JPH09236937A - 電子写真感光体の製造方法、電子写真感光体及び電子 写真感光体の製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 レーザー光によって画像を形成したときに干
渉縞模様、黒斑点等の画質欠陥のない改善された電子写
真感光体、その製造方法、及び製造装置の提供。 【解決手段】 電子写真感光体用基材１６を液体ホーニ
ングで処理する研磨工程（研磨室）１２で使用された研
磨液から、サイクロン分離器３２で処理し、平均研磨材
濃度が低い洗浄液を形成し、これを洗浄室（研磨材持ち
出し量低減室）１４において、電子写真感光体用基材１
８に吹き付け、研磨工程で電子写真感光体用基材の表面
に付着した研磨を除去する。洗浄工程で使用された研磨
材は、液滞留部２６に戻される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザービームを
ライン走査する方式の電子写真プリンター、複写機等に
使用される電子写真感光体の製造方法、電子写真感光体
及び電子写真感光体の製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】レーザービームをライン走査する方式の
電子写真装置には、レーザー光を用いて形成する画像に
干渉縞模様が現れるという特有の問題を解決しなければ
ならない。この種の干渉縞の発生は、感光層内で吸収さ
れなかった透過光が、基体を含む感光層内でレーザービ
ームの多重反射を生じて、感光層表面の入射光との間で
干渉を生じることに起因するとされている。この干渉縞
の発生を防止するために、特公平５ー２６１９１号公報
には、基体または、感光層の表面を粗面化して光散乱性
を付与することが示され、その具体的方法として特公平
６ー４１１０８号公報、特開平５−２１６２６１公報等
に液体ホーニングが提案されているが、液体ホーニング
では研磨材が電子写真感光体用基材に付着し、持ち出さ
れ研磨材濃度が低下し、ついには電子写真感光体用基材
に所望の表面粗さが得られないという問題を引き起こす
ことがある。

【０００３】従来、感光体の基材表面を粗面化する方法
には、例えば、特開平２ー８７１５４号公報、特開平２
ー１９１９６３公報、特公平６ー４１１０８号公報、特
開平５−２１６２６１公報に記載されているように、研
磨材の水分散液を用いた液体ホーニング法がある。

【０００４】この方法は、短時間の加工で容易に安定し
て粗面化させることができること、所望の粗さを正確に
得ることができることおよび塗膜欠陥の原因となる異常
凹凸部が極めて少ない均一な粗さを持つ粗面が得られる
ことなどから、生産上の観点からも、また、黒斑点や干
渉縞模様に対する画質安定性の点からも、陽極酸化法あ
るいはバフ研磨法等の他の粗面化処理法に比べて優れて
いるものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年、
感光体に対する干渉縞対応要求値が向上するにつれて、
従来のホーニング法による基体の粗面化では不十分であ
ることが明らかになってきた。すなわち、従来の方法で
は、常に一定の粗さの粗面化された基材を得るにあたっ
て、以下に示す問題点が存在することが判明した。

【０００６】液体ホーニングに使用される研磨材は水分
散液を用いて行われるが、液体ホーニングによる表面処
理後の電子写真感光体用基材の表面には多数の研磨材が
残存するためその研磨材が次工程の洗浄工程等に電子写
真感光体用基材と供に持ち出されるため母液の研磨材濃
度が低下し、ついには電子写真感光体用基材に所望の表
面粗さが得られないという問題を引き起こす。

【０００７】問題の根源である研磨材の電子写真感光体
用基材の表面への付着による持出しを低減する方法の第
一としては、液体ホーニングを行う表面処理工程内でホ
ーニング処理後に電子写真感光体用基材の表面に水等を
吹きつけて洗い落とす方法が考えられる。この方法では
研磨材の電子写真感光体用基材の表面への付着による持
出しを低減することはできるが、新たな水等を吹きつけ
るため、その水等が増加する分相対的にホーニング液中
の研磨材濃度の低下がおこり、やはり電子写真感光体用
基材に所望の表面粗さが得られないという問題を引き起
こす。

【０００８】第二の方法としては、液体ホーニングを行
う表面処理工程内でホーニング処理後に電子写真感光体
用基材の表面に圧縮空気を吹きつけて残存研磨材を吹き
飛ばす方法が考えられる。この方法では液体ホーニング
処理された湿った電子写真感光体用基材の表面に圧縮空
気を吹きつけるため、一部の研磨材は水とともに電子写
真感光体用基材の表面からは除去されるが、大半の研磨
材は水が圧縮空気により乾燥させられた際に水中に含ま
れる不純物成分が電子写真感光体用基材と研磨材との間
の接着剤の働きをし、電子写真感光体用基材と研磨材は
固着するため持出し量を低減できないばかりではなく、
後工程での洗浄工程でも研磨材の除去を難しくするため
電子写真感光体用基材上に残った研磨材によりその上に
形成される塗膜塗布時の追従性が損なわれ、微小な部位
において塗膜の薄膜化による白班点や黒班点が発生する
ことになる。

【０００９】本発明は、従来の技術における上記のよう
な問題点に鑑みてなされたものである。すなわち、本発
明の目的は、レーザー光によって画像を形成をした場合
に、干渉縞模様および、黒斑点等の画質欠陥のない改善
された電子写真感光体、その製造方法及び製造装置を提
供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】従来のホーニング法は、
上記したとおり、いずれも電子写真感光体用基材の表面
に研磨材が付着し、研磨材が処理工程から持ち出され、
その結果として液体ホーニング中の研磨材濃度が低下し
問題を引き起こしていることから、これを解決するため
に液体ホーニング後の電子写真感光体用基材の表面に付
着した研磨材について鋭意検討した結果、液体ホーニン
グによる研磨材を持ち出されることなく、問題を引き起
こしている研磨材の除去方法に着目し、本発明を完成す
るに至った。

【００１１】すなわち、本発明は、 （１）電子写真感光体用基材の表面を研磨材を含む研磨
液で研磨する工程を有する電子写真感光体の製造方法に
おいて、前記研磨する工程の後に、前記研磨液から形成
され前記研磨液よりも平均研磨材濃度が低い洗浄液を前
記電子写真感光体用基材に吹き付ける工程を有すること
を特徴とする電子写真感光体の製造方法。 （２）前記（１）の製造方法で製造された電子写真感光
体用基材を有することを特徴とする電子写真感光体。 （３）電子写真感光体用基材の表面を研磨材を含む研磨
液により研磨する手段を有する電子写真感光体の製造装
置において、 前記研磨液から前記研磨液よりも平均研
磨材濃度の低い洗浄液を形成する手段を設けたことを特
徴とする電子写真感光体の製造装置。である。

【００１２】本発明においては、洗浄液は研磨工程で使
用された研磨液から形成されるため、洗浄工程（研磨材
持ち出し量低減工程ともいう）で使用される洗浄液には
処理工程から水等の溶媒が増加しない。したがって、研
磨工程での研磨液の濃度が変動することなく、同一濃度
の研磨液で電子写真感光体用基材の表面が研磨され、均
一な表面粗さが得られる。

【００１３】以下、本発明について詳細に説明する。本
発明に使用される電子写真感光体用基材としては、アル
ミニウム、銅、ニッケル、鉄、亜鉛、チタン等の金属及
び、それらの合金からなるドラム又はシート等が挙げら
れ、また、プラスチック、紙等の支持体に粗面化処理を
施した支持体表面にアルミニウム、チタン等の金属及び
それらの合金を真空蒸着法によって被膜形成させたもの
が挙げられる。

【００１４】また、本発明において使用される研磨材と
しては、アルミナ、ニッケル、ステンレス等の微粒子に
さえできれば、各種の金属が使用できる。電子写真感光
体用基材の表面を研磨する研磨工程では、最も好適に
は、液体ホーニング法が適用される。この液体ホーニン
グ法では、水等の液体に微粒子乃至粉末状の研磨材を１
〜５０％の広範囲な濃度範囲で懸濁させて使用される。
この場合、水等の液体及び研磨材の量は、それが使用さ
れる設備で十分循環、攪拌できる量が適宜選定される。

【００１５】液体ホーニングは、高速度で電子写真感光
体用基材表面に水等の液体に微粒子乃至粉末状の研磨材
が懸濁された研磨液を吹き付けて粗面化する方法であ
る。この場合、表面処理による電子写真感光体用基材の
表面粗さの程度は、吹き付け時の圧力及び速度、使用す
る研磨材の量、種類、形状、大きさ、比重、及び粒度分
布等の諸条件を適宜選択することにより制御することが
できる。

【００１６】本発明において、研磨工程では、上記の各
種の条件を選定し、電子写真感光体用基材の表面が所望
の粗さに形成される。しかし、研磨工程を経た電子写真
感光体用基材の表面には、多数の研磨材の付着してい
る。そこで、その後、研磨工程における研磨材の平均濃
度よりも低い平均研磨材濃度の洗浄液が、研磨液から形
成され、この洗浄液が洗浄工程（研磨材持ち出し量低減
工程）において、電子写真感光体用基材の表面に吹き付
けられて電子写真感光体用基材表面に付着している研磨
が取り除かれる。

【００１７】洗浄工程（研磨材持ち出し量低減工程）で
電子写真感光体用基材の表面に吹き付けられる平均研磨
材濃度の低い洗浄液は、研磨工程で使用される研磨液の
研磨材濃度がよりも低いことが条件であるが、母液の液
体ホーニング液（研磨工程で使用される研磨液）の平均
研磨材濃度の０％〜１／２％の濃度が望ましい。このよ
うな平均研磨材濃度の洗浄液を研磨液から形成する手段
としては、（１）研磨工程で使用している研磨液が滞留
する部分の上澄み液を採取して洗浄液とする方法、
（２）研磨工程で使用している研磨液をサイクロン分離
器で処理する方法等が挙げられる。

【００１８】（１）の方法の場合、上澄み液を採取する
には、液滞留部を多少の時間（１０秒以上）静止する必
要があり、また、平均研磨材濃度が低い上澄み液得るた
めには、できるだけ液滞留部の上部側をから採取するこ
とが必要がある。ただし、この方法では、洗浄液を得る
ための設備等としては液滞留部と上澄み液の抜き出し機
構等で足り設備が簡略化できる利点がある。

【００１９】（２）の方法の場合、連続生産の中で洗浄
液を生産性よく得ることができ、本発明に特に好適であ
る。母液の平均研磨材濃度の０％〜１／２％の平均研磨
材濃度の洗浄液を得るためには、サイクロン分離器の構
造、サイクロン分離器に導入される液の圧力等に決定さ
れる。

【００２０】また、研磨材を分散させている溶媒（水）
も液体ホーニング処理した後、電子写真感光体用基材に
より持ち出されたり、蒸発により減少するが、その溶媒
（水）の量についてはホーニング液を入れている容器内
で液面レベルセンサー等により溶媒（水）の量を制御す
ることが好ましい。

【００２１】上記のように粗面化された電子写真感光体
用基材の上には、所望により下引き層が形成される。下
引き層は公知の樹脂を用いて形成されるが、膜厚０．０
５μｍ〜１０μｍの範囲、特に、０．１〜２μｍの範囲
に設定することが好ましい。感光層が電荷発生層と電荷
輸送層との積層構造の場合、それらのいずれかが下引き
層の上に設けられてもよい。

【００２２】電荷発生層は、フタロシアニン等公知の材
料を用いて形成され、その膜厚０．０５μｍ〜１μｍの
範囲、特に、０．１〜０．５μｍの範囲に設定すること
が好ましい。電荷輸送層は、ポリカーボネート等公知の
材料を１５〜３０μｍの膜厚で形成した。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の電
子写真感光体の製造装置の好適な実施の形態を説明す
る。この電子写真感光体の製造装置１０は、研磨室１２
と洗浄室（研磨材持ち出し量低減室ともいう）１４とを
備えており、研磨室１２には、研磨されるべき電子写真
感光体基材１６が回転自在に配置され、洗浄室１４には
研磨室１２で研磨された電子写真感光体基材１８が回転
自在に配置されるようになっており、研磨室１２と洗浄
室１４は隔壁２０によって区画されている。研磨室１２
には、研磨材を含む研磨液を電子写真感光体基材１６に
対して噴霧するためのガン２２が設置され、このガン２
２には高圧導入管２４が接続されている。また、研磨室
１２及び洗浄室１４の下方には液貯留部２６が形成され
ており、この液貯留部２６に連通し、ポンプ２８Ａが介
設された循環配管２８が配置されてガン２２に接続され
ている。

【００２４】また、液貯留部２６に連通し、ポンプ３０
Ａが介設された循環配管３０が配置されてサイクロン分
離器３２に接続されている。サイクロン分離器３２は、
図２に示すように逆円錐台状に形成されており、その下
部（小径側）は循環配管３４を介して洗浄室１４内の下
部側に連通している。サイクロン分離器３２の上部（大
径側）はバルブ３６Ａが介設された洗浄液抜き出し管３
６を介して洗浄室１４内の上部側に連通している。そし
て、洗浄液抜き出し管３６から分岐され、バルブ３８Ｂ
が介設された分岐管３８は洗浄室１４内の下部側に連通
している。

【００２５】さらに液滞留部２４にレベル計４０が設置
され、このレベル計４０におけるレベル値に基づいて水
導入管４２に介設された電磁弁４２Ａへの開信号、及び
閉信号が出力されるようになっている。

【００２６】次に図１に示す装置の作用について説明す
る。ガン２２に高圧導入管２４から高圧空気が導入さ
れ、かつ、循環配管２８からポンプ２８Ａを介して研磨
液が導入されてガン２２から所定の速度で回転している
電子写真感光体基材１６に研磨液が噴射される。これに
よって、電子写真感光体基材１６の表面が研磨されると
共に使用済みの研磨液は、液貯留部２６に貯留される。

【００２７】この研磨工程において、表面が研磨されて
いるが、その表面に多数の研磨材が付着したままの電子
写真感光体基材１８は、図示していない搬送機構により
洗浄工程に搬送される。洗浄工程では、液貯留部２６に
貯留された使用済みの研磨液がポンプ３０Ａにより循環
配管３０を介してサイクロン分離器３２に供給される。
サイクロン分離器３２では、研磨液中の比較的研磨材濃
度の高い液は、循環配管３４より抜き出され、液貯留部
２６に戻される。また、サイクロン分離器３２では、比
較的研磨材濃度の低い液は、洗浄液抜き出し管３６を介
して抜き出され、この液が電子写真感光体基材１８に吹
き付けられる。この洗浄液の吹き付けによって、電子写
真感光体基材１８の表面に付着した研磨材が洗い落とさ
れる。

【００２８】このような研磨工程及び洗浄工程におい
て、液貯留部２６の液は、ポンプ２８Ａ及びポンプ３０
Ａによって抜き出されるが、この液は、研磨工程及び洗
浄工程で使用され、再び、液貯留部２６に貯留されるた
め、研磨液の相対的な濃度はほとんど変動することがな
い。したがって、研磨工程で使用される研磨液中の研磨
材濃度がほとんど変動することがないから、電子写真感
光体基材１６表面の表面粗さを所望の値とすることがで
きる。

【００２９】この装置の操作上、ポンプ３０Ａ、及びサ
イクロン分離器３２をできるだけ連続的に作動している
ことが望ましく、この場合、電子写真感光体基材１８が
洗浄室１４に搬送されていない間は、バルブ３６Ａを閉
とし、バルブ３８を開としてサイクロン分離器３２で得
られる比較的研磨材濃度の低い液は、分岐管３８を介し
て洗浄室１４の下部側に導入される。また、液貯留部２
６内の液のレベルはレベル計４０により計測され、液貯
留部２６内の液のレベルが設定値より低くなると、レベ
ル計４２から、電磁弁４２Ａに開信号が出力され、水導
入管４２より水が導入され、所定量の水が導入されて液
貯留部２６内の液のレベルが設定値に達すると、レベル
計４２から電磁弁４２Ａに閉信号が出力され、液貯留部
２６内には所定量の液が貯留される。

【００３０】図３は、本発明の電子写真感光体の製造そ
の他の実施の形態を示す概略的構成図である。図３にお
いて、図１に示す装置の構成部分と実質的に同一の構成
部分は、同一の符号で示し、構成上の説明は省略する。
図３において図１に示す装置と実質的に異なる部分は、
液貯留部２６の上層側に連通する上澄み液抜き出し管５
２が設けられ、この上澄み液抜き出し管５２はポンプ５
２Ａを介して上澄み液供給管５４に接続されている。ま
た、図３に特に図示していないが、図１におけるレベル
計４０、電磁弁４２Ａが介設された水導入管４２がそれ
ぞれ設置されている。

【００３１】次に図３に示す電子写真感光体の製造装置
の作用について説明する。この装置での研磨工程は、図
１に示す装置の場合は同様である。液貯留部２６では、
上層部側に比較的研磨材濃度が低い液が上澄み液が貯留
され、下層部側に比較的研磨材濃度が高い液が貯留され
ている。洗浄工程では、液貯留部２６内の上澄み液が上
澄み液抜き出し管５２から抜き出され、上澄み液供給管
５４を介して電子写真感光体基材１８に吹き付けられ
る。この装置では、連続生産の中で、上澄み液を電子写
真感光体用基材１８に吹き付けるためには、上澄み液を
抜き出す前に多少の時間（１０秒以上）、液貯留部２６
内の液を静止する必要があり、かつ、液貯留部２６ので
きるだけ上部側の液（例えば、５リットル／ｍｉｎの流
量で２秒以上）を抜き出すことが望ましい。ただし、こ
の装置では、サイクロン分離器やそれに付随する設備等
を要しない利点があり、装置の簡略の点では有効であ
る。

【００３２】

【実施例】以下、本発明を実施例によってさらに説明す
る。０．７５ｍｍ厚×３０ｍｍφ×３４０ｍｍのアルミ
ニウムパイプを用意し、これにダイヤモンドバイトを用
いた鏡面切削加工を行なって、表面をＲａ０．０３〜
０．０４μｍの平滑面に仕上げた。このアルミニウムパ
イプを電子写真感光体用基材とし、液体ホーニング装置
によって、その表面の粗面化処理を行った。その粗面化
処理においては、研磨材１８．９ｋｇを水５１リットル
に懸濁させ、これを２１リットル／分の流量でガンに送
り込んで、所定の圧縮空気圧（０．１〜０．２ＭＰａ）
で吹きつけた。ガンは、２０００ｍｍ／分で電子写真感
光体用基材の軸方向に移動させ、基材は４００ｒｐｍで
回転させ、所望の表面粗さ（Ｒａ：０．１〜０．５μ
ｍ）になるように基体表面に吹き付けた。

【００３３】＜実施例１＞図１に示した様に研磨工程で
液体ホーニング処理を行った後、ロボット等の移動手段
により電子写真感光体用基材を研磨材持出し量低減工程
（洗浄工程）に移動し（この間は、サイクロン分離水は
電磁弁により循環配管を経て洗浄工程を戻した。）、電
子写真感光体用基材上に残った研磨材は、図２に示した
条件でサイクロン分離器により作製した平均研磨材濃度
の低い液（研磨材濃度０．１〜２％）を１０リットル／
ｍｉｎの流量で５秒吹きつけた。

【００３４】＜実施例２＞図３に示した様に研磨工程で
液体ホーニング処理を行った後、ロボット等の移動手段
により基材を研磨材持出し量低減工程に移動し、基材上
に残った研磨材は、液滞留部の上部から研磨材濃度の低
い液（研磨材濃度０．１〜２％）を抜取り１０リットル
／ｍｉｎの流量で５秒吹きつけた。なお研磨材濃度の低
い液を抜き取る前１分間は、研磨工程でのホーニング処
理も止め液を静止させ上澄み液を作製した。

【００３５】＜比較例１＞ 液体ホーニング処理を行っ
た後、なにもしなかった。その後実施例１，２及び比較
例１とも純水中で超音波洗浄を行なった。

【００３６】なお、下記実施例及び比較例に使用した研
磨材、各塗膜に使用した市販品は、次の通りであった。 研磨材…昭和タイタニウム社製の酸化アルミニウム：ア
ルナビーズ（ＣＢ−Ａ３０Ｓ）、その粒径は２７μｍ

【００３７】粗面化処理を施した基体上に、ジルコニウ
ム化合物としてトリブトキシジルコニウムアセチルアセ
トネート（ＺＣ５４０、松本交商社製）の５０％トルエ
ン溶液１００部、シラン化合物としてγ−アミノプロピ
ルトリエトキシシラン（Ａ１１００、日本ユニカー社
製）１０部、ポリビニルブチラール樹脂（ＢＭ−Ｓ、積
水化学社製）１０部およびｎ−ブタノール１３０部を混
合し、得られた塗布液を浸漬塗布法により塗布し、１４
０°Ｃで１５分間加熱して、１．０μｍの下引き層を形
成した。

【００３８】次に、ポリビニルブチラール樹脂（商品
名： ＢＭ−１ 、積水化学社製）の２％ シクロヘキ
サノン溶液に、ヒドロキシガリウムフタロシアニン顔料
（特開平５−２６３００７号公報に記載のもの）を顔料
と樹脂の比を２：１に混合し、次いでサンドミルにより
３時間分散処理を行った。得られた分散液を更に酢酸ｎ
−ブチルで希釈して基体表面に浸漬塗布し、０．１５μ
ｍ厚の電荷発生層を形成した。次に Ｎ ，Ｎ ’−ジ
フェニル−Ｎ ，Ｎ ’−ビス（ｍ−トリル）ベンジジ
ン４部及びポリカボーネートＺ樹脂６部を、モノクロル
ベンゼン３６部に溶解させた溶液を電荷発生層上に浸漬
塗布し、１１５°Ｃで４０分間乾燥して２４μｍ厚の電
荷輸送層を形成し、これを感光体ドラムとした。

【００３９】実施例１、２及び比較例１の各条件で連続
１０，０００本処理し、その間の表面粗さの変動及び１
０，０００本目の画像出力試験をおこなった。 〔評価方法〕 （１） 表面粗さの安定性 表面粗さの測定は、表面粗度計（サーフコム１１０Ｂ：
（株）東京精密）にて測定し、１０，０００本処理時の
表面粗さの変動が１５％以内を○、１５％以上を×とし
た。 （２）画像出力試験 画像出力試験はマルチファンクショナルプリンター（富
士ゼロックス製 Ａｂｌｅ−３３２１、）に搭載し、中
間調濃度を含む画像により出力試験を行ない、ホーニン
グ処理１０，０００本目の基材を使用したドラムによる
画像において、干渉縞が発生しなかったものを○ 干渉
縞が発生したものを×とした。その結果を表１に示す。

【００４０】

【表１】

【００４１】実施例／比較例の評価結果 実施例１の場合には、基材表面処理後の表面粗さについ
て変動が小さく安定した表面粗度が得られた、また画像
出力試験後においても干渉縞による画質欠陥は見られな
かった。また実施例２の場合にも、基材表面処理後の表
面粗さについて変動が小さく安定した表面粗度が得られ
た、また画像出力試験後においても干渉縞による画質欠
陥は見られなかった。但し、生産性の観点においては実
施例１の方が優れていた。これに対して、比較例１の場
合には、基材表面処理の処理本数とともに、液体ホーニ
ング処理した研磨材が、電子写真感光体用基材に付着
し、そのため研磨材濃度が低下し、その結果表面粗さの
低下が顕著に認められた。また、画像出力試験において
も明らかな干渉縞が認められた。

【００４２】

【発明の効果】本発明においては、電子写真感光体用基
材の研磨工程及び洗浄工程（研磨材持ち出し量低減工
程）において、研磨材がほとんど持出されることなく、
同一濃度の研磨材によるホーニングのため、常に均一な
粗さの面が形成される。したがって、この基体を用いる
電子写真感光体は、レーザー光によって画像形成を行な
った場合、干渉縞模等の画像欠陥のない優れた画像品質
を安定して提供することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の電子写真感光体の製造装置の好適な一
実施の形態を示す概略的構成図である。

【図２】図１におけるサイクロン分離器を示す詳細図で
ある。

【図３】本発明の電子写真感光体の製造装置の他の実施
の形態を示す概略的構成図である。

【符号の説明】

１０ 電子写真感光体の製造装置 １２ 研磨室 １４ 洗浄室（研磨材持ち出し量低減室） １６，１８ 電子写真感光体用基材 ２０ 隔壁 ２２ ガン ２４ 高圧導入管 ２６ 液貯留部 ２８，３０ 循環配管 ３２ サイクロン分離器 ３４ 循環配管 ３６ 洗浄液抜き出し管 ３８ 分岐管 ４０ レベル計 ４２ 水導入管 ５０ 電子写真感光体の製造装置 ５２ 上澄み液抜き出し管 ５４ 上澄み液供給管

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤本 隆 神奈川県南足柄市竹松1600番地 富士ゼロ ックス 株式会社内 (72)発明者 田外 太 神奈川県南足柄市竹松1600番地 富士ゼロ ックス 株式会社内 (72)発明者 今井 秀樹 神奈川県南足柄市竹松1600番地 富士ゼロ ックス 株式会社内

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子写真感光体用基材の表面を研磨材を
   含む研磨液で研磨する工程を有する電子写真感光体の製
   造方法において、 前記研磨する工程の後に、前記研磨液から形成され前記
   研磨液よりも平均研磨材濃度が低い洗浄液を前記電子写
   真感光体用基材に吹き付ける工程を有することを特徴と
   する電子写真感光体の製造方法。
2. 【請求項２】 電子写真感光体用基材の表面を研磨する
   工程が液体ホーニングによる処理工程であることを特徴
   とする請求項１に記載の電子写真感光体の製造方法。
3. 【請求項３】 前記洗浄液が、研磨工程で使用された研
   磨液をサイクロン分離器を用いて形成されることを特徴
   とする請求項１又は請求項２に記載の電子写真感光体の
   製造方法。
4. 【請求項４】 前記洗浄液が、研磨工程で使用された研
   磨液の上澄み液から形成されることを特徴とする請求項
   １又は請求項２に記載の電子写真感光体の製造方法。
5. 【請求項５】 請求項１〜請求項４のいずれかに記載の
   電子写真感光体の製造方法で製造された電子写真感光体
   用基材を有することを特徴とする電子写真感光体。
6. 【請求項６】 電子写真感光体用基材の表面を研磨材を
   含む研磨液により研磨する手段を有する電子写真感光体
   の製造装置において、 前記研磨液から前記研磨液よりも平均研磨材濃度の低い
   洗浄液を形成する手段を設けたことを特徴とする電子写
   真感光体の製造装置。
7. 【請求項７】 前記電子写真感光体用基材の研磨を液体
   ホーニング装置より行うことを特徴とする請求項６に記
   載の電子写真感光体の製造装置。
8. 【請求項８】 前記洗浄液を形成する手段が、サイクロ
   ン分離器であることを特徴とする請求項６又は請求項７
   に記載の電子写真感光体の製造装置。
9. 【請求項９】前記洗浄液を形成する手段が、前記研磨工
   程で使用している研磨液の上澄み液から形成する手段で
   あることを特徴とする請求項６又は請求項７に記載の電
   子写真感光体の製造装置。