JPH0921987A - 液晶パネルの吸着装置 - Google Patents

液晶パネルの吸着装置

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JPH0921987A
JPH0921987A JP16966195A JP16966195A JPH0921987A JP H0921987 A JPH0921987 A JP H0921987A JP 16966195 A JP16966195 A JP 16966195A JP 16966195 A JP16966195 A JP 16966195A JP H0921987 A JPH0921987 A JP H0921987A
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JP
Japan
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liquid crystal
crystal panel
lcd
stage
pneumatic
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JP16966195A
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English (en)
Inventor
Takashi Umemura
孝 梅村
Makoto Ota
誠 太田
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Toshiba Corp
Toshiba FA Systems Engineering Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba FA Systems Engineering Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】液晶機器の品質と設備の稼動率を向上させる。 【構成】LCDステージ2の両側に対して、一対の移動
ブロック5Aと直線駆動機構を設ける。直線駆動機構
は、回転軸とこの回転軸の外周に螺合されたナット部で
構成し、このナット部に対して、移動ブロック5Aを固
定する。移動ブロック5Aの上部には、真空吸着部3A
を設ける。この真空吸着部3Aは、中央のボルト8とこ
のボルト8の外周に遊嵌し下端が移動ブロック5Aに接
合されたOリング状の軟質パッキンで構成する。直線駆
動機構の回転軸を右方向又は左方向に駆動して、一対の
移動ブロック5A間隔を液晶パネル1Aの外形に対応さ
せることで、液晶パネル1Aを安定した状態で保持す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルの吸着
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】液晶ディスプレイ(以下、LCD(Liqu
id Crystal Display)と表わす)を製造する工程では、
ACF貼付装置によって液晶パネルに異方性導電膜(以
下、ACF(Amisotropic Conductive Film )テープと
いう)を貼り付け、このACFテープが貼り付けられた
液晶パネルに対して、TCP仮圧着装置によって駆動用
IC(以下、TCP(Tape Carrier Package)という)
を仮圧着し、さらに、この仮圧着されたTCPを本圧着
装置で最終的に本圧着している。
【0003】これらの各工程では、例えば、ACF貼付
装置においては、ACFが液晶パネルの所定の位置に供
給されるために、液晶パネルを保持してX,Y,θ方向
に移動させるための吸着装置が必要となる。
【0004】図5は、このような従来の吸着装置の一例
を示す部分斜視図で、図6は、図5の部分拡大縦断面図
を示す。図5及び図6において、直交座標形の搬送ロボ
ットなどの搬送装置によって、X軸方向及びY軸方向と
θ軸方向に駆動される液晶パネルの吸着装置には、図6
で示す真空吸着部3Dが4箇所設けられ、これらの真空
吸着部3Dによって、二点鎖線で示す液晶パネル1Aは
吸着されている。
【0005】すなわち、LCDステージ2の上面には、
円形の座ぐり部2aが図6に示すように各四隅に形成さ
れ、これらの座ぐり部2aの中央には、円筒状の接続部
2bが固定されている。
【0006】この接続部2bには、上部が逆台形状に開
いた吸着パット14の下部の円筒部が圧入され固定されて
いる。接続部2bの中心部からLCDステージ2の下端
までには、貫通穴が形成され、この貫通穴の下端には、
テーパめねじ2cが形成され、このテーパめねじ2cに
は、空圧継手が螺合されている。この空圧継手には、図
示しない真空ポンプに電磁弁を介して接続された空圧ホ
ースが接続されている。
【0007】このように構成された液晶パネルの吸着装
置においては、図示しない位置決めストッパによって吸
着パット4の上面に載置された液晶パネル1は、図示し
ない空圧ホースに接続された電磁弁の作動によって、吸
着パット14に吸着され、図示しない移動機構で駆動され
て所定の位置の所定の方向に移動される。
【0008】次に、図7は、図5と異る従来の液晶パネ
ルの吸着装置の一例を示す斜視図である。図7は、LC
Dステージ2の上面に載置された液晶パネル1を図示し
ない搬送装置のアーム6で所定の位置に搬送する場合を
示し、アーム6の先端はU字状に形成され、この先端の
左側の爪部6aの先端及び基端と右側の爪部6bの先端
及び基端の上面には、図6で示した真空吸着部3Dが形
成されている。
【0009】このように構成された液晶パネルの吸着装
置において、LCDステージ2の上面で吸着された液晶
パネル1を次工程に搬送する場合には、アーム6に形成
された真空吸着部3Dで液晶パネル1を吸着した後に、
LCDステージ2に接続された空圧ホースによる吸着を
解除し、アーム6を僅かに上方に移動させて、X軸とY
軸の駆動により所定の位置に搬送する。
【0010】次工程の装置に取り付けられた吸着装置で
液晶パネル1が吸着されると、アーム6の先端の真空吸
着部3Dによる吸着を解除し、アーム6を下降させ後退
させて、再び元の位置に復帰する。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このように
構成された液晶パネルの吸着装置においては、液晶パネ
ル1Aの外形が大きくなると、それに対応してLCDス
テージ2の外形も変えないと液晶パネル1Aを安定して
保持することができない。
【0012】そのため、液晶パネルの外形が変るたびに
LCDステージ2を交換しなければならないので、この
液晶パネルの吸着装置の稼動率が低下するだけでなく、
液晶パネルを組み込んだ機器や装置による液晶ディスプ
レイの生産高を上げるうえでの障害となる。
【0013】さらに、吸着パット14で吸着された液晶パ
ネル1Aは、吸着パット14の柔軟性の僅かなばらつきや
真空ポンプの圧力の僅かな変動によって、上下方向の位
置と水平度が僅かに変動するおそれがある。
【0014】すると、この下流工程で行われる、例え
ば、ACFテープの貼付精度が低下するおそれもある。
そこで、本発明の目的は、液晶機器の品質の低下を防
ぎ、設備の稼動率を上げることのできる液晶パネルの吸
着装置を得ることである。
【0015】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明の
液晶パネルの吸着装置は、複数の駆動軸によって駆動さ
れ上面に液晶パネルが載置されるLCDステージと、こ
のLCDステージの両側に設けられた直線駆動機構と、
この直線駆動機構の従動側に設けられ上部に液晶パネル
を吸着する吸着部が突設され互いに逆向に移動する一対
の移動ブロックと、直線駆動機構を駆動する駆動部とを
備えたことを特徴とする。
【0016】また、請求項2に記載の発明の液晶パネル
の吸着装置は、複数の駆動軸によって駆動するアームの
先端に設けられ上面に液晶パネルが載置されるLCDス
テージと、このLCDステージの両側に設けられた移動
ブロックと、この移動ブロックの片側に設けられこの移
動ブロックの片側と係合して移動ブロックを互いに逆向
きに駆動する直線駆動機構とを備えたことを特徴とす
る。
【0017】さらに、請求項3に記載の発明の液晶パネ
ルの吸着装置は、複数の駆動軸によって駆動され上面に
液晶パネルが載置されるLCDステージと、このLCD
ステージの外周に等間隔に配置された空圧回転継手に基
端が固定され先端に液晶パネルを吸着する吸着部が突設
された空圧アームと、LCDステージの外周に設けられ
リンクを介して空圧アームの中間部に連結される駆動環
と、この駆動環を揺動させて空圧アームの先端を揺動さ
せる駆動部を備えたことを特徴とする。
【0018】この結果、請求項1及び請求項2に記載の
発明の液晶パネルの吸着装置においては、小形の液晶パ
ネルに対しては、直線駆動機構を駆動して一対の移動ブ
ロックを内側に移動させ、大形の液晶パネルに対して
は、直線駆動機構を駆動して一対の移動ブロックを外側
に移動させることによって対応する。
【0019】さらに、請求項3に記載の発明の液晶パネ
ルの吸着装置においては、小形の液晶パネルに対して
は、駆動環を片方向に駆動して空圧アームの先端をLC
Dステージに接近させ、大形の液晶パネルに対しては、
駆動環を逆向きに駆動して空圧アームの先端をLCDス
テージから遠ざけることで対応する。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、本発明の液晶パネルの吸着
装置の一実施例を図面を参照して説明する。図1は、本
発明の液晶パネルの吸着装置の第1の実施例を示し、請
求項1に対応する斜視図である。
【0021】図1において、図示しない移動機構で矢印
X,Y,θ方向に駆動されるテーブルに固定されたLC
Dステージ2の左前方と右後方には、一対の移動ブロッ
ク5Aが添設されている。
【0022】このうち、右前方の移動ブロック5Aの下
部には、内周に右ねじが形成された角筒状のナット部が
固定され、左後方の移動ブロック5Aの下部には、内周
に左ねじが形成された角筒状のナット部が固定されてい
る。
【0023】これらのナット部には、中央部の片側に左
ねじが形成され、中央部の右側に右ねじが形成された回
転軸があらかじめ螺合され、これらの回転軸の一端は図
示しない傘歯車を介して図示しない駆動軸に連結されて
いる。
【0024】この駆動軸には、図示しないパルスモータ
が接続され、このパルスモータには、図示しない位置決
め制御装置が接続されている。各移動ブロック5Aの上
面には、詳細を図2の縦断面拡大図で示す真空吸着部3
Aが形成されている。
【0025】すなわち、図2において、移動ブロック5
Aの上面に形成されためねじ穴5aには、頭部の外周が
弧状の凹面に加工されたボルト8の軸部が螺合されてい
る。このボルト8の頭部の外側には、Oリング状で発泡
体の軟質パッキン4が載置され、この軟質パッキン4の
直径は、ボルト8の頭部の厚みと比べて僅かに大きくな
っている。この軟質パッキン4は、接着剤で下面が移動
ブロック5Aに接合されている。
【0026】ボルト8の軸心には、貫通穴9が形成さ
れ、移動ブロック5Aに形成されためねじ穴5aの底部
の中心と移動ブロック5Aの底面との間にも貫通穴が形
成され、この貫通穴の下端は、テーバめねじが形成さ
れ、図示しない空圧継手2cが螺合されている。この空
圧継手2cには、従来の技術で示した図5及び図7のL
CDステージ2と同様に、図示しない電磁弁を介して空
圧ポンプに接続されている。
【0027】このように構成された液晶パネルの吸着装
置においては、4本の移動ブロック5Aに載置された液
晶パネル1Aは、空圧ポンプで吸引されることによっ
て、軟質パッキン4が撓んで、液晶パネル1Aの下面が
4本のボルト8の頭部の上面に接触することで、軟質パ
ッキンの硬度や真空ポンプの圧力の変動の有無の如何に
かかわらず、LCDステージ2と平行且つ一定の間隔に
保持される。
【0028】また、図1の二点鎖線で示す大形の液晶パ
ネル1Bが載置される場合には、移動ブロック5Aの下
部のナットに螺合された回転軸をパルスモータで駆動す
ることによって、左右の移動ブロック5Aを図1の破線
で示すようにX軸方向の両側に移動させる。
【0029】このように構成された液晶パネルの吸着装
置においては、供給される液晶パネルの外形に対応し
て、移動ブロック5Aを左右に移動させることで、任意
の外形の液晶パネルを水平且つ安定して保持することが
できる。
【0030】また、従来の液晶パネルの吸着装置のよう
に、LCDステージを交換するたびに、このLCDステ
ージの図1で示すX軸,Y軸及びθ軸の零調を行う必要
がないので、設備の稼動率を上げることができ、液晶機
器の生産高を上げることもできる。なお、移動ブロック
を駆動する回転軸は、手動でも駆動できるように構成し
てもよい。
【0031】次に、図3は、本発明の液晶パネルの吸着
装置の第2の実施例を示す斜視図で、請求項2に対応す
る図である。図3は、搬送アーム6の先端に構成された
液晶パネルの吸着装置を示し、従来の技術で示した図7
に対応する図である。
【0032】図3において、先端が略T字形に形成され
た搬送アーム6の先端の下部には、図1で説明した回転
軸が図示しない軸受を介して設けられ、この回転軸に
は、角棒状の移動ブロック5Bの基端のナット部に形成
されためねじ部が螺合している。
【0033】これらのナット部も、図1で示した移動ブ
ロック5Aの下部に固定された前述したナットと同様
に、左側の移動ブロック5Bのナット部には左ねじが形
成され、右側の移動ブロック5Bのナット部には、右ね
じが形成されている。
【0034】このように構成された液晶パネルの吸着装
置においては、LCDステージ2の上面に移動ブロック
5Aを介して吸着された大形の液晶パネル1Bを受け取
って次工程に供給する場合には、移動ブロック5Bを外
側に移動させて液晶パネル1Bを吸着することで、液晶
パネル1Bを水平に且つ安定して保持することができ
る。
【0035】次に、図4(a)は、本発明の液晶パネル
の吸着装置の第3の実施例を示す平面図で、請求項3に
対応する図である。図4(a)において、円板状に形成
されたLCDステージ2Aの外周には、詳細省略した空
圧継手7が90°間隔に配置されている。この空圧継手7
の中心に設けられた固定軸の下端には、図示しない真空
ポンプに接続される空圧ホースが接続されている。
【0036】各空圧継手3Cには、弧状に形成された空
圧アーム10の基端が嵌合している。この空圧アーム10の
中心には、貫通穴が形成され、空圧アーム10の縦断面は
長方形の環状となっている。
【0037】空圧アーム10の先端の吸着部3Bの中心に
は、図2で示したボルト8が螺合され、このボルト8の
外周には、図2と同様に軟質パッキン4が載置され、接
着剤で空圧アーム10の先端の上面に接合されている。ボ
ルト8の軸心に形成された貫通穴の下端は、空圧アーム
10の基端の空圧継手7に連通している。
【0038】各空圧アーム10の中心部の下面には、ピン
11が垂設されている。これらのピン11には、図4(a)
の作用を示す図4(b)において一定鎖線で示す短冊状
のリンク12の先端が連結され、これらのリンク12の基端
は、LCDステージ2Aの外周下部に設置された図示し
ない環状の駆動リングに連結されている。
【0039】この駆動リングの外周には、図示しないラ
ック歯が形成され、このラック歯には、小形のピニオン
歯車が噛み合い、このピニオン歯車の軸には、パルスモ
ータが連結されている。
【0040】このように構成された液晶パネルの吸着装
置において、図4(a)の二点鎖線で示した小形の液晶
パネル1Aを吸着する場合には、各空圧アーム10の基端
の空圧継手7に接続された空圧ホースを介して接続され
た真空ポンプによって、各空圧アーム10の先端の吸着部
3Bで吸着する。
【0041】また、大形の液晶パネル1Bを吸着する場
合には、前述したパルスモータを駆動し、駆動リングを
図4(a)において反時計方向に所定の角度揺動させる
ことで、図4(b)で示したリンク12を介して各空圧ア
ーム10を空圧継手7を軸に反時計方向に揺動させて、図
4(b)に示す状態とする。
【0042】このように構成された液晶パネルの吸着装
置においては、液晶パネルの外形に対応して、パルスモ
ータを駆動することで、任意の外形の液晶パネルに対応
することができる。
【0043】また、各空圧アーム10は、LCDステージ
2Aの中心に対して対称的に等角度で揺動するので、液
晶パネルの形状が正方形の場合に適する利点がある。さ
らに、空圧アーム10の長さを変えることで、更に大形の
液晶パネルに対応することができる。
【0044】
【発明の効果】以上、請求項1に記載の発明によれば、
複数の駆動軸によって駆動され上面に液晶パネルが載置
されるLCDステージと、このLCDステージの両側に
設けられた直線駆動機構と、この直線駆動機構の従動側
に設けられ上部に液晶パネルを吸着する吸着部が突設さ
れ互いに逆向に移動する一対の移動ブロックと、直線駆
動機構を駆動する駆動部とを備えることで、小形の液晶
パネルに対しては、直線駆動機構を駆動して一対の移動
ブロックを内側に移動させ、大形の液晶パネルに対して
は、直線駆動機構を駆動して一対の移動ブロックを外側
に移動させることによって対応可能としたので、液晶機
器の品質の低下を防ぎ、設備の稼動率を上げることので
きる液晶パネルの吸着装置を得ることができる。
【0045】また、請求項2に記載の発明によれば、複
数の駆動軸によって駆動するアームの先端に設けられ上
面に液晶パネルが載置されるLCDステージと、このL
CDステージの両側に設けられた移動ブロックと、この
移動ブロックの片側に設けられこの移動ブロックの片側
と係合して移動ブロックを互いに逆向きに駆動する直線
駆動機構とを備えることで、小形の液晶パネルに対して
は、直線駆動機構を駆動して一対の移動ブロックを内側
に移動させ、大形の液晶パネルに対しては、直線駆動機
構を駆動して一対の移動ブロックを外側に移動させるこ
とによって対応可能としたので、液晶機器の品質の低下
を防ぎ、設備の稼動率を上げることのできる液晶パネル
の吸着装置を得ることができる。
【0046】さらに、請求項3に記載の発明によれば、
複数の駆動軸によって駆動され上面に液晶パネルが載置
されるLCDステージと、このLCDステージの外周に
等間隔に配置された空圧回転継手に基端が固定され先端
に液晶パネルを吸着する吸着部が突設された空圧アーム
と、LCDステージの外周に設けられリンクを介して空
圧アームの中間部に連結される駆動環と、この駆動環を
揺動させて空圧アームの先端を揺動させる駆動部を備え
ることで、小形の液晶パネルに対しては、駆動環を片方
向に駆動して空圧アームの先端をLCDステージに接近
させ、大形の液晶パネルに対しては、駆動環を逆向きに
駆動して空圧アームの先端をLCDステージから遠ざけ
ることで対応可能としたので、液晶機器の品質の低下を
防ぎ、設備の稼動率を上げることのできる液晶パネルの
吸着装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の液晶パネルの吸着装置の第1の実施例
を示す部分斜視図。
【図2】図1の部分拡大縦断面図。
【図3】本発明の液晶パネルの吸着装置の第2の実施例
を示す部分斜視図。
【図4】(a)は、本発明の液晶パネルの吸着装置の第
3の実施例を示す部分平面図。(b)は、本発明の液晶
パネルの吸着装置の第3の実施例の作用を示す部分平面
図。
【図5】従来の液晶パネルの吸着装置の一例を示す部分
斜視図。
【図6】図5の部分拡大縦断面図。
【図7】従来の液晶パネルの吸着装置の図5と異る一例
を示す部分斜視図。
【符号の説明】
1A,1B…液晶パネル、2,2A…LCDステージ、
3A,3B…真空吸着部、4…軟質パッキン、5A,5
B…移動ブロック、6…搬送アーム、7…空圧継手、8
…ボルト、9…貫通穴、10…空圧アーム、11…ピン、12
…リンク。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 誠 東京都府中市東芝町1番地 株式会社東芝 府中工場内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の駆動軸によって駆動され上面に液
    晶パネルが載置されるLCDステージと、このLCDス
    テージの両側に設けられた直線駆動機構と、この直線駆
    動機構の従動側に設けられ上部に前記液晶パネルを吸着
    する吸着部が突設され互いに逆向に移動する一対の移動
    ブロックと、前記直線駆動機構を駆動する駆動部とを備
    えた液晶パネルの吸着装置。
  2. 【請求項2】 複数の駆動軸によって駆動されるアーム
    の先端に設けられ上面に液晶パネルが載置されるLCD
    ステージと、このLCDステージの両側に設けられた移
    動ブロックと、この移動ブロックの片側に設けられこの
    移動ブロックの片側と係合して前記移動ブロックを互い
    に逆向きに駆動する直線駆動機構とを備えた液晶パネル
    の吸着装置。
  3. 【請求項3】 複数の駆動軸によって駆動され上面に液
    晶パネルが載置されるLCDステージと、このLCDス
    テージの外周に等間隔に配置された空圧回転継手に基端
    が固定され先端に前記液晶パネルを吸着する吸着部が突
    設された空圧アームと、前記LCDステージの外周に設
    けられリンクを介して前記空圧アームの中間部に連結さ
    れる駆動環と、この駆動環を揺動させて前記空圧アーム
    の先端を揺動させる駆動部を備えた液晶パネルの吸着装
    置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003077991A (ja) * 2001-09-03 2003-03-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd 板状部品保持装置及び板状部品保持方法
JP2007019433A (ja) * 2005-07-11 2007-01-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd パネル保持台、パネル組立装置およびパネル組立方法
JP2007027653A (ja) * 2005-07-21 2007-02-01 Nikon Corp 基板ホルダおよび露光装置
CN100407364C (zh) * 2003-12-24 2008-07-30 乐金显示有限公司 硅结晶设备及硅结晶方法
JP2010281984A (ja) * 2009-06-04 2010-12-16 Hitachi High-Technologies Corp パネル基板搬送装置および表示パネルモジュール組立装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003077991A (ja) * 2001-09-03 2003-03-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd 板状部品保持装置及び板状部品保持方法
CN100407364C (zh) * 2003-12-24 2008-07-30 乐金显示有限公司 硅结晶设备及硅结晶方法
US7728256B2 (en) 2003-12-24 2010-06-01 Lg Display Co., Ltd. Silicon crystallization apparatus and silicon crystallization method thereof
US8409940B2 (en) 2003-12-24 2013-04-02 Lg Display Co., Ltd. Silicon crystallization apparatus and silicon crystallization method thereof
JP2007019433A (ja) * 2005-07-11 2007-01-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd パネル保持台、パネル組立装置およびパネル組立方法
JP2007027653A (ja) * 2005-07-21 2007-02-01 Nikon Corp 基板ホルダおよび露光装置
JP2010281984A (ja) * 2009-06-04 2010-12-16 Hitachi High-Technologies Corp パネル基板搬送装置および表示パネルモジュール組立装置

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