JPH09235672A - 被覆超硬工具の製造法 - Google Patents
被覆超硬工具の製造法Info
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- JPH09235672A JPH09235672A JP32340096A JP32340096A JPH09235672A JP H09235672 A JPH09235672 A JP H09235672A JP 32340096 A JP32340096 A JP 32340096A JP 32340096 A JP32340096 A JP 32340096A JP H09235672 A JPH09235672 A JP H09235672A
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Landscapes
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
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- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 皮膜各層間−特に内層と外層の粒度に着目
し、特に耐摩耗性に優れる被覆超硬工具の製造法を提供
することを目的とする。 【構成】 超硬合金基体の表面に、少なくともＴｉＣＮ
層を設け、前記ＴｉＣＮ層が有機ＣＮ化合物を使用した
中温化学蒸着法により成膜され、柱状晶からなり、その
直上に粒状から成る層を２種以上の反応ガスを用いた高
温化学蒸着法から成膜することにより構成する。
し、特に耐摩耗性に優れる被覆超硬工具の製造法を提供
することを目的とする。 【構成】 超硬合金基体の表面に、少なくともＴｉＣＮ
層を設け、前記ＴｉＣＮ層が有機ＣＮ化合物を使用した
中温化学蒸着法により成膜され、柱状晶からなり、その
直上に粒状から成る層を２種以上の反応ガスを用いた高
温化学蒸着法から成膜することにより構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は耐摩耗性に優れた切削用
及び耐摩耗用の被覆超硬質合金工具に関するものであ
る。
及び耐摩耗用の被覆超硬質合金工具に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、超硬合金を基体とし、その表面に
耐摩耗性に富んだＴｉＣ、ＴｉＮなどの硬質皮膜を被覆
した被覆超硬合金工具は、表面の耐摩耗性と基体の強靭
性を兼ね備えており、広く実用に供されている。しか
し、ＴｉＣ、ＴｉＮ被覆の合金はすくい面上のクレータ
ー摩耗が著しく、工具寿命が短くなるなどの欠点があっ
た。このため、上記欠点を除く手段として、種々の皮膜
を形成する方法が提案されているが、いずれも問題点を
有し、かならずしも満足出来るものは実現されていな
い。例えば、 ＴｉＣ、ＴｉＮのかわりにＡｌ2Ｏ3単
層を被覆する方法−特開昭５４−１５８７８０号等、
ＴｉＣ、ＴｉＮのかわりにＴｉＢ2 単層を被覆する方
法−特開昭５４−７４８１６号等、 ＴｉＣ、ＴｉＮ
の表面に更にＡｌ2Ｏ3を被覆し、２層構造の皮膜とする
方法（２層）−特開昭５５−１１９１６５号等、 Ｔ
ｉＢ2の表面にＡｌ2Ｏ3を被覆し、２層構造皮膜を形成
する方法−特開昭５５−８４８５号等、が示されてい
る。
耐摩耗性に富んだＴｉＣ、ＴｉＮなどの硬質皮膜を被覆
した被覆超硬合金工具は、表面の耐摩耗性と基体の強靭
性を兼ね備えており、広く実用に供されている。しか
し、ＴｉＣ、ＴｉＮ被覆の合金はすくい面上のクレータ
ー摩耗が著しく、工具寿命が短くなるなどの欠点があっ
た。このため、上記欠点を除く手段として、種々の皮膜
を形成する方法が提案されているが、いずれも問題点を
有し、かならずしも満足出来るものは実現されていな
い。例えば、 ＴｉＣ、ＴｉＮのかわりにＡｌ2Ｏ3単
層を被覆する方法−特開昭５４−１５８７８０号等、
ＴｉＣ、ＴｉＮのかわりにＴｉＢ2 単層を被覆する方
法−特開昭５４−７４８１６号等、 ＴｉＣ、ＴｉＮ
の表面に更にＡｌ2Ｏ3を被覆し、２層構造の皮膜とする
方法（２層）−特開昭５５−１１９１６５号等、 Ｔ
ｉＢ2の表面にＡｌ2Ｏ3を被覆し、２層構造皮膜を形成
する方法−特開昭５５−８４８５号等、が示されてい
る。
【０００３】の方法では、超硬質基体とＴｉＢ2の親
和性が弱いこと、及び被削材の鉄と２硼化物とが反応
し、クレーター摩耗を生じやすいことなどの欠点を有し
ている。 の方法は、超硬質基体とＡｌ2Ｏ3間の親和
性が弱く、基体と皮膜の結合力は十分でないという欠点
を有している。の方法によるＴｉＣ−Ａｌ2Ｏ3被覆さ
れた品物は上記及びに比較し、より好ましい特性を
もつため広く実用に供されているが、Ａｌ2Ｏ3とＴｉＣ
又はＴｉＮ間の親和性が弱く、その結合力は改善の余地
がある。の方法は、上記の方法と同様、密着強度が
不十分であるが、被削材との反応をＡｌ2Ｏ3層によって
防止しているため、耐クレーター性は良好である。
和性が弱いこと、及び被削材の鉄と２硼化物とが反応
し、クレーター摩耗を生じやすいことなどの欠点を有し
ている。 の方法は、超硬質基体とＡｌ2Ｏ3間の親和
性が弱く、基体と皮膜の結合力は十分でないという欠点
を有している。の方法によるＴｉＣ−Ａｌ2Ｏ3被覆さ
れた品物は上記及びに比較し、より好ましい特性を
もつため広く実用に供されているが、Ａｌ2Ｏ3とＴｉＣ
又はＴｉＮ間の親和性が弱く、その結合力は改善の余地
がある。の方法は、上記の方法と同様、密着強度が
不十分であるが、被削材との反応をＡｌ2Ｏ3層によって
防止しているため、耐クレーター性は良好である。
【０００４】そのため、上記単層皮膜及び２層構造皮膜
の特長を維持しながら、その欠点を解消するために、例
えばＴｉＣ、ＴｉＮの表面に中間層としてＴｉ（Ｃ、
Ｎ）、Ｔｉ（Ｃ、Ｏ）、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ、Ｏ）を被覆し、
その上に外層としてＡｌ2Ｏ3を被覆し３層構造の皮膜を
形成する方法（特開昭５５−１４８７６４号等）が提案
されている。
の特長を維持しながら、その欠点を解消するために、例
えばＴｉＣ、ＴｉＮの表面に中間層としてＴｉ（Ｃ、
Ｎ）、Ｔｉ（Ｃ、Ｏ）、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ、Ｏ）を被覆し、
その上に外層としてＡｌ2Ｏ3を被覆し３層構造の皮膜を
形成する方法（特開昭５５−１４８７６４号等）が提案
されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この方法は上記の方
法の欠点を改善するために、内層のＴｉＣ層と中間層の
被覆方法を変えることにより形成したものであり、その
両者の特徴を最大限に生かそうとするものである。さら
に、切削加工工具に要求されるより一層の長寿命化（耐
摩耗性の向上）を計ったものである。本発明は上記実情
に鑑み成されたものであり上記従来技術の欠点を改良
し、皮膜各層間−特に内層と中間層の粒度に着目し、特
に耐摩耗性に優れる被覆超硬合金を提供することを目的
とするもので有る。
法の欠点を改善するために、内層のＴｉＣ層と中間層の
被覆方法を変えることにより形成したものであり、その
両者の特徴を最大限に生かそうとするものである。さら
に、切削加工工具に要求されるより一層の長寿命化（耐
摩耗性の向上）を計ったものである。本発明は上記実情
に鑑み成されたものであり上記従来技術の欠点を改良
し、皮膜各層間−特に内層と中間層の粒度に着目し、特
に耐摩耗性に優れる被覆超硬合金を提供することを目的
とするもので有る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は超硬質合金基体
の表面に、少なくともＴｉＣＮ層を設け、前記ＴｉＣＮ
層が有機ＣＮ化合物を使用した中温化学蒸着法により成
膜され、柱状晶からなり、その直上に粒状から成る層を
２種以上の反応ガスを用いた高温化学蒸着法から成膜し
たことを特徴とする製造法であり、より具体的には、内
層として、まず中温化学蒸着法を用いて、ＴｉＮ、Ｔｉ
ＣＮ等を被覆し、前記ＴｉＣＮ層を柱状に成膜させ、か
つ、直上に高温化学蒸着法から成膜した中間層、すなわ
ち第３層としてＴｉの炭化物、窒化物、炭窒化物の１種
又は２種以上を設け、外層、すなわち第４層としてＡｌ
2Ｏ3層又はＴｉＮ層の１種又は２種以上を設ける。特
に、第３層の粒子は第２層すなわち柱状晶の粒度の影響
により粒度を細かくすることができるため、第２層の厚
膜化と、それより外側の層の粒状化、耐摩耗性を兼ね備
えた構成としたものである。
の表面に、少なくともＴｉＣＮ層を設け、前記ＴｉＣＮ
層が有機ＣＮ化合物を使用した中温化学蒸着法により成
膜され、柱状晶からなり、その直上に粒状から成る層を
２種以上の反応ガスを用いた高温化学蒸着法から成膜し
たことを特徴とする製造法であり、より具体的には、内
層として、まず中温化学蒸着法を用いて、ＴｉＮ、Ｔｉ
ＣＮ等を被覆し、前記ＴｉＣＮ層を柱状に成膜させ、か
つ、直上に高温化学蒸着法から成膜した中間層、すなわ
ち第３層としてＴｉの炭化物、窒化物、炭窒化物の１種
又は２種以上を設け、外層、すなわち第４層としてＡｌ
2Ｏ3層又はＴｉＮ層の１種又は２種以上を設ける。特
に、第３層の粒子は第２層すなわち柱状晶の粒度の影響
により粒度を細かくすることができるため、第２層の厚
膜化と、それより外側の層の粒状化、耐摩耗性を兼ね備
えた構成としたものである。
【０００７】本発明における基体としての超硬質合金
は、周期率表の４ａ、５ａ、６ａ族の炭化物、窒化物、
炭窒化物のうちの一種以上と、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｗ、
Ｍｏ、Ｃｒのうちの一種以上とよりなる超硬質合金が適
用される。また、本発明における各被覆層を形成するこ
とは、既知の成膜法を応用することによって可能であ
り、例えば内層を構成するＴｉＣＮまたはＴｉＮ皮膜に
ついては、 ＴｉＣｌ4＋（ＣＨ3）ＣＮ＋２Ｈ2→ＴｉＣＮ＋ＨＣｌ ＴｉＣｌ4＋２Ｈ2 →Ｔｉ＋４ＨＣｌ ＣＨ4 →Ｃ＋２Ｈ2 Ｔｉ＋Ｃ →ＴｉＣ あるいは、 ＴｉＣｌ4＋２Ｈ2 →Ｔｉ＋４ＨＣｌ Ｔｉ＋１／２Ｎ2 →ＴｉＮ のように、Ｔｉのハロゲン化物を気化し、還元及び炭化
あるいは窒化反応によって得ることができる。
は、周期率表の４ａ、５ａ、６ａ族の炭化物、窒化物、
炭窒化物のうちの一種以上と、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｗ、
Ｍｏ、Ｃｒのうちの一種以上とよりなる超硬質合金が適
用される。また、本発明における各被覆層を形成するこ
とは、既知の成膜法を応用することによって可能であ
り、例えば内層を構成するＴｉＣＮまたはＴｉＮ皮膜に
ついては、 ＴｉＣｌ4＋（ＣＨ3）ＣＮ＋２Ｈ2→ＴｉＣＮ＋ＨＣｌ ＴｉＣｌ4＋２Ｈ2 →Ｔｉ＋４ＨＣｌ ＣＨ4 →Ｃ＋２Ｈ2 Ｔｉ＋Ｃ →ＴｉＣ あるいは、 ＴｉＣｌ4＋２Ｈ2 →Ｔｉ＋４ＨＣｌ Ｔｉ＋１／２Ｎ2 →ＴｉＮ のように、Ｔｉのハロゲン化物を気化し、還元及び炭化
あるいは窒化反応によって得ることができる。
【０００８】次に、内層の厚さを２．０〜１０μｍ、中
間層の厚さを０．１〜５μｍ、外層の厚さを０．５〜１
０μｍとすることが望ましい。その理由は以下の通りで
ある。 （１）内層のＴｉＮ、ＴｉＣＮのうちのいずれか一種か
らなる内層の厚さが２．０μｍ未満では柱状晶の生成が
十分でなく、また１０μｍを超えるとＴｉＣＮ等の層は
本質的に脆く欠損しやすくなるため、内層の厚さは２．
０〜１０μｍとするのが望ましい。
間層の厚さを０．１〜５μｍ、外層の厚さを０．５〜１
０μｍとすることが望ましい。その理由は以下の通りで
ある。 （１）内層のＴｉＮ、ＴｉＣＮのうちのいずれか一種か
らなる内層の厚さが２．０μｍ未満では柱状晶の生成が
十分でなく、また１０μｍを超えるとＴｉＣＮ等の層は
本質的に脆く欠損しやすくなるため、内層の厚さは２．
０〜１０μｍとするのが望ましい。
【０００９】（２）中間層のＴｉの炭化物、窒化物、炭
窒化物の１種以上から構成される中間層の厚さが０．１
μｍ未満では粒度を調整するのに不十分であり、また５
μｍを超えると全体の厚さが厚くなり脆く成るため、欠
損しやすくなる。このため中間層の厚さは０．１〜５μ
ｍとするのが望ましい。また、この層の構造はＴｉの炭
化物、窒化物、炭窒化物を組み合わせた方が特性を効果
的に発揮できるため、２層以上とするのが望ましい。 （３）外層のＡｌ2Ｏ3層及び／又はＴｉＮ層は、０．５
μｍ未満では中間層の欠点である被削材との反応を防止
できず、また、５μｍを越えるとＡｌ2Ｏ3層は本質的に
脆いため、欠損しやすくなるため０．５〜５μｍとする
のが良い。
窒化物の１種以上から構成される中間層の厚さが０．１
μｍ未満では粒度を調整するのに不十分であり、また５
μｍを超えると全体の厚さが厚くなり脆く成るため、欠
損しやすくなる。このため中間層の厚さは０．１〜５μ
ｍとするのが望ましい。また、この層の構造はＴｉの炭
化物、窒化物、炭窒化物を組み合わせた方が特性を効果
的に発揮できるため、２層以上とするのが望ましい。 （３）外層のＡｌ2Ｏ3層及び／又はＴｉＮ層は、０．５
μｍ未満では中間層の欠点である被削材との反応を防止
できず、また、５μｍを越えるとＡｌ2Ｏ3層は本質的に
脆いため、欠損しやすくなるため０．５〜５μｍとする
のが良い。
【００１０】
【実施例】次に本発明による被覆超硬質合金を実施例に
よって具体的に説明する。但し、本発明はこれら実施例
の範囲に限定されるものでないことは言うまでもない。
超硬質体の基体としてＷＣ７２％、８％ＴｉＣ、（Ｔａ
Ｎｂ）Ｃ１１％、Ｃｏ９％（重量％）なる組成に粉末を
配合し、真空中１４００℃で一時間焼結し、得られた焼
結体からＧ級のスローアウェィチップを作成した。次い
で以下に示す各成膜条件で被覆処理することにより表１
に示す皮膜構造の試料１〜３を得た。尚、膜厚の測定は
チップを研摩しＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）にて、組織
観察を行い測定した。
よって具体的に説明する。但し、本発明はこれら実施例
の範囲に限定されるものでないことは言うまでもない。
超硬質体の基体としてＷＣ７２％、８％ＴｉＣ、（Ｔａ
Ｎｂ）Ｃ１１％、Ｃｏ９％（重量％）なる組成に粉末を
配合し、真空中１４００℃で一時間焼結し、得られた焼
結体からＧ級のスローアウェィチップを作成した。次い
で以下に示す各成膜条件で被覆処理することにより表１
に示す皮膜構造の試料１〜３を得た。尚、膜厚の測定は
チップを研摩しＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）にて、組織
観察を行い測定した。
【００１１】（１）試料Ｎｏ１の成膜は、スローアウェ
ィチップを耐熱合金製反応容器内で８００℃に加熱、２
０Ｔｏｒｒの減圧化で、ＴｉＣｌ4 ４％ Ｎ2 ４％
Ｈ2９６％の割合で混合したガスを５ｌ／ｍｉｎの流量
で流し、０．３時間反応させ０．５μｍのＴｉＮ層を被
覆した後、Ｔｉ（ＣＨ3）ＣＮ ４％ Ｎ2 ４％、Ｈ2
９２％の割合で混合したガスを５ｌ／ｍｉｎの流量で
送り、２時間反応させ４μｍのＴｉＣＮ層を被覆し内層
４．５μｍとした。その後、１０Ｔｏｒｒに真空排気
し、１０２０℃に昇温し、ＴｉＣｌ4 ４％ＣＨ4 ４％
Ｈ2 ９２％の割合で混合したガスを２０ｍｉｎ流
し、２μｍのＴｉＣ膜を生成し、中間層とした。次い
で、ＡｌＣｌ3 ５％ ＣＯ2 ５％、ＣＯ １５％ Ｈ
2 ７５％の割合で混合したガスを供給し、温度は１０
２０℃、２時間保持し、１．５μｍのＡｌ2Ｏ3層を被覆
し、最後に、ＴｉＮ膜を０．５μｍ、前記と同様の方法
で成膜し、表面を金色とした。このチップを、曲げ試験
において破断した後、ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）に
て、その破面を観察をした結果を図１に示す。内層部分
は柱状晶がよく発達しているのに対し、中間層は粒状に
成膜されていることが分かり、外層／最外層も中間層の
粒度に近似し、粗粒化していないことが分かる。また、
図２に最外層の表面観察した結果も併せて示す。（写真
の倍率はいずれも５０００倍）
ィチップを耐熱合金製反応容器内で８００℃に加熱、２
０Ｔｏｒｒの減圧化で、ＴｉＣｌ4 ４％ Ｎ2 ４％
Ｈ2９６％の割合で混合したガスを５ｌ／ｍｉｎの流量
で流し、０．３時間反応させ０．５μｍのＴｉＮ層を被
覆した後、Ｔｉ（ＣＨ3）ＣＮ ４％ Ｎ2 ４％、Ｈ2
９２％の割合で混合したガスを５ｌ／ｍｉｎの流量で
送り、２時間反応させ４μｍのＴｉＣＮ層を被覆し内層
４．５μｍとした。その後、１０Ｔｏｒｒに真空排気
し、１０２０℃に昇温し、ＴｉＣｌ4 ４％ＣＨ4 ４％
Ｈ2 ９２％の割合で混合したガスを２０ｍｉｎ流
し、２μｍのＴｉＣ膜を生成し、中間層とした。次い
で、ＡｌＣｌ3 ５％ ＣＯ2 ５％、ＣＯ １５％ Ｈ
2 ７５％の割合で混合したガスを供給し、温度は１０
２０℃、２時間保持し、１．５μｍのＡｌ2Ｏ3層を被覆
し、最後に、ＴｉＮ膜を０．５μｍ、前記と同様の方法
で成膜し、表面を金色とした。このチップを、曲げ試験
において破断した後、ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）に
て、その破面を観察をした結果を図１に示す。内層部分
は柱状晶がよく発達しているのに対し、中間層は粒状に
成膜されていることが分かり、外層／最外層も中間層の
粒度に近似し、粗粒化していないことが分かる。また、
図２に最外層の表面観察した結果も併せて示す。（写真
の倍率はいずれも５０００倍）
【００１２】（２）試料Ｎｏ２の成膜は耐熱合金製反応
容器内で８００℃に加熱し、２０Ｔｏｒｒの減圧化でＴ
ｉＣｌ4 ４％ Ｎ2 ４％ Ｈ2 ９６％の割合で混合
したガスを５ｌ／ｍｉｎの流量で流し、０．５時間反応
させ１．０μｍのＴｉＮ被覆層を得た。その後、試料Ｎ
ｏ１と同様の方法により被覆した。
容器内で８００℃に加熱し、２０Ｔｏｒｒの減圧化でＴ
ｉＣｌ4 ４％ Ｎ2 ４％ Ｈ2 ９６％の割合で混合
したガスを５ｌ／ｍｉｎの流量で流し、０．５時間反応
させ１．０μｍのＴｉＮ被覆層を得た。その後、試料Ｎ
ｏ１と同様の方法により被覆した。
【００１３】（３）試料Ｎｏ３の成膜は、従来例のひと
つである耐熱合金製反応容器内で１０５０℃に加熱し、
２０Ｔｏｒｒの減圧化でＴｉＣｌ4 ４％ ＣＨ4 ２％
Ｎ2 ３０％、Ｈ2 ６４％の割合で混合したガスを５
ｌ／ｍｉｎの流量で流し、２．５時間反応させ５μｍの
ＴｉＣＮ被覆層を得た。その後、試料Ｎｏ１と同様の方
法によりに被覆した。
つである耐熱合金製反応容器内で１０５０℃に加熱し、
２０Ｔｏｒｒの減圧化でＴｉＣｌ4 ４％ ＣＨ4 ２％
Ｎ2 ３０％、Ｈ2 ６４％の割合で混合したガスを５
ｌ／ｍｉｎの流量で流し、２．５時間反応させ５μｍの
ＴｉＣＮ被覆層を得た。その後、試料Ｎｏ１と同様の方
法によりに被覆した。
【００１４】これら３種のチップを用い以下の切削条
件、すなわち 鋳物連続切削 被削材 ＦＣ２５（ＨＢ２３０） 切削速度 １８０ｍ／ｍｉｎ 送り ０．３ｍｍ／ｒｅｖ 切り込み １．５ｍｍ 水溶性切削油使用 で切削試験を行った。表１に平均逃げ面摩耗量が０．４
ｍｍ、クレーター摩耗が０．１ｍｍのどちらかに達した
時間を寿命と判断し、その時間を示す。
件、すなわち 鋳物連続切削 被削材 ＦＣ２５（ＨＢ２３０） 切削速度 １８０ｍ／ｍｉｎ 送り ０．３ｍｍ／ｒｅｖ 切り込み １．５ｍｍ 水溶性切削油使用 で切削試験を行った。表１に平均逃げ面摩耗量が０．４
ｍｍ、クレーター摩耗が０．１ｍｍのどちらかに達した
時間を寿命と判断し、その時間を示す。
【００１５】
【表１】
【００１６】試料Ｎｏ（３）のスローアウェイチップは
２５分間の切削で寿命に達しているのに対し、本発明に
よる（１）、（２）は表１から明からかなように４０〜
５０分間切削出来ることがわかる。また本発明によるチ
ップの寿命はいずれも平均逃げ面の摩耗によるものであ
りクレーター摩耗は寿命まで切削してもブレークされず
良好な摩耗形態を示した。
２５分間の切削で寿命に達しているのに対し、本発明に
よる（１）、（２）は表１から明からかなように４０〜
５０分間切削出来ることがわかる。また本発明によるチ
ップの寿命はいずれも平均逃げ面の摩耗によるものであ
りクレーター摩耗は寿命まで切削してもブレークされず
良好な摩耗形態を示した。
【００１７】更に、前記実施例で用いたものと同じ基体
からなるスローアウェイチツプにＴｉＣ、ＴｉＮまたは
ＴｉＣＮ層の厚さ、Ａｌ2Ｏ3の厚さを種々に変化させた
ものを作成した。成膜の条件は実施例１と同様に行い、
時間の調整で膜厚をコントロールした。得られたものの
膜の構成、膜厚等を表２に示す。また、これらのものを
用い、実施例１と同様な方法で切削試験を行った結果も
同表に示す。
からなるスローアウェイチツプにＴｉＣ、ＴｉＮまたは
ＴｉＣＮ層の厚さ、Ａｌ2Ｏ3の厚さを種々に変化させた
ものを作成した。成膜の条件は実施例１と同様に行い、
時間の調整で膜厚をコントロールした。得られたものの
膜の構成、膜厚等を表２に示す。また、これらのものを
用い、実施例１と同様な方法で切削試験を行った結果も
同表に示す。
【００１８】
【表２】
【００１９】表２から明らかなように、本発明による被
覆超硬合金はいずれも優れた耐クレーター摩耗性を有
し、また寿命も永いことがわかる。
覆超硬合金はいずれも優れた耐クレーター摩耗性を有
し、また寿命も永いことがわかる。
【００２０】
【発明の効果】上述のように、本発明被覆超硬質合金
は、内層にＴｉＮ、ＴｉＣＮと外層Ａｌ2Ｏ3等の中間に
両者と親和性の良い粒状のＴｉの炭化物等を被覆するこ
とによって、層間の粒度を異ならせ、特に耐摩耗性に富
む高性能な被覆超硬工具が得られる。
は、内層にＴｉＮ、ＴｉＣＮと外層Ａｌ2Ｏ3等の中間に
両者と親和性の良い粒状のＴｉの炭化物等を被覆するこ
とによって、層間の粒度を異ならせ、特に耐摩耗性に富
む高性能な被覆超硬工具が得られる。
【図１】図１は、本発明被覆超硬工具の金属組織を走査
型電子顕微鏡（ＳＥＭ）でその断面破面を観察した結果
を示す。
型電子顕微鏡（ＳＥＭ）でその断面破面を観察した結果
を示す。
【図２】図２は、図１と同一の試料の金属組織を走査型
電子顕微鏡（ＳＥＭ）で最表面を観察した結果を示す。
電子顕微鏡（ＳＥＭ）で最表面を観察した結果を示す。
【図３】図３は図１の要部拡大図を示す。
【図４】図４は図１の要部拡大図を示す。
Claims (1)
- 【請求項１】 硬質相として周期律表の４ａ、５ａ、６
ａ族の炭化物、窒化物、炭窒化物の１種以上、結合金属
としてＦｅ族、Ｃｒ族の１種以上よりなる超硬質合金を
基体とし、前記基体の表面に、少なくともＴｉＣＮ層を
設け、前記ＴｉＣＮ層が有機ＣＮ化合物を使用した中温
化学蒸着法により成膜され、柱状晶からなり、その直上
に粒状から成る層を２種以上の反応ガスを用いた高温化
学蒸着法から成膜したことを特徴とする被覆超硬工具の
製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8323400A JP2974284B2 (ja) | 1996-11-19 | 1996-11-19 | 被覆超硬工具の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8323400A JP2974284B2 (ja) | 1996-11-19 | 1996-11-19 | 被覆超硬工具の製造法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3163993A Division JP2660180B2 (ja) | 1991-06-07 | 1991-06-07 | 被覆超硬工具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09235672A true JPH09235672A (ja) | 1997-09-09 |
| JP2974284B2 JP2974284B2 (ja) | 1999-11-10 |
Family
ID=18154298
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8323400A Expired - Lifetime JP2974284B2 (ja) | 1996-11-19 | 1996-11-19 | 被覆超硬工具の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2974284B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009541075A (ja) * | 2006-06-22 | 2009-11-26 | ケンナメタル インコーポレイテッド | アルミナおよび／またはチタン含有材料を含むｃｖｄコーティングスキームならびにその作製方法 |
-
1996
- 1996-11-19 JP JP8323400A patent/JP2974284B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009541075A (ja) * | 2006-06-22 | 2009-11-26 | ケンナメタル インコーポレイテッド | アルミナおよび／またはチタン含有材料を含むｃｖｄコーティングスキームならびにその作製方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2974284B2 (ja) | 1999-11-10 |
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