JPH0282262A - 電子写真用感光体の製造方法 - Google Patents

電子写真用感光体の製造方法

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JPH0282262A
JPH0282262A JP63235461A JP23546188A JPH0282262A JP H0282262 A JPH0282262 A JP H0282262A JP 63235461 A JP63235461 A JP 63235461A JP 23546188 A JP23546188 A JP 23546188A JP H0282262 A JPH0282262 A JP H0282262A
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JP
Japan
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substrate
aqueous solution
alloy
photosensitive layer
photoreceptor
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JP63235461A
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English (en)
Inventor
Yukihiro Maruta
丸田 幸寛
Toshinao Ishisone
石曽根 稔直
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Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G5/00Recording-members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat or to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
    • G03G5/10Bases for charge-receiving or other layers
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G5/00Recording-members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat or to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
    • G03G5/02Charge-receiving layers
    • G03G5/04Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor
    • G03G5/08Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic
    • G03G5/082Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic and not being incorporated in a bonding material, e.g. vacuum deposited
    • G03G5/08207Selenium-based
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、A1を主成分とする基体上にSe−As系
合金からなる感光層を備えた電子写真用感光体の製造方
法に関し、詳しくは、八lを主成分とする基体表面の加
工に関する。
〔従来の技術〕
Se−As系合金からなる感光層を備えた電子写真用感
光体(以下、単にSe−As系感光体とも称する)は八
lを主成分とする基体(以下、単にA1基体とも称する
)上にSe−As系合金を感光層として真空蒸着するこ
とにより製造される。このとき、傷やピンホールがなく
基体への密着性が良い良好な蒸着層を形成するためには
、Al基体表面は傷や異物の付着がなく平滑でしかも適
度の粗さであることが要求される。このため、従来1.
V基体表面は最終的に円筒型あるいは角型の砥石により
研削され、その後、有機溶剤などで洗浄されていた。
〔発明が解決しようとする課題〕
ところが、このような従来の方法では、(a)へl基体
表面にΔgのパリが発生する。
(5)砥石研削くずのA1基体への食い込み。
(C)砥石目詰りによりA1基体表面に傷が発生する。
などの問題があり、A1のパリや砥石研削くずはその後
の洗浄でも完全に除去することはできず、また、JVの
パリの部分、砥石研削くずの食い込んでいる部分、傷の
部分などは充分な洗浄ができず汚れが残存することがあ
る。このような表面欠陥のある/V基体にSe−As系
合金を真空蒸着すると、第4図に示すように蒸着膜すな
わち感光層にピンホールが発生する。第4図において、
■はへl基体。
2は感光層、3はピンホールを示し、第4図(a)はへ
lバリ4によるピンホール3.第4図(b)は砥石研削
くず5によるピンホール3.第4図(C)は砥石の目詰
りにより生じた傷6によるピンホール3を示す。このよ
うなピンホールのある感光層を有する感光体を使用する
と、得られる画像のピンホールに対応する部分に白抜は
欠陥が現れる。
この発明は、上述の問題点を解消して、AI2基体上に
形成されるSe−As系合金蒸着膜のピンホールを大幅
に低減することができ、白抜は欠陥の少ない良好な画像
が得られる感光体の製造方法を提供することを目的とす
る。
〔課題を解決するための手段〕
上記の目的は、この発明によれば、Anを主成分とする
基体上にSe−As系合金からなる感光層を形成する電
子写真用感光体の製造方法において、前記A1を主成分
とする基体表面をダイヤモンドバイトの切削加工により
最大高さRmax が1.3μm以上1.8μm以下、
ろ波最大うねりW。、が0.5μm以下に加工した後、
さらにアルカリ水溶液でエツチングし、その基体表面に
Se−As系合金を真空蒸着して感光層を形成する電子
写真用感光体の製造方法により達成される。
また、基体表面をアルカリ水溶液でエツチングした後、
さらに硝酸水溶液でエツチングした後、その基体表面に
Se−As系合金を真空蒸着すると、さらに均一で平滑
な密着性の良い感光層を有する感光体が得られる。
〔作用〕
ダイヤモンドバイトによる切削加工でへ1基体表面をR
maxl、 311m以上1.8 μm以下、  We
ll0.5.14m以下に均一に加工した後アルカリ水
溶液でエツチングすることにより、M基体表面はSe−
As系合金の平滑で密着性の良い蒸着膜を形成するに適
した表面状態となる。また、従来の砥石による研削は行
わないので、A1のパリ、砥石研削くずのA1基体表面
への食い込み、砥石目詰りによるAl基体表面の傷など
は生じなくなるのでピンホールは大幅に減少する。さら
に硝酸水溶液によるエツチングを行うことにより、Al
基体表面が僅かにエツチングされると同時に表面に酸化
膜薄膜が形成され、より平滑で密着性の良いSe−As
系合金の蒸着膜が形成できることになる。
〔実施例〕
ドラム状のA1基体の表面をダンヤモンドコンバックス
バイト (商品名:大阪ダイヤモンド工業■製)でRm
axl、 311m以上1.8μm以下、  Wc、Q
、5μm以下に切削加工した。このへl基体を有機溶剤
で洗浄後、液温40℃の3重量%KOH水溶液中に3分
間浸漬してエツチングを行った。続いて、液温40℃の
30重量%11 N O3水溶液で20分間エツチング
を行った。
このように表面処理を施したA1基体34本についてR
maxおよびWellを測定した。測定した結果のRm
axの分布を第1図に、WCII+の分布を第2図に示
す。RITla×は平均で1.25 JAM 、 We
llは平均で0.42μmであった。また、このAl基
体表面の酸化度(へJoxid/へ5metal)を調
べたところ、切削加工後の表面では1.5であるのに対
して、11 N O3水溶液エツチング処理後の表面で
は5と大きくなっている。さらに、この基体表面の酸化
状態をESCΔで調べた結果を第3図に示す。第3図か
らAl基体表面に酸化膜が形成されていることが判る。
このように機械加工とエツチング処理を施されたA1基
体表面に^s、Se、を真空蒸着することによりピンホ
ールなどの欠陥の少ない平滑で密着性の良い感光層を有
する良好な感光体が得られた。この実施例の感光体およ
び従来例の感光体について、感光体表面の外観欠陥と得
られる画像欠陥との不良率を調べた結果を第1表に示す
第  1 表 実施例の感光体は不良率が大幅に減少しており、実施例
の方法は優れた製造方法であることは明らかである。
上述のように、所要の表面形状に切削加工されたへp基
体表面をアルカリ水溶液でエツチングすると、△l基体
表面はSe−As系合金の蒸着膜との濡れ性が良く、か
つ、適度にあれだ状態となる。従って、引き続いてHN
O3水溶液によるエツチングを行わなくても、Se−A
s系合金を真空蒸着して平滑で密着性の良い良好な感光
層を形成することができる。アルカリ水溶液によるエツ
チングの施されたへl基体表面にllN0.水溶液によ
るエツチングを行うとへp基体表面は僅かにエツチング
されると同時に表面に酸化膜薄膜が形成され、Se−A
s系合金の蒸着膜との適合性、密着性が向上してより好
適となる。
〔発明の効果〕
この発明によれば、へr基体表面をダイヤモンドバイト
の切削加工によりRmaxl、3μm以上1.8μm以
下、Wo50.5μm以下に加工し、アルカリ水溶液で
エツチングした後、その面上にSe−As系合金を真空
蒸着して感光層を形成して感光体とする。このような処
理を施されたAl基体表面はSe−As系合金の蒸着膜
の形成に適合した状態となり、しかも従来の砥石で研削
加工されたときのような八2のパリ、砥石研削くずの食
い込みなどはないので、このようなA1基体表面にSe
−As系合金を真空蒸着して、ピンホールなどの少ない
平滑で密着性の良い感光層を形成することができ、外観
良好で白抜けなどの画像欠陥の少ない良好な画像の得ら
れるSe−As系感光体を製造することが可能となる。
また、アルカリ水溶液によるエンチング後、さらに硝酸
水溶液′によるエツチングを施したAl基体を用いると
、さらに平滑で密着性の良好な優れたSe−As系感光
体を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図、第3図はそれぞれこの発明の実施例の
A1基体に関するもので、第1図は表面のRmaxの分
布を示す図、第2図は同じく表面のWo、の分布を示す
図、第3図は表面の酸化膜をESCAで調べた酸化状態
を示す図である。第4図は従来の砥石研削で加工したへ
1基体を用いて製造したSe−As系感光体のピンホー
ルを原因別に示す模式的断面図で、第4図(a)はMの
パリによるピンホール、第4図(b)は砥石研削くずに
よるピンホール、第4図(C)は砥石の目詰りにより発
生した傷によるピンホールをそれぞれ示す図である。 RITIOX (Hm) 第 1 区 第2区

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)Alを主成分とする基体上にSe−As系合金から
    なる感光層を形成する電子写真用感光体の製造方法にお
    いて、前記Alを主成分とする基体表面をダイヤモンド
    バイトの切削加工により最大高さRmaxが1.3μm
    以上1.8μm以下、ろ波最大うねりW_C_Mが0.
    5μm以下に加工した後、さらにアルカリ水溶液でエッ
    チングし、その基体表面にSe−As系合金を真空蒸着
    して感光層を形成することを特徴とする電子写真用感光
    体の製造方法。 2)特許請求範囲第1項記載の感光体の製造方法におい
    て、Alを主成分とする基体表面をアルカリ水溶液でエ
    ッチングした後さらに硝酸水溶液でエッチングした後に
    、その基体表面にSe−As系合金を真空蒸着して感光
    層を形成することを特徴とする電子写真用感光体の製造
    方法。
JP63235461A 1988-09-20 1988-09-20 電子写真用感光体の製造方法 Pending JPH0282262A (ja)

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