JPH09232794A - 装着ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 １個のヘッド本体に複数のノズル取付部を備
えながらも、空気圧回路の構成を簡単に済ませる。 【解決手段】 シャフト３９の中空部３９ａを介して負
圧源に接続されるヘッド本体３６を設ける。中空部３９
ａに連通する分岐空気通路４９につながる第１のノズル
ホルダ３７（Ａ）を設ける。ヘッド本体３６内に、中空
部３９ａに連通孔３６ｃを介して連通する第２の分岐空
気通路５０を設け、これにつながる第２のノズルホルダ
３７（Ｂ）を設ける。各ノズルホルダ３７に、吸着ノズ
ル３８が取付けられているときにのみ開放する弁機構４
７を設ける。各ノズルホルダ３７に、異なる種類の部品
２６を吸着保持するための吸着ノズル３８を選択的に取
付ける。各ノズルホルダ３７を弾性支持する緩衝ばね４
２，４８のばね定数を異ならせる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば部品実装装
置に搭載され、電子部品などの部品を減圧吸着により吸
着保持する吸着ノズルを備える装着ヘッドに関する。

【０００２】

【発明が解決しようとする課題】例えば電子部品を基板
に自動的に装着する部品実装装置においては、例えばＸ
Ｙロボットにより自在に移動される移動ベースに、装着
ヘッドを上下動するように設け、その装着ヘッドによ
り、部品供給部から所定の部品を取得し、その部品を基
板上に搬送して装着（マウント）するようにしたものが
ある。

【０００３】図３は、この種の装着ヘッド１の従来例を
示しており、ヘッド本体２は、移動ベース３に設けられ
た図示しない上下駆動機構により上下動されるシャフト
４の下端部に取付けられている。そして、ヘッド本体２
の下部には、連結管５を介してノズル取付部６が設けら
れ、このノズル取付部６に、部品７を吸着する吸着ノズ
ル８が着脱可能に取付けられている。

【０００４】このとき、前記シャフト４は中空状に構成
され、その中空部４ａの基端側（上端側）が配管（フレ
キシブルチューブ）により切替弁を介して真空ポンプ等
の負圧源（いずれも図示せず）に接続されていると共
に、その中空部４ａの下端部が、ヘッド本体２の空気通
路２ａに連通している。そして、前記連結管５は、前記
空気通路２ａ内に上下支持ガイド９により若干量の上下
動が可能に支持され、緩衝ばね１０により通常時には下
方の所定位置に付勢されている。

【０００５】さらに、前記ノズル取付部６はやはり中空
状に構成され、もって、吸着ノズル８は、連結管５、空
気通路２ａ、シャフト４の中空部４ａを介して負圧源に
接続され、部品７を減圧吸着するようになっているので
ある。尚、部品７の基板１１に対する装着時には、装着
ヘッド１は部品７が基板１１に接した以降も余分に若干
量下降するように構成され、その際に緩衝ばね１０がた
わむことにより、吸着ノズル８による部品７の押付力を
得るようになっている。

【０００６】ところで、この種の部品実装装置において
は、各種の部品を装着するため、図３に示すように、移
動ベース３に複数組の装着ヘッド１（図では２組）を設
けることが行われている。これにより、２つの装着ヘッ
ド１に異なる吸着ノズル８を取付けておくことができ、
部品７の種類（大きさ）の相違等によって、吸着ノズル
８を使い分けることができるようになる。

【０００７】しかしながら、上記構成では、１個の吸着
ノズル８に対して１個の空気圧回路が対応しているた
め、吸着ノズル８の数（ノズル取付部６の数）を増やす
場合には、空気圧回路（シャフト４の中空部４ａから負
圧源までの配管やその途中の切替弁機構等）もその数に
応じて増加させる必要があり、これでは構成が極めて複
雑となると共に、装置の大形化、高重量化を招いてしま
う不具合がある。

【０００８】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、その目的は、複数のノズル取付部を備えながらも、
空気圧回路の構成を簡単に済ませることができる装着ヘ
ッドを提供するにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１の装着
ヘッドは、移動機構により移動されるヘッド本体と、こ
のヘッド本体の下端部に設けられ吸着ノズルが着脱可能
に取付けられる複数のノズル取付部と、負圧源に接続さ
れる主空気通路と、この主空気通路から複数に枝分かれ
して夫々が前記各ノズル取付部につながる分岐空気通路
と、これら各分岐空気通路を開閉する空気通路開閉機構
とを具備するところに特徴を有する。

【００１０】これによれば、ヘッド本体に設けられた複
数のノズル取付部ひいては吸着ノズルに対応した各分岐
空気通路を、通路開閉機構により選択的に開閉すること
ができる。従って、複数のノズル取付部の吸着ノズルを
選択的に使用しながら、部品の装着の作業を行うことが
できる。そして、負圧源に接続されるのは主空気通路の
みで、その主空気通路から複数の分岐空気通路を得るこ
とができるから、分岐空気通路をノズル取付部の数に応
じて設けるだけの簡単な構成で済む。

【００１１】この場合、前記空気通路開閉機構を、ノズ
ル取付部に吸着ノズルが取付けられていない状態では対
応する分岐空気通路を閉塞状態とすると共に、ノズル取
付部に吸着ノズルが取付けられることにより変位して対
応する分岐空気通路を開放するような弁機構から構成す
ることができる（請求項２の装着ヘッド）。これによれ
ば、空気通路開閉機構に特に動力等が必要なくなり、よ
り一層構成の簡単化を図ることができる。

【００１２】また、各ノズル取付部をヘッド本体に対し
て弾性部材によって弾性的に支持させることにより、被
装着物への部品装着時において、その弾性部材の弾性力
に応じた部品押付力を得る構成とすることもでき（請求
項３の装着ヘッド）、さらに、弾性部材の弾性力を、各
ノズル取付部に応じて異なるものとすることができる
（請求項４の装着ヘッド）。これによれば、弾性部材に
よって部品の装着時に所定の押付力を得ることができ、
さらには吸着ノズル毎に異なる押付力を得ることができ
る。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例につい
て、図１及び図２を参照しながら説明する。まず、図２
は部品実装装置の本体２１の構成を概略的に示してい
る。ここで、取付ベース部２２上には、図で左右方向
（Ｘ軸方向）に延びて基板搬送路２３が設けられ、その
中間部には、被装着物たる基板２４を位置決め状態に保
持する基板バックアップ部２５が設けられている。

【００１４】これにて、基板２４は、コンベア機構によ
り基板搬送路２３上を基板バックアップ部２５に搬入さ
れ、部品２６（図１参照）の装着作業終了後、その基板
搬送路２３上を搬出されるようになっている。尚、前記
基板２４には、前段の接着剤塗布装置により、部品２６
を装着すべき位置（部品２６のパッケージの位置）に接
着剤が予め塗布されるようになっている。

【００１５】また、前記基板搬送路２３の近傍（図で前
後両側）には部品供給部２７，２８が設けられている。
この実施例では、基板搬送路２３の手前側の部品供給部
２７は、複数個のテープフィーダ２９を備えてなり、例
えばチップ抵抗、チップコンデンサ等の比較的小形の部
品２６を供給するようになっている。尚、図示はしない
が、部品供給部２７の近傍には部品２６の吸着状態（位
置ずれ量）を認識するためのＣＣＤカメラが設けられて
いる。

【００１６】一方、基板搬送路２３の奥側の部品供給部
２８は、例えばＱＦＰ等の比較的大形の部品２６を収容
したトレイを供給するトレイエレベータ３０を備えて構
成され、また、その部品２６の姿勢やリードの状態等を
検出する認識装置３１や、図示しないデパレロボット等
も設けられている。

【００１７】そして、前記取付ベース２２部の上部に
は、移動機構たるＸＹロボット３２が設けられている。
このＸＹロボット３２は、いわゆる吊りタイプの周知構
成のものであり、下側に設けられた装着ユニット３３
を、装置固有のＸＹ座標系に基づいて、Ｘ軸方向（左右
方向）及びＹ軸方向（前後方向）に自在に移動させるよ
うに構成されている。

【００１８】詳しく図示はしないが、前記装着ユニット
３３は、ＸＹロボット３２により移動される移動ベース
３４（図１参照）に、後述するような装着ヘッド３５を
備えると共に、その装着ヘッド３５を上下方向（Ｚ軸方
向）に自在に移動させる上下駆動機構、装着ヘッド３５
を回転方向（θ軸方向）に自在に移動させるθ軸駆動機
構、基板２４認識用のＣＣＤカメラ、装着位置座標入力
用のビームインジケータ等を備えて構成されている。

【００１９】尚、これも図示及び詳しい説明は省略する
が、部品実装装置には、後述する装着ヘッド３５に接続
される負圧源や切替弁機構が設けられている。また、後
述する吸着ノズルを自動交換するためのオートチェンジ
ャー等も設けられている。そして、この部品実装装置を
構成する各機構を制御するためのマイコン等からなる制
御装置が設けられ、前記各機構は、入力される部品種類
（部品供給位置）や部品装着位置のデータや、予め記憶
された制御プログラム等に従って、基板２４への部品装
着作業を自動的に実行するようになっているのである。

【００２０】さて、本実施例に係る装着ヘッド３５につ
いて、図１を参照しながら述べる。この装着ヘッド３５
は、ヘッド本体３６の下部に、複数個この場合２個のノ
ズル取付部たるノズルホルダ３７，３７を備えて構成さ
れている。各ノズルホルダ３７には、夫々部品２６を吸
着保持するための吸着ノズル３８が着脱可能に取付けら
れるようになっている。尚、以下、２個のノズルホルダ
３７及び吸着ノズル３８を区別する必要があるときに
は、図で左側のものについては「第１の」と称して符号
に（Ａ）を付し、右側のものについては「第２の」と称
して符号に（Ｂ）を付して区別することとする。

【００２１】前記ヘッド本体３６は、その上部の図で左
端側部分にて上下方向に延びるシャフト３９の下端部に
取付けられて前記移動ベース３４に支持されている。こ
のとき、図示はしないが、前記シャフト３９の上端側部
分は、移動ベース３４に対して上下動及び回転移動が可
能に支持され、前記上下駆動機構及びθ軸駆動機構によ
り、Ｚ軸方向及びθ軸方向に自在に移動されるようにな
っている。尚、θ軸方向駆動機構は、シャフト３９の中
心軸を回転軸Ｏとするようになっている。

【００２２】また、このシャフト３９は中空状に構成さ
れており、その中空部３９ａの基端側（上端側）は、図
示しない配管（フレキシブルホース等）を介して真空ポ
ンプ等の負圧源に接続されており、その配管の途中部に
は、中空部３９ａ内の負圧と大気圧とを切替えるための
切替弁装置等が設けられている。この中空部３９ａが、
本発明にいう主空気通路とされているのである。

【００２３】前記ヘッド本体３６には、前記シャフト３
９の中空部３９ａの下端開口部と連続するように下方に
延びヘッド本体３６の下面にて開口する通気孔３６ａが
形成されている。そして、この通気孔３６ａ内には、連
結管４０が下方から挿入されている。この連結管４０
は、上下支持ガイド４１によりヘッド本体３６に対して
若干量の上下動が可能に支持され、その下端部がヘッド
本体３６から下方に突出するように設けられている。ま
た、連結管４０の上端とヘッド本体３６との間には、通
気孔３６ａ内に位置して弾性部材たる緩衝ばね４２が設
けられており、連結管４０は下方に付勢されて通常時に
は図示する下端位置に位置されている。

【００２４】そして、この連結管４０の下端部に、前記
第１のノズルホルダ３７（Ａ）が取付けられる。このノ
ズルホルダ３７は、全体として円筒状に構成され、その
下部に吸着ノズル３８を取付けるための径大な取付凹部
３７ａが設けられ、上部に径小な貫通孔３７ｂが設けら
れている。また、それら取付凹部３７ａと貫通孔３７ｂ
との境界部分には、弁座部３７ｃが設けられている。前
記連結管４０の下端部が、貫通孔３７ｂ内の上半部に上
方から嵌込み固定されることにより、連結管４０とノズ
ルホルダ３７とが固着されている。

【００２５】また、前記取付凹部３７ａの周壁部には、
図で左右一対のローラ４３，４３が内外方向に移動可能
に設けられると共に、ノズルホルダ３７の外周壁部に
は、それら各ローラ４３を内方に向けて押圧付勢する板
ばね４４が設けられている。一方、前記吸着ノズル３８
の上部部分には、取付溝３８ａが形成されており、この
吸着ノズル３８をノズルホルダ３７の取付凹部３７ａ内
に下方から挿入することにより、前記ローラ４３が取付
溝３８ａに嵌まり込み、もって吸着ノズル３８がノズル
ホルダ３７に着脱可能に取付けられるのである。

【００２６】さらに、このノズルホルダ３７には、前記
弁座部３７ｃの上面部に接離する弁体４５及びこの弁体
４５を下方（閉方向）に付勢するためのばね４６からな
る弁機構４７が設けられている。前記弁体４５は、吸着
ノズル３８が取付けられていない状態では、ばね４６に
よって弁座部３７ｃに押付けられており、貫通孔３７ｂ
を閉塞し、吸着ノズル３８が取付けられている状態で
は、その吸着ノズル３８の上端部に設けられた突出部３
８ｂにより上方に押圧変位されて貫通孔３７ｂを開放
（上下方向に連通）させるようになっている。

【００２７】一方、ヘッド本体３６の右側部分には、前
記回転軸Ｏから右方に距離ａだけオフセットした位置
に、上下方向に延びヘッド本体３６の下面にて開口する
通気孔３６ｂが形成されている。この通気孔３６ｂは、
上記通気孔３６ａと異なって上端側が閉塞されていると
共に、その上部が前記通気孔３６ａの上部と連通孔３６
ｃによって連通されている。そして、この通気孔３６ｂ
内には、前記通気孔３６ａ側と同等の構成で、ノズルホ
ルダ３７を下端部に有する連結管４０が嵌め込まれてい
る。また、この場合、連結管４０の上部には弾性部材た
る緩衝ばね４８が設けられているのであるが、この緩衝
ばね４８の弾性力（ばね定数）は前記緩衝ばね４２より
も小さいものとされている。

【００２８】上記構成においては、負圧源に接続される
シャフト３９の中空部３９ａ（主空気通路）は、ヘッド
本体３６内で２本に枝分かれし、通気孔３６ａから連結
管４０を介して第１のノズルホルダ３７（Ａ）ひいては
第１の吸着ノズル３８（Ａ）につながる第１の分岐空気
通路４９と、連通孔３６ｃから通気孔３６ｂ及び連結管
４０を介して第２のノズルホルダ３７（Ｂ）ひいては第
２の吸着ノズル３８（Ｂ）につながる第２の分岐空気通
路５０とが形成されているのである。そして、各ノズル
ホルダ３７に設けられた弁機構４７が、各分岐空気通路
４９，５０を開閉する空気通路開閉機構として機能する
のである。

【００２９】これにて、第１のノズルホルダ３７（Ａ）
に第１の吸着ノズル３８（Ａ）が取付けられ、且つ、第
２のノズルホルダ３７（Ｂ）に吸着ノズル３８が取付け
られていない状態では、第１のノズルホルダ３７（Ａ）
側のみで弁機構４７が開放し、第１の吸着ノズル３８
（Ａ）が第１の分岐空気通路４９を介して負圧源に接続
され、部品２６を減圧吸着することができるようになっ
ている。一方、第２のノズルホルダ３７（Ｂ）のみに吸
着ノズル３８が取付けられてい状態では、第２の吸着ノ
ズル３８（Ｂ）が第２の分岐空気通路５０を介して負圧
源に接続され、部品２６を減圧吸着することができるの
である。

【００３０】また、部品２６の基板２４に対する装着時
には、装着ヘッド３５（ヘッド本体３６）は部品２６が
基板２４に接した以降も余分に若干量下降するように構
成され、その際に緩衝ばね４２あるいは４８がたわむこ
とにより、吸着ノズル３８による部品２６の押付力を得
るようになっているのである。

【００３１】このとき、本実施例では、第１のノズルホ
ルダ３７（Ａ）には、ＱＦＰ部品等の比較的大形の部品
２６を吸着するための吸着ノズル３８（Ａ）が取付けら
れ、第２のノズルホルダ３７（Ｂ）には、チップ抵抗等
の比較的小形の部品２６を吸着するための吸着ノズル３
８（Ｂ）が取付けられるようになっている。従って、緩
衝ばね４２，４８のばね定数を異ならせたことにより、
比較的大形の部品２６の装着時には、比較的大きな押付
力で基板２４に押付けることができ、比較的小形の部品
２６の装着時には、比較的小さな押付力で基板２４に押
付けられるようになるのである。

【００３２】次に、上記構成の作用について述べる。
今、部品供給部２７から供給される比較的小形の部品２
６を基板２４に装着するにあたっては、図１に示すよう
に、装着ヘッド３５の第２のノズルホルダ３７（Ｂ）側
に小形部品用の第２の吸着ノズル３８（Ｂ）を取付け
る。これにて、第２の分岐空気通路５０が開放し、第２
の吸着ノズル３８（Ｂ）と負圧源とが接続される。この
ときには、第１のノズルホルダ３７（Ａ）には吸着ノズ
ル３８が取付けられていないので、その弁機構４７が閉
じており、第１の分岐空気通路４９が閉塞している。

【００３３】装着ヘッド３５は、ＸＹロボット３２によ
り、まず、部品供給部２７の所定のテープフィーダ２９
の上方に移動され、第２の吸着ノズル３８（Ｂ）が取得
すべき部品２６の真上に位置して停止する。ここから、
装着ヘッド３５は、上下駆動機構により、吸着ノズル３
８が部品２６の上面に当接するまで下降され、これと同
時に、切替弁機構により主空気通路ひいては第２の分岐
空気通路５０が、大気圧から負圧に切換えられる。これ
にて、吸着ノズル３８により部品２６が吸着保持される
のである。

【００３４】この後、装着ヘッド３５は、上昇された
後、ＸＹロボット３２により基板２４の上方に移動され
る。このとき、この移動途中にて視覚認識による部品２
６の位置ずれ量が検出され、部品装着位置の補正が行わ
れるようになっている。吸着ノズル３８（部品２６）が
基板２４上の部品装着位置の真上に来たところで停止さ
れ、再び上下駆動機構により下降される。このときに
は、装着ヘッド３５は、部品２６が基板２４に接した以
降も余分に若干量下降されるのであるが、ヘッド本体３
６に対して、吸着ノズル３８（ノズルホルダ３７）が相
対的に若干量上昇するようになり、このときの緩衝ばね
４８のばね力により、部品２６の基板２４に対する押付
力が得られる。

【００３５】この場合、緩衝ばね４８のばね定数が比較
的小さく設定されているので、第２の吸着ノズル３８
（Ｂ）側では、比較的小形の部品２６に応じた比較的小
さな押付力で部品２６が押付けられて装着されるように
なる。この後、切替弁機構により主空気通路ひいては第
２の分岐空気通路５０が、負圧から大気圧に切替えら
れ、装着ヘッド３５が上昇して次の部品２６の装着作業
に向かう。

【００３６】一方、部品供給部２８から供給される比較
的大形の部品２６を基板２４に装着するにあたっては、
第１のノズルホルダ３７（Ａ）側に大形部品用の第１の
吸着ノズル３８（Ａ）を取付け、第２のノズルホルダ３
７（Ｂ）の吸着ノズル３８を取外す。これにて、今度は
第１の分岐空気通路４９が開放し、第１の吸着ノズル３
８（Ａ）と負圧源とが接続され、これと共に、第２の分
岐空気通路５０は閉塞される。

【００３７】部品供給部２８においては、１個の部品２
６がトレイから認識装置３１のステージ上に取出され、
認識装置３１により部品２６の姿勢（Ｘ軸，Ｙ軸，θ軸
方向のずれ）等が検出される。装着ヘッド３５は、ＸＹ
ロボット３２により、認識装置３１のステージの上方に
移動された後、第１の吸着ノズル３８（Ａ）が部品２６
の上面に当接するまで下降され、これと同時に、第１の
分岐空気通路４９が大気圧から負圧に切替えられて部品
２６を吸着保持する。

【００３８】この後、装着ヘッド３５は、上昇された
後、ＸＹロボット３２により基板２４の上方に移動され
る。そして、シャフト３９の回転により部品２６のθ軸
（回転）方向の位置ずれが補正された状態で、上記と同
様に基板２４の部品装着位置に対する部品２６の装着が
行われる。尚、Ｘ軸，Ｙ軸方向の位置ずれの補正が行わ
れていることは勿論である。このときにも、吸着ノズル
３８が部品２６を押付けるようになるのであるが、この
場合には、緩衝ばね４２のばね力により、比較的大形の
部品２６に応じた比較的大きな押付力で部品２６が押付
けられて装着されるようになるのである。

【００３９】このように本実施例によれば、１個のヘッ
ド本体３６に２個のノズルホルダ３７（吸着ノズル３
８）を備えるものにあって、負圧源に接続されるのは１
個の主空気通路（シャフト３９）のみで、その主空気通
路から、各ノズルホルダ３７につながる分岐空気通路４
９，５０を得るようにした。従って、従来のような、ノ
ズル取付部６の数だけ空気圧回路を必要としていたもの
と異なり、空気圧回路の構成の大幅な簡単化を図ること
ができ、ひいては、装置の大形化、高重量化を抑えなが
らも、ノズルホルダ３７を増加させることができるもの
である。

【００４０】また、特に本実施例では、各分岐空気通路
４９，５０を開閉するための空気通路開閉機構として、
ノズルホルダ３７に吸着ノズル３８が取付けられること
により変位する弁機構４７を採用するようにしたので、
空気通路開閉機構に特に動力等が必要なくなり、より一
層構成の簡単化を図ることができるものである。

【００４１】さらに、特に本実施例では、ノズルホルダ
３７（吸着ノズル３８）を弾性的に支持するための緩衝
ばね４２，４８を異なる弾性力（ばね定数）に構成した
ので、吸着ノズル３８毎に異なる押付力を得ることがで
き、簡単な構成で部品２６の種類（大きさ）に応じた押
付力を得ることができるといった利点を得ることができ
るものである。

【００４２】尚、上記実施例では、空気通路開閉機構と
して、吸着ノズル３８の着脱により動作する弁機構４７
を採用するようにしたが、分岐空気通路４９，５０部分
に電気的に駆動される切替弁機構等を設けることによ
り、各分岐空気通路４９，５０の開閉を選択的に行うよ
うにしても良い。また、上記実施例では、緩衝ばね４
２，４８を異なるばね定数となるように構成したが、同
等の緩衝ばねを採用し、装着ヘッド３５の下降量（つま
り緩衝ばねのたわみ量）を変化させることによって押付
力を変化させる構成としても良い。

【００４３】その他、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、例えば１個のヘッド本体に３個以上のノ
ズル取付部を設け、１個の主空気通路から３本以上に枝
分かれする分岐空気通路を設けるような構成とすること
もでき、また、部品実装装置の各機構の構成は各種の変
形が可能である等、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更
して実施し得るものである。

【００４４】

【発明の効果】以上の説明にて明らかなように、本発明
によれば、次のような優れた効果を奏する。即ち、請求
項１の装着ヘッドによれば、ヘッド本体に複数のノズル
取付部を設けると共に、主空気通路から複数に枝分かれ
して夫々が各ノズル取付部につながる分岐空気通路を設
け、さらに、各分岐空気通路を開閉する空気通路開閉機
構を設けるようにしたので、主空気通路から複数の分岐
空気通路を得ることができ、複数のノズル取付部を備え
ながらも、空気圧回路の構成を簡単に済ませることがで
きるものである。

【００４５】この場合、空気通路開閉機構を、ノズル取
付部に対する吸着ノズルの着脱により開閉する弁機構か
ら構成すれば（請求項２の装着ヘッド）、空気通路開閉
機構に特に動力等が必要なくなり、より一層構成の簡単
化を図ることができる。

【００４６】また、各ノズル取付部をヘッド本体に対し
て弾性部材によって弾性的に支持させる構成とすること
もでき（請求項３の装着ヘッド）、さらに、弾性部材の
弾性力を、各ノズル取付部に応じて異なるものとするこ
とができ（請求項４の装着ヘッド）、これによれば、弾
性部材によって部品の装着時に所定の押付力を得ること
ができ、さらには吸着ノズル毎に異なる押付力を得るこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示すもので、装着ヘッド部
分の縦断正面図

【図２】部品実装装置の斜視図

【図３】従来例を示す図１相当図

【符号の説明】

図面中、２４は基板（被装着物）、２６は部品、３２は
ＸＹロボット（移動機構）、３４は移動ベース、３５は
装着ヘッド、３６はヘッド本体、３６ａ，３６ｂは通気
孔、３６ｃは連通孔、３７はノズルホルダ（ノズル取付
部）、３７ａは取付凹部、３７ｂは貫通孔、３７ｃは弁
座部、３８は吸着ノズル、３９はシャフト、３９ａは中
空部（主空気通路）、４０は連結管、４２，４８は緩衝
ばね（弾性部材）、４５は弁体、４６はばね、４７は弁
機構、４９，５０は分岐空気通路を示す。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 吸着ノズルにより部品を吸着し、その部
   品を搬送して基板等の被装着物に装着するためのもので
   あって、 移動機構により移動されるヘッド本体と、このヘッド本
   体の下端部に設けられ前記吸着ノズルが着脱可能に取付
   けられる複数のノズル取付部と、負圧源に接続される主
   空気通路と、この主空気通路から複数に枝分かれして夫
   々が前記各ノズル取付部につながる分岐空気通路と、こ
   れら各分岐空気通路を開閉する空気通路開閉機構とを具
   備することを特徴とする装着ヘッド。
2. 【請求項２】 空気通路開閉機構は、ノズル取付部に吸
   着ノズルが取付けられていない状態では対応する分岐空
   気通路を閉塞状態とすると共に、ノズル取付部に吸着ノ
   ズルが取付けられることにより変位して対応する分岐空
   気通路を開放する弁機構から構成されることを特徴とす
   る請求項１記載の装着ヘッド。
3. 【請求項３】 各ノズル取付部は、ヘッド本体に対して
   弾性部材によって弾性的に支持されており、被装着物へ
   の部品装着時において、前記弾性部材の弾性力に応じた
   部品押付力が得られるように構成されていることを特徴
   とする請求項１又は２記載の装着ヘッド。
4. 【請求項４】 弾性部材の弾性力は、各ノズル取付部に
   応じて異なることを特徴とする請求項３記載の装着ヘッ
   ド。