・Ｍｎも
同じ方向に移動して固定側の円筒状電極板Ｆ1，Ｆ2・・・・
Ｆnとの距離が短くなり、耐電圧が低下するという問題
も生じる。
【００１７】本発明は以上の点に鑑みてなされたもので
あって、真空コンデンサの静電容量値を調整する際に調
整ナットを回転しても該調整ナットに横方向の力が加え
られることがなく、これにより調整ナットの回転軸と可
動リードボルトの軸の「ずれ」を防止するとともに、ね
じ部の摩擦増加に起因する調整ナットの回転トルクの上
昇を防止し、合わせてねじ部の「かじり」による部品の
寿命低下がない真空コンデンサを提供することを目的と
するものである。
あって、真空コンデンサの静電容量値を調整する際に調
整ナットを回転しても該調整ナットに横方向の力が加え
られることがなく、これにより調整ナットの回転軸と可
動リードボルトの軸の「ずれ」を防止するとともに、ね
じ部の摩擦増加に起因する調整ナットの回転トルクの上
昇を防止し、合わせてねじ部の「かじり」による部品の
寿命低下がない真空コンデンサを提供することを目的と
するものである。
【００１８】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するために、円筒部の一端側に固定側端板を有し、他
端側に可動側端板を有する真空容器と、該真空容器内に
あって同心円状で径の異なる複数の円筒状電極板を固定
電極取付導体に取り付けて形成した固定電極と、この固
定電極の各円筒状電極板間に非接触状態で挿出入できる
ように径の異なる複数の円筒状電極板を可動電極取付導
体に取り付けて形成した可動電極と、該可動電極を前記
真空容器の可動側端板の外部から円筒状電極板の軸線方
向に移動させる可動リードと、該可動リードの外周側で
前記可動側端板の内側に設けられ、真空状態を保持した
状態で可動リードの移動を可能とするベローズと、前記
固定電極取付導体と可動電極取付導体の相対向する面の
中心部に夫々設けられたガイドピン及びこのガイドピン
を電気的に絶縁して摺動自在に挿入するガイド部と、前
記可動リードの先端部に軸線方向に取付けられた可動リ
ードボルトと、前記可動側端板の内側でベローズ内に突
出したねじ受部、及び該ねじ受け部と軸受を介して支持
され、前記可動リードボルトに螺合する調整ナットとを
備え、該調整ナットの回転操作によりコンデンサの静電
容量を調整するようにした真空コンデンサにおいて、上
記調整ナットとねじ受け部との間に、ニードルベアリン
グを嵌合した状態に配備した真空コンデンサの構成を提
供する。
成するために、円筒部の一端側に固定側端板を有し、他
端側に可動側端板を有する真空容器と、該真空容器内に
あって同心円状で径の異なる複数の円筒状電極板を固定
電極取付導体に取り付けて形成した固定電極と、この固
定電極の各円筒状電極板間に非接触状態で挿出入できる
ように径の異なる複数の円筒状電極板を可動電極取付導
体に取り付けて形成した可動電極と、該可動電極を前記
真空容器の可動側端板の外部から円筒状電極板の軸線方
向に移動させる可動リードと、該可動リードの外周側で
前記可動側端板の内側に設けられ、真空状態を保持した
状態で可動リードの移動を可能とするベローズと、前記
固定電極取付導体と可動電極取付導体の相対向する面の
中心部に夫々設けられたガイドピン及びこのガイドピン
を電気的に絶縁して摺動自在に挿入するガイド部と、前
記可動リードの先端部に軸線方向に取付けられた可動リ
ードボルトと、前記可動側端板の内側でベローズ内に突
出したねじ受部、及び該ねじ受け部と軸受を介して支持
され、前記可動リードボルトに螺合する調整ナットとを
備え、該調整ナットの回転操作によりコンデンサの静電
容量を調整するようにした真空コンデンサにおいて、上
記調整ナットとねじ受け部との間に、ニードルベアリン
グを嵌合した状態に配備した真空コンデンサの構成を提
供する。
【００１９】更に請求項２により、前記可動側端板の下
面にニードルベアリング取付ブラケットを固着して、こ
のニードルベアリング取付ブラケットの内周側フランジ
部と前記調整ナットとの間にニードルベアリングを嵌合
した状態に配備した構成にしてあり、請求項３により、
前記可動側端板の下面に外部導体を固着して、この外部
導体の内周側フランジ部と前記調整ナットとの間にニー
ドルベアリングを嵌合した状態に配備した構成にしてあ
る。
面にニードルベアリング取付ブラケットを固着して、こ
のニードルベアリング取付ブラケットの内周側フランジ
部と前記調整ナットとの間にニードルベアリングを嵌合
した状態に配備した構成にしてあり、請求項３により、
前記可動側端板の下面に外部導体を固着して、この外部
導体の内周側フランジ部と前記調整ナットとの間にニー
ドルベアリングを嵌合した状態に配備した構成にしてあ
る。
【００２０】かかる真空コンデンサによれば、調整ナッ
トとねじ受け部との間に嵌合した状態に配備したニード
ルベアリングが調整ナットに加えられる横方向の力を受
け止め、外力に起因する調整ナットの「ぶれ」現象を防
止し、且つ調整ナットの回転軸と可動リードボルトの軸
は一致したまま保持されるので、ねじ部の摩擦増加に伴
う調整ナットの回転トルクの上昇はなく、ねじ部の「か
じり」に伴う部品の寿命低下とか、ガイド部とガイドピ
ン間に存在する公差に起因する耐電圧の低下現象は防止
される。
トとねじ受け部との間に嵌合した状態に配備したニード
ルベアリングが調整ナットに加えられる横方向の力を受
け止め、外力に起因する調整ナットの「ぶれ」現象を防
止し、且つ調整ナットの回転軸と可動リードボルトの軸
は一致したまま保持されるので、ねじ部の摩擦増加に伴
う調整ナットの回転トルクの上昇はなく、ねじ部の「か
じり」に伴う部品の寿命低下とか、ガイド部とガイドピ
ン間に存在する公差に起因する耐電圧の低下現象は防止
される。
【００２１】請求項２記載の構成によれば、可動側端板
の下面にニードルベアリング取付ブラケットを固着した
ことにより、設計上の自由度が広げられ、請求項３記載
の構成によれば可動側端板の下面に直接外部導体を固着
したことにより、構成が簡易化される作用が得られる。
の下面にニードルベアリング取付ブラケットを固着した
ことにより、設計上の自由度が広げられ、請求項３記載
の構成によれば可動側端板の下面に直接外部導体を固着
したことにより、構成が簡易化される作用が得られる。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下本発明の各種実施例を図面に
基づいて説明する。図１は本発明の第１実施例を示す構
成図であって、図示例では縦断正面図として示してい
る。尚、前記図４と同一構成部分には同一の符号を付し
て表示してある。
基づいて説明する。図１は本発明の第１実施例を示す構
成図であって、図示例では縦断正面図として示してい
る。尚、前記図４と同一構成部分には同一の符号を付し
て表示してある。
【００２３】１２はセラミック等の絶縁円筒であり、こ
の絶縁円筒１２の両端側に銅製の円筒管１１ａ，１１ｂ
を接合して円筒部を形成し、この円筒部を固定電極取付
導体１３と可動側端板１４により閉塞してコンデンサ部
を収容する真空容器１０を形成する。固定電極取付導体
１３の内側には、径（半径）の異なる同心円状の複数の
円筒状電極板Ｆ1，Ｆ2・・・・Ｆnを一定間隔をもって取り
付けてあり、固定電極１５を形成する。この固定電極１
５の各電極板間の間隙内に、非接触状態で挿出入できる
ように内径の異なる複数の円筒状電極板Ｍ1，Ｍ2・・・・Ｍ
nを可動電極取付導体１８に設けて可動電極１６を形成
している。
の絶縁円筒１２の両端側に銅製の円筒管１１ａ，１１ｂ
を接合して円筒部を形成し、この円筒部を固定電極取付
導体１３と可動側端板１４により閉塞してコンデンサ部
を収容する真空容器１０を形成する。固定電極取付導体
１３の内側には、径（半径）の異なる同心円状の複数の
円筒状電極板Ｆ1，Ｆ2・・・・Ｆnを一定間隔をもって取り
付けてあり、固定電極１５を形成する。この固定電極１
５の各電極板間の間隙内に、非接触状態で挿出入できる
ように内径の異なる複数の円筒状電極板Ｍ1，Ｍ2・・・・Ｍ
nを可動電極取付導体１８に設けて可動電極１６を形成
している。
【００２４】上記固定側電極取付導体１３の内側で円筒
状電極板Ｆ1〜Ｆnの同心部に、円筒状電極板の軸線に沿
ってガイドピン１を設け、可動電極取付導体１８側にこ
のガイドピン１を挿入するガイドピン挿入孔を有するガ
イド部５を可動リード２と一体に設けて案内部を形成
し、このガイド部５内にガイドピン１を摺動自在に挿入
して可動電極１６をガイドピン１で案内して移動可能と
し、固定側の円筒状電極板と一定間隔を保ちながら可動
側の円筒状電極板を移動させて可動リード２の傾きに起
因する耐電圧、静電容量の不安定さをなくしている。上
記ガイドピン１を可動電極取付導体１８側に設け、且つ
ガイド部５を固定側端板１３側に設けてもよい。
状電極板Ｆ1〜Ｆnの同心部に、円筒状電極板の軸線に沿
ってガイドピン１を設け、可動電極取付導体１８側にこ
のガイドピン１を挿入するガイドピン挿入孔を有するガ
イド部５を可動リード２と一体に設けて案内部を形成
し、このガイド部５内にガイドピン１を摺動自在に挿入
して可動電極１６をガイドピン１で案内して移動可能と
し、固定側の円筒状電極板と一定間隔を保ちながら可動
側の円筒状電極板を移動させて可動リード２の傾きに起
因する耐電圧、静電容量の不安定さをなくしている。上
記ガイドピン１を可動電極取付導体１８側に設け、且つ
ガイド部５を固定側端板１３側に設けてもよい。
【００２５】３１はねじ受部であり、該ねじ受部３１は
可動側端板１４の内側に立設され、内端部に鍔部３１ａ
が設けてある。３２は外周にねじが螺設された可動リー
ドボルトであって、一端側は可動リード２を短くしたそ
の先端部の接続部３７に取付けられ、他端側は軸線に沿
って前記鍔部３１ａ内の空隙を遊貫してねじ受部３１内
に突き出されている。３３は調整ナットであり、その一
端側はねじ受部３１内に突出した可動リードボルト３２
の端部に螺合し、ベアリング等の軸受３４を介して鍔部
３１ａの内底に回転自在に取付けられている。
可動側端板１４の内側に立設され、内端部に鍔部３１ａ
が設けてある。３２は外周にねじが螺設された可動リー
ドボルトであって、一端側は可動リード２を短くしたそ
の先端部の接続部３７に取付けられ、他端側は軸線に沿
って前記鍔部３１ａ内の空隙を遊貫してねじ受部３１内
に突き出されている。３３は調整ナットであり、その一
端側はねじ受部３１内に突出した可動リードボルト３２
の端部に螺合し、ベアリング等の軸受３４を介して鍔部
３１ａの内底に回転自在に取付けられている。
【００２６】１９はベローズであり、一端が可動側端板
１４にロー付けされ、他端側は可動リード２又は可動導
体１８にロー付けされている。このベローズ１９は可動
リード２の摺動部と可動側端板１４の貫通部を覆ってお
り、真空漏れを防止しながら可動リード２の上下動がで
きるようにしている。
１４にロー付けされ、他端側は可動リード２又は可動導
体１８にロー付けされている。このベローズ１９は可動
リード２の摺動部と可動側端板１４の貫通部を覆ってお
り、真空漏れを防止しながら可動リード２の上下動がで
きるようにしている。
【００２７】調整ナット３３の内側には、前記可動リー
ドボルト３２の先端に設けたねじ穴に螺入する調節ねじ
３６と、調節ねじ３６が挿入されるように調整ナット３
３の内側に形成された大径部３３ａ及び段部３３ｂが形
成されている。
ドボルト３２の先端に設けたねじ穴に螺入する調節ねじ
３６と、調節ねじ３６が挿入されるように調整ナット３
３の内側に形成された大径部３３ａ及び段部３３ｂが形
成されている。
【００２８】そして本実施例では、上記調整ナット３３
とねじ受け部３１との間にニードルベアリング４５を嵌
合した状態に配備してある。
とねじ受け部３１との間にニードルベアリング４５を嵌
合した状態に配備してある。
【００２９】４０は駆動モータであり、この駆動モータ
４０の出力シャフト４０ａに固定されたスプロケット４
１と前記調整ナット３３との間に回転力を伝達するベル
ト４２が取付けられている。
４０の出力シャフト４０ａに固定されたスプロケット４
１と前記調整ナット３３との間に回転力を伝達するベル
ト４２が取付けられている。
【００３０】このような真空コンデンサによれば、最大
静電容量値を調節する場合には調節ねじ３６を可動リー
ドボルト３２の先端に螺入して固定する前に調整ナット
３３を若干右に回し（右ねじの場合）、ガイドピン１の
先端１ａと可動リードボルト３２の接続部３７の終端面
とが突き当たる最大静電容量の位置より若干可動リード
２を下方に移動させ、定義した最大静電容量値に調節す
る。この若干の調節量は真空コンデンサの静電容量のば
らつきの程度で決まる。
静電容量値を調節する場合には調節ねじ３６を可動リー
ドボルト３２の先端に螺入して固定する前に調整ナット
３３を若干右に回し（右ねじの場合）、ガイドピン１の
先端１ａと可動リードボルト３２の接続部３７の終端面
とが突き当たる最大静電容量の位置より若干可動リード
２を下方に移動させ、定義した最大静電容量値に調節す
る。この若干の調節量は真空コンデンサの静電容量のば
らつきの程度で決まる。
【００３１】この状態で調節ねじ３６をその頭部の当接
面が段部３３ｂに当接するまで螺入し、当接したところ
で調節ねじ３６を可動リードボルト３２に接着剤等で固
定し、可動リードボルト３２の上昇位置を規制する。
面が段部３３ｂに当接するまで螺入し、当接したところ
で調節ねじ３６を可動リードボルト３２に接着剤等で固
定し、可動リードボルト３２の上昇位置を規制する。
【００３２】真空コンデンサの静電容量値の調整は、駆
動モータ４０の回転力を出力シャフト４０ａからベルト
４２を介して調整ナット３３に伝達し、この調整ナット
３３を左右に回転することによって可動リードボルト３
２が上下に移動して可動電極１６が上下動を行い、固定
電極１５との対向総面積が変化して静電容量を任意に調
整することができる。
動モータ４０の回転力を出力シャフト４０ａからベルト
４２を介して調整ナット３３に伝達し、この調整ナット
３３を左右に回転することによって可動リードボルト３
２が上下に移動して可動電極１６が上下動を行い、固定
電極１５との対向総面積が変化して静電容量を任意に調
整することができる。
【００３３】この時に調整ナット３３とねじ受け部３１
との間に嵌合した状態に配備したニードルベアリング４
５が調整ナット３３に加えられる横方向の力を受け止め
て、外力に起因する調整ナット３３の「ぶれ」現象を防
止し、調整ナット３３の回転軸と可動リードボルト３２
の軸を一致したままの状態に保持することができる。従
ってねじ部の摩擦増加に伴う調整ナット３３の回転トル
クの上昇はなく、ねじ部の「かじり」に伴う部品の寿命
低下とか、ガイド部５とガイドピン１間に存在する公差
に起因する耐電圧の低下現象を防止することができる。
との間に嵌合した状態に配備したニードルベアリング４
５が調整ナット３３に加えられる横方向の力を受け止め
て、外力に起因する調整ナット３３の「ぶれ」現象を防
止し、調整ナット３３の回転軸と可動リードボルト３２
の軸を一致したままの状態に保持することができる。従
ってねじ部の摩擦増加に伴う調整ナット３３の回転トル
クの上昇はなく、ねじ部の「かじり」に伴う部品の寿命
低下とか、ガイド部５とガイドピン１間に存在する公差
に起因する耐電圧の低下現象を防止することができる。
【００３４】図２は本発明の第２実施例を示す要部拡大
図であり、この例では可動側端板１４の下面にニードル
ベアリング取付ブラケット４６を固着して、このニード
ルベアリング取付ブラケット４６の内周側フランジ部４
６ａと調整ナット３３との間にニードルベアリング４５
を嵌合した状態に配備してある。４７はニードルベアリ
ング取付ブラケット４６に固着された外部導体である。
この外部導体４７は図示したようにニードルベアリング
取付ブラケット４６に直接固着するか、もしくは可動側
端板１４とニードルベアリング取付ブラケット４６との
間に嵌挿して固着してもよい。
図であり、この例では可動側端板１４の下面にニードル
ベアリング取付ブラケット４６を固着して、このニード
ルベアリング取付ブラケット４６の内周側フランジ部４
６ａと調整ナット３３との間にニードルベアリング４５
を嵌合した状態に配備してある。４７はニードルベアリ
ング取付ブラケット４６に固着された外部導体である。
この外部導体４７は図示したようにニードルベアリング
取付ブラケット４６に直接固着するか、もしくは可動側
端板１４とニードルベアリング取付ブラケット４６との
間に嵌挿して固着してもよい。
【００３５】かかる第２実施例の基本的作用は第１実施
例と同一であるが、第１実施例に比較して可動側端板１
４の下面にニードルベアリング取付ブラケット４６を固
着したことにより、設計上の自由度が広がるという利点
がある。
例と同一であるが、第１実施例に比較して可動側端板１
４の下面にニードルベアリング取付ブラケット４６を固
着したことにより、設計上の自由度が広がるという利点
がある。
【００３６】図３は本発明の第３実施例を示す要部拡大
図であり、この例では可動側端板１４の下面に直接外部
導体４７を固着して、この外部導体４７の内周側フラン
ジ部４７ａと調整ナット３３との間にニードルベアリン
グ４５を嵌合した状態に配備してある。
図であり、この例では可動側端板１４の下面に直接外部
導体４７を固着して、この外部導体４７の内周側フラン
ジ部４７ａと調整ナット３３との間にニードルベアリン
グ４５を嵌合した状態に配備してある。
【００３７】かかる第３実施例の基本的作用は第１実施
例と同一であるが、可動側端板１４の下面に直接外部導
体４７を固着したことにより、構成が簡易化される利点
がある。
例と同一であるが、可動側端板１４の下面に直接外部導
体４７を固着したことにより、構成が簡易化される利点
がある。
【００３８】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明にか
かる真空コンデンサは、静電容量値の調整時に駆動モー
タ等の回転力を利用して調整ナットを回転する際に、調
整ナットとねじ受け部との間に嵌合した状態に配備した
ニードルベアリングが調整ナットに加えられる横方向の
力を受け止めて「ぶれ」現象が防止されるので、調整ナ
ットの回転軸と可動リードボルトの軸は一致したまま保
持されてねじ部の摩擦増加に伴う調整ナットの回転トル
クの上昇現象はなくなり、且つねじ部の「かじり」に伴
う部品の寿命低下とか、ガイド部とガイドピン間に存在
する公差に起因する耐電圧の低下現象を防止することが
できる。
かる真空コンデンサは、静電容量値の調整時に駆動モー
タ等の回転力を利用して調整ナットを回転する際に、調
整ナットとねじ受け部との間に嵌合した状態に配備した
ニードルベアリングが調整ナットに加えられる横方向の
力を受け止めて「ぶれ」現象が防止されるので、調整ナ
ットの回転軸と可動リードボルトの軸は一致したまま保
持されてねじ部の摩擦増加に伴う調整ナットの回転トル
クの上昇現象はなくなり、且つねじ部の「かじり」に伴
う部品の寿命低下とか、ガイド部とガイドピン間に存在
する公差に起因する耐電圧の低下現象を防止することが
できる。
【００３９】特に上記横方向力が比較的大きな場合に
は、調整ナットから可動リードボルトを経て可動リード
にも横方向力が加わり、ガイド部とガイドピン間の摩擦
が増加して調整ナットの回転に要するトルクが上昇した
り耐電圧が低下するという懸念があるが、本発明によれ
ば上記の難点を確実に解消する効果が得られる。
は、調整ナットから可動リードボルトを経て可動リード
にも横方向力が加わり、ガイド部とガイドピン間の摩擦
が増加して調整ナットの回転に要するトルクが上昇した
り耐電圧が低下するという懸念があるが、本発明によれ
ば上記の難点を確実に解消する効果が得られる。
【００４０】更に請求項２記載の構成によれば、可動側
端板の下面にニードルベアリング取付ブラケットを固着
したことによって設計上の自由度が広げられ、請求項３
記載の構成によれば可動側端板の下面に直接外部導体を
固着したことにより、構成が簡易化されるという効果が
得られる。
端板の下面にニードルベアリング取付ブラケットを固着
したことによって設計上の自由度が広げられ、請求項３
記載の構成によれば可動側端板の下面に直接外部導体を
固着したことにより、構成が簡易化されるという効果が
得られる。
【００４１】又、製作された真空コンデンサの最大静電
容量値は簡単に調節可能であって、定義する最大静電容
量値に合致することが可能であり、最大静電容量値のば
らつきを無くして均一な最大静電容量値の真空コンデン
サを得ることができる。
容量値は簡単に調節可能であって、定義する最大静電容
量値に合致することが可能であり、最大静電容量値のば
らつきを無くして均一な最大静電容量値の真空コンデン
サを得ることができる。
【図１】本発明の第１実施例を示す構成図。
【図２】本発明の第２実施例の要部拡大図。
【図３】本発明の第３実施例の要部拡大図。
【図４】本発明が適用した真空コンデンサの基本構成
図。
図。
１…ガイドピン ２…可動リード ５…ガイド部 １０…真空容器 １３…固定電極取付導体 １１ａ，１１ｂ…円筒管 １２…絶縁内筒 １４…可動側端板 １５…固定電極 １６…可動電極 １８…可動電極取付導体 １９…ベローズ ３１…ねじ受部 ３２…可動リードボルト ３３…調整ナット ３４…軸受 ３６…調節ねじ ３７…接続部 ４０…駆動モータ ４５…ニードルベアリング ４６…ニードルベアリング取付ブラケット ４７…外部導体 ４６ａ，４７ａ…フランジ部
Claims (3)
- 【請求項１】 円筒部の一端側に固定側端板を有し、他
端側に可動側端板を有する真空容器と、該真空容器内に
あって同心円状で径の異なる複数の円筒状電極板を固定
電極取付導体に取り付けて形成した固定電極と、この固
定電極の各円筒状電極板間に非接触状態で挿出入できる
ように径の異なる複数の円筒状電極板を可動電極取付導
体に取り付けて形成した可動電極と、該可動電極を前記
真空容器の可動側端板の外部から円筒状電極板の軸線方
向に移動させる可動リードと、該可動リードの外周側で
前記可動側端板の内側に設けられ、真空状態を保持した
状態で可動リードの移動を可能とするベローズと、前記
固定電極取付導体と可動電極取付導体の相対向する面の
中心部に夫々設けられたガイドピン及びこのガイドピン
を電気的に絶縁して摺動自在に挿入するガイド部と、前
記可動リードの先端部に軸線方向に取付けられた可動リ
ードボルトと、前記可動側端板の内側でベローズ内に突
出したねじ受部、及び該ねじ受け部と軸受を介して支持
され、前記可動リードボルトに螺合する調整ナットとを
備え、該調整ナットの回転操作によりコンデンサの静電
容量を調整するようにした真空コンデンサにおいて、上
記調整ナットとねじ受け部との間に、ニードルベアリン
グを嵌合した状態に配備したことを特徴とする真空コン
デンサ。 - 【請求項２】 前記可動側端板の下面にニードルベアリ
ング取付ブラケットを固着して、このニードルベアリン
グ取付ブラケットの内周側フランジ部と前記調整ナット
との間にニードルベアリングを嵌合した状態に配備した
ことを特徴とする請求項１記載の真空コンデンサ。 - 【請求項３】 前記可動側端板の下面に外部導体を固着
して、この外部導体の内周側フランジ部と前記調整ナッ
トとの間にニードルベアリングを嵌合した状態に配備し
たことを特徴とする請求項１記載の真空コンデンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02291496A JP3713787B2 (ja) | 1996-02-09 | 1996-02-09 | 真空コンデンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02291496A JP3713787B2 (ja) | 1996-02-09 | 1996-02-09 | 真空コンデンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09219342A true JPH09219342A (ja) | 1997-08-19 |
| JP3713787B2 JP3713787B2 (ja) | 2005-11-09 |
Family
ID=12095919
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02291496A Expired - Fee Related JP3713787B2 (ja) | 1996-02-09 | 1996-02-09 | 真空コンデンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3713787B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6307729B1 (en) | 1998-08-07 | 2001-10-23 | Kabushiki Kaisha Meidensha | Vacuum capacitor |
| KR100406011B1 (ko) * | 2000-03-23 | 2003-11-17 | 가부시키 가이샤 메이덴샤 | 진공 가변 커패시터 장치 |
| JP2008098329A (ja) * | 2006-10-11 | 2008-04-24 | Meidensha Corp | 真空コンデンサ |
| CN108122693A (zh) * | 2018-02-06 | 2018-06-05 | 深圳市诚捷智能装备股份有限公司 | 一种电容器钉针装置 |
| CN115020110A (zh) * | 2022-05-07 | 2022-09-06 | 陕西正泰智能电气有限公司 | 一种电容量可调节的心子单元结构及调节方法 |
| US12382570B2 (en) | 2021-09-09 | 2025-08-05 | Hitachi High-Tech Corporation | Rotating capacitor, circular accelerator, and particle therapy system |
-
1996
- 1996-02-09 JP JP02291496A patent/JP3713787B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6307729B1 (en) | 1998-08-07 | 2001-10-23 | Kabushiki Kaisha Meidensha | Vacuum capacitor |
| KR100406011B1 (ko) * | 2000-03-23 | 2003-11-17 | 가부시키 가이샤 메이덴샤 | 진공 가변 커패시터 장치 |
| JP2008098329A (ja) * | 2006-10-11 | 2008-04-24 | Meidensha Corp | 真空コンデンサ |
| CN108122693A (zh) * | 2018-02-06 | 2018-06-05 | 深圳市诚捷智能装备股份有限公司 | 一种电容器钉针装置 |
| CN108122693B (zh) * | 2018-02-06 | 2024-03-15 | 深圳市诚捷智能装备股份有限公司 | 一种电容器钉针装置 |
| US12382570B2 (en) | 2021-09-09 | 2025-08-05 | Hitachi High-Tech Corporation | Rotating capacitor, circular accelerator, and particle therapy system |
| CN115020110A (zh) * | 2022-05-07 | 2022-09-06 | 陕西正泰智能电气有限公司 | 一种电容量可调节的心子单元结构及调节方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3713787B2 (ja) | 2005-11-09 |
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